技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
具備：保持反射型的光罩(M)的光罩保持筒(21)；將入射的照明光束(EL1)朝向光罩(M)反射、并且使照明光束(EL1)被光罩(M)反射而得到的投影光束(EL2)透射的分束器(PBS)；使照明光束(EL1)向分束器(PBS)入射的照明光學(xué)組件(ILM)；和將透射過(guò)了分束器(PBS)的投影光束(EL2)投影曝光至基板(P)的投影光學(xué)組件(PLM)，照明光學(xué)組件(ILM)及分束器(PBS)設(shè)于光罩(M)與投影光學(xué)組件(PLM)之間。另外，分束器(PBS)具備第1棱鏡、第2棱鏡和偏振膜，偏振膜(93)是將二氧化硅的第1膜體與氧化鉿的第2膜體在膜厚方向?qū)盈B而成的。

技術(shù)研發(fā)人員：加藤正紀(jì);鈴木哲男;鐮田剛忠;荒井正范;北纮典
受保護(hù)的技術(shù)使用者：株式會(huì)社尼康
技術(shù)研發(fā)日：2013.11.05
技術(shù)公布日：2017.10.17