一種快速檢測黑心片的方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及硅棒切片檢測領(lǐng)域，具體是涉及一種快速檢測黑心片的方法。
【背景技術(shù)】
[0002]由于工藝、設(shè)備、輔材或操作的各種問題使單晶硅棒在生產(chǎn)過程當中或多或少的產(chǎn)生一部分黑心片，黑心片在后期電池片的生產(chǎn)上會帶來一定程度的效率損失。目前采用檢測黑心片的主要方法是采用進口儀器:WT-2000或者WT2000pvn系列檢測設(shè)備，采用整面測試，通過硅料切片整面的少子壽命分布圖來完成黑心片的檢測與判斷，此檢測方法優(yōu)點是直觀，可以通過檢測圖像一目了然的看出黑心片的存在，但是缺點是速度慢，環(huán)境要求高，檢測一片需要5到20分鐘時間，在大規(guī)模快速檢測上存在一定局限性，檢測成本較高。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是:如何提供一種簡單快速檢測黑心片的方法。
[0004]本發(fā)明所采用的技術(shù)方案是:一種快速檢測黑心片的方法，按照如下步驟進行: 步驟一、將待測硅棒進行切片；
步驟二、硅棒切片的電阻率，高于臨界值的為合格產(chǎn)品，低于臨界值的產(chǎn)品為不合格產(chǎn)品O
[0005]作為一種優(yōu)選方案:將娃棒切片一面緊貼金屬板，娃棒切片、金屬板、電源、電流表、金屬探針形成一個串聯(lián)回路，探針放置于硅棒切片另一面上，通過探針測量硅棒切片多個位置硅棒切片電阻率，計算硅棒切片多個位置的電阻率高于臨界值的比率，如果比率小于等于10%，該硅棒切片為良好切片，如果比率大于10%，小于等于40%，該硅棒切片為輕微黑心片，如果比率大于40%，該硅棒切片為嚴重黑心片。
[0006]作為一種優(yōu)選方案:金屬探針有多根，金屬探針在5mm的半徑圓上，組成三個探針同心圓，金屬探針通過探針固定裝置固定，每個探針都串聯(lián)一個電流表，然后和硅棒切片、金屬板、電源構(gòu)成一個閉合回路，電流表都信號連接處理裝置，處理裝置連接顯示屏。
[0007]作為一種優(yōu)選方式，硅棒切片的電阻率測量過程通過一種快速檢測黑心片裝置完成:包括機架、安裝在機架上的夾緊裝置，夾緊裝置上一端安裝一塊金屬板，另一端安裝一個探針固定裝置，探針固定裝置上安裝有多根金屬探針，金屬探針集中在5mm的半徑圓上，每個探針都串聯(lián)一個電流表，然后和娃棒切片、金屬板、電源構(gòu)成一個閉合回路，電流表都信號連接處理裝置，處理裝置連接顯示屏；使用過程中把夾緊裝置打開，放入硅棒切片合上夾緊裝置，然后通過顯示屏觀察，硅棒切片按照良好切片、輕微黑心片、嚴重黑心片進行分類。
[0008]本發(fā)明的有益效果是:本發(fā)明能夠快速簡便的區(qū)別黑心片，節(jié)省了成本，提高了工作效率；對環(huán)境要求不是很高，可以采用現(xiàn)場生產(chǎn)現(xiàn)場測試的方法，降低了測試周期；節(jié)省材料，降低能源消耗。
【附圖說明】
[0009]圖1是本發(fā)明的娃棒切片良好切片娃片少子壽命分布圖；
圖2是本發(fā)明的硅棒切片輕微黑心片硅片少子壽命分布圖；
圖3是本發(fā)明的硅棒切片嚴重黑心片硅片少子壽命分布圖；
圖4探針固定裝置上探針分布圖；
圖1、2、3中顏色越深代表電阻越大。
[0010]圖中，1、探針，2、外圈同心圓，3、中間同心圓，4、內(nèi)圈同心圓。
【具體實施方式】
[0011 ] 將待測硅棒進行切片，切片的厚度為3-5mm。
[0012]將硅棒切片放入快速檢測黑心片裝置進行硅棒切片的電阻率，高于臨界值的為合格產(chǎn)品，低于臨界值的產(chǎn)品為不合格產(chǎn)品。臨界值電阻率一般取6.00
[0013]快速檢測黑心片裝置包括機架、安裝在機架上的夾緊裝置，夾緊裝置上一端安裝一塊金屬板，另一端安裝一個探針固定裝置(如圖4所示)，探針固定裝置上安裝有多根金屬探針，金屬探針集中在5mm的半徑圓上，金屬探針組成3個同心圓，同心圓上的探針沿圓周均勾分布，每個探針都串聯(lián)一個電流表，然后和娃棒切片、金屬板、電源構(gòu)成一個閉合回路，電流表都信號連接處理裝置，處理裝置連接顯示屏；使用過程中把夾緊裝置打開，放入硅棒切片合上夾緊裝置，然后通過顯示屏觀察，硅棒切片按照良好切片、輕微黑心片、嚴重黑心片進行分類。處理裝置為一塊處理芯片，計算硅棒切片多個位置的電阻率高于臨界值的比率，如果比率小于等于10%，該硅棒切片為良好切片，如果比率大于10%，小于等于40%，該硅棒切片為輕微黑心片，如果比率大于40%，該硅棒切片為嚴重黑心片。
[0014]利用硅片全功能掃描儀(WT-2000PVN)對分類的硅片進行掃描，如圖1、圖2、圖3所示，得出硅片少子壽命分布圖，即B— O復(fù)合體的路線圖同心圓(黑心片圖)。主要測試硅片少子壽命大小及在整個硅片表面的分布圖。同時觀察黑心片的存在狀況。
[0015]將所測硅片的少子壽命與電阻率與分布圖進行對應(yīng)，找出合格片與不合格片電阻率的臨界值，做好記錄。結(jié)果發(fā)現(xiàn)本發(fā)明方法測量準確。
【主權(quán)項】
1.一種快速檢測黑心片的方法，其特征在于按照如下步驟進行: 步驟一、將待測硅棒進行切片； 步驟二、硅棒切片的電阻率，高于臨界值的為合格產(chǎn)品，低于臨界值的產(chǎn)品為不合格產(chǎn)品O
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種快速檢測黑心片的方法，其特征在于:硅棒切片的電阻率測量過程為:將硅棒切片一面緊貼金屬板，硅棒切片、金屬板、電源、電流表、金屬探針形成一個串聯(lián)回路，探針放置于硅棒切片另一面上，通過探針測量硅棒切片多個位置硅棒切片電阻率，計算硅棒切片多個位置的電阻率高于臨界值的比率，如果比率小于等于10%，該硅棒切片為良好切片，如果比率大于10%，小于等于40%，該硅棒切片為輕微黑心片，如果比率大于40%，該硅棒切片為嚴重黑心片。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種快速檢測黑心片的方法，其特征在于:金屬探針有多根，金屬探針在5mm的半徑圓上，組成三個探針同心圓，金屬探針通過探針固定裝置固定，每個探針都串聯(lián)一個電流表，然后和娃棒切片、金屬板、電源構(gòu)成一個閉合回路，電流表都信號連接處理裝置，處理裝置連接顯示屏。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種快速檢測黑心片的方法，其特征在于:硅棒切片的電阻率測量過程通過一種快速檢測黑心片裝置完成:包括機架、安裝在機架上的夾緊裝置，夾緊裝置上一端安裝一塊金屬板，另一端安裝一個探針固定裝置，探針固定裝置上安裝有多根金屬探針，金屬探針集中在5_的半徑圓上，每個探針都串聯(lián)一個電流表，然后和硅棒切片、金屬板、電源構(gòu)成一個閉合回路，電流表都信號連接處理裝置，處理裝置連接顯示屏；使用過程中把夾緊裝置打開，放入硅棒切片合上夾緊裝置，然后通過顯示屏觀察，硅棒切片按照良好切片、輕微黑心片、嚴重黑心片進行分類。
【專利摘要】本發(fā)明涉及硅棒切片檢測領(lǐng)域，具體是涉及一種快速檢測黑心片的方法。一種快速檢測黑心片的方法，按照如下步驟進行：步驟一、將待測硅棒進行切片；步驟二、硅棒切片的電阻率，高于臨界值的為合格產(chǎn)品，低于臨界值的產(chǎn)品為不合格產(chǎn)品。本發(fā)明的有益效果是：本發(fā)明能夠快速簡便的區(qū)別黑心片，節(jié)省了成本，提高了工作效率；對環(huán)境要求不是很高，可以采用現(xiàn)場生產(chǎn)現(xiàn)場測試的方法，降低了測試周期；節(jié)省材料，降低能源消耗。
【IPC分類】G01N27-20
【公開號】CN104677953
【申請?zhí)枴緾N201510089111
【發(fā)明人】劉進, 董建明, 羅曉賓, 董皓, 張之棟
【申請人】山西潞安太陽能科技有限責任公司
【公開日】2015年6月3日
【申請日】2015年2月27日