尾氣管路加熱裝置的制造方法
【專利摘要】本實用新型提出了一種尾氣管路加熱裝置，包括熱源排風管、加熱外管、泄壓管路、泄壓閥、密封件及貼片熱敏；尾氣管路位于加熱外管內(nèi)，并保持預定距離；加熱外管一端連接熱源排風管，另一端接排氣端；泄壓管路連接加熱外管；泄壓閥設于泄壓管路上；密封件密封尾氣管路和加熱外管連接處；貼片熱敏緊貼尾氣管路。在尾氣管路外套上加熱外管，加熱外管的一端連接一熱源排風管，熱源排風管為設備機臺自帶部件，且能夠提供高溫氣體，加熱外管可以通過熱源排風管中提供的高溫氣體對尾氣管路進行加熱處理，且無需增加額外部件，具有成本低廉，易于實現(xiàn)等優(yōu)點。
【專利說明】
尾氣管路加熱裝置
技術領域
[0001]本實用新型涉及半導體制造領域，尤其涉及一種尾氣管路加熱裝置。
【背景技術】
[0002]在半導體制造領域，設備機臺會由栗對設備機臺的反應腔室持續(xù)進行反應殘留物和反應尾氣的抽出，從而排出殘留物和反應尾氣，保證每一次工藝反應的反應環(huán)境的合格。抽出的殘留物和氣體通常需要經(jīng)過尾氣管路排出。通常情況下，殘留物和反應尾氣均需要維持在一定溫度以上，若溫度變?yōu)槭覝?，則會導致殘留物和反應尾氣結(jié)晶或者形成粉末聚集在尾氣管路中，堵塞尾氣管路。因此，需要對尾氣管路進行加熱，以防止其被堵塞。
[0003]因此，無論是常壓還是減壓系統(tǒng)，為了減少尾氣管路的定期維護(PM)次數(shù)，延長使用周期，通常都是采用包裹加熱帶(heating jacket)對尾氣管路進行加熱的方式。加熱帶一般由控制器、包裹層和加熱組件構(gòu)成。通常，控制器費用很昂貴，而且需要額外提供電源，使用成本也較高。由于尾氣管路通常較長，導致成本額外高昂，不利于進行降低生產(chǎn)成本。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]本實用新型的目的在于提供一種尾氣管路加熱裝置，能夠節(jié)約成本，并且實現(xiàn)簡單。
[0005]為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型提出了一種尾氣管路加熱裝置，包括:熱源排風管、加熱外管、泄壓管路、泄壓閥、密封件及貼片熱敏;其中，尾氣管路位于所述加熱外管內(nèi)，并保持預定距離;所述加熱外管一端連接所述熱源排風管，另一端接排氣端;所述泄壓管路連接所述加熱外管;所述泄壓閥設于所述泄壓管路上;所述密封件密封所述尾氣管路和加熱外管連接處;所述貼片熱敏緊貼所述尾氣管路。
[0006]進一步的，在所述的尾氣管路加熱裝置中，所述加熱外管通過第一管路連接所述熱源排風管。
[0007]進一步的，在所述的尾氣管路加熱裝置中，所述第一管路上設有第一閥門。
[0008]進一步的，在所述的尾氣管路加熱裝置中，所述加熱外管通過第二管路連接排氣端。
[0009]進一步的，在所述的尾氣管路加熱裝置中，所述第二管路上設有第二閥門。
[0010]進一步的，在所述的尾氣管路加熱裝置中，所述加熱外管內(nèi)壁上設有鋁箔層。
[0011]進一步的，在所述的尾氣管路加熱裝置中，所述加熱外管的管徑大于所述尾氣管路的管徑。
[0012]與現(xiàn)有技術相比，本實用新型的有益效果主要體現(xiàn)在:在尾氣管路外套上加熱外管，加熱外管的一端連接一熱源排風管，熱源排風管為設備機臺自帶部件，且能夠提供高溫氣體，加熱外管可以通過熱源排風管中提供的高溫氣體對尾氣管路進行加熱處理，且無需增加額外部件，具有成本低廉，易于實現(xiàn)等優(yōu)點。
【附圖說明】
[0013]圖1為本實用新型一實施例中尾氣管路加熱裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0014]下面將結(jié)合示意圖對本實用新型的尾氣管路加熱裝置進行更詳細的描述，其中表示了本實用新型的優(yōu)選實施例，應該理解本領域技術人員可以修改在此描述的本實用新型，而仍然實現(xiàn)本實用新型的有利效果。因此，下列描述應當被理解為對于本領域技術人員的廣泛知道，而并不作為對本實用新型的限制。
[0015]為了清楚，不描述實際實施例的全部特征。在下列描述中，不詳細描述公知的功能和結(jié)構(gòu)，因為它們會使本實用新型由于不必要的細節(jié)而混亂。應當認為在任何實際實施例的開發(fā)中，必須做出大量實施細節(jié)以實現(xiàn)開發(fā)者的特定目標，例如按照有關系統(tǒng)或有關商業(yè)的限制，由一個實施例改變?yōu)榱硪粋€實施例。另外，應當認為這種開發(fā)工作可能是復雜和耗費時間的，但是對于本領域技術人員來說僅僅是常規(guī)工作。
[0016]在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本實用新型。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本實用新型的優(yōu)點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。
[0017]請參考圖1，在本實施例中，提出了一種尾氣管路加熱裝置，包括:熱源排風管10、加熱外管20、泄壓管路40、泄壓閥41、密封件80及貼片熱敏70;其中，尾氣管路30位于所述加熱外管20內(nèi)，并保持預定距離，即所述加熱外管20的管徑大于所述尾氣管路30的管徑;所述加熱外管20—端連接所述熱源排風管10，另一端接排氣端90;所述泄壓管路40連接所述加熱外管20;所述泄壓閥41設于所述泄壓管路40上;所述密封件80密封所述尾氣管路30和加熱外管20連接處;所述貼片熱敏70緊貼所述尾氣管路30。
[0018]在本實施例中，所述加熱外管20通過第一管路50連接所述熱源排風管10。所述第一管路50上設有第一閥門51。所述加熱外管20通過第二管路60連接排氣端90，排氣端90可以為廠務排氣端。所述第二管路60上設有第二閥門61。第一閥門51和第二閥門61分別控制第一管路50和第二管路60的通斷。
[0019]在本實施例中，所述熱源排風管10為設備機臺自帶管路，其可以提供溫度在1100攝氏度甚至更高的高溫氣體。將其連接至加熱外管20中，高溫氣體能夠?qū)ξ挥诩訜嵬夤?0中的尾氣管路30進行加熱處理，維持尾氣管路30的溫度。為了防止熱擴散，在所述加熱外管20內(nèi)壁上設有鋁箔層。
[0020]為了能夠控制加熱外管20中高溫氣體的流量，可以在尾氣管路30側(cè)壁上緊貼一貼片熱敏70，從而能夠監(jiān)測尾氣管路30的溫度，避免其溫度過高。當溫度達到預定溫度時，可以通過關閉第一閥門51，避免放入更多的高溫氣體至加熱外管20中對尾氣管路30進行加熱；當溫度較低時，則可以打開第一閥門51，放入更多的高溫氣體至加熱外管20中對尾氣管路30進行加熱。
[0021]其中，泄壓管路40—方面用于排泄加熱外管20中過多的高溫氣體，另一方面，當加熱外管20中存在一定的液體或水殘留時，可以通過泄壓管路40排出。
[0022]綜上，在本實用新型實施例提供的尾氣管路加熱裝置中，在尾氣管路外套上加熱外管，加熱外管的一端連接一熱源排風管，熱源排風管為設備機臺自帶部件，且能夠提供高溫氣體，加熱外管可以通過熱源排風管中提供的高溫氣體對尾氣管路進行加熱處理，且無需增加額外部件，具有成本低廉，易于實現(xiàn)等優(yōu)點。
[0023]上述僅為本實用新型的優(yōu)選實施例而已，并不對本實用新型起到任何限制作用。任何所屬技術領域的技術人員，在不脫離本實用新型的技術方案的范圍內(nèi)，對本實用新型揭露的技術方案和技術內(nèi)容做任何形式的等同替換或修改等變動，均屬未脫離本實用新型的技術方案的內(nèi)容，仍屬于本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種尾氣管路加熱裝置，其特征在于，包括:熱源排風管、加熱外管、泄壓管路、泄壓閥、密封件及貼片熱敏;其中，尾氣管路位于所述加熱外管內(nèi)，并保持預定距離;所述加熱外管一端連接所述熱源排風管，另一端接排氣端;所述泄壓管路連接所述加熱外管;所述泄壓閥設于所述泄壓管路上;所述密封件密封所述尾氣管路和加熱外管連接處;所述貼片熱敏緊貼所述尾氣管路。2.如權(quán)利要求1所述的尾氣管路加熱裝置，其特征在于，所述加熱外管通過第一管路連接所述熱源排風管。3.如權(quán)利要求2所述的尾氣管路加熱裝置，其特征在于，所述第一管路上設有第一閥門。4.如權(quán)利要求1所述的尾氣管路加熱裝置，其特征在于，所述加熱外管通過第二管路連接排氣端。5.如權(quán)利要求4所述的尾氣管路加熱裝置，其特征在于，所述第二管路上設有第二閥門。6.如權(quán)利要求1所述的尾氣管路加熱裝置，其特征在于，所述加熱外管內(nèi)壁上設有鋁箔層。7.如權(quán)利要求1所述的尾氣管路加熱裝置，其特征在于，所述加熱外管的管徑大于所述尾氣管路的管徑。
【文檔編號】F24H3/00GK205716436SQ201620623889
【公開日】2016年11月23日
【申請日】2016年6月22日
【發(fā)明人】趙旭良, 牛景豪
【申請人】上海新昇半導體科技有限公司