本發(fā)明涉及光刻技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種補(bǔ)償裝置、曝光裝置及曝光補(bǔ)償方法。

背景技術(shù)：

tft-lcd平板顯示器，以其優(yōu)良的性能、易于大規(guī)模生產(chǎn)的特性，成為了當(dāng)今主流的顯示設(shè)備。隨著tft-lcd生產(chǎn)技術(shù)的飛速發(fā)展，對(duì)生產(chǎn)精度的要求也在不斷提升。

tft-lcd制備過程中的光刻技術(shù)是形成特定圖案的主要手段，也是影響生產(chǎn)精度的重要技術(shù)。光刻需要光刻膠(光阻)材料的配合，但是現(xiàn)有技術(shù)的設(shè)備對(duì)于涂膠的精度要求相對(duì)較低，需要通過后續(xù)甩膠的工藝來(lái)達(dá)到光刻膠的均一性。在生產(chǎn)過程中，涂膠設(shè)備的涂膠厚度不夠均一，這種現(xiàn)象就會(huì)導(dǎo)致在同一個(gè)曝光速度下，使得不同位置關(guān)鍵尺寸存在較大差異。該差異嚴(yán)重影響了產(chǎn)品尺寸的均一性。特別是對(duì)于高分辨率產(chǎn)品，將使得關(guān)鍵部位的尺寸產(chǎn)生波動(dòng)，嚴(yán)重降低產(chǎn)品精細(xì)化程度。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是提供一種補(bǔ)償裝置、曝光裝置及曝光補(bǔ)償方法，以解決待處理膜層膜厚不均一導(dǎo)致產(chǎn)品尺寸精細(xì)化程度低的問題。

一方面，提供了一種補(bǔ)償裝置，應(yīng)用于曝光機(jī)，所述補(bǔ)償裝置包括溶液盒；

所述溶液盒內(nèi)注有有色溶液，其中，所述有色溶液用于調(diào)節(jié)曝光機(jī)出射光線的透過率，以對(duì)待處理膜層的感光深度進(jìn)行定量補(bǔ)償。

進(jìn)一步地，所述補(bǔ)償裝置還包括樹脂外盒，所述樹脂外盒包括至少一個(gè)槽位，各槽位分別用于容置注有所述有色溶液的溶液盒。

進(jìn)一步地，所述各槽位內(nèi)的溶液盒中有色溶液的濃度為預(yù)先配置的，其中，每一溶液盒內(nèi)的有色溶液的濃度均一；所述各槽位內(nèi)的溶液盒中有色溶液的濃度分別由投影位置處所述待處理膜層的感光深度補(bǔ)償量確定。

進(jìn)一步地，所述溶液盒一側(cè)外表面上設(shè)有至少兩個(gè)觸點(diǎn)電極，所述溶液盒的周邊設(shè)有與所述觸點(diǎn)電極匹配的對(duì)電極，所述觸點(diǎn)電極和所述對(duì)電極均與所述溶液盒內(nèi)的有色溶液連通，其中，所述有色溶液中包含顯色離子；所述補(bǔ)償裝置還包括：電刷；所述電刷的一端可與所述觸點(diǎn)電極電連接；當(dāng)進(jìn)行定量補(bǔ)償時(shí)，所述電刷移至目標(biāo)觸點(diǎn)電極，所述補(bǔ)償裝置通過調(diào)節(jié)施加在所述電刷上的電壓控制所述目標(biāo)觸點(diǎn)電極與所述溶液盒周邊位置處的對(duì)電極之間的電壓差，改變所述有色溶液中顯色離子的分布，以調(diào)節(jié)所述目標(biāo)觸點(diǎn)電極處有色溶液的濃度。

進(jìn)一步地，所述觸點(diǎn)電極由透明材料制成；多個(gè)所述觸點(diǎn)電極在所述溶液盒一側(cè)外表面上呈矩陣分布。

另一方面，還提供了一種曝光裝置，包括：曝光機(jī)基臺(tái)和曝光機(jī)出光口，以及上述補(bǔ)償裝置；

在使用所述曝光裝置進(jìn)行曝光時(shí)，所述補(bǔ)償裝置位于所述曝光機(jī)基臺(tái)和所述曝光機(jī)出光口之間，用于對(duì)位于所述溶液盒下方的待處理膜層的感光深度進(jìn)行定量補(bǔ)償。

另一方面，還提供了一種曝光補(bǔ)償方法，包括：

根據(jù)待處理膜層的膜厚分布，確定補(bǔ)償區(qū)域以及所述補(bǔ)償區(qū)域處待處理膜層的感光深度補(bǔ)償量；

調(diào)節(jié)補(bǔ)償裝置，使溶液盒內(nèi)有色溶液的濃度與所述感光深度補(bǔ)償量匹配；

利用所述補(bǔ)償裝置對(duì)所述待處理膜層進(jìn)行曝光。

進(jìn)一步地，在調(diào)節(jié)補(bǔ)償裝置之前，還包括：預(yù)先制備溶液盒；所述制備溶液盒的步驟進(jìn)一步包括：獲取所述有色溶液的濃度與所述感光深度補(bǔ)償量之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系；根據(jù)所述對(duì)應(yīng)關(guān)系制備溶液盒，所述溶液盒內(nèi)的有色溶液的濃度與所述感光深度補(bǔ)償量對(duì)應(yīng)。

進(jìn)一步地，當(dāng)所述待處理膜層中補(bǔ)償區(qū)域的膜厚分布滿足第一條件時(shí)，所述調(diào)節(jié)補(bǔ)償裝置的步驟，包括：根據(jù)所述感光深度補(bǔ)償量以及所述對(duì)應(yīng)關(guān)系，確定具有對(duì)應(yīng)濃度有色溶液的至少一個(gè)溶液盒；將所述至少一個(gè)溶液盒設(shè)置在所述補(bǔ)償區(qū)域的對(duì)應(yīng)位置，以對(duì)所述補(bǔ)償區(qū)域待處理膜層的感光深度進(jìn)行定量補(bǔ)償。

進(jìn)一步地，當(dāng)所述待處理膜層中補(bǔ)償區(qū)域的膜厚分布滿足第二條件時(shí)，所述調(diào)節(jié)補(bǔ)償裝置的步驟，包括：將電刷移動(dòng)至所述補(bǔ)償區(qū)域的中心位置處；根據(jù)所述感光深度補(bǔ)償量以及所述對(duì)應(yīng)關(guān)系，確定所述中心位置處的觸點(diǎn)電極與所述溶液盒周邊位置處的對(duì)電極之間的電壓差；調(diào)節(jié)所述電刷及所述對(duì)電極上的電壓差，根據(jù)所述電壓差控制所述溶液盒中有色溶液的濃度分布與所述補(bǔ)償區(qū)域的感光深度補(bǔ)償量匹配。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明包括以下優(yōu)點(diǎn)：

本發(fā)明提供了一種補(bǔ)償裝置、曝光裝置及曝光補(bǔ)償方法，在本發(fā)明提供的曝光裝置中，可以通過曝光機(jī)基臺(tái)和曝光機(jī)出光口之間的補(bǔ)償裝置，調(diào)節(jié)出不同濃度的有色溶液對(duì)曝光機(jī)出射的光線進(jìn)行遮擋。待處理膜層中膜厚越薄的位置，投影位置處有色溶液的濃度越高，從而對(duì)待處理膜層的感光深度進(jìn)行定量補(bǔ)償，以實(shí)現(xiàn)曝光量與待處理膜層膜厚的匹配性，使得曝光后在基板上形成精密的結(jié)構(gòu)尺寸。

附圖說明

圖1是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種補(bǔ)償裝置的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種曝光裝置的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是本發(fā)明實(shí)施例提供的另一種曝光裝置中補(bǔ)償裝置的立體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4是本發(fā)明實(shí)施例提供的又一種曝光裝置的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5是本發(fā)明實(shí)施例提供的又一種補(bǔ)償裝置中溶液盒和電刷的立體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種曝光方法的流程圖；

圖7是本發(fā)明實(shí)施例提供的另一種曝光方法的流程圖；

圖8是本發(fā)明實(shí)施例提供的又一種曝光方法的流程圖。

具體實(shí)施方式

為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。

在本發(fā)明的描述中，除非另有說明，“多個(gè)”的含義是兩個(gè)或兩個(gè)以上；術(shù)語(yǔ)“上”、“下”、“左”、“右”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的機(jī)或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。

在本發(fā)明的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語(yǔ)“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機(jī)械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語(yǔ)在本發(fā)明中的具體含義。

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實(shí)施例用于說明本發(fā)明，但不用來(lái)限制本發(fā)明的范圍。

參照?qǐng)D1，示出了本發(fā)明實(shí)施例提供的一種補(bǔ)償裝置的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。該補(bǔ)償裝置可以應(yīng)用于光刻技術(shù)領(lǐng)域，例如，可以應(yīng)用于曝光機(jī)中。

本發(fā)明實(shí)施例提供的補(bǔ)償裝置11包括溶液盒111。該溶液盒111內(nèi)注有有色溶液，其中，該有色溶液用于調(diào)節(jié)曝光機(jī)出射光線的透過率，以對(duì)待處理膜層的感光深度進(jìn)行定量補(bǔ)償。其中，該待處理膜層為感光材料制成的膜層，例如，該待處理膜層可以為光刻膠層。

具體的，當(dāng)待處理膜層的厚度不均一時(shí)，若采用相同的曝光量對(duì)待處理膜層各區(qū)域進(jìn)行曝光，將導(dǎo)致待處理膜層中膜厚偏厚的區(qū)域曝光不足，或者導(dǎo)致待處理膜層中膜厚偏薄的區(qū)域曝光過量，某位置處的膜厚與平均膜厚偏差越大，感光深度補(bǔ)償量也就越大。通過對(duì)待處理膜層各區(qū)域進(jìn)行針對(duì)性地補(bǔ)償，可以有效降低待處理膜層膜厚均一性差對(duì)產(chǎn)品尺寸的影響。由于有色溶液通?？梢詫?duì)光線進(jìn)行遮擋，從而降低光線的透過率，而且，有色溶液的濃度越大，對(duì)光線的遮擋效果越強(qiáng)，將使得光線在穿過該有色溶液時(shí)的透過率也越低。因此，可以通過調(diào)節(jié)有色溶液的濃度，有效調(diào)節(jié)曝光機(jī)出射光線的透過率，進(jìn)而控制照射在待處理膜層上的曝光量，實(shí)現(xiàn)對(duì)待處理膜層的感光深度進(jìn)行定量補(bǔ)償。

在實(shí)際應(yīng)用中，由于曝光機(jī)通常只涉及紫外光線的照射，因此可以選取紫色的補(bǔ)色黃色作為有色溶液的顏色，從而對(duì)曝光機(jī)的出射光線起到更好的遮擋效果。例如，該黃色的有色溶液可以由fe3+溶液制成，也可以為碘溶液，本發(fā)明實(shí)施例中不作限定。

綜上所述，本發(fā)明實(shí)施例提供的補(bǔ)償裝置11，可以通過調(diào)節(jié)溶液盒111內(nèi)有色溶液的濃度，調(diào)節(jié)曝光機(jī)出射光線的透過率，進(jìn)而對(duì)待處理膜層的感光深度進(jìn)行定量補(bǔ)償，實(shí)現(xiàn)曝光量與待處理膜層膜厚的匹配性，從而實(shí)現(xiàn)曝光后在基板上形成精密的結(jié)構(gòu)尺寸。

參照?qǐng)D2，示出了本發(fā)明實(shí)施例提供的一種曝光裝置的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。參考圖2可知，本發(fā)明實(shí)施例提供的曝光裝置包括：曝光機(jī)基臺(tái)12、曝光機(jī)出光口13和補(bǔ)償裝置11。其中，補(bǔ)償裝置11位于曝光機(jī)基臺(tái)12和曝光機(jī)出光口13之間，包括樹脂外盒112和溶液盒111。該樹脂外盒112包括外盒本體1121和邊框支架1122，其中，外盒本體1121位于待處理膜層15和曝光機(jī)出光口13之間，用于容置溶液盒111，邊框支架1122用于在曝光機(jī)基臺(tái)12上架起該外盒本體1121。溶液盒111內(nèi)注有有色溶液，其中，該有色溶液用于遮擋從曝光機(jī)出光口13處出射的光線，該有色溶液的濃度與投影位置處待處理膜層15的膜厚成反比。

為了更加便于理解本發(fā)明實(shí)施例，下面將對(duì)注有有色溶液的溶液盒111這一結(jié)構(gòu)，進(jìn)行簡(jiǎn)要的介紹：

溶液盒111是補(bǔ)償裝置11的主要部件，可以利用注入溶液盒111內(nèi)部的有色溶液對(duì)從曝光機(jī)出光口13處出射的光線進(jìn)行遮擋，并可以利用不同濃度的有色溶液起到不同程度的遮擋效果，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)透過率的調(diào)節(jié)。

具體的，由于溶液的表面通常比較平整，因此，曝光機(jī)出光口13處出射的光線在穿過溶液盒111內(nèi)部的有色溶液時(shí)，不易出現(xiàn)光的變化。尤其對(duì)于充滿有色溶液的溶液盒111，可以有效避免液面的波動(dòng)，從而使溶液盒111內(nèi)的有色溶液始終保持平整的表面，進(jìn)而準(zhǔn)確控制對(duì)透過率的調(diào)節(jié)。相比電致變色技術(shù)不僅控制方式簡(jiǎn)單，而且制備價(jià)格低，有效降低使用成本。

在實(shí)際使用過程中，該溶液盒111可以為一個(gè)，也可以為多個(gè)，可以根據(jù)待處理膜層15的膜厚分布，靈活調(diào)整溶液盒111的使用方式。而且，由于曝光機(jī)通常只涉及紫外光線的照射，因此可以選取紫色的補(bǔ)色黃色作為有色溶液的顏色，從而對(duì)曝光機(jī)出光口13處出射的光線起到更好的遮擋效果。例如，該黃色的有色溶液可以由fe³⁺溶液制成，也可以為碘溶液，本發(fā)明實(shí)施例中不作限定。具體的，若待處理膜層15在x區(qū)域處的膜厚與該待處理膜層15平均膜厚之差大于閾值膜厚，則可以根據(jù)膜厚偏差的程度，在該位置使用對(duì)應(yīng)濃度的黃色溶液來(lái)遮擋曝光時(shí)出射的部分紫外光線，以避免該位置處的待處理膜層15被過度曝光。

綜上所述，本發(fā)明實(shí)施例提供的曝光裝置中，可以通過曝光機(jī)基臺(tái)12和曝光機(jī)出光口13之間的補(bǔ)償裝置11，調(diào)節(jié)出不同濃度的有色溶液對(duì)曝光機(jī)出射的光線進(jìn)行遮擋。待處理膜層15中膜厚越薄的位置，投影位置處有色溶液的濃度越高，從而降低相同曝光量對(duì)待處理膜層15中膜厚薄弱位置的影響，以實(shí)現(xiàn)曝光量與基底14待處理膜層15膜厚的匹配性，從而實(shí)現(xiàn)曝光后在基板上形成均一的結(jié)構(gòu)尺寸。而且溶液盒111內(nèi)液面平整，可以有效提高基底14上結(jié)構(gòu)尺寸的精細(xì)化程度。

在上一實(shí)施例提供的曝光裝置的基礎(chǔ)上，參照?qǐng)D3，示出了本發(fā)明實(shí)施例提供的另一種曝光裝置中補(bǔ)償裝置21的立體結(jié)構(gòu)示意圖，該補(bǔ)償裝置21中外盒本體2121包括至少一個(gè)槽位21211，各槽位21211分別用于容置注有有色溶液的溶液盒211。其中，各槽位21211內(nèi)的溶液盒211中有色溶液的濃度為預(yù)先配置的，每一溶液盒211內(nèi)的有色溶液的濃度均一。

當(dāng)需要用具有某一濃度有色溶液的溶液盒211對(duì)曝光機(jī)出射的光線進(jìn)行遮擋時(shí)，可以直接向?qū)?yīng)槽位21211中插入具有該濃度有色溶液的溶液盒211。其中，具有該濃度有色溶液的溶液盒211可以為從多個(gè)溶液盒211中選取出的。該多個(gè)溶液盒211分別預(yù)先注入不同濃度的有色溶液，各溶液盒211中有色溶液的濃度可以呈線性分布，從而滿足不同的使用需求。例如，可以預(yù)先將濃度為80％x、90％x、100％x、110％x、120％x這5種濃度的有色溶液分別注入a、b、c、d、e這5個(gè)溶液盒211中，當(dāng)需要使用具有90％x濃度有色溶液的溶液盒211時(shí)，可以直接將具有該濃度有色溶液的溶液盒211b插入對(duì)應(yīng)槽位21211中。在實(shí)際應(yīng)用中，可以將同一濃度的有色溶液預(yù)先注入多個(gè)溶液盒211中以備使用。也可以在需要使用具有某一濃度有色溶液的溶液盒211時(shí)，再將預(yù)先配置的該濃度有色溶液注入溶液盒211中。

具體的，各槽位21211內(nèi)的溶液盒211中有色溶液的濃度分別由投影位置處待處理膜層15的感光深度補(bǔ)償量確定。若待處理膜層15某位置處的膜厚相較平均膜厚越薄，即感光深度補(bǔ)償量越大，則需要對(duì)應(yīng)濃度的有色溶液對(duì)曝光機(jī)出射的光線進(jìn)行遮擋，從而避免該位置曝光過度，導(dǎo)致曝光后在基板上形成結(jié)構(gòu)尺寸發(fā)生偏差。在實(shí)際應(yīng)用中，可以預(yù)先通過實(shí)驗(yàn)獲得有色溶液的濃度變化與對(duì)應(yīng)的待處理膜層15的膜厚變化之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系，例如以關(guān)系曲線的形式展現(xiàn)該對(duì)應(yīng)關(guān)系，并根據(jù)該對(duì)應(yīng)關(guān)系和投影位置處待處理膜層15的感光深度補(bǔ)償量確定對(duì)應(yīng)槽位21211中溶液盒211內(nèi)有色溶液的濃度。例如，若m、n、p、q四個(gè)區(qū)域的待處理膜層15的膜厚均相對(duì)較薄，需要通過具有對(duì)應(yīng)濃度有色溶液的溶液盒211對(duì)光線進(jìn)行遮擋。其中，m區(qū)域和n區(qū)域需要使用具有110％x濃度有色溶液的溶液盒211進(jìn)行遮擋，p區(qū)域和q區(qū)域需要使用具有120％x濃度有色溶液的溶液盒211進(jìn)行遮擋，m區(qū)域和n區(qū)域各需要在投影位置處的槽位21211中插入2個(gè)溶液盒211以遮擋該區(qū)域，p區(qū)域和q區(qū)域各需要在投影位置處的槽位21211中插入1個(gè)溶液盒211以遮擋該區(qū)域。則可以分別將具有110％x濃度有色溶液的4個(gè)溶液盒211插入m區(qū)域和n區(qū)域投影位置處的槽位21211中，并將具有120％x濃度有色溶液的2個(gè)溶液盒211插入p區(qū)域和q區(qū)域投影位置處的槽位21211中，從而相應(yīng)地減少對(duì)這些區(qū)域待處理膜層15的曝光量，進(jìn)而保障曝光后基板上結(jié)構(gòu)尺寸的均一性。因此，雖然每次在基底14上涂覆的待處理膜層15膜厚分布不盡相同，但只需替換溶液盒211，將具有不同濃度有色溶液的溶液盒211插入對(duì)應(yīng)槽位21211內(nèi)，便可以實(shí)現(xiàn)對(duì)位于不同區(qū)域不同膜厚的待處理膜層15進(jìn)行遮擋。

綜上所述，本發(fā)明實(shí)施例提供的補(bǔ)償裝置21中，外盒本體2121包括至少一個(gè)槽位21211，各槽位21211分別用于容置注有有色溶液的溶液盒211?？梢酝ㄟ^對(duì)注有不同濃度有色溶液的多個(gè)溶液盒211進(jìn)行組合，實(shí)現(xiàn)對(duì)不同區(qū)域不同膜厚的待處理膜層15進(jìn)行遮擋，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)曝光量與基底14待處理膜層15膜厚的匹配性。當(dāng)需要遮擋的區(qū)域不同時(shí)，只需對(duì)溶液盒211進(jìn)行替換即可進(jìn)行具有針對(duì)性地有效遮擋，操作非常簡(jiǎn)單便捷。

在上一實(shí)施例提供的曝光裝置的基礎(chǔ)上，參照?qǐng)D4，示出了本發(fā)明實(shí)施例提供的又一種曝光裝置的剖面結(jié)構(gòu)示意圖，參照?qǐng)D5，示出了本發(fā)明實(shí)施例提供的又一種補(bǔ)償裝置中溶液盒311和電刷313的立體結(jié)構(gòu)示意圖。該補(bǔ)償裝置還包括電刷313，電刷313的一端可與至少兩個(gè)觸點(diǎn)電極3111中對(duì)應(yīng)數(shù)量的觸點(diǎn)電極3111電連接，電刷313的另一端可以與曝光機(jī)出光口13同步移動(dòng)。因此，該電刷313可以隨曝光機(jī)出光口13同步移動(dòng)，精準(zhǔn)定位至需要曝光的位置。并且可以通過該電刷313精準(zhǔn)地向投影位置處的觸點(diǎn)電極3111通電，從而以該位置為中心形成穩(wěn)定的濃度梯度圓環(huán)。

具體的，該補(bǔ)償裝置31中溶液盒311一側(cè)外表面上設(shè)有至少兩個(gè)觸點(diǎn)電極3111，溶液盒311的周邊設(shè)有與觸點(diǎn)電極3111匹配的對(duì)電極，該至少兩個(gè)觸點(diǎn)電極3111的一端以及對(duì)電極均與有色溶液連通。其中，該觸點(diǎn)電極3111可以由氧化銦錫(indiumtinoxide，ito)等透明材料制成，多個(gè)觸點(diǎn)電極3111可以在溶液盒311一側(cè)外表面上呈矩陣分布。

在實(shí)際應(yīng)用中，該有色溶液中包含顯色離子，例如，該有色溶液中的顯色離子可以為fe³⁺，以使溶液呈黃色。該顯色離子可以在電壓作用下在溶液盒311中發(fā)生移動(dòng)，從而使溶液盒311中顯色離子的濃度分布發(fā)生變化，進(jìn)而改變?nèi)芤汉?11中各區(qū)域?qū)馔高^率的調(diào)節(jié)效果。例如，若待處理膜層15平均膜厚與補(bǔ)償區(qū)域處的膜厚之差大于閾值膜厚，即補(bǔ)償區(qū)域處的待處理膜層15膜厚小于平均膜厚，則可以通過調(diào)節(jié)溶液盒311中各區(qū)域處有色溶液的濃度，對(duì)該補(bǔ)償區(qū)域進(jìn)行補(bǔ)償，即通過調(diào)節(jié)電壓控制該位置處的濃度增加，從而起到對(duì)光線更好的遮擋效果，其中，補(bǔ)償區(qū)域是指待處理膜層15中膜厚相對(duì)平均膜厚的差異大于閾值膜厚的區(qū)域。在實(shí)際應(yīng)用中，待處理膜層15膜厚大于平均膜厚或者小于平均膜厚的區(qū)域都可以作為補(bǔ)償區(qū)域。

由于采用旋涂工藝進(jìn)行光刻膠涂覆的時(shí)候，啟涂區(qū)域的待處理膜層15往往相對(duì)較厚，可以通電控制該區(qū)域顯色離子移向溶液盒311周邊，從而降低該區(qū)域內(nèi)顯色離子的濃度，進(jìn)而相對(duì)增加該位置處的曝光量，使該區(qū)域的待處理膜層15膜厚與周圍膜厚趨于均一。其中，啟涂區(qū)域是指開始涂覆待處理膜層15時(shí)，光刻膠滴落在基底上的區(qū)域。具體的，當(dāng)進(jìn)行定量補(bǔ)償時(shí)，曝光機(jī)出光口13可以帶動(dòng)電刷313移至待處理膜層15中補(bǔ)償區(qū)域的中心位置，電流可以通過電刷313傳導(dǎo)至中心位置處的觸點(diǎn)電極3111，進(jìn)而傳導(dǎo)至于該觸點(diǎn)電極3111相通的有色溶液。中心位置處的觸點(diǎn)電極3111與溶液盒311周邊位置處的對(duì)電極之間的電壓差，可以用于改變有色溶液中顯色離子的分布，以調(diào)節(jié)補(bǔ)償區(qū)域處有色溶液的濃度。例如，若中心位置處的觸點(diǎn)電極3111通正電荷，周邊位置處的對(duì)電極通負(fù)電荷，顯色離子為fe³⁺。則中心區(qū)域fe³⁺將在向溶液盒的311周邊位置移動(dòng)，從而使中心位置處fe³⁺濃度降低，進(jìn)而起到增加溶液盒311中心位置處透過率的作用。

綜上所述，本發(fā)明實(shí)施例提供的補(bǔ)償裝置31中，溶液盒311在靠近曝光機(jī)出光口13一側(cè)設(shè)有至少兩個(gè)觸點(diǎn)電極3111，該至少兩個(gè)觸點(diǎn)電極3111的一端與有色溶液連通，另一端與溶液盒311的外界連通，從而可以將電刷313上所通的電荷通過觸點(diǎn)電極3111導(dǎo)入有色溶液中，配合溶液盒311周邊位置處的對(duì)電極所通的相反電荷可以形成電壓差，并利用該電壓差改變有色溶液中顯色離子的分布，達(dá)到調(diào)節(jié)補(bǔ)償區(qū)域處有色溶液的濃度的效果。進(jìn)而起到調(diào)節(jié)溶液盒311中心位置處透過率的作用。由于在該電壓差作用下，可以在溶液盒311內(nèi)產(chǎn)生以點(diǎn)為中心的濃度梯度圓環(huán)，因此可以對(duì)圓形的補(bǔ)償區(qū)域進(jìn)行精確的補(bǔ)償。

本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種曝光方法。該曝光方法可以應(yīng)用于上述的曝光裝置。參照?qǐng)D6，示出了本發(fā)明實(shí)施例提供的一種曝光方法的流程圖。

步驟601，根據(jù)待處理膜層的膜厚分布，確定補(bǔ)償區(qū)域以及該補(bǔ)償區(qū)域處待處理膜層的感光深度補(bǔ)償量。

在通過膜厚測(cè)試設(shè)備獲取待處理膜層的膜厚分布后，可以將待處理膜層各區(qū)域的膜厚與該待處理膜層的平均膜厚進(jìn)行比較，確定待處理膜層各區(qū)域的膜厚與該待處理膜層的平均膜厚之間的偏差，進(jìn)而確定該補(bǔ)償區(qū)域處待處理膜層的感光深度補(bǔ)償量，其中，該偏差大于閾值膜厚的區(qū)域可以確定為補(bǔ)償區(qū)域。在實(shí)際應(yīng)用中，還可以根據(jù)補(bǔ)償區(qū)域毗鄰位置的膜厚，擴(kuò)展該補(bǔ)償區(qū)域，以實(shí)現(xiàn)更精確的補(bǔ)償。另外，在對(duì)待處理膜層各區(qū)域的膜厚與該待處理膜層的平均膜厚進(jìn)行比較時(shí)，可以利用各區(qū)域內(nèi)的平均膜厚與待處理膜層整體的平均膜厚進(jìn)行比較，也可以利用各區(qū)域邊界位置的膜厚與待處理膜層整體的平均膜厚進(jìn)行比較。

步驟602，調(diào)節(jié)補(bǔ)償裝置。

具體的，由于不同濃度的有色溶液對(duì)從曝光機(jī)出光口處出射的光線具有不同的遮擋效果。有色溶液的濃度越大，光線的透過率越低，照射在投影位置處待處理膜層的曝光量就越小。反之，有色溶液的濃度越小，光線的透過率越高，照射在投影位置處待處理膜層的曝光量就越大。因此，在利用該補(bǔ)償裝置對(duì)待處理膜層進(jìn)行曝光之前，需要根據(jù)待處理膜層的膜厚分布，對(duì)補(bǔ)償區(qū)域投影位置處的補(bǔ)償裝置進(jìn)行調(diào)節(jié)，以控制溶液盒中有色溶液的濃度與補(bǔ)償區(qū)域的待處理膜層膜厚分布相匹配。例如，當(dāng)待處理膜層在某位置處膜厚偏薄時(shí)，可以相應(yīng)增加該位置投影位置處溶液盒內(nèi)有色溶液的濃度，從而減少照射在該位置處待處理膜層的曝光量，以實(shí)現(xiàn)曝光量與待處理膜層膜厚的匹配性，從而實(shí)現(xiàn)曝光后在基板上形成均一的結(jié)構(gòu)尺寸。在根據(jù)基底上涂敷的待處理膜層的膜厚，完成對(duì)投影位置處溶液盒內(nèi)有色溶液濃度的調(diào)節(jié)后，便可以利用包含該溶液盒的補(bǔ)償裝置對(duì)待處理膜層進(jìn)行針對(duì)性地補(bǔ)償。例如，可以將具有特定濃度有色溶液的溶液盒插入對(duì)應(yīng)槽位內(nèi)，或者對(duì)溶液盒進(jìn)行通電，使溶液盒內(nèi)有色溶液的濃度發(fā)生改變并穩(wěn)定，以實(shí)現(xiàn)對(duì)補(bǔ)償裝置的調(diào)節(jié)。

步驟603，利用該補(bǔ)償裝置對(duì)待處理膜層進(jìn)行曝光。

在補(bǔ)償區(qū)域調(diào)節(jié)補(bǔ)償裝置后，補(bǔ)償裝置中溶液盒內(nèi)有色溶液的濃度可以實(shí)現(xiàn)對(duì)從曝光機(jī)出光口處出射的光線的有效調(diào)節(jié)，利用該補(bǔ)償裝置對(duì)待處理膜層進(jìn)行曝光，可以有效避免在相同曝光量的照射下使基底上涂敷的待處理膜層膜厚偏薄的位置曝光過度，從而保障曝光后在基板上形成均一的結(jié)構(gòu)尺寸。

綜上所述，本發(fā)明實(shí)施例提供的曝光方法中，通過根據(jù)待處理膜層的膜厚分布，確定補(bǔ)償區(qū)域，并在該補(bǔ)償區(qū)域調(diào)節(jié)補(bǔ)償裝置，使補(bǔ)償區(qū)域投影位置處溶液盒內(nèi)有色溶液的濃度與補(bǔ)償區(qū)域待處理膜層膜厚匹配，再利用該補(bǔ)償裝置對(duì)待處理膜層進(jìn)行曝光，有效避免在相同曝光量的照射下使基底上涂敷的待處理膜層膜厚偏薄的位置曝光過度，從而保障曝光后在基板上形成均一的結(jié)構(gòu)尺寸。

本發(fā)明實(shí)施例還提供了另一種曝光方法。參照?qǐng)D7，示出了本發(fā)明實(shí)施例提供的另一種曝光方法的流程圖。

步驟701，獲取有色溶液的濃度與感光深度補(bǔ)償量之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系。

溶液盒內(nèi)有色溶液濃度變化的程度不同，對(duì)照射至待處理膜層的曝光量的影響也不同。為了精準(zhǔn)地調(diào)節(jié)溶液盒各位置處的透過率，以控制曝光顯影后待處理膜層的膜厚變化，可以預(yù)先通過實(shí)驗(yàn)確定有色溶液的濃度與感光深度補(bǔ)償量之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系，以明確在需要不同感光深度補(bǔ)償量時(shí)，分別需要何種濃度的有色溶液進(jìn)行遮擋。

具體的，可以先測(cè)量待處理膜層的原始膜厚，例如采用k-mac對(duì)待處理膜層膜厚進(jìn)行測(cè)量。并在待處理膜層的不同位置處分別遮蓋具有不同濃度有色溶液的溶液盒后進(jìn)行曝光，例如，在第一位置處遮蓋具有第一濃度有色溶液的溶液盒，在第二位置處遮蓋具有第二濃度有色溶液的溶液盒后對(duì)該待處理膜層進(jìn)行曝光。再測(cè)量顯影后待處理膜層各位置處的膜厚變化，從而獲取有色溶液的濃度變化與對(duì)應(yīng)的待處理膜層的感光深度變化之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系，進(jìn)而確定有色溶液的濃度與感光深度補(bǔ)償量之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系。在實(shí)際應(yīng)用中，為了便于對(duì)關(guān)鍵尺寸的控制，還可以預(yù)先制作關(guān)鍵尺寸與有色溶液濃度間的對(duì)應(yīng)關(guān)系。

步驟702，根據(jù)補(bǔ)償區(qū)域處待處理膜層的感光深度補(bǔ)償量以及該對(duì)應(yīng)關(guān)系，確定具有對(duì)應(yīng)濃度有色溶液的至少一個(gè)溶液盒。

當(dāng)待處理膜層中補(bǔ)償區(qū)域的膜厚分布滿足第一條件時(shí)，即補(bǔ)償區(qū)域可分為至少一塊子區(qū)域，其中每一子區(qū)域的待處理膜層膜厚均勻時(shí)，可以根據(jù)補(bǔ)償區(qū)域中各子區(qū)域待處理膜層的膜厚以及該對(duì)應(yīng)關(guān)系，確定補(bǔ)償區(qū)域中各子區(qū)域投影位置分別需要具有何種濃度有色溶液的溶液盒進(jìn)行遮擋，以實(shí)現(xiàn)對(duì)補(bǔ)償區(qū)域的精準(zhǔn)補(bǔ)償。其中，補(bǔ)償區(qū)域是指待處理膜層膜厚相對(duì)平均膜厚的差異大于閾值膜厚的區(qū)域。

步驟703，將至少一個(gè)溶液盒設(shè)置在補(bǔ)償區(qū)域的對(duì)應(yīng)位置，以對(duì)補(bǔ)償區(qū)域待處理膜層的感光深度進(jìn)行定量補(bǔ)償。

在實(shí)際應(yīng)用中，若補(bǔ)償區(qū)域包括至少一個(gè)具有相似形狀的子區(qū)域，則可以根據(jù)補(bǔ)償區(qū)域的形狀和尺寸，將至少一個(gè)溶液盒分別插入補(bǔ)償裝置中與待處理膜層各子區(qū)域?qū)?yīng)的投影位置，以遮擋對(duì)應(yīng)的各子區(qū)域。例如，對(duì)于線狀的涂膠不良，即對(duì)于矩形的補(bǔ)償區(qū)域，可以利用矩形的溶液盒組合成對(duì)應(yīng)尺寸進(jìn)行遮擋。也就是說，在確定具有對(duì)應(yīng)濃度有色溶液的至少一個(gè)矩形溶液盒后，可以將該至少一個(gè)矩形溶液盒插入補(bǔ)償裝置中對(duì)應(yīng)位置的矩形槽位內(nèi)，以拼接成與補(bǔ)償區(qū)域?qū)?yīng)的形狀和尺寸，對(duì)該補(bǔ)償區(qū)域進(jìn)行遮擋。

步驟704，利用該補(bǔ)償裝置對(duì)待處理膜層進(jìn)行曝光。

在完成對(duì)補(bǔ)償裝置的調(diào)節(jié)后，補(bǔ)償裝置中溶液盒內(nèi)有色溶液的濃度可以實(shí)現(xiàn)對(duì)從曝光機(jī)出光口處出射的光線的有效控制，利用該補(bǔ)償裝置對(duì)待處理膜層進(jìn)行曝光，可以有效避免在相同曝光量的照射下使基底上涂敷的待處理膜層膜厚偏薄的位置曝光過度，從而保障曝光后在基板上形成均一的結(jié)構(gòu)尺寸。

綜上所述，本發(fā)明實(shí)施例提供的曝光方法中，通過獲取有色溶液的濃度與感光深度補(bǔ)償量之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系，并根據(jù)補(bǔ)償區(qū)域處待處理膜層的感光深度補(bǔ)償量以及該對(duì)應(yīng)關(guān)系，確定具有對(duì)應(yīng)濃度有色溶液的至少一個(gè)溶液盒，再將該至少一個(gè)溶液盒設(shè)置在補(bǔ)償區(qū)域的對(duì)應(yīng)位置，以對(duì)補(bǔ)償區(qū)域待處理膜層的感光深度進(jìn)行定量補(bǔ)償。從而通過對(duì)注有不同濃度有色溶液的多個(gè)溶液盒進(jìn)行組合，實(shí)現(xiàn)對(duì)不同區(qū)域不同膜厚的待處理膜層進(jìn)行遮擋，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)曝光量與待處理膜層膜厚的匹配性。當(dāng)需要遮擋的區(qū)域不同時(shí)，只需對(duì)溶液盒進(jìn)行替換即可進(jìn)行具有針對(duì)性地有效遮擋，操作非常簡(jiǎn)單便捷。

本發(fā)明實(shí)施例還提供了又一種曝光方法。參照?qǐng)D8，示出了本發(fā)明實(shí)施例提供的又一種曝光方法的流程圖。

步驟801，獲取有色溶液的濃度與感光深度補(bǔ)償量之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系。

具體的，可以預(yù)先通過實(shí)驗(yàn)確定有色溶液的濃度變化與對(duì)應(yīng)的待處理膜層的膜厚變化之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系，以準(zhǔn)確描述有色溶液的濃度變化對(duì)曝光顯影后待處理膜層的膜厚變化的影響。

步驟802，將電刷移動(dòng)至補(bǔ)償區(qū)域的中心位置處。

在實(shí)際應(yīng)用中，當(dāng)待處理膜層中補(bǔ)償區(qū)域的膜厚分布滿足第二條件時(shí)，即補(bǔ)償區(qū)域的待處理膜層膜厚呈梯度遞增，或呈梯度遞減時(shí)，可以根據(jù)該補(bǔ)償區(qū)域的形狀確定該補(bǔ)償區(qū)域的中心位置，并以該中心位置為圓點(diǎn)改變?nèi)芤汉袃?nèi)有色溶液的濃度分布。例如，當(dāng)基底上涂覆的待處理膜層存在圓形的涂膠不良時(shí)，即當(dāng)補(bǔ)償區(qū)域?yàn)閳A形時(shí)，可以將與曝光機(jī)出光口連接的電刷移動(dòng)至補(bǔ)償區(qū)域的圓心處，從而以此圓心為圓點(diǎn)改變?nèi)芤汉袃?nèi)有色溶液的濃度分布。

步驟803，根據(jù)補(bǔ)償區(qū)域處待處理膜層的感光深度補(bǔ)償量以及該對(duì)應(yīng)關(guān)系，確定中心位置處的觸點(diǎn)電極與溶液盒周邊位置處的對(duì)電極之間的電壓差。

在確定該補(bǔ)償區(qū)域的中心位置，并將與曝光機(jī)出光口連接的電刷移動(dòng)至該中心位置處后，可以根據(jù)該補(bǔ)償區(qū)域處待處理膜層的膜厚以及對(duì)應(yīng)關(guān)系，確定中心位置處的觸點(diǎn)電極與溶液盒周邊位置處的對(duì)電極之間的電壓差。

具體的，當(dāng)曝光機(jī)出光口帶動(dòng)電刷移至待處理膜層中補(bǔ)償區(qū)域的中心位置時(shí)，電流可以通過電刷傳導(dǎo)至中心位置處的觸點(diǎn)電極，進(jìn)而傳導(dǎo)至于該觸點(diǎn)電極相通的有色溶液。中心位置處的觸點(diǎn)電極與溶液盒周邊位置處的對(duì)電極之間的電壓差，可以用于改變有色溶液中顯色離子的分布，以調(diào)節(jié)補(bǔ)償區(qū)域處有色溶液的濃度。例如，若中心位置處的觸點(diǎn)電極通正電荷，周邊位置處的對(duì)電極通負(fù)電荷，顯色離子為fe3+。則中心區(qū)域fe3+將向溶液盒的周邊位置移動(dòng)，從而使中心位置處fe3+濃度降低，進(jìn)而起到增加溶液盒中心位置處透過率的作用。

步驟804，調(diào)節(jié)電刷及對(duì)電極上的電壓差，根據(jù)該電壓差控制溶液盒中有色溶液的濃度分布與補(bǔ)償區(qū)域的感光深度補(bǔ)償量匹配。

在通過該電壓差調(diào)整有色溶液濃度分布的過程中，可以通過控制中心位置處的觸點(diǎn)電極與溶液盒周邊位置處的對(duì)電極之間的電壓，調(diào)節(jié)溶液盒中有色溶液的濃度變化，使有色溶液的濃度分布穩(wěn)定在使透過該補(bǔ)償裝置的曝光量與待處理膜層膜厚匹配的程度。以實(shí)現(xiàn)對(duì)該補(bǔ)償區(qū)域的準(zhǔn)確補(bǔ)償。

步驟805，利用該補(bǔ)償裝置對(duì)待處理膜層進(jìn)行曝光。

在完成對(duì)補(bǔ)償裝置的調(diào)節(jié)后，補(bǔ)償裝置中溶液盒內(nèi)有色溶液的濃度可以實(shí)現(xiàn)對(duì)從曝光機(jī)出光口處出射的光線的有效控制，利用該補(bǔ)償裝置對(duì)待處理膜層進(jìn)行曝光，可以有效避免在相同曝光量的照射下使基底上涂敷的待處理膜層膜厚偏薄的位置曝光過度，從而保障曝光后在基板上形成均一的結(jié)構(gòu)尺寸。

綜上所述，本發(fā)明實(shí)施例提供的曝光方法中，通過獲取有色溶液的濃度與感光深度補(bǔ)償量之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系，并根據(jù)補(bǔ)償區(qū)域處待處理膜層的感光深度補(bǔ)償量以及該對(duì)應(yīng)關(guān)系，確定中心位置處的觸點(diǎn)電極與溶液盒周邊位置處的對(duì)電極之間的電壓差，再調(diào)節(jié)電刷及對(duì)電極上的電壓差，根據(jù)該電壓差控制溶液盒中有色溶液的濃度分布與補(bǔ)償區(qū)域的感光深度補(bǔ)償量匹配。從而可以利用該電壓差改變有色溶液中顯色離子的分布，達(dá)到調(diào)節(jié)補(bǔ)償區(qū)域處有色溶液的濃度的效果。進(jìn)而起到調(diào)節(jié)補(bǔ)償區(qū)域投影位置處溶液盒透過率的作用。由于在該電壓差作用下，可以在溶液盒內(nèi)產(chǎn)生以點(diǎn)為中心的濃度梯度圓環(huán)，因此可以對(duì)圓形的補(bǔ)償區(qū)域進(jìn)行精確的補(bǔ)償。

本說明書中的各個(gè)實(shí)施例均采用遞進(jìn)的方式描述，每個(gè)實(shí)施例重點(diǎn)說明的都是與其他實(shí)施例的不同之處，各個(gè)實(shí)施例之間相同相似的部分互相參見即可。

以上對(duì)本發(fā)明所提供的一種曝光裝置及曝光方法進(jìn)行了詳細(xì)介紹，本文中應(yīng)用了具體個(gè)例對(duì)本發(fā)明的原理及實(shí)施方式進(jìn)行了闡述，以上實(shí)施例的說明只是用于幫助理解本發(fā)明的方法及其核心思想；同時(shí)，對(duì)于本領(lǐng)域的一般技術(shù)人員，依據(jù)本發(fā)明的思想，在具體實(shí)施方式及應(yīng)用范圍上均會(huì)有改變之處，綜上所述，本說明書內(nèi)容不應(yīng)理解為對(duì)本發(fā)明的限制。