本發(fā)明涉及一種有機電致發(fā)光器件技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種蒸鍍用的蒸發(fā)源裝置。

背景技術(shù)：

oled(即有機電致發(fā)光器件)顯示器是新一代的顯示器，通過在oled基板上制作有機薄膜，并且其中的有機薄膜被包夾設(shè)在陰極和陽極金屬或?qū)щ妼又g，給兩電極施加電壓后，有機薄膜則會發(fā)光。相對于液晶顯示器而言，oled顯示器有自發(fā)光、響應快、視角廣、色彩飽和等許多優(yōu)點，近幾年oled產(chǎn)業(yè)化速度突飛猛進。

目前制備oled顯示器件主流的方式是真空熱蒸鍍，即在真空腔體內(nèi)使用坩堝加熱oled有機材料?，F(xiàn)有的用于加熱oled材料的坩堝包括坩堝本體及蓋在坩堝本體開口端的坩堝蓋子，坩堝蓋子上設(shè)置有蒸鍍孔。坩堝本體用于容納oled有機材料，以對oled材料加熱，使之在一定溫度下升華或蒸發(fā)，然后透過蒸鍍孔沉積在上方的基板上，形成有機薄膜。

在oled材料蒸鍍過程中，由于蒸鍍出的有機物為蓬松結(jié)構(gòu)，很容易在坩堝蓋子的蒸鍍孔部位集結(jié)，直至蒸鍍孔被完全堵住。但由于oled器件制作工藝的特殊性，oled器件的制作需要在持續(xù)的真空環(huán)境下進行，直至連續(xù)完成有機材料的蒸鍍。蒸鍍孔一旦被堵住就無法繼續(xù)蒸鍍，使蒸鍍工藝無法繼續(xù)進行，會嚴重影響生產(chǎn)進度。

這種情況下，目前的做法只能先把oled材料降溫至室溫，然后打開蒸鍍腔體，待處理完塞孔的蒸鍍源后再關(guān)閉腔體、重新抽真空，并加熱到一定溫度，才能繼續(xù)進行蒸鍍工藝，通常這個過程需要耗費數(shù)十小時，且打開腔體極易導致空氣中灰塵進入腔體，嚴重影響產(chǎn)能及產(chǎn)品質(zhì)量。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

鑒于現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，本發(fā)明提供了一種蒸鍍用的蒸發(fā)源裝置，可以在不打開真空腔體的情況下解決蒸鍍坩堝的蒸鍍孔堵塞的問題。

為了實現(xiàn)上述的目的，本發(fā)明采用了如下的技術(shù)方案：

一種蒸鍍用的蒸發(fā)源裝置，包括頂面開口的加熱容器以及蓋設(shè)于所述加熱容器開口的第一擋板和第二擋板，所述第一擋板和所述第二擋板上分別開設(shè)有貫穿孔；所述第一擋板和所述第二擋板可相對滑動，使二者上的貫穿孔在至少兩個不同的配合位置配合形成連通所述加熱容器的蒸鍍通道。

作為其中一種實施方式，所述第一擋板和所述第二擋板在所述加熱容器的高度方向上層疊設(shè)置，且延伸方向交叉設(shè)置；所述第一擋板和所述第二擋板的至少一個上的貫穿孔為沿相應的擋板的長度方向延伸的條形孔，所述第一擋板和所述第二擋板沿各自的長度方向可移動，以使得上下設(shè)置的貫穿孔在所述加熱容器的高度方向上連通形成不同的蒸鍍通道。

作為其中一種實施方式，所述第一擋板上的貫穿孔為沿其長度方向延伸的條形孔，所述第二擋板上的貫穿孔為在其長度方向間隔設(shè)置的點狀通孔。

或者，所述第一擋板和所述第二擋板上的貫穿孔均為在相應的擋板的長度方向間隔設(shè)置的點狀通孔。

或者，所述第一擋板和所述第二擋板上的貫穿孔均為沿相應的擋板的長度方向延伸的條形孔。

作為其中一種實施方式，所述第一擋板和所述第二擋板相互垂直。

作為其中一種實施方式，所述加熱容器為坩堝。

或者，所述第一擋板和所述第二擋板在所述加熱容器的徑向上相鄰設(shè)置；所述第一擋板上開設(shè)有復數(shù)個間隔設(shè)置的第一缺口，所述第二擋板上開設(shè)有復數(shù)個間隔設(shè)置的第二缺口，所述第二擋板可在其長度方向上相對于所述第一擋板移動，使不同的所述第一缺口與所述第二缺口配合形成不同的蒸鍍通道。

作為其中一種實施方式，所述第一擋板和所述第二擋板上分別在所述第一缺口、所述第二缺口周圍對應設(shè)有圍成縮口狀的錐形的半遮蓋部，所述第一缺口周圍的所述半遮蓋部與所述第二缺口的所述半遮蓋部尺寸相同。

或者，所述第二擋板設(shè)于所述第一擋板上表面，所述第二擋板的貫穿孔旁圍設(shè)有傾斜的縮口狀的遮蓋部，所述遮蓋部的端面尺寸小于所述第二擋板的貫穿孔的尺寸。

本發(fā)明通過在裝有有機發(fā)光電致材料的加熱容器的開口處蓋設(shè)有第一擋板和第二擋板，可以通過第一擋板和第二擋板的移動而使二者配合形成不同的蒸鍍通道，可在不打開真空腔體的情況下更換蒸鍍通道，很好地解決了蒸鍍過程中有機發(fā)光電致材料堵孔的問題，提高了產(chǎn)能和產(chǎn)品質(zhì)量。

附圖說明

圖1為本發(fā)明實施例1的蒸發(fā)源裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明實施例1的蒸發(fā)源裝置的第一使用狀態(tài)示意圖；

圖3為本發(fā)明實施例1的蒸發(fā)源裝置的第二使用狀態(tài)示意圖；

圖4為本發(fā)明實施例1的蒸發(fā)源裝置的局部結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為本發(fā)明實施例2的蒸發(fā)源裝置的一個使用狀態(tài)示意圖；

圖6為本發(fā)明實施例3的蒸發(fā)源裝置的第一使用狀態(tài)示意圖；

圖7為本發(fā)明實施例3的蒸發(fā)源裝置的第二使用狀態(tài)示意圖；

圖8為本發(fā)明實施例3的蒸發(fā)源裝置的局部結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實施例，對本發(fā)明進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。

本發(fā)明的蒸發(fā)源裝置主要用于加熱蒸鍍oled有機材料形成有機薄膜，使用時被放置在真空腔體內(nèi)，包括頂面開口的加熱容器以及蓋設(shè)于加熱容器開口的第一擋板和第二擋板，第一擋板和第二擋板上分別開設(shè)有貫穿孔；第一擋板和第二擋板可相對滑動，使第一擋板和第二擋板上的貫穿孔在至少兩個不同的配合位置配合形成連通加熱容器的蒸鍍通道。

這里，以加熱容器的開口作為參照進行描述，第一擋板與第二擋板形成的蒸鍍通道位于加熱容器的開口正上方，第一擋板、第二擋板將加熱容器的開口遮擋，僅留出該蒸鍍通道作為有機材料的沉積通道。初始狀態(tài)下，第一擋板的貫穿孔和第二擋板的貫穿孔在第一配合位置連通形成通孔結(jié)構(gòu)的第一蒸鍍通道，蒸鍍過程中，有機材料會在形成的第一蒸鍍通道部位集結(jié)，直至第一蒸鍍通道被堵??；然后，第一擋板、第二擋板相對移動而錯開一定距離，在不同于第一配合位置的第二配合位置連通形成通孔結(jié)構(gòu)的第二蒸鍍通道，如此即可在不打開真空腔體的前提下更換蒸鍍通道，提高了蒸鍍效率，也避免了灰塵等進入。以下，以幾種不同的蒸鍍通道的形成方式對本發(fā)明總的構(gòu)思進行更具體的描述。

實施例1

參閱圖1和圖2，本實施例的蒸發(fā)源裝置包括頂面開口的加熱容器10以及蓋設(shè)于加熱容器10開口的第一擋板20和第二擋板30，該加熱容器10最好是坩堝，第一擋板20和第二擋板30在加熱容器10的高度方向上(如圖1所示的豎直方向上)層疊設(shè)置且延伸方向交叉設(shè)置，第一擋板20和第二擋板30上的貫穿孔均為沿相應的擋板的長度方向延伸的條形孔，即第一擋板20上開設(shè)有第一條形孔201，第二擋板30上開設(shè)有第二條形孔301。

當安裝到加熱容器10頂面的開口后，第一擋板20和第二擋板30沿各自的長度方向均可移動，以使得上下設(shè)置的第一條形孔201、第二條形孔301在豎直方向上依次連通形成不同的蒸鍍通道h，其中，實施例的第一擋板20和第二擋板30相互垂直，以更方便地控制第一擋板20和第二擋板30的運動方向和位移。

其中，可以理解的是，用于驅(qū)動第一擋板20和第二擋板30平移的驅(qū)動機構(gòu)可以是現(xiàn)有技術(shù)中的各種可行的驅(qū)動機構(gòu)，例如，利用齒輪齒條傳動、皮帶傳動、液壓桿推動，連桿機構(gòu)傳動等，通過將驅(qū)動機構(gòu)安裝在真空腔體內(nèi)，可以實現(xiàn)連續(xù)蒸鍍。本實施例的第一條形孔201、第二條形孔301均為規(guī)則的矩形孔，作為一種改進，在其他實施方式中，第一條形孔201、第二條形孔301也可以為不規(guī)則的條形孔，即條形孔的寬度在其長度方向上并不是始終一致的，可以具有不同的寬度，使得可以通過調(diào)節(jié)第一條形孔201、第二條形孔301的配合位置改變二者形成的蒸鍍通道h的寬度大小。

第一擋板20和第二擋板30的平移方向相互垂直，第一條形孔201與第二條形孔301在豎直方向上的投影的重疊區(qū)域即為實際配合形成的蒸鍍通道對應的區(qū)域，隨著第一擋板20與第二擋板30的相對移動，第一條形孔201的不同區(qū)域與第二條形孔301的不同區(qū)域可以組合形成若干個不同的蒸鍍通道h，可以方便在某一個蒸鍍通道堵塞后進行更換。

具體地，如圖2和圖3，在初始工作時，第一擋板20和第二擋板30靜止且垂直相交，第一條形孔201的第一端與第二條形孔301的第一端均處于原點位置，第一擋板20、第二擋板30以及加熱容器10三者組成用于放置有機材料的加熱腔和加熱腔頂部的蒸鍍通道h，其中，第一條形孔201的第一端與第二條形孔301的第一端配合形成第一蒸鍍通道h1；隨著蒸鍍過程的進行，有機材料會在形成的第一蒸鍍通道h1部位集結(jié)，當?shù)谝徽翦兺ǖ纇1被堵住后，分別沿各自的長度方向(如圖2、3所示的箭頭方向)推動第一擋板20和第二擋板30，兩垂直的第一條形孔201與第二條形孔301可配合形成新的第二蒸鍍通道h2，如此即可通過該第二蒸鍍通道h2繼續(xù)進行蒸鍍過程，直至新的第二蒸鍍通道h2被堵住后，繼續(xù)移動第一擋板20和第二擋板30而形成新的蒸鍍通道；當?shù)谝粭l形孔201、第二條形孔301完全堵塞后，才需要打開真空腔體進行清理。

進一步地，本實施例的加熱容器10還可進一步改造，在加熱容器10內(nèi)固定有豎立于其開口部的撥針(圖未示)，安裝第一擋板20和第二擋板30時，該撥針同時伸入第一條形孔201和第二條形孔301內(nèi)，在第一擋板20和第二擋板30移動的過程中，該撥針始終同時位于第一條形孔201和第二條形孔301內(nèi)，當?shù)谝粭l形孔201和第二條形孔301部分堵塞，可以通過驅(qū)動機構(gòu)控制第一擋板20和第二擋板30反向平移，利用該撥針清除堵塞在第一條形孔201和第二條形孔301內(nèi)的有機材料，這樣，可以實現(xiàn)無限時不間斷蒸鍍。

更進一步地，如圖4所示，第二擋板30設(shè)于第一擋板20上表面，第二擋板30的貫穿孔旁圍設(shè)有傾斜的縮口狀的遮蓋部30a，該遮蓋部30a的端面尺寸小于第二擋板30的貫穿孔的尺寸，可以增大經(jīng)蒸鍍通道h排出的有機材料的噴力，同時，該傾斜的縮口形構(gòu)造也可以緩解從上方的基板上落下的有機材料掉落至第二條形孔301周圍造成蒸鍍通道堵塞的現(xiàn)象。

實施例2

如圖5所示，與實施例1不同，本實施例的第一擋板20和第二擋板30上的貫穿孔均為在相應的擋板的長度方向間隔設(shè)置的點狀通孔，而并非是一個整體的條形孔。

在移動第一擋板20和第二擋板30的過程中，第一擋板20的點狀通孔可以和其上方的第二擋板30的相應的點狀通孔配合組成蒸鍍通道h，當?shù)谝粨醢?0或者第二擋板30的其中一個點狀通孔堵塞時，可通過移動堵塞的點狀通孔所在的擋板更換點狀通孔而形成新的蒸鍍通道h。

可以理解的是，在其他實施方式中，第一擋板20上的貫穿孔可以是沿其長度方向延伸的條形孔，第二擋板30上的貫穿孔可以是在其長度方向間隔設(shè)置的點狀通孔。第一擋板20和第二擋板30在移動的過程中，第一擋板20的條形孔的不同部位與第二擋板30上的不同的點狀通孔配合形成不同的蒸鍍通道h。

實施例3

如圖6和7所示，與實施例1和2均不同的是，本實施例的第一擋板20和第二擋板30在加熱容器10的徑向上(即圖1的水平方向上)相鄰設(shè)置，第一擋板20和第二擋板30通過拼接的方式圍成蒸鍍通道。具體地，第一擋板20上開設(shè)有復數(shù)個間隔設(shè)置的第一缺口200，第二擋板30上開設(shè)有復數(shù)個間隔設(shè)置的第二缺口300，第二擋板30可在其長度方向上相對于第一擋板20移動，使不同的第一缺口200與第二缺口300配合形成不同的蒸鍍通道。

如圖6，在初始工作時，第一擋板20邊緣的第一缺口200與第二擋板30邊緣的第二缺口300一一對應，每個第一缺口200與一個第二缺口300拼接圍成矩形的通孔，其中一對缺口形成的通孔作為初始的第一蒸鍍通道h1，當?shù)谝徽翦兺ǖ纇1堵塞后，第一擋板20與第二擋板30沿反方向移動而使第一缺口200與第二缺口300錯開，當?shù)谝蝗笨?00與第二缺口300在加熱容器10開口上方重新圍成一個新的通孔時，即停止移動，該新的通孔即為新的第二蒸鍍通道h2(如圖7)，如此即可繼續(xù)蒸鍍。

另外，結(jié)合圖8所示，本實施例在第一擋板20和第二擋板30上分別在第一缺口200、第二缺口300周圍對應設(shè)有圍成縮口狀的錐形的半遮蓋部c，第一缺口200周圍的半遮蓋部c與第二缺口300的半遮蓋部c尺寸相同。當蒸鍍通道形成后，左右兩個半遮蓋部c即可圍成一個完整的遮蓋部，該傾斜的縮口形構(gòu)造也可以緩解從上方的基板上落下的有機材料掉落至蒸鍍通道周圍造成蒸鍍通道堵塞的現(xiàn)象。

可以理解的是，本實施例的第一擋板20和第二擋板30也可以只有一個相對于加熱容器10滑動，使第一擋板20和第二擋板30在至少兩個不同的配合位置配合形成連通加熱容器10的蒸鍍通道即可。

由于第一擋板20和第二擋板30的相對運動會使第一缺口200、第二缺口300相互錯開，當其中一個蒸鍍通道堵塞時，第一擋板20和第二擋板30的這種運動可以使得堵塞的蒸鍍通道內(nèi)的有機材料破碎，使得該蒸鍍通道重新恢復暢通狀態(tài)而可以重復使用。

本發(fā)明通過在裝有有機發(fā)光電致材料的加熱容器的開口處蓋設(shè)有第一擋板和第二擋板，可以通過第一擋板和第二擋板的移動而使二者配合形成不同的蒸鍍通道，可在不打開真空腔體的情況下更換蒸鍍通道，很好地解決了蒸鍍過程中有機發(fā)光電致材料堵孔的問題，提高了產(chǎn)能和產(chǎn)品質(zhì)量。

以上所述僅是本申請的具體實施方式，應當指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本申請原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本申請的保護范圍。