一種旋轉(zhuǎn)式有機(jī)材料蒸發(fā)裝置的制造方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型揭示了一種旋轉(zhuǎn)式有機(jī)材料蒸發(fā)裝置，包括旋轉(zhuǎn)式蒸發(fā)單元和驅(qū)動(dòng)單元，旋轉(zhuǎn)式蒸發(fā)單元包括中心旋轉(zhuǎn)支桿、坩堝底板、集成電極座、絕緣板及導(dǎo)電滑座，其中坩堝底板上環(huán)形設(shè)置有復(fù)數(shù)坩堝，集成電極座包括圓筒套和電極承載環(huán)體，中心旋轉(zhuǎn)支桿的底端與絕緣板相固接，頂端依次穿過(guò)導(dǎo)電滑座、圓筒套、坩堝底板，驅(qū)動(dòng)單元包括電機(jī)及驅(qū)動(dòng)輪，驅(qū)動(dòng)輪驅(qū)動(dòng)電極承載環(huán)體旋轉(zhuǎn)并帶動(dòng)坩堝底板圍繞中心旋轉(zhuǎn)支桿旋轉(zhuǎn)。本實(shí)用新型通過(guò)旋轉(zhuǎn)的方式實(shí)現(xiàn)多有機(jī)源協(xié)同作業(yè)，結(jié)構(gòu)緊湊，增加了實(shí)驗(yàn)參數(shù)可調(diào)性；多有機(jī)源共用一石英晶振探頭，減少了石英晶振探頭的使用數(shù)量；結(jié)構(gòu)緊湊，易于安裝、更換、維護(hù)；控制精度高、生產(chǎn)效率高、能耗低、成本低。
【專(zhuān)利說(shuō)明】
一種旋轉(zhuǎn)式有機(jī)材料蒸發(fā)裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及一種蒸發(fā)裝置，尤其涉及一種旋轉(zhuǎn)式有機(jī)材料蒸發(fā)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]真空熱蒸發(fā)鍍膜在有機(jī)EL(Electro Luminescence)電致發(fā)光，有機(jī)太陽(yáng)能電池，金屬電極，食品包裝等行業(yè)被廣泛應(yīng)用，以及相應(yīng)薄膜器件的產(chǎn)業(yè)化中應(yīng)用也非常廣泛，其基本原理是利用加熱的手段使源受熱蒸發(fā)，由固相/液相變成氣相，然后氣體分子或原子在蒸發(fā)源與基板(襯底)之間輸運(yùn)，最后蒸發(fā)的分子或原子在基板(襯底)上沉積。
[0003]在有機(jī)發(fā)光顯示裝置中，發(fā)射可見(jiàn)光的有機(jī)發(fā)光層和接近有機(jī)發(fā)光層的有機(jī)層通過(guò)利用各種工藝成型。尤其是真空沉積方法，由于其簡(jiǎn)單的工藝而經(jīng)常被使用。在真空沉積方法中，將粉狀或固態(tài)的沉積材料填充到坩禍中，并通過(guò)對(duì)坩禍進(jìn)行加熱而在期望的區(qū)域上形成沉積膜。
[0004]傳統(tǒng)的有機(jī)材料蒸發(fā)裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜，有機(jī)材料蒸發(fā)源多為單頭結(jié)構(gòu)，每個(gè)蒸發(fā)源只有一個(gè)坩禍，且不能旋轉(zhuǎn)，如果要實(shí)現(xiàn)多個(gè)坩禍同時(shí)蒸發(fā)，需要安裝多個(gè)單頭結(jié)構(gòu)的蒸發(fā)源，成本非常高。有機(jī)材料蒸發(fā)源的坩禍內(nèi)蒸發(fā)出來(lái)的材料通過(guò)石英晶振探頭測(cè)量其厚度，探頭通常安裝在坩禍的斜上方。對(duì)于傳統(tǒng)的有機(jī)材料蒸發(fā)源，要實(shí)現(xiàn)測(cè)量準(zhǔn)確，每個(gè)蒸發(fā)源的坩禍都需要安裝一個(gè)石英晶振探頭。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]本實(shí)用新型的目的是解決上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種旋轉(zhuǎn)式有機(jī)材料蒸發(fā)裝置。
[0006]為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案為:
[0007]一種旋轉(zhuǎn)式有機(jī)材料蒸發(fā)裝置，其特征在于:包括旋轉(zhuǎn)式蒸發(fā)單元和驅(qū)動(dòng)單元，
[0008]所述旋轉(zhuǎn)式蒸發(fā)單元包括中心旋轉(zhuǎn)支桿、坩禍底板、集成電極座、絕緣板及導(dǎo)電滑座，
[0009]其中所述坩禍底板上環(huán)形設(shè)置有復(fù)數(shù)坩禍，并且中心位置設(shè)有供中心旋轉(zhuǎn)支桿穿過(guò)的軸孔，所述坩禍內(nèi)設(shè)有加熱絲，所述集成電極座包括圓筒套和電極承載環(huán)體，所述電極承載環(huán)體設(shè)置于所述圓筒套的底端外圍，并且其上貫穿設(shè)置有復(fù)數(shù)電極，所述導(dǎo)電滑座與所述絕緣板相固接，所述導(dǎo)電滑座的設(shè)有中心軸孔、及貫穿導(dǎo)電滑座的用于與所述電極承載環(huán)體上復(fù)數(shù)電極相導(dǎo)通對(duì)接的復(fù)數(shù)導(dǎo)電電極，
[0010]所述中心旋轉(zhuǎn)支桿的底端與所述絕緣板相固接，中心旋轉(zhuǎn)支桿依次穿過(guò)所述導(dǎo)電滑座的中心軸孔、所述集成電極座的圓筒套、坩禍底板的軸孔，所述坩禍底板與所述圓筒套的頂部相固接，所述坩禍內(nèi)的加熱絲穿過(guò)所述坩禍的底部、坩禍底板與所述電極承載環(huán)體上的電極相導(dǎo)通連接，所述導(dǎo)電滑座的頂端與所述圓筒套的底面相對(duì)；
[0011]所述驅(qū)動(dòng)單元包括電機(jī)及受驅(qū)于所述電機(jī)的驅(qū)動(dòng)軸的驅(qū)動(dòng)輪；
[0012]所述驅(qū)動(dòng)輪與所述電極承載環(huán)體的側(cè)壁相抵接，并且在所述驅(qū)動(dòng)輪的驅(qū)動(dòng)作用下，所述電極承載環(huán)體通過(guò)圓筒套驅(qū)動(dòng)坩禍底板圍繞中心旋轉(zhuǎn)支桿旋轉(zhuǎn)。
[0013]優(yōu)選的，所述坩禍底板上設(shè)置有壓盤(pán)，所述壓盤(pán)的外圍環(huán)繞有用于對(duì)相鄰坩禍進(jìn)行阻隔復(fù)數(shù)隔板。
[0014]優(yōu)選的，所述坩禍底板上環(huán)形等分設(shè)置有十二個(gè)坩禍，所述壓盤(pán)的外圍環(huán)繞有十二個(gè)隔板，所述隔板分別位于相鄰坩禍之間。
[0015]優(yōu)選的，所述隔板為石英隔板或304不銹鋼隔板，所述隔板的厚度為I?1.5_。
[0016]優(yōu)選的，所述坩禍底板上設(shè)置有復(fù)數(shù)插槽，所述坩禍的底部具有兩個(gè)引腳，所述坩禍的引腳插接于所述插槽內(nèi)。
[0017]優(yōu)選的，所述坩禍底板為圓形鋁盤(pán)。
[0018]優(yōu)選的，所述復(fù)數(shù)坩禍的敞口朝向共同聚焦于待鍍膜基片上。
[0019]優(yōu)選的，所述絕緣板為聚四氟乙烯絕緣板或氧化鋁陶瓷絕緣板。
[0020]優(yōu)選的，所述驅(qū)動(dòng)單元還包括密封磁流體，所述密封磁流體包括外殼和穿接于所述外殼的軸桿，所述外殼通過(guò)一法蘭與電機(jī)相固接，所述驅(qū)動(dòng)輪固定于所述軸桿的頂端，所述軸桿的底端通過(guò)一聯(lián)軸器與所述電機(jī)的驅(qū)動(dòng)軸相連。
[0021]優(yōu)選的，所述驅(qū)動(dòng)輪上外壁至少設(shè)置有一環(huán)形凹槽，所述環(huán)形凹槽內(nèi)設(shè)置有O型圈。
[0022]本實(shí)用新型的有益效果主要體現(xiàn)在:
[0023]1.通過(guò)旋轉(zhuǎn)的方式實(shí)現(xiàn)多有機(jī)源協(xié)同作業(yè)，結(jié)構(gòu)緊湊，增加了實(shí)驗(yàn)參數(shù)可調(diào)性；
[0024]2.多有機(jī)源共用一石英晶振探頭，減少了石英晶振探頭的使用數(shù)量，極大的降低了成本；
[0025]3.結(jié)構(gòu)緊湊，易于安裝、更換、維護(hù)；
[0026]4.控制精度高、生產(chǎn)效率高、能耗低、成本低。
【附圖說(shuō)明】
[0027]圖1是本實(shí)用新型一種旋轉(zhuǎn)式有機(jī)材料蒸發(fā)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0028]圖2是本實(shí)用新型一種旋轉(zhuǎn)式有機(jī)材料蒸發(fā)裝置的截面結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0029]本實(shí)用新型提供一種旋轉(zhuǎn)式有機(jī)材料蒸發(fā)裝置。以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型技術(shù)方案進(jìn)行詳細(xì)描述，以使其更易于理解和掌握。
[0030]如圖1和圖2所示，一種旋轉(zhuǎn)式有機(jī)材料蒸發(fā)裝置，包括旋轉(zhuǎn)式蒸發(fā)單元和驅(qū)動(dòng)單元，旋轉(zhuǎn)式蒸發(fā)單元包括中心旋轉(zhuǎn)支桿1、坩禍底板2、集成電極座3、絕緣板4及導(dǎo)電滑座5，其中坩禍底板2上環(huán)形設(shè)置有復(fù)數(shù)坩禍6，并且中心位置設(shè)有供中心旋轉(zhuǎn)支桿穿過(guò)的軸孔7，坩禍6內(nèi)設(shè)有加熱絲，集成電極座3包括圓筒套8和電極承載環(huán)體9，電極承載環(huán)體9設(shè)置于圓筒套8的底端外圍，并且其上貫穿設(shè)置有復(fù)數(shù)電極，導(dǎo)電滑座5與絕緣板4相固接，導(dǎo)電滑座5的設(shè)有中心軸孔、及貫穿導(dǎo)電滑座的用于與電極承載環(huán)體上復(fù)數(shù)電極相導(dǎo)通對(duì)接的復(fù)數(shù)導(dǎo)電電極。
[0031]中心旋轉(zhuǎn)支桿I的底端與4絕緣板相固接，中心旋轉(zhuǎn)支桿I依次穿過(guò)導(dǎo)電滑座5的中心軸孔、集成電極座3的圓筒套8、坩禍底板2的軸孔7，坩禍底板2與圓筒套8的頂部相固接，坩禍6內(nèi)的加熱絲穿過(guò)坩禍6的底部、坩禍底板2與電極承載環(huán)體9上的電極相導(dǎo)通連接，導(dǎo)電滑座5的頂端與圓筒套8的底面相對(duì)。其中，絕緣板為聚四氟乙烯絕緣板或氧化鋁陶瓷絕緣板。
[0032]驅(qū)動(dòng)單元包括電機(jī)10及受驅(qū)于電機(jī)10的驅(qū)動(dòng)軸的驅(qū)動(dòng)輪11;驅(qū)動(dòng)輪11與電極承載環(huán)體9的側(cè)壁相抵接，并且在驅(qū)動(dòng)輪11的驅(qū)動(dòng)作用下，電極承載環(huán)體9通過(guò)圓筒套驅(qū)動(dòng)坩禍底板2圍繞中心旋轉(zhuǎn)支桿I旋轉(zhuǎn)，在電極承載環(huán)體9轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，導(dǎo)電滑座上的導(dǎo)電電極依次與集成電極座上的電極順次接通，以便對(duì)不同的坩禍進(jìn)行電加熱。
[0033]對(duì)旋轉(zhuǎn)式蒸發(fā)單元進(jìn)行優(yōu)化，在坩禍底板2上設(shè)置有壓盤(pán)12，壓盤(pán)12的外圍環(huán)繞有用于對(duì)相鄰坩禍進(jìn)行阻隔復(fù)數(shù)隔板13。其中，壓盤(pán)12通過(guò)中心的孔用軸桿件與中間旋轉(zhuǎn)支桿相連接，壓盤(pán)通過(guò)軸桿可自由旋轉(zhuǎn)，其對(duì)聯(lián)接成一體的集成電極座與坩禍底板具有限位作用，不會(huì)因?yàn)轵?qū)動(dòng)輪的摩擦力而在旋轉(zhuǎn)過(guò)程中上升。
[0034]更細(xì)化的，坩禍底板2上環(huán)形等分設(shè)置有十二個(gè)坩禍，壓盤(pán)的外圍環(huán)繞有十二個(gè)隔板，隔板分別位于相鄰坩禍之間。隔板13為石英隔板或304不銹鋼隔板，隔板13的厚度為I?
1.5mm。坩禍底板2上設(shè)置有復(fù)數(shù)插槽，坩禍6的底部具有兩個(gè)引腳，坩禍6的引腳插接于插槽內(nèi)。另外，坩禍底板2優(yōu)選為圓形鋁盤(pán)。上述的復(fù)數(shù)坩禍6的敞口朝向共同聚焦于待鍍膜基片上。且坩禍底板的復(fù)數(shù)坩禍共用一石英晶振探頭，圖中省略了該標(biāo)記，通過(guò)聚焦實(shí)現(xiàn)石英晶振探頭的數(shù)量減少，極大的降低了成本。
[0035]對(duì)驅(qū)動(dòng)單元進(jìn)行細(xì)化描述，其還包括密封磁流體14，密封磁流體14包括外殼和穿接于外殼的軸桿，外殼通過(guò)一法蘭與電機(jī)相固接，驅(qū)動(dòng)輪11固定于軸桿的頂端，軸桿的底端通過(guò)一聯(lián)軸器與電機(jī)的驅(qū)動(dòng)軸相連。驅(qū)動(dòng)輪11上外壁至少設(shè)置有一環(huán)形凹槽15，環(huán)形凹槽15內(nèi)設(shè)置有O型圈16。通過(guò)O型圈能增加驅(qū)動(dòng)輪與電極承載環(huán)體9之間的摩擦力。
[0036]以下為本實(shí)用新型的具體運(yùn)動(dòng)過(guò)程及原理說(shuō)明:
[0037]首先電機(jī)通過(guò)聯(lián)軸器帶動(dòng)密封磁流體轉(zhuǎn)動(dòng)，密封磁流體通過(guò)中心軸帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)輪旋轉(zhuǎn)，驅(qū)動(dòng)輪與電極承載環(huán)體相抵接，通過(guò)摩擦力帶動(dòng)電極承截環(huán)體旋轉(zhuǎn)。壓盤(pán)、坩禍底板、電極承載環(huán)體、圓筒套聯(lián)結(jié)一體同時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)，其間集成電極座與導(dǎo)電滑座上的電極匹配對(duì)接對(duì)坩禍進(jìn)行供電。需要說(shuō)明的是，集成電極座上的電極數(shù)量為坩禍的2倍，本案的優(yōu)選實(shí)施例中集成電極座上具有24個(gè)電極，組成12對(duì)，而導(dǎo)電滑座的電極數(shù)量為4組。導(dǎo)電滑座固定，集成電極座旋轉(zhuǎn)時(shí)將其上的12對(duì)電極依次與導(dǎo)電滑座上的電極接通。復(fù)數(shù)坩禍進(jìn)行工作，通過(guò)敞口進(jìn)行聚焦鍍膜。
[0038]以上對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案進(jìn)行了充分描述，需要說(shuō)明的是，本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】并不受上述描述的限制，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員依據(jù)本實(shí)用新型的精神實(shí)質(zhì)在結(jié)構(gòu)、方法或功能等方面采用等同變換或者等效變換而形成的所有技術(shù)方案，均落在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種旋轉(zhuǎn)式有機(jī)材料蒸發(fā)裝置，其特征在于:包括旋轉(zhuǎn)式蒸發(fā)單元和驅(qū)動(dòng)單元， 所述旋轉(zhuǎn)式蒸發(fā)單元包括中心旋轉(zhuǎn)支桿、坩禍底板、集成電極座、絕緣板及導(dǎo)電滑座， 其中所述坩禍底板上環(huán)形設(shè)置有復(fù)數(shù)坩禍，并且中心位置設(shè)有供中心旋轉(zhuǎn)支桿穿過(guò)的軸孔，所述坩禍內(nèi)設(shè)有加熱絲，所述集成電極座包括圓筒套和電極承載環(huán)體，所述電極承載環(huán)體設(shè)置于所述圓筒套的底端外圍，并且其上貫穿設(shè)置有復(fù)數(shù)電極，所述導(dǎo)電滑座與所述絕緣板相固接，所述導(dǎo)電滑座的設(shè)有中心軸孔、及貫穿導(dǎo)電滑座的用于與所述電極承載環(huán)體上復(fù)數(shù)電極相導(dǎo)通對(duì)接的復(fù)數(shù)導(dǎo)電電極， 所述中心旋轉(zhuǎn)支桿的底端與所述絕緣板相固接，中心旋轉(zhuǎn)支桿依次穿過(guò)所述導(dǎo)電滑座的中心軸孔、所述集成電極座的圓筒套、坩禍底板的軸孔，所述坩禍底板與所述圓筒套的頂部相固接，所述坩禍內(nèi)的加熱絲穿過(guò)所述坩禍的底部、坩禍底板與所述電極承載環(huán)體上的電極相導(dǎo)通連接，所述導(dǎo)電滑座的頂端與所述圓筒套的底面相對(duì)； 所述驅(qū)動(dòng)單元包括電機(jī)及受驅(qū)于所述電機(jī)的驅(qū)動(dòng)軸的驅(qū)動(dòng)輪； 所述驅(qū)動(dòng)輪與所述電極承載環(huán)體的側(cè)壁相抵接，并且在所述驅(qū)動(dòng)輪的驅(qū)動(dòng)作用下，所述電極承載環(huán)體通過(guò)圓筒套驅(qū)動(dòng)坩禍底板圍繞中心旋轉(zhuǎn)支桿旋轉(zhuǎn)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種旋轉(zhuǎn)式有機(jī)材料蒸發(fā)裝置，其特征在于:所述坩禍底板上設(shè)置有壓盤(pán)，所述壓盤(pán)的外圍環(huán)繞有用于對(duì)相鄰坩禍進(jìn)行阻隔復(fù)數(shù)隔板。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種旋轉(zhuǎn)式有機(jī)材料蒸發(fā)裝置，其特征在于:所述坩禍底板上環(huán)形等分設(shè)置有十二個(gè)坩禍，所述壓盤(pán)的外圍環(huán)繞有十二個(gè)隔板，所述隔板分別位于相鄰坩禍之間。4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的一種旋轉(zhuǎn)式有機(jī)材料蒸發(fā)裝置，其特征在于:所述隔板為石英隔板或304不銹鋼隔板，所述隔板的厚度為I?1.5_。5.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3任意一項(xiàng)所述的一種旋轉(zhuǎn)式有機(jī)材料蒸發(fā)裝置，其特征在于:所述坩禍底板上設(shè)置有復(fù)數(shù)插槽，所述坩禍的底部具有兩個(gè)引腳，所述坩禍的引腳插接于所述插槽內(nèi)。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種旋轉(zhuǎn)式有機(jī)材料蒸發(fā)裝置，其特征在于:所述坩禍底板為圓形鋁盤(pán)。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種旋轉(zhuǎn)式有機(jī)材料蒸發(fā)裝置，其特征在于:所述復(fù)數(shù)坩禍的敞口朝向共同聚焦于待鍍膜基片上。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種旋轉(zhuǎn)式有機(jī)材料蒸發(fā)裝置，其特征在于:所述絕緣板為聚四氟乙烯絕緣板或氧化鋁陶瓷絕緣板。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種旋轉(zhuǎn)式有機(jī)材料蒸發(fā)裝置，其特征在于:所述驅(qū)動(dòng)單元還包括密封磁流體，所述密封磁流體包括外殼和穿接于所述外殼的軸桿，所述外殼通過(guò)一法蘭與電機(jī)相固接，所述驅(qū)動(dòng)輪固定于所述軸桿的頂端，所述軸桿的底端通過(guò)一聯(lián)軸器與所述電機(jī)的驅(qū)動(dòng)軸相連。10.根據(jù)權(quán)利要求1或9所述的一種旋轉(zhuǎn)式有機(jī)材料蒸發(fā)裝置，其特征在于:所述驅(qū)動(dòng)輪上外壁至少設(shè)置有一環(huán)形凹槽，所述環(huán)形凹槽內(nèi)設(shè)置有O型圈。
【文檔編號(hào)】C23C14/24GK205529004SQ201620247175
【公開(kāi)日】2016年8月31日
【申請(qǐng)日】2016年3月29日
【發(fā)明人】廖良生, 董首成, 武啟飛
【申請(qǐng)人】蘇州方昇光電裝備技術(shù)有限公司