顆粒收集裝置及尾氣處理系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明實(shí)施例公開(kāi)了一種顆粒收集裝置以及設(shè)有該顆粒收集裝置的尾氣處理系統(tǒng)，屬于半導(dǎo)體加工【技術(shù)領(lǐng)域】。解決了現(xiàn)有的顆粒收集裝置難以有效地收集尾氣中的顆粒物，導(dǎo)致進(jìn)入下一階段的尾氣處理裝置中的尾氣仍然具有很高顆粒度的技術(shù)問(wèn)題。該顆粒收集裝置，包括管道本體和濾網(wǎng)；所述管道本體的下方為進(jìn)氣口，上方為出氣口；所述濾網(wǎng)設(shè)置于所述管道本體的內(nèi)部，并且罩住所述出氣口。本發(fā)明用于對(duì)半導(dǎo)體刻蝕工藝中產(chǎn)生的尾氣進(jìn)行處理。
【專利說(shuō)明】
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明屬于半導(dǎo)體加工【技術(shù)領(lǐng)域】，具體涉及一種顆粒收集裝置以及設(shè)有該顆粒收 集裝置的尾氣處理系統(tǒng)。 顆粒收集裝置及尾氣處理系統(tǒng)

【背景技術(shù)】
[0002] 在半導(dǎo)體的加工過(guò)程中，刻蝕工藝是其中一項(xiàng)重要工藝。半導(dǎo)體的刻蝕工藝會(huì)伴 隨產(chǎn)生大量尾氣，并且所產(chǎn)生的尾氣中含有許多顆粒物，因此需要對(duì)刻蝕工藝產(chǎn)生的尾氣 進(jìn)行處理。
[0003] 目前的尾氣處理系統(tǒng)包括分子泵、干泵和顆粒收集裝置等部分。其中，顆粒收集裝 置主要由管道本體構(gòu)成，管道本體的下方為進(jìn)氣口，上方為出氣口，在刻蝕工藝的工藝腔中 產(chǎn)生的尾氣由分子泵和干泵抽出，通過(guò)進(jìn)氣口處連接的管路進(jìn)入顆粒收集裝置，并且顆粒 收集裝置的管道本體比進(jìn)氣口處連接的管路的直徑粗很多，所以尾氣進(jìn)入管道本體之后氣 流的流速會(huì)明顯減慢，使尾氣中的顆粒物沉積下來(lái)；另外，管道本體外部的大氣流動(dòng)還能夠 對(duì)尾氣起到冷卻作用。因此，尾氣中的顆粒物在顆粒收集裝置中主要沉積在管道本體的底 部，并通過(guò)定期打開(kāi)顆粒收集裝置底部的盲板對(duì)其內(nèi)部沉積的顆粒物進(jìn)行清理。但是，本發(fā) 明人在實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的過(guò)程中發(fā)現(xiàn)：現(xiàn)有的顆粒收集裝置難以有效的收集尾氣中的顆粒物， 導(dǎo)致進(jìn)入下一階段的尾氣處理裝置中的尾氣仍然具有很高顆粒度。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004] 本發(fā)明實(shí)施例提供了一種顆粒收集裝置以及設(shè)有該顆粒收集裝置的尾氣處理系 統(tǒng)，解決了現(xiàn)有的顆粒收集裝置難以有效的收集尾氣中的顆粒物，導(dǎo)致進(jìn)入下一階段的尾 氣處理裝置中的尾氣仍然具有很高顆粒度的技術(shù)問(wèn)題。
[0005] 為達(dá)到上述目的，本發(fā)明的實(shí)施例采用如下技術(shù)方案：
[0006] 一種顆粒收集裝置，包括管道本體和濾網(wǎng)；
[0007] 所述管道本體的下方為進(jìn)氣口，上方為出氣口；
[0008] 所述濾網(wǎng)設(shè)置于所述管道本體的內(nèi)部，并且罩住所述出氣口。
[0009] 優(yōu)選的，所述濾網(wǎng)的網(wǎng)口焊接在焊接法蘭上，所述焊接法蘭可拆卸地固定在所述 管道本體的出氣口。
[0010] 進(jìn)一步，所述濾網(wǎng)外部設(shè)置有支撐件，所述支撐件也焊接在所述焊接法蘭上。
[0011] 優(yōu)選的，所述支撐件為帶有沖孔的鋼板。
[0012] 優(yōu)選的，所述濾網(wǎng)為80目濾網(wǎng)。
[0013] 進(jìn)一步，所述管道本體中設(shè)置有噴淋裝置。
[0014] 進(jìn)一步，所述管道本體的內(nèi)壁和/或外壁上設(shè)置有冷卻管路。
[0015] 一種尾氣處理系統(tǒng)，用于處理半導(dǎo)體刻蝕工藝，該尾氣處理系統(tǒng)包括干泵和上述 顆粒收集裝置；
[0016] 所述干泵用于抽出半導(dǎo)體刻蝕工藝產(chǎn)生的尾氣；
[0017] 所述顆粒收集裝置的管道本體的進(jìn)氣口連接至所述干泵，所述管道本體的出氣口 連接至下一階段的尾氣處理裝置。
[0018] 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明所提供的上述技術(shù)方案具有如下優(yōu)點(diǎn)：因?yàn)闉V網(wǎng)是從顆 粒收集裝置的管道本體內(nèi)部罩住出氣口，所以當(dāng)尾氣從進(jìn)氣口流向出氣口時(shí)，尾氣中的絕 大部分顆粒物都會(huì)被濾網(wǎng)擋住，而留在管道本體中，僅有小部分粒徑非常小的顆粒物能通 過(guò)濾網(wǎng)。因此，本發(fā)明提供的顆粒收集裝置能夠有效的過(guò)濾掉尾氣中的顆粒物，使進(jìn)入下一 階段的尾氣處理裝置中的尾氣的顆粒度顯著降低。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0019] 為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn) 有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹。
[0020] 圖1為本發(fā)明的實(shí)施例1所提供的顆粒收集裝置的示意圖；
[0021] 圖2為圖1中A部分的放大示意圖；
[0022] 圖3為本發(fā)明的實(shí)施例1所提供的顆粒收集裝置的濾網(wǎng)組件的示意圖；
[0023] 圖4為本發(fā)明的實(shí)施例2所提供的顆粒收集裝置的示意圖；
[0024] 圖5為本發(fā)明的實(shí)施例3所提供的顆粒收集裝置的示意圖；
[0025] 圖6為本發(fā)明的實(shí)施例3所提供的顆粒收集裝置的另一示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0026] 下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完 整地描述。
[0027] 實(shí)施例1 :
[0028] 如圖1所示，本發(fā)明實(shí)施例所提供的顆粒收集裝置包括管道本體1和濾網(wǎng)2,用于 對(duì)半導(dǎo)體刻蝕工藝中產(chǎn)生的尾氣進(jìn)行處理。管道本體1的下方為進(jìn)氣口，通過(guò)一段管路3 連接至干泵（圖中未示出），干泵用于抽出刻蝕工藝的工藝腔中產(chǎn)生的尾氣。管道本體1的 上方為出氣口，連接至下一階段的尾氣處理裝置。濾網(wǎng)2設(shè)置于管道本體1的內(nèi)部，并且罩 住出氣口。本發(fā)明實(shí)施例中的濾網(wǎng)2,優(yōu)選為80目規(guī)格的濾網(wǎng)，即濾網(wǎng)2的孔徑在0. 2_以 內(nèi)。
[0029] 因?yàn)闉V網(wǎng)2是從顆粒收集裝置的管道本體1內(nèi)部罩住出氣口，所以當(dāng)尾氣從進(jìn)氣 口流向出氣口時(shí)，尾氣中的絕大部分顆粒物都會(huì)被濾網(wǎng)2擋住，而留在管道本體1中，僅有 小部分粒徑非常小的顆粒物能通過(guò)濾網(wǎng)2。因此，本發(fā)明提供的顆粒收集裝置能夠有效的過(guò) 濾掉尾氣中的顆粒物，使進(jìn)入下一階段的尾氣處理裝置中的尾氣的顆粒度顯著降低。
[0030] 作為一個(gè)優(yōu)選方案，如圖2所示，濾網(wǎng)2的網(wǎng)口焊接在焊接法蘭4上，焊接法蘭4 可拆卸地固定在管道本體1的出氣口，具體可通過(guò)螺栓41和螺母42將焊接法蘭4密封固 定在出氣口外圍的法蘭43上。這樣能夠方便于定期拆卸濾網(wǎng)2,對(duì)濾網(wǎng)2上沉積的顆粒物 進(jìn)行清理，同時(shí)也可以打開(kāi)管道本體1底部的盲板5,對(duì)管道本體1內(nèi)部顆粒物進(jìn)行清理。
[0031] 進(jìn)一步，如圖3所示，濾網(wǎng)2外部還設(shè)置有支撐件6,支撐件6也焊接在焊接法蘭4 上，支撐件6具體可以為帶有沖孔的鋼板。濾網(wǎng)2、支撐件6和焊接法蘭4就構(gòu)成了濾網(wǎng)組 件，作為一個(gè)整體安裝固定在管道本體1的出氣口。因?yàn)闉V網(wǎng)2的厚度和強(qiáng)度較低，所以支 撐件6能夠?qū)V網(wǎng)2起到支撐固定作用。另外，還可以使濾網(wǎng)2過(guò)濾的顆粒物主要集中在 支撐件6的沖孔處，以及濾網(wǎng)2與支撐件6之間，不僅方便顆粒物的清理，還可以避免清理 顆粒物時(shí)，顆粒收集裝置內(nèi)部有大塊顆粒物墜落產(chǎn)生火花的現(xiàn)象發(fā)生。
[0032] 實(shí)施例2 :
[0033] 本實(shí)施例與實(shí)施例1基本相同，并且在實(shí)施例1的基礎(chǔ)上進(jìn)行了改進(jìn)。如圖4所 示，本實(shí)施例中，管道本體1中設(shè)置有噴淋裝置7。通過(guò)調(diào)整適當(dāng)?shù)膰娏芊秶瑖娏苎b置7噴 出的水珠能夠?qū)︻w粒物起到的沉降作用，同時(shí)水珠還能夠在沉降過(guò)程中對(duì)尾氣起到一定的 冷卻作用。
[0034] 實(shí)施例3 :
[0035] 本實(shí)施例與實(shí)施例1基本相同，并且在實(shí)施例1的基礎(chǔ)上進(jìn)行了改進(jìn)。如圖5和 圖6所示，本實(shí)施例中，管道本體1的內(nèi)壁或外壁上設(shè)置有冷卻管路8,這樣可以利用冷卻管 路8對(duì)顆粒收集裝置內(nèi)的尾氣起到冷卻的作用。如圖5所示，如果在管道本體1的內(nèi)壁上 設(shè)置冷卻管路8,顆粒物將會(huì)較為集中地沉積在冷卻管路8的管壁上。如圖6所示，如果在 管道本體1的外壁上設(shè)置冷卻管路8,那么顆粒物也會(huì)更多的沉積在管道本體1的內(nèi)壁上， 而較少的落到管道本體1的底部。
[0036] 當(dāng)然，在其他實(shí)施方式中，也可以在管道本體的內(nèi)壁和外壁上都設(shè)置冷卻管路，并 且冷卻管路還可以與實(shí)施例2中的噴淋裝置相結(jié)合，共用一套水循環(huán)系統(tǒng)。
[0037] 實(shí)施例4 :
[0038] 一種尾氣處理系統(tǒng)，用于處理半導(dǎo)體刻蝕工藝，該尾氣處理系統(tǒng)主要包括干泵和 上述實(shí)施例1至3中的任意一種顆粒收集裝置。干泵用于抽出半導(dǎo)體刻蝕工藝產(chǎn)生的尾氣， 顆粒收集裝置的管道本體的進(jìn)氣口通過(guò)一段管路連接至干泵，管道本體的出氣口則連接至 下一階段的尾氣處理裝置。
[0039] 由于本發(fā)明實(shí)施例與上述本發(fā)明實(shí)施例所提供的顆粒收集裝置具有相同的技術(shù) 特征，所以也能產(chǎn)生相同的技術(shù)效果，解決相同的技術(shù)問(wèn)題。
[0040] 以上所述，僅為本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】，但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此，任何 熟悉本【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替換，都應(yīng) 涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)以權(quán)利要求的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1. 一種顆粒收集裝置，其特征在于：包括管道本體和濾網(wǎng)； 所述管道本體的下方為進(jìn)氣口，上方為出氣口； 所述濾網(wǎng)設(shè)置于所述管道本體的內(nèi)部，并且罩住所述出氣口。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的顆粒收集裝置，其特征在于：所述濾網(wǎng)的網(wǎng)口焊接在焊接法 蘭上，所述焊接法蘭可拆卸地固定在所述管道本體的出氣口。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的顆粒收集裝置，其特征在于：所述濾網(wǎng)外部設(shè)置有支撐件，所 述支撐件焊接在所述焊接法蘭上。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的顆粒收集裝置，其特征在于：所述支撐件為帶有沖孔的鋼板。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的顆粒收集裝置，其特征在于：所述濾網(wǎng)為80目濾網(wǎng)。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的顆粒收集裝置，其特征在于：所述管道本體中設(shè)置有噴淋裝 置。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的顆粒收集裝置，其特征在于：所述管道本體的內(nèi)壁和/或外 壁上設(shè)置有冷卻管路。
8. -種尾氣處理系統(tǒng)，用于處理半導(dǎo)體刻蝕工藝，其特征在于：包括干泵和權(quán)利要求1 至7任一項(xiàng)所述的顆粒收集裝置； 所述干泵用于抽出半導(dǎo)體刻蝕工藝產(chǎn)生的尾氣； 所述顆粒收集裝置的管道本體的進(jìn)氣口連接至所述干泵，所述管道本體的出氣口連接 至下一階段的尾氣處理裝置。
【文檔編號(hào)】B01D46/24GK104107601SQ201310141393
【公開(kāi)日】2014年10月22日 申請(qǐng)日期:2013年4月22日 優(yōu)先權(quán)日:2013年4月22日
【發(fā)明者】侯寧 申請(qǐng)人:北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司