乙二酸尾氣中氧化二氮分離提純裝置的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開一種乙二酸尾氣中氧化二氮分離提純裝置，包括洗滌凈化裝置、吸附凈化裝置、深冷液化裝置、精餾提純裝置。洗滌凈化裝置包括第一水洗裝置、第一堿洗裝置、第二水洗裝置、第二堿洗裝置。第一水洗裝置頂部連接第一堿洗裝置底部，第一堿洗裝置頂部連接第二堿洗裝置底部，第二堿洗裝置頂部連接第二水洗裝置底部，第二水洗裝置頂部連接吸附凈化裝置入口。洗滌凈化裝置的出口連接吸附凈化裝置的入口，吸附凈化裝置的出口連接深冷液化裝置的入口；深冷液化裝置的出口連接精餾提純裝置的入口，精餾提純裝置的出口輸出氧化二氮。本實(shí)用新型分離提純操作簡(jiǎn)單、工作效率高、提純精度高、能耗低。
【專利說(shuō)明】
乙二酸尾氣中氧化二氮分離提純裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及化工技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種乙二酸尾氣中氧化二氮分離提純裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]己二酸尾氣中含有較高濃度的N2O，現(xiàn)采用分解成02、N2的方式處理。針對(duì)現(xiàn)在生產(chǎn)高清晰度顯示屏的電子工業(yè)需要大量高純度(電子級(jí))N2O,將尾氣中部分的N2O分離、提純?yōu)殡娮蛹?jí)的產(chǎn)品液體N2O為亟待解決的問(wèn)題。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]有鑒于此，本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N乙二酸尾氣中氧化二氮分離提純裝置，該裝置分離提純操作簡(jiǎn)單、工作效率高、提純精度高、能耗低。
[0004]為解決以上技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案是一種乙二酸尾氣中氧化二氮分離提純裝置，包括洗滌凈化裝置、吸附凈化裝置、深冷液化裝置、精餾提純裝置；
[0005]所述洗滌凈化裝置包括第一水洗裝置、第一堿洗裝置、第二水洗裝置、第二堿洗裝置;所述第一水洗裝置頂部連接所述第一堿洗裝置底部，所述第一堿洗裝置頂部連接所述第二堿洗裝置底部，所述第二堿洗裝置頂部連接所述第二水洗裝置底部，所述第二水洗裝置頂部連接所述吸附凈化裝置入口 ；
[0006]所述洗滌凈化裝置的出口連接所述吸附凈化裝置的入口，所述吸附凈化裝置的出口連接所述深冷液化裝置的入口；所述深冷液化裝置的出口連接所述精餾提純裝置的入口，所述精餾提純裝置的出口輸出氧化二氮。
[0007]進(jìn)一步地，所述吸附凈化裝置為變溫吸附裝置。
[0008]進(jìn)一步地，所述第一堿洗裝置、第二堿洗裝置內(nèi)堿液為NaOH溶液。
[0009]進(jìn)一步地，所述洗滌凈化裝置的入口通入原料氣，所述原料氣的壓力為1.65MPa。
[0010]進(jìn)一步地，所述深冷液化裝置內(nèi)部設(shè)置有冷箱，所述冷箱的入口通過(guò)內(nèi)拋光的管線連接所述吸附凈化裝置的出口。
[0011]進(jìn)一步地，所述精餾提純裝置設(shè)置有過(guò)濾裝置，所述過(guò)濾裝置的過(guò)濾度為0.Ιμπι。
[0012]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是:
[0013]本實(shí)用新型所述提純裝置，將原料氣中的含有C02、N0、N02等酸性氣體，經(jīng)洗滌凈化裝置采用強(qiáng)堿液洗滌去除，水分等采用吸附干燥去除，其它02、N2、CO等低沸點(diǎn)雜質(zhì)組分，采用深冷液化分離，高純電子級(jí)的N2O采用低溫精餾提純得到。分離提純操作簡(jiǎn)單、工作效率高、提純精度高、能耗低。
【附圖說(shuō)明】
[0014]圖1是本實(shí)用新型乙二酸尾氣中氧化二氮分離提純裝置結(jié)構(gòu)示意圖；
[0015]圖2是本實(shí)用新型洗滌凈化裝置結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0016]為了使本領(lǐng)域的技術(shù)人員更好地理解本實(shí)用新型的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明。
[0017]參見圖1、圖2，本實(shí)用新型所描述的是一種乙二酸尾氣中氧化二氮分離提純裝置，包括壓縮機(jī)1、洗滌凈化裝置2、吸附凈化裝置3、深冷液化裝置4、精餾提純裝置5。其中，壓縮機(jī)I進(jìn)口通入原料氣，其出口連接洗滌凈化裝置2的入口；洗滌凈化裝置2的出口連接吸附凈化裝置3的入口，吸附凈化裝置3的出口連接深冷液化裝置4的入口 ；深冷液化裝置4的出口連接精餾提純裝置5的入口，精餾提純裝置5的出口輸出氧化二氮。
[0018]本實(shí)用新型所述的洗滌凈化裝置2包括所述洗滌凈化裝置包括第一水洗裝置21、第一堿洗裝置22、第二水洗裝置23、第二堿洗裝置24;所述第一水洗裝置21頂部連接所述第一堿洗裝置22底部，所述第一堿洗裝置22頂部連接所述第二堿洗裝置24底部，所述第二堿洗裝置24頂部連接所述第二水洗裝置23底部，所述第二水洗裝置23頂部連接所述吸附凈化裝置3入口。其中，第一堿洗裝置22與第二堿洗裝置24內(nèi)部的堿液為NaOH溶液。
[0019]本實(shí)用新型所述的吸附凈化裝置為變溫吸附裝置，所述壓縮機(jī)I的壓力為1.65MPa。所述深冷液化裝置4內(nèi)部設(shè)置有冷箱，所述冷箱的入口通過(guò)內(nèi)拋光的管線連接所述吸附凈化裝置3的出口。所述精餾提純裝置5設(shè)置有過(guò)濾裝置，所述過(guò)濾裝置的過(guò)濾度為
0.1um0
[0020]本實(shí)用新型氧化二氮分離提純的工藝流程具體如下:
[0021 ] 將0.1MPa的原料氣，經(jīng)過(guò)緩沖、壓縮至1.65MPa，輸入洗滌凈化裝置2，采用NaOH堿液，分三級(jí)循環(huán)洗滌，將氣體中⑶2、N0、N02等酸性氣體洗滌降至0.1ppm以下。堿洗后的氣體再采用脫鹽水進(jìn)一步洗滌，去除夾帶的堿液。
[0022]洗滌凈化后的氣體輸入吸附凈化裝置3，采用變溫吸附進(jìn)行純化，進(jìn)一步脫除氣體中的CO2、NO、NO2、H2O等雜質(zhì)，使氣體凈化達(dá)到工藝要求。變溫吸附采用2塔工藝，一塔吸附，一塔升溫吹掃再生，再生吹掃氣采用冷箱來(lái)的馳放氣，采用電加熱方式。變溫吸附利用分子篩強(qiáng)大的吸附能力，將氣體中雜質(zhì)去除到0.lppm。變溫吸附純化氣體再經(jīng)過(guò)精密過(guò)濾器，將氣體可能攜帶的雜質(zhì)組分過(guò)濾去除。
[0023]凈化完成的氣體采用內(nèi)拋光的潔凈管線進(jìn)入深冷液化裝置4的冷箱，氣體經(jīng)過(guò)換熱、液化、氣液分離，得到液體N2O,輸入精餾提純裝置。精餾提純裝置采用規(guī)整填料，經(jīng)精餾提純，得到滿足ULSI級(jí)的N2O的液體。液體再經(jīng)過(guò)0.Ιμπι的精密過(guò)濾，送往產(chǎn)品儲(chǔ)罐。
[0024]以上僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出的是，上述優(yōu)選實(shí)施方式不應(yīng)視為對(duì)本實(shí)用新型的限制，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍應(yīng)當(dāng)以權(quán)利要求所限定的范圍為準(zhǔn)。對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍內(nèi)，還可以做出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種乙二酸尾氣中氧化二氮分離提純裝置，其特征在于:包括洗滌凈化裝置、吸附凈化裝置、深冷液化裝置、精餾提純裝置； 所述洗滌凈化裝置包括第一水洗裝置、第一堿洗裝置、第二水洗裝置、第二堿洗裝置；所述第一水洗裝置頂部連接所述第一堿洗裝置底部，所述第一堿洗裝置頂部連接所述第二堿洗裝置底部，所述第二堿洗裝置頂部連接所述第二水洗裝置底部，所述第二水洗裝置頂部連接所述吸附凈化裝置入口 ； 所述洗滌凈化裝置的出口連接所述吸附凈化裝置的入口，所述吸附凈化裝置的出口連接所述深冷液化裝置的入口 ；所述深冷液化裝置的出口連接所述精餾提純裝置的入口，所述精餾提純裝置的出口輸出氧化二氮。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的乙二酸尾氣中氧化二氮分離提純裝置，其特征在于:所述吸附凈化裝置為變溫吸附裝置。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的乙二酸尾氣中氧化二氮分離提純裝置，其特征在于:所述第一堿洗裝置、第二堿洗裝置內(nèi)堿液為NaOH溶液。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的乙二酸尾氣中氧化二氮分離提純裝置，其特征在于:所述洗滌凈化裝置的入口通入原料氣，所述原料氣的壓力為1.65MPa。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的乙二酸尾氣中氧化二氮分離提純裝置，其特征在于:所述深冷液化裝置內(nèi)部設(shè)置有冷箱，所述冷箱的入口通過(guò)內(nèi)拋光的管線連接所述吸附凈化裝置的出□ O6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的乙二酸尾氣中氧化二氮分離提純裝置，其特征在于:所述精餾提純裝置設(shè)置有過(guò)濾裝置，所述過(guò)濾裝置的過(guò)濾度為0.?μπι。
【文檔編號(hào)】C01B21/22GK205442644SQ201620240545
【公開日】2016年8月10日
【申請(qǐng)日】2016年3月24日
【發(fā)明人】曾啟明, 李桃
【申請(qǐng)人】成都巨濤油氣工程有限公司