專利名稱：石英管清洗臺的超純水回收管線系統的制作方法
技術領域：
本發(fā)明關于一種石英管清洗臺的管線系統，尤其是指一種石英管清洗臺的超純水回收管線系統。
背景技術：
在半導體制程中，石英管清洗臺(tube cleaner)為一種常用以清洗石英管的機臺。請參閱圖1，其為傳統的石英管清洗臺結構示意圖。如圖1所示，傳統的石英管清洗臺1包括一超純水清洗槽(ultra pure water rinse bath)11、第一化學清洗槽(first chemical bath)12、第二化學清洗槽(second chemical bath)13，以及一排水管線配置系統14。其中，該超純水清洗槽11提供一潔凈的超純水(ultrapure water.UPW)以清洗石英管，該第一化學清洗槽12與第二化學清洗槽13則分別提供所需的酸液(例如氟酸HF)，以清洗石英管。該排水管線配置系統14則包括一酸/腐蝕性廢水排水管110、第一化學清洗槽排水管120、第二化學清洗槽排水管130、一濃酸排水管140、第一氣閥150、第二氣閥160、第三氣閥170與第四氣閥180，其中該酸/腐蝕性廢水排水管具有第一分枝管1101。
請再參閱圖1。如圖1所示，該酸/腐蝕性廢水排水管110的一端與該超純水清洗槽11相連接，另一端則導引至系統的收集槽(未圖示)，以酸堿中和系統。該酸/腐蝕性廢水排水管110上鄰近于超純水清洗槽11處設置該第一氣閥150，另外于該第一氣閥150與該超純水清洗槽11之間則連接有該第一分枝管1101，其中該第一分枝管1101于鄰近其與該酸/腐蝕性廢水排水管110連接處設置有該第二氣閥160，另一端則連接至濃酸排水管140。藉由控制該第一氣閥150與第二氣閥160的開與關，則可將超純水清洗槽11所排放的廢液視其濃度而被調整排放至酸/腐蝕性廢水排水管110或濃酸排水管140，以利系統的利用。
請再參閱第圖1。如圖1所示，該第一化學清洗槽排水管120的一端與該第一化學清洗槽12連接，另一端則與該濃酸排水管140相連接，用以排放該第一化學清洗槽12的廢液至該濃酸排水管140。另外，該第二化學清洗槽排水管130的一端與該第二化學清洗槽13連接，另一端則與該濃酸排水管140相連接，以排放該第二化學清洗槽13的廢液至該濃酸排水管140。為控制廢液的排放，該第三排氣閥170與第四排氣閥180則分別設置于該第一化學清洗槽排水管120與該第二化學清洗槽排水管130上，藉以控制廢液排放至該濃酸排水管140。
配合上述石英管清洗臺系統結構，其操作流程如下首先，將石英管于該超純水槽11中進行預清洗步驟，于預清洗后將該第一氣閥150開啟，其他氣閥關閉，則由該超純水清洗槽11所排出的酸/腐蝕性廢水便可經由酸/腐蝕性廢水排水管110而排放至系統以酸堿中和系統。
接著，將石英管分別于該第一化學清洗槽12或該第二化學清洗槽13清洗，并分別藉由控制該第三氣閥170或第四氣閥180的開啟，與其他氣閥的關閉，可將濃酸廢液經由濃酸排水管140而排放至濃酸收集槽(未圖示)。
然后，再將經化學溶液清洗過的石英管置于超純水清洗槽11中進行第一次超純水清洗，于清洗后控制該第二氣閥160為開啟，其余氣閥為關閉，則具有稀酸的廢液便可藉由該濃酸排水管140而排放至濃酸收集槽中。
隨后，再于超純水槽11中進行第二次的清洗，此時由于已經過的第一次之超純水清洗，因此廢液含酸量并不高，可收集至酸/腐蝕性廢水排水管110以排放至系統以酸堿中和系統。因此于清洗后可控制該第一氣閥150為開啟，其他氣閥為關閉，以將廢液藉由酸/腐蝕性廢水排水管110排出。
最后，再于超純水槽中進行最后一次清洗，一樣地將第一氣閥150開啟同時關閉其他氣閥，以將廢液收集至酸/腐蝕性廢水排水管110以利排出。
然而，由于傳統石英管清洗臺的廢液排放線路的出口管路只有兩種，亦即酸/腐蝕性廢水排水管110與濃酸排水管140，其中的酸/腐蝕性廢水排水管110是用以收集超純水清洗槽11的廢液以酸堿中和系統，而濃酸排水管140則可收集超純水清洗槽11的廢液、第一化學清洗槽12與第二化學清洗槽13的廢液，以氟酸處理系統的濃酸收集槽。然而，根據上述流程與石英管清洗臺的管路系統可了解傳統的設計具有下述缺點1.傳統的方式將石英管進行第一次超純水清洗后，會將廢液排放至濃酸排水管140中，如此將增加濃氟酸收集槽的容量，且造成氟酸系統進水的氟酸濃度變化大，加藥不易控制。
2.超純水清洗槽的排水水質很好，滿足可回收的要求，如將其直接排放至系統去酸堿中和系統，既浪費又增加系統的負荷。
所以傳統的方法并無有效回收超純水的機制，因此如何發(fā)展一改良式石英管清洗臺的超純水回收管線系統，實為本發(fā)明的主要研發(fā)課題。
發(fā)明內容
本發(fā)明的主要目的為提供一種清洗臺的超純水回收管線系統，其中該清洗臺具有一超純水清洗槽、第一化學清洗槽與第二化學清洗槽。該超純水回收管線系統包括第一清洗水排水管，其一端與該超純水清洗槽相連接，另一端則導引至一超純水回收預處理系統；第一氣閥，其設置于該第一清洗水排水管上鄰近于該超純水清洗槽處；第二清洗水排水管，其一端連接于該第一清洗水排水管與該第一氣閥之間，另一端則導引至該超純水回收預處理系統；第二氣閥，其設置于該第二清洗水排水管上鄰近于該第一清洗水排水管連接處；一稀酸排水管，其一端連接于該第一清洗水排水管與該第一氣閥之間，另一端則導引至一稀酸收集槽；第三氣閥，其設置于該稀酸排水管上鄰近于該第一清洗水排水管連接處；一濃酸排水管，藉以收集濃酸廢液并導引至一濃酸收集槽；第一化學清洗槽排水管，其一端與該第一化學清洗槽連接，另一端則與該濃酸排水管相連接，用以排放該第一化學清洗槽的廢液至濃酸排水管；第四氣閥，其設置于該第一化學清洗槽排水管上；第二化學清洗槽排水管，其一端與該第二化學清洗槽連接，另一端則與該濃酸排水管相連接，用以排放該第二化學清洗槽的廢液至該濃酸排水管；以及一第五氣閥，其系設置于該第二化學清洗槽排水管上。藉由控制這些氣閥，以回收該超純水清洗槽所排放的廢水。
根據本發(fā)明的構想，其中該清洗臺為一石英管清洗臺。
根據本發(fā)明的構想，其中當該第一氣閥開啟而該第二、第三、第四，與第五氣閥關閉時，該第一清洗水排水管可將該超純水清洗槽的廢水排至該超純水回收預處理系統。
根據本發(fā)明的構想，其中當該第二氣閥開啟而該第一、第三、第四，與第五氣閥關閉時，該第二清洗水排水管可將該超純水清洗槽的廢水排至該超純水回收預處理系統。
根據本發(fā)明的構想，其中當該第三氣閥開啟而該第一、第二、第四，與第五氣閥關閉時，該稀酸排水管可將該超純水清洗槽的廢水排至該稀酸收集槽中。
根據本發(fā)明的構想，其中當該第四氣閥開啟而該第一、第二、第三，與第五氣閥關閉時，該第一化學清洗槽排水管與該濃酸排水管可將該第一化學清洗槽的廢水排至濃酸收集槽中。
根據本發(fā)明的構想，其中當該第五氣閥開啟而該第一、第二、第三，與第四氣閥關閉時，該第二化學清洗槽排水管與該濃酸排水管可將該第二化學清洗槽的廢水排至濃酸收集槽中。
本發(fā)明的另一目的為提供一種石英管清洗臺，其包括一超純水清洗槽，其提供一潔凈的超純水以清洗石英管；第一化學清洗槽，其提供一酸液，以清洗該石英管；第二化學清洗槽，其提供該酸液，以清洗該石英管；以及一排水回收管線配置系統。該排水回收管線配置系統包括第一清洗水排水管，其一端與該超純水清洗槽相連接，另一端則導引至一超純水回收預處理系統；第一氣閥，其設置于該地一清洗水排水管上鄰近于該超純水清洗槽處；第二清洗水排水管，其一端連接于該第一清洗水排水管與該第一氣閥之間，另一端則導引至該超純水回收預處理系統；第二氣閥，其設置于該第二清洗水排水管上鄰近于該第一清洗水排水管連接處；一稀酸排水管，其一端連接于該第一清洗水排水管與該第一氣閥之間，另一端則導引至一稀酸收集槽；第三氣閥，其設置于該稀酸排水管上鄰近于該第一清洗水排水管連接處；一濃酸排水管，藉以收集濃酸廢液并導引至一濃酸收集槽；第一化學清洗槽排水管，其一端與該第一化學清洗槽連接，另一端則與該濃酸排水管相連接，用以排放該第一化學清洗槽的廢液至濃酸排水管；第四氣閥，其設置于該第一化學清洗槽排水管上；第二化學清洗槽排水管，其一端與該第二化學清洗槽連接，另一端則與該濃酸排水管相連接，用以排放該第二化學清洗槽的廢液至該濃酸排水管；以及第五氣閥，其設置于該第二化學清洗槽排水管上。藉由控制這些氣閥，以回收該超純水清洗槽所排放的廢水。
本發(fā)明得藉由下列附圖及詳細說明，可得一更深入的了解
圖1為一傳統石英管清洗臺的結構示意圖。
圖2為本發(fā)明較佳實施例的石英管清洗臺結構示意圖。
具體實施例方式
請參閱圖2，其為本發(fā)明較佳實施例的石英管清洗臺結構示意圖。如圖2所示，本發(fā)明的石英管清洗臺2包括一超純水清洗槽21、第一化學清洗槽22、第二化學清洗槽23，以及一排水回收管線配置系統24。其中該超純水清洗槽21提供一潔凈的超純水以清洗石英管，該第一化學清洗槽22與第二化學清洗槽23則分別提供所需的酸液(例如氟酸)，以清洗石英管。該排水回收管線配置系統24則包括第一清洗水排水管241、第二清洗水排水管242、一稀酸排水管243、第一化學清洗槽排水管244、第二化學清洗槽排水管245、一濃酸排水管246、第一氣閥247、第二氣閥248，第三氣閥249、第四氣閥250與第五氣閥251。
請再參閱圖2。如圖2所示，該第一清洗水排水管241的一端與該超純水清洗槽21相連接，另一端則導引至超純水回收預處理系統(未圖示)，以進行超純水的回收。該第一清洗水排水管241上鄰近于超純水清洗槽21處設置該第一氣閥247，另外于該第一氣閥247與該超純水清洗槽21之間則連接有該第二清洗水排水管242與該稀酸排水管243。該第二清洗水排水管242于鄰近該第一清洗水排水管241連接處設置有該第二氣閥248，其另一端則連接至超純水回收預處理系統(未圖示)，以進行超純水的回收。而該稀酸排水管243于鄰近該第一清洗水排水管241連接處設置有該第三氣閥249，其另一端則連接至稀酸收集槽(未圖示)。藉由該第一氣閥247、第二氣閥248與第三氣閥249的控制，超純水清洗槽21所排放的廢液可視其含酸濃度而可調整地藉由第一清洗水排水管241、第二清洗水排水管242與稀酸排水管243而排放至超純水回收預處理系統或稀酸收集槽中，以利回收使用。
請再參閱圖2。如圖2所示，該第一化學清洗槽排水管244的一端與該第一化學清洗槽22連接，另一端則與該濃酸排水管246相連接，以排放該第一化學清洗槽22的廢液至濃酸排水管246。另外，該第二化學清洗槽排水管245的一端與該第二化學清洗槽23連接，另一端則與該濃酸排水管246相連接，以排放該第二化學清洗槽23的廢液至該濃酸排水管246。為控制廢液的排放，該第四排氣閥250與第五排氣閥251則分別設置于該第一化學清洗槽排水管244與該第二化學清洗槽排水管245上，藉以控制廢液排放至該濃酸排水管246。
配合上述石英管清洗臺結構，其操作流程如下首先，將石英管于超純水清洗槽21中進行預清洗步驟，于預清洗后將該第二氣閥248開啟，其他氣閥關閉，則由該超純水清洗槽21所排出的廢水便可經由第二清洗水排水管242排放至超純水回收預處理系統，以利回收使用。
接著，將石英管分別于該第一化學清洗槽22或該第二化學清洗槽23中清洗，并分別藉由控制該第四氣閥250或第五氣閥251的開啟，與其他氣閥的關閉，可將濃酸廢液經由濃酸排水管246而排放至濃酸收集槽(未圖示)。
然后，再將經化學溶液清洗過的石英管置于超純水清洗槽21中進行第一次超純水清洗。于清洗后控制該第三氣閥249為開啟，其余氣閥為關閉，則具有稀酸的廢液便可藉由該稀酸排水管243而排放至稀酸收集槽(未圖示)。
隨后，再于超純水槽21進行第二次之清洗，此時由于已經過了第一次的超純水清洗，因此廢液含酸量并不高。因此，于清洗后可控制該第二氣閥248為開啟，其他氣閥為關閉，以將廢液藉由第二清洗水排水管242排放至超純水回收預處理系統。
最后，再于超純水槽21進行最后一次清洗，于清洗后將第一氣閥247開啟，同時關閉其他氣閥，以將廢液排藉由第一清洗水排水管241而排放至超純水回收預處理系統。
綜上所述，相較于傳統的結構與方法，本發(fā)明系將已知的管線系統架構增加了兩條新的管線，亦即第二清洗水排水管242與稀氟酸排水管243，且把傳統的酸/腐蝕性廢水排水管110替換成第一清洗水排水管242，且不再將其導入系統以酸堿中和系統，而是導入超純水回收預處理系統以進行超純水的回收。另外，所增加的第二清洗水排水管242亦可將廢液導入超純水回收預處理系統以利超純水的回收。因此，藉由本發(fā)明的結構與方法可回收大部分清洗后的廢水，又可減少廢水系統的負荷。
本發(fā)明可由熟悉本技術領域者任施匠思而為諸般修飾，然皆不脫如附權利要求范圍所欲的保護。
權利要求
1.一種清洗臺的超純水回收管線系統，其中該清洗臺具有一超純水清洗槽、第一化學清洗槽與第二化學清洗槽，該超純水回收管線系統包括第一清洗水排水管，其一端與該超純水清洗槽相連接，另一端則導引至一超純水回收預處理系統；第一氣閥，其設置于該第一清洗水排水管上鄰近于該超純水清洗槽處；第二清洗水排水管，其一端連接于該第一清洗水排水管與該第一氣閥之間，另一端則導引至該超純水回收預處理系統；第二氣閥，其設置于該第二清洗水排水管上鄰近于該第一清洗水排水管連接處；一稀酸排水管，其一端連接于該第一清洗水排水管與該第一氣閥之間，另一端則導引至一稀酸收集槽；第三氣閥，其設置于該稀酸排水管上鄰近于該第一清洗水排水管連接處；一濃酸排水管，藉以收集濃酸廢液并導引至一濃酸收集槽；第一化學清洗槽排水管，其一端與該第一化學清洗槽連接，另一端則與該濃酸排水管相連接，用以排放該第一化學清洗槽的廢液至濃酸排水管；第四氣閥，其設置于該第一化學清洗槽排水管上；第二化學清洗槽排水管，其一端與該第二化學清洗槽連接，另一端則與該濃酸排水管相連接，用以排放該第二化學清洗槽廢液至該濃酸排水管；以及第五氣閥，其設置于該第二化學清洗槽排水管上，藉由控制這些氣閥，以回收該超純水清洗槽所排放的廢水。
2.如權利要求1所述的清洗臺的超純水回收管線系統，其特征在于，該清洗臺為一石英管清洗臺。
3.權利要求1所述的清洗臺的超純水回收管線系統，其特征在于，當該第一氣閥開啟而該第二、第三、第四，與第五氣閥關閉時，該第一清洗水排水管可將該超純水清洗槽的廢水排至該超純水回收預處理系統。
4.權利要求1所述的清洗臺的超純水回收管線系統，其特征在于，當該第二氣閥開啟而該第一、第三、第四，與第五氣閥關閉時，該第二清洗水排水管可將該超純水清洗槽的廢水排至該超純水回收預處理系統。
5.權利要求1所述的清洗臺的超純水回收管線系統，其特征在于，當該第三氣閥開啟而該第一、第二、第四，與第五氣閥關閉時，該稀酸排水管可將該超純水清洗槽的廢水排至該稀酸收集槽中。
6.權利要求1所述的清洗臺的超純水回收管線系統，其特征在于，當該第四氣閥開啟而該第一、第二、第三，與第五氣閥關閉時，該第一化學清洗槽排水管與該濃酸排水管可將該第一化學清洗槽的廢水排至濃酸收集槽中。
7.權利要求1所述的清洗臺的超純水回收管線系統，其特征在于，當該第五氣閥開啟而該第一、第二、第三，與第四氣閥關閉時，該第二化學清洗槽排水管與該濃酸排水管可將該第二化學清洗槽的廢水排至濃酸收集槽中。
8.一種石英管清洗臺，其包括一超純水清洗槽，其提供一潔凈的超純水以清洗石英管；第一化學清洗槽，其提供一酸液，以清洗該石英管；第二化學清洗槽，其提供該酸液，以清洗該石英管；以及一排水回收管線配置系統，其包括第一清洗水排水管，其一端與該超純水清洗槽相連接，另一端則導引至一超純水回收預處理系統；第一氣閥，其設置于該第一清洗水排水管上鄰近于該超純水清洗槽處；第二清洗水排水管，其一端連接于該第一清洗水排水管與該第一氣閥之間，另一端則導引至該超純水回收預處理系統；第二氣閥，其設置于該第二清洗水排水管上鄰近于該第一清洗水排水管連接處；一稀酸排水管，其一端連接于該第一清洗水排水管與該第一氣閥之間，另一端則導引至一稀酸收集槽；第三氣閥，其設置于該稀酸排水管上鄰近于該第一清洗水排水管連接處；一濃酸排水管，藉以收集濃酸廢液并導引至一濃酸收集槽；第一化學清洗槽排水管，其一端與該第一化學清洗槽連接，另一端則與該濃酸排水管相連接，用以排放該第一化學清洗槽的廢液至濃酸排水管；第四氣閥，其設置于該第一化學清洗槽排水管上；第二化學清洗槽排水管，其一端與該第二化學清洗槽連接，另一端則與該濃酸排水管相連接，用以排放該第二化學清洗槽廢液至該濃酸排水管；以及第五氣閥，其設置于該第二化學清洗槽排水管上，藉由控制這些氣閥，以回收該超純水清洗槽所排放的廢水。
9.權利要求8所述的石英管清洗臺，其特征在于，當該第一氣閥開啟而該第二、第三、第四，與第五氣閥關閉時，該第一清洗水排水管可將該超純水清洗槽的廢水排至該超純水回收預處理系統。
10.權利要求8所述的石英管清洗臺，其特征在于，當該第二氣閥開啟而該第一、第三、第四，與第五氣閥關閉時，該第二清洗水排水管可將該超純水清洗槽的廢水排至該超純水回收預處理系統。
11.權利要求8所述的石英管清洗臺，其特征在于，當該第三氣閥開啟而該第一、第二、第四，與第五氣閥關閉時，該稀酸排水管可將該超純水清洗槽的廢水排至該稀酸收集槽中。
12.權利要求8所述的石英管清洗臺，其特征在于，當該第四氣閥開啟而該第一、第二、第三，與第五氣閥關閉時，該第一化學清洗槽排水管與該濃酸排水管可將該第一化學清洗槽的廢水排至濃酸收集槽中。
13.權利要求8所述的石英管清洗臺，其特征在于，當該第五氣閥開啟而該第一、第二、第三，與第四氣閥關閉時，該第二化學清洗槽排水管與該濃酸排水管可將該第二化學清洗槽的廢水排至濃酸收集槽中。
全文摘要
本發(fā)明提供一種石英管清洗臺的超純水回收管線系統，該石英管清洗臺具有一超純水清洗槽、第一化學清洗槽與第二化學清洗槽。該超純水回收管線系統包括第一清洗水排水管，其一端與該超純水清洗槽相連接，另一端則導引至一超純水回收預處理系統；第一氣閥，其設置于該第一清洗水排水管上鄰近于該超純水清洗槽處；第二清洗水排水管，其一端連接于該第一清洗水排水管且介于該超純水清洗槽與該第一氣閥之間，另一端則導引至該超純水回收預處理系統；第二氣閥；一稀酸排水管；第三氣閥；一濃酸排水管；第一化學清洗槽排水管；第四氣閥；第二化學清洗槽排水管；以及第五氣閥。藉由控制這些氣閥，用以回收該超純水清洗槽所排放的廢水。
文檔編號C02F1/00GK1482071SQ0213696
公開日2004年3月17日 申請日期2002年9月13日 優(yōu)先權日2002年9月13日
發(fā)明者陳建華, 彭云新, 厲曉華 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司, 中芯國際集成電路制造(上海)有限公