技術(shù)特征:
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種補(bǔ)償裝置、曝光裝置及曝光補(bǔ)償方法。其中,本發(fā)明提供的曝光裝置,可以通過曝光機(jī)基臺和曝光機(jī)出光口之間的補(bǔ)償裝置,調(diào)節(jié)出不同濃度的有色溶液對曝光機(jī)出射的光線進(jìn)行遮擋。待處理膜層中膜厚越薄的位置,投影位置處有色溶液的濃度越高,從而對待處理膜層的感光深度進(jìn)行定量補(bǔ)償,以實現(xiàn)曝光量與待處理膜層膜厚的匹配性,使得曝光后在基板上形成精密的結(jié)構(gòu)尺寸。
技術(shù)研發(fā)人員:毛元杰;侯學(xué)成;盧凱;李京鵬
受保護(hù)的技術(shù)使用者:京東方科技集團(tuán)股份有限公司;北京京東方光電科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日:2017.08.17
技術(shù)公布日:2017.10.17