本發(fā)明涉及罐以及藥液調(diào)制裝置，該罐將調(diào)制規(guī)定濃度的各種藥液的調(diào)制槽與貯存調(diào)制出的藥液的貯存槽構(gòu)成為一體，以便能夠設(shè)置為有效地利用有限的設(shè)置空間，該藥液調(diào)制裝置具備這種構(gòu)成為一體的罐，且能夠自動地調(diào)制規(guī)定濃度的各種藥液。

背景技術(shù)：

各種各樣的藥液在各個(gè)產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域中使用。為了最大限度地發(fā)揮作為藥液的性能，這些藥液需要是將有效成分以規(guī)定的濃度溶解于溶劑中而成的溶液。并且，開發(fā)并使用了自動地調(diào)制這種藥液的藥液調(diào)制裝置。

藥液調(diào)制裝置具備在調(diào)制規(guī)定的濃度的藥液時(shí)使用的調(diào)制槽。在多數(shù)情況下，藥液調(diào)制裝置不僅具備調(diào)制槽，還同時(shí)具備暫時(shí)貯存調(diào)制出的藥液的貯存槽。并且，這些調(diào)制槽與貯存槽為藥液調(diào)制裝置中需要最大的設(shè)置空間的設(shè)備。

然而，在導(dǎo)入藥液調(diào)制裝置時(shí)，從最初便能夠準(zhǔn)備充足的設(shè)置空間的情況較少。經(jīng)常不得不考慮將具有所需的調(diào)制容量的藥液調(diào)制裝置巧妙地設(shè)置在有效的設(shè)置空間中。在這種情況下，要求設(shè)計(jì)為能夠?qū)⑿枰蟮脑O(shè)置空間的調(diào)制槽與貯存槽設(shè)置為能夠有效地利用有限的設(shè)置空間。

在專利文獻(xiàn)1中公開了調(diào)制在半導(dǎo)體或液晶顯示器的制造工藝中使用的顯影液的藥液調(diào)制裝置。在專利文獻(xiàn)1中，公開了分別獨(dú)立地具備調(diào)制槽與貯存槽的以往型的藥液調(diào)制裝置，此外，公開了藥液調(diào)制罐呈同軸狀配置在藥液貯存罐的內(nèi)部的圓筒狀的雙重結(jié)構(gòu)罐。

在先技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開2002-324754號公報(bào)

然而，在專利文獻(xiàn)1的雙重結(jié)構(gòu)罐中，為了將藥液調(diào)制罐配置在藥液貯存罐的內(nèi)部，必需縮小藥液調(diào)制罐。因此，在采用該雙重結(jié)構(gòu)罐的藥液調(diào)制裝置中，存在不得不削減作為藥液調(diào)制裝置的裝置規(guī)格非常重要的調(diào)制容量的問題。

另外，在專利文獻(xiàn)1的雙重結(jié)構(gòu)罐中，由于將藥液調(diào)制罐配置在藥液貯存罐的內(nèi)部，因此難以對最要求充分地進(jìn)行攪拌的藥液調(diào)制罐的內(nèi)部的藥液進(jìn)行攪拌，難以迅速地調(diào)制均勻的藥液。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

發(fā)明所要解決的課題

本發(fā)明是鑒于在先技術(shù)中發(fā)現(xiàn)的上述諸課題而完成的。即，本發(fā)明的目的在于提供如下的罐以及藥液調(diào)制裝置，該罐將調(diào)制槽與貯存槽以容易對調(diào)制槽進(jìn)行攪拌的方式構(gòu)成為一體，以便不極力削減調(diào)制容量即能夠設(shè)置為有效地利用有限的設(shè)置空間，該藥液調(diào)制裝置具備這種構(gòu)成為一體的罐，且能夠自動地調(diào)制規(guī)定濃度的各種藥液。

用于解決課題的方案

為了達(dá)成上述目的，本發(fā)明的罐具備如下特征，調(diào)制所設(shè)定的濃度的藥液的調(diào)制槽與貯存所調(diào)制出的藥液的貯存槽構(gòu)成為一體。

本發(fā)明的優(yōu)選方式的罐通過將調(diào)制槽與貯存槽中的任一方配置在另一方的內(nèi)側(cè)，從而將調(diào)制槽與貯存槽構(gòu)成為一體。

在更優(yōu)選的方式中，是貯存槽配置在調(diào)制槽的內(nèi)側(cè)且調(diào)制槽與貯存槽構(gòu)成為一體的罐。此外，更優(yōu)選該構(gòu)成為一體的罐具備同軸雙重圓筒形狀。

本發(fā)明的優(yōu)選方式的罐將調(diào)制槽與貯存槽隔開的隔壁是調(diào)制槽以及貯存槽的側(cè)面的一部分，從而將調(diào)制槽與貯存槽構(gòu)成為一體。即，通過兩槽共用其側(cè)面的一部分而構(gòu)成為一體的罐。

本發(fā)明的優(yōu)選方式的罐通過以調(diào)制槽的底面成為貯存槽的上表面的方式將調(diào)制槽配置在貯存槽之上，從而將調(diào)制槽與貯存槽構(gòu)成為一體。

本發(fā)明的優(yōu)選方式的罐具備多個(gè)調(diào)制槽，上述多個(gè)調(diào)制槽與貯存槽構(gòu)成為一體。

根據(jù)本發(fā)明的罐，與分別獨(dú)立地具備調(diào)制槽與貯存槽的藥液調(diào)制用罐相比，能夠設(shè)置為有效地利用有限的設(shè)置空間。另外，本發(fā)明的罐能夠容易地對調(diào)制槽進(jìn)行攪拌，從而迅速地調(diào)制均勻的藥液。此外，與以往的罐相比，能夠在不極力削減調(diào)制容量的情況下將調(diào)制槽與貯存槽構(gòu)成為一體。

此外，在本發(fā)明的優(yōu)選方式的罐中，在將調(diào)制槽與貯存槽隔開的隔壁形成有供藥液在調(diào)制槽與貯存槽之間流通的流路。此外，更優(yōu)選形成有供氣體在調(diào)制槽的上部空間與貯存槽的上部空間之間流通的氣體連通路。

通過在將調(diào)制槽與貯存槽隔開的隔壁設(shè)置供藥液流通的流路、供氣體流通的氣體連通路，從而在本發(fā)明的優(yōu)選方式的罐中，無需配備以能夠使藥液、氣體在貯存槽與調(diào)制槽之間流通的方式連接的配管、送液泵等設(shè)備。因此，與需要這些配管的以往的罐相比，能夠形成能更加有效地利用設(shè)置空間的罐。

為了達(dá)成上述目的，本發(fā)明的藥液調(diào)制裝置具備：罐，該罐的調(diào)制所設(shè)定的濃度的藥液的調(diào)制槽與貯存由調(diào)制槽調(diào)制出的藥液的貯存槽構(gòu)成為一體；調(diào)制槽濃度測定機(jī)構(gòu)，其測定調(diào)制槽的藥液的濃度；以及控制機(jī)構(gòu)，其根據(jù)調(diào)制槽濃度測定機(jī)構(gòu)測定出的濃度來控制向調(diào)制槽供給的藥液的原料的供給量，以使得由調(diào)制槽調(diào)制出的藥液的濃度成為所設(shè)定的濃度。

本發(fā)明的優(yōu)選方式的藥液調(diào)制裝置具備調(diào)制槽與貯存槽中的任一方配置在另一方的內(nèi)側(cè)的罐。在更優(yōu)選的方式中，是具備貯存槽配置在調(diào)制槽的內(nèi)側(cè)的構(gòu)成為一體的罐的藥液調(diào)制裝置。此外，更優(yōu)選是具備該構(gòu)成為一體的罐具備同軸雙重圓筒形狀的藥液調(diào)制裝置。

本發(fā)明的優(yōu)選方式的藥液調(diào)制裝置具備罐，在該罐中，將調(diào)制槽與貯存槽隔開的隔壁是調(diào)制槽以及貯存槽的側(cè)面的一部分，從而調(diào)制槽與貯存槽構(gòu)成為一體。即，是具備通過兩槽共用其側(cè)面的一部分而構(gòu)成為一體的罐的藥液調(diào)制裝置。

本發(fā)明的優(yōu)選方式的藥液調(diào)制裝置具備罐，在該罐中，通過以調(diào)制槽的底面成為貯存槽的上表面的方式將調(diào)制槽配置在貯存槽之上，從而調(diào)制槽與貯存槽構(gòu)成為一體。

本發(fā)明的優(yōu)選方式的藥液調(diào)制裝置具備多個(gè)調(diào)制槽與貯存槽構(gòu)成為一體的罐，在上述多個(gè)調(diào)制槽的每一個(gè)配備有測定該調(diào)制槽中的藥液的濃度的調(diào)制槽濃度測定機(jī)構(gòu)。

根據(jù)本發(fā)明的藥液調(diào)制裝置，與分別獨(dú)立地具備調(diào)制槽與貯存槽的藥液調(diào)制裝置相比，能夠設(shè)置為有效地利用有限的設(shè)置空間。另外，本發(fā)明的藥液調(diào)制裝置能夠容易地對調(diào)制槽進(jìn)行攪拌，從而迅速地調(diào)制均勻的藥液。此外，與具備以往的罐的藥液調(diào)制裝置相比，能夠在不極力削減調(diào)制容量的情況下將調(diào)制槽與貯存槽構(gòu)成為一體。

本發(fā)明的優(yōu)選方式的藥液調(diào)制裝置還具備測定貯存槽的藥液的濃度的貯存槽濃度測定機(jī)構(gòu)。

根據(jù)該方式的藥液調(diào)制裝置，還能夠監(jiān)視貯存于貯存槽中等待供給的狀態(tài)下的藥液的濃度。此外，能夠?qū)⒂少A存槽濃度測定機(jī)構(gòu)測定出的藥液的濃度應(yīng)用于使所設(shè)定的濃度的藥液更高精度地成為設(shè)定濃度。

此外，在本發(fā)明的優(yōu)選方式的藥液調(diào)制裝置中，在將調(diào)制槽與貯存槽隔開的隔壁形成有供藥液在調(diào)制槽與貯存槽之間流通的流路。此外，更優(yōu)選形成有供氣體在調(diào)制槽的上部空間與貯存槽的上部空間之間流通的氣體連通路。

通過在將調(diào)制槽與貯存槽隔開的隔壁設(shè)置供藥液流通的流路、供氣體流通的氣體連通路，從而在本發(fā)明的優(yōu)選方式的藥液調(diào)制裝置中，無需配備以能夠使藥液、氣體在貯存槽與調(diào)制槽之間流通的方式連接的配管、送液泵等設(shè)備。因此，與需要這些配管的以往的藥液調(diào)制裝置相比，能夠形成能更加有效地利用設(shè)置空間的藥液調(diào)制裝置。

發(fā)明效果

本發(fā)明所涉及的藥液調(diào)制用的罐能夠設(shè)置為有效地利用有限的設(shè)置空間。本發(fā)明所涉及的藥液調(diào)制用的罐能夠無需極力削減調(diào)制容量。另外，在本發(fā)明所涉及的藥液調(diào)制用的罐中，容易對由調(diào)制槽調(diào)制出的藥液進(jìn)行攪拌。因此，能夠迅速地得到均勻的藥液。

同樣，本發(fā)明的藥液調(diào)制裝置能夠設(shè)置為有效地利用有限的設(shè)置空間。本發(fā)明的藥液調(diào)制裝置能夠無需極力削減調(diào)制容量。另外，本發(fā)明的藥液調(diào)制裝置容易對由調(diào)制槽調(diào)制出的藥液進(jìn)行攪拌。因此，能夠迅速地得到均勻的藥液。

附圖說明

圖1是通過在調(diào)制槽的內(nèi)側(cè)具備貯存槽而將它們構(gòu)成為一體的罐的立體圖。

圖2是通過在調(diào)制槽的內(nèi)側(cè)具備貯存槽而將它們構(gòu)成為一體的另一罐的立體圖。

圖3是通過在調(diào)制槽的內(nèi)側(cè)具備貯存槽而將它們構(gòu)成為一體的另一罐的立體圖。

圖4是通過在調(diào)制槽的內(nèi)側(cè)具備貯存槽而將它們構(gòu)成為一體的另一罐的立體圖。

圖5是通過在調(diào)制槽的內(nèi)側(cè)具備貯存槽而將它們構(gòu)成為一體的另一罐的立體圖。

圖6是通過在調(diào)制槽的內(nèi)側(cè)具備貯存槽而將它們構(gòu)成為一體的另一罐的立體圖。

圖7是通過在調(diào)制槽的內(nèi)側(cè)具備貯存槽而將它們構(gòu)成為一體的另一罐的立體圖。

圖8是通過在調(diào)制槽的內(nèi)側(cè)具備貯存槽而將它們構(gòu)成為一體的另一罐的立體圖。

圖9是調(diào)制槽與貯存槽通過共用側(cè)面的一部分而構(gòu)成為一體的罐的立體圖。

圖10是調(diào)制槽與貯存槽通過共用側(cè)面的一部分而構(gòu)成為一體的另一罐的立體圖。

圖11是調(diào)制槽與貯存槽通過共用側(cè)面的一部分而構(gòu)成為一體的另一罐的立體圖。

圖12是調(diào)制槽與貯存槽通過共用側(cè)面的一部分而構(gòu)成為一體的另一罐的立體圖。

圖13是調(diào)制槽與貯存槽通過共用側(cè)面的一部分而構(gòu)成為一體的另一罐的立體圖。

圖14是調(diào)制槽與貯存槽通過共用側(cè)面的一部分而構(gòu)成為一體的另一罐的立體圖。

圖15是調(diào)制槽與貯存槽通過共用側(cè)面的一部分而構(gòu)成為一體的另一罐的立體圖。

圖16是通過將調(diào)制槽設(shè)置在貯存槽之上而將它們構(gòu)成為一體的罐的立體圖。

圖17是通過將調(diào)制槽設(shè)置在貯存槽之上而將它們構(gòu)成為一體的另一罐的立體圖。

圖18是通過將調(diào)制槽設(shè)置在貯存槽之上而將它們構(gòu)成為一體的另一罐的立體圖。

圖19是通過將調(diào)制槽設(shè)置在貯存槽之上而將它們構(gòu)成為一體的另一罐的立體圖。

圖20是將兩個(gè)調(diào)制槽與一個(gè)貯存槽構(gòu)成為一體的罐的立體圖。

圖21是將兩個(gè)調(diào)制槽與一個(gè)貯存槽構(gòu)成為一體的另一罐的立體圖。

圖22是將兩個(gè)調(diào)制槽與一個(gè)貯存槽構(gòu)成為一體的另一罐的立體圖。

圖23是將兩個(gè)調(diào)制槽與一個(gè)貯存槽構(gòu)成為一體的另一罐的立體圖。

圖24是將兩個(gè)調(diào)制槽與一個(gè)貯存槽構(gòu)成為一體的另一罐的立體圖。

圖25是將兩個(gè)調(diào)制槽與一個(gè)貯存槽構(gòu)成為一體的另一罐的立體圖。

圖26是將兩個(gè)調(diào)制槽與一個(gè)貯存槽構(gòu)成為一體的另一罐的立體圖。

圖27是將兩個(gè)調(diào)制槽與一個(gè)貯存槽構(gòu)成為一體的另一罐的立體圖。

圖28是將兩個(gè)調(diào)制槽與一個(gè)貯存槽構(gòu)成為一體的另一罐的立體圖。

圖29是將兩個(gè)調(diào)制槽與一個(gè)貯存槽構(gòu)成為一體的另一罐的立體圖。

圖30是藥液調(diào)制裝置的示意圖。

圖31是罐的立體圖。

圖32是將罐沿水平方向切斷的剖視圖。

附圖標(biāo)記說明

1…計(jì)算機(jī)(控制機(jī)構(gòu))，2…貯存槽，3、3a、3b…調(diào)制槽，4…罐，5…藥液供給配管，6…積算流量計(jì)，8…流路，9…氣體連通路，10…藥液調(diào)制裝置，11、12…藥液原料貯存罐，13、14、15、16、17、18、19…控制閥，21…貯存槽濃度測定機(jī)構(gòu)，22…第二液面計(jì)，23、33…循環(huán)攪拌泵，24、34…循環(huán)管路，25…送液泵，26，35…噴流攪拌裝置，31…調(diào)制槽濃度測定機(jī)構(gòu)，32…第一液面計(jì)，41…純水供給配管，42…藥液原料補(bǔ)充配管，43…藥液原料供給配管，44、45、46、47、48、49、92…信號線，51…純水入口，52…藥液原料入口，53…藥液供給口，60…氮?dú)馊肟冢?2、65…氮?dú)夤┙o配管，70…支承腳，90…藥液使用設(shè)備，100…隔壁，102…底面，104…調(diào)制槽隔壁。

具體實(shí)施方式

以下，適當(dāng)參照附圖對本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)說明。其中，上述實(shí)施方式所記載的裝置的形狀、大小、尺寸比、其相對配置等在無特別說明的情況下不將本發(fā)明的范圍的限定于圖示范圍。作為單純的說明例，僅僅是示意性地進(jìn)行圖示。

以下說明的第一實(shí)施方式至第四實(shí)施方式用于對本發(fā)明的罐的優(yōu)選實(shí)施方式進(jìn)行說明。作為這些實(shí)施方式中共用的特征，能夠列舉調(diào)制槽與貯存槽構(gòu)成為一體。通過將兩槽構(gòu)成為一體，與將它們分別獨(dú)立地設(shè)置的情況相比，能夠有效地利用設(shè)置空間。

需要說明的是，為了對第一實(shí)施方式至第四實(shí)施方式的罐進(jìn)行說明，使用圖1～圖29中記載的罐的立體圖。對于這些附圖中描繪的罐而言，著重對各實(shí)施方式中調(diào)制槽與貯存槽如何構(gòu)成為一體進(jìn)行說明，因此對于與罐的主要結(jié)構(gòu)關(guān)聯(lián)較少的其他結(jié)構(gòu)、儀表類省略圖示。

但是，這并不表示不需要這些附圖中未圖示的其他結(jié)構(gòu)、儀表類。根據(jù)需要，在適當(dāng)?shù)奈恢茫赃m當(dāng)?shù)姆绞脚鋫溆形磮D示的其他結(jié)構(gòu)、儀表類。作為這些附圖中未圖示的其他結(jié)構(gòu)、儀表類，例如能夠列舉用于支承罐的腳部；用于向調(diào)制槽供給藥液的原料的供給機(jī)構(gòu)、配管等；用于攪拌藥液的攪拌機(jī)構(gòu)；用于管理藥液的濃度、液量的各種測定機(jī)構(gòu)、管理機(jī)構(gòu)；用于將調(diào)制出的藥液向罐外供給的供給機(jī)構(gòu)、配管類；設(shè)置于隔壁的藥液用的流路、氣體連通路等。

另外，在圖1～圖29中描繪出非常簡化的罐，但本發(fā)明的罐不限于這些附圖中圖示的簡化方式。在不變更發(fā)明的本質(zhì)的范圍內(nèi)，還包括罐的設(shè)計(jì)、在制作的現(xiàn)場經(jīng)常進(jìn)行那樣的少量變更。

作為這種變更，例如能夠列舉如下變更。為了防止局部的攪拌不良、液體積存，將罐內(nèi)部的角部形成為適當(dāng)?shù)那实那?；為了提高罐的?qiáng)度，使側(cè)部的平面帶有略微的曲率而形成為曲面，或?qū)⒐薜酌?、上表面形成為大致碗?bowl-shaped)的曲面；為了防止在從罐底部排出液體時(shí)的液體殘留，將罐底部形成為漏斗狀或曲面；在無需將罐形成為密封結(jié)構(gòu)的情況下將罐上表面形成為開放狀態(tài)；或者為了防止從密封的罐的上部空間排出氣體時(shí)的氣體殘留，將上部形成為曲面等。

第一實(shí)施方式至第三實(shí)施方式示出針對一個(gè)貯存槽具備一個(gè)調(diào)制槽的情況下的構(gòu)成為一體的罐的優(yōu)選實(shí)施方式。

[第一實(shí)施方式]

本實(shí)施方式的罐是通過將調(diào)制槽與貯存槽中的一方配置在另一方的內(nèi)側(cè)從而將調(diào)制槽與貯存槽構(gòu)成為一體的罐。哪一方在內(nèi)側(cè)哪一方在外側(cè)并不特別限定。但是，若以在調(diào)制槽中配備有貯存槽的方式將調(diào)制槽與貯存槽構(gòu)成為一體，則容易對需要充分的攪拌的調(diào)制槽中進(jìn)行攪拌，從而更為優(yōu)選。特別是，在與貯存容量相比調(diào)制容量大更為重要的情況下，通過將調(diào)制槽配置在貯存槽的外側(cè)，從而比較容易將調(diào)制槽制作得較大，較為適合。

圖1～8例示通過在調(diào)制槽的內(nèi)側(cè)配備貯存槽而將調(diào)制槽與貯存槽構(gòu)成為一體的本實(shí)施方式的罐。但是，并非想要將本實(shí)施方式所涉及的構(gòu)成為一體的罐限定為在調(diào)制槽的內(nèi)側(cè)配備有貯存槽的罐。也可以為使兩槽的內(nèi)、外的配置相反的方式的罐，即，在貯存槽的內(nèi)側(cè)配備有調(diào)制槽的罐。即便是在貯存槽的內(nèi)側(cè)配備有調(diào)制槽的罐，若與專利文獻(xiàn)1所圖示的同軸雙重圓筒形狀的罐不同，則與同軸雙重圓筒形狀的罐相比會起到更加優(yōu)異的效果。即，即便是在貯存槽的內(nèi)側(cè)配備有調(diào)制槽的罐，例如，在不呈同軸狀，或不呈圓筒形狀而是呈大致立方體或大致長方體形狀等的情況下，與以下使用圖1～8說明的在調(diào)制槽的內(nèi)側(cè)配備有貯存槽的罐相同地，基于能夠更加有效地利用設(shè)置空間的觀點(diǎn)，具有比專利文獻(xiàn)1所圖示的同軸雙重圓筒形狀的罐更加優(yōu)異的效果。

對于圖1所示的罐4而言，以貯存槽2配置在調(diào)制槽3的內(nèi)側(cè)、并且形成為縱置的同軸雙重圓筒形狀的方式將調(diào)制槽3與貯存槽2構(gòu)成為一體。即，以在圓筒形狀的調(diào)制槽3的內(nèi)側(cè)同樣呈圓筒形狀的貯存槽2共用中心軸而配置的方式構(gòu)成為一體的罐。罐4的水平方向的剖面中的調(diào)制槽3的半徑與貯存槽2的半徑的比率不限于圖1，按照所需的調(diào)制槽的內(nèi)容積、貯存槽的內(nèi)容積等而適當(dāng)?shù)刈杂稍O(shè)計(jì)。在此，縱置的圓筒形狀是指圓筒的中心軸沿著縱向(鉛垂方向)。

根據(jù)該方式的罐，不僅容易對調(diào)制槽3內(nèi)進(jìn)行攪拌，而且能夠得到非常順暢的攪拌流，適于對調(diào)制槽3內(nèi)的藥液進(jìn)行充分?jǐn)嚢?。特別是在采用通過噴流對調(diào)制槽3內(nèi)的藥液進(jìn)行攪拌的噴流攪拌方式的情況下，容易引起攪拌流，較為適合。

對于圖2所示的罐4而言，以貯存槽2配置在調(diào)制槽3的內(nèi)側(cè)、并且形成為縱置的同軸雙重筒形狀的方式將調(diào)制槽3與貯存槽2構(gòu)成為一體。在圖2中，調(diào)制槽3呈大致桶形狀，貯存槽2呈圓筒形狀，但不限于此。也可以調(diào)制槽3、貯存槽2這兩方均呈大致桶形狀(barrel-shaped)，還可以調(diào)制槽3呈圓筒形狀而貯存槽2呈大致桶形狀。貯存槽2與調(diào)制槽3同軸。與圖1的情況相同，兩槽的水平剖面中的半徑比能夠根據(jù)各種設(shè)計(jì)條件而適當(dāng)?shù)刈杂稍O(shè)計(jì)。對于大致桶形狀的側(cè)面的鼓起程度，也不限于圖2而能夠自由設(shè)計(jì)。

根據(jù)該方式的罐，與圖1的情況的罐相同，容易對調(diào)制槽3內(nèi)的藥液進(jìn)行攪拌從而能夠充分地進(jìn)行攪拌，容易產(chǎn)生順暢的攪拌流，容易引起攪拌流。此外，通過使外側(cè)的調(diào)制槽3的側(cè)面鼓起，從而與將側(cè)面形成為圓筒形狀的情況相比，能夠增大調(diào)制槽3的內(nèi)容積。此外，對于外觀形狀能夠形成為更加優(yōu)美的設(shè)計(jì)。

作為使用圖1以及圖2示出的實(shí)施方式的罐的變形例，能夠列舉罐的水平方向的剖面的形狀為橢圓形的圖1或者圖2的罐。除外側(cè)的調(diào)制槽3與內(nèi)側(cè)的貯存槽2均具有橢圓形的剖面形狀的情況以外，也可以外側(cè)的調(diào)制槽3具有橢圓形的剖面而內(nèi)側(cè)的貯存槽2具有圓形的剖面。在兩槽均具有橢圓形的剖面的情況下，兩槽的橢圓形剖面可以為彼此相似的形狀，也可以不相似。兩槽的橢圓形剖面的長軸以及短軸的方向可以相同，也可以不同。

根據(jù)該變形例的罐，在罐的設(shè)置空間的地面呈長方形的情況下，與設(shè)置圖1、圖2這樣的剖面形狀呈圓形的罐相比，能夠盡可能地將調(diào)制槽的內(nèi)容積等確保得較大，并且能夠更加有效地利用罐的設(shè)置空間。

對于圖3所示的罐4而言，以貯存槽2配置在調(diào)制槽3的內(nèi)側(cè)、并且形成為雙重筒形狀的方式將調(diào)制槽3與貯存槽2構(gòu)成為一體。罐4的外形呈大致立方體或大致長方體形狀，貯存槽2呈縱置的圓筒形狀。

根據(jù)該方式的罐，在罐的設(shè)置空間的地面呈正方形、長方形的情況下，與設(shè)置圓筒形狀的罐相比，能夠盡可能地將調(diào)制槽的內(nèi)容積確保得較大，并且能夠更加有效地利用罐的設(shè)置空間。

對于圖4所示的罐4而言，以貯存槽2配置在調(diào)制槽3的內(nèi)側(cè)、并且形成為雙重筒形狀的方式將調(diào)制槽3與貯存槽2構(gòu)成為一體。罐4的外形呈大致立方體或大致長方體形狀，貯存槽2呈大致立方體或大致長方體形狀。需要說明的是，在圖4中繪出外側(cè)的調(diào)制槽3的水平方向的剖面形狀的角的某一方向與內(nèi)側(cè)的貯存槽2的水平方向的剖面形狀的角的某一方向相同的情況，換言之，繪出在俯視觀察時(shí)調(diào)制槽3的對角線與貯存槽2的對角線重疊的情況，但不限于此。內(nèi)槽與外槽的剖面的角的方向也可以不相同。

該方式的罐能夠視為使用圖3示出的實(shí)施方式的罐的變形例，具有與使用圖3示出的實(shí)施方式同樣的效果。即，在罐的設(shè)置空間的地面呈正方形、長方形的情況下，與設(shè)置圓筒形狀的罐相比，能夠盡可能地將調(diào)制槽的內(nèi)容積確保得較大，并且能夠更加有效地利用罐的設(shè)置空間。此外，在該方式的罐中，內(nèi)側(cè)的貯存槽2具有角，從而使外側(cè)的調(diào)制槽3內(nèi)的攪拌流產(chǎn)生適當(dāng)?shù)男鮼y，從而促進(jìn)了攪拌、混合。

對于圖5所示的罐4而言，以貯存槽2配置在調(diào)制槽3的內(nèi)側(cè)、并且形成為縱置的同軸雙重筒形狀的方式將調(diào)制槽3與貯存槽2構(gòu)成為一體。雖然以調(diào)制槽3呈水平剖面為六邊形的筒狀、貯存槽2呈圓筒形狀的方式繪出，但不限于此。外側(cè)的調(diào)制槽3的剖面也可以呈任意的多邊形形狀，另外，內(nèi)側(cè)的貯存槽2的剖面也可以呈任意的多邊形形狀、橢圓形形狀。內(nèi)側(cè)的貯存槽2也可以呈大致桶型形狀。需要說明的是，在圖5中，貯存槽2與調(diào)制槽3同軸。

根據(jù)該方式的罐，即便罐的設(shè)置空間的地面是任意的形狀，也能夠形成能按照其設(shè)置空間而盡可能地將調(diào)制槽的內(nèi)容積確保得較大、并且最大限度地有效利用罐的設(shè)置空間的罐。另外，根據(jù)該方式的罐，能夠相對廉價(jià)且容易地制作罐。例如，存下如下情況等：因罐的高度高等理由，在分別準(zhǔn)備內(nèi)側(cè)的貯存槽2與外側(cè)的調(diào)制槽3后，無法采用將貯存槽2懸吊而插入調(diào)制槽3的內(nèi)側(cè)這樣的制作工序。在這種情況下，在準(zhǔn)備好貯存槽2后，通過采用以包圍貯存槽2的方式通過焊接等將調(diào)制槽3的側(cè)面的板材無漏液地接合而組成調(diào)制槽3這樣的制作工序，能夠相對廉價(jià)且容易地制作。

對于圖6所示的罐4而言，以貯存槽2配置在調(diào)制槽3的內(nèi)側(cè)、并且形成為縱置的雙重圓筒形狀的方式將調(diào)制槽3與貯存槽2構(gòu)成為一體。貯存槽2與調(diào)制槽3各自的水平方向的剖面呈圓筒形狀，但并不同軸，各自的中心軸偏心。

對于圖7所示的罐4而言，以貯存槽2配置在調(diào)制槽3的內(nèi)側(cè)、并且形成為縱置的雙重筒形狀的方式將調(diào)制槽3與貯存槽2構(gòu)成為一體。調(diào)制槽3呈大致橢圓筒形狀，貯存槽2呈圓筒形狀。貯存槽2與調(diào)制槽3并不同軸，各自的中心軸偏心。

圖6以及圖7的罐能夠視為圖1的罐的變形例。由于內(nèi)槽與外槽并不同軸，因此能夠在外槽即調(diào)制槽3內(nèi)的一側(cè)得到寬闊的空間，在這一點(diǎn)上有時(shí)比同軸的罐優(yōu)異。

例如，在想要在調(diào)制槽3內(nèi)設(shè)置攪拌裝置、濃度計(jì)、液面計(jì)等，但采用同軸形狀的罐無法確保充分的設(shè)置空間時(shí)等有利。例如，有在設(shè)置時(shí)必須與容器的壁面隔開充分距離而設(shè)置的類型的液面計(jì)，在設(shè)置這種液面計(jì)的情況下，若限定為同軸形狀而設(shè)計(jì)罐則必須增大外槽的調(diào)制槽3，難以形成收納于罐的設(shè)置空間的大小。在這種情況下，通過放棄同軸形狀而如圖6、圖7那樣形成為中心軸錯(cuò)開的雙重結(jié)構(gòu)的罐，能夠在不改變外槽即調(diào)制槽3的大小的情況下，在調(diào)制槽3內(nèi)確保液面計(jì)等的設(shè)置空間。

同樣，對于使用圖2～圖5的附圖說明的方式的罐，也能夠列舉如圖6、圖7所示的中心軸錯(cuò)開的方式的罐來作為它們的變形例。具有與使用圖6、圖7說明的方式的罐同樣的效果。

對于圖8所示的罐4而言，以貯存槽2配置在調(diào)制槽3的內(nèi)側(cè)、并且形成為橫置的同軸雙重圓筒形狀的方式將調(diào)制槽3與貯存槽2構(gòu)成為一體。在圖8中，繪出同軸雙重圓筒的罐形狀，但不限于此。也可以為以不同軸而中心軸錯(cuò)開的方式組合而成的罐形狀。調(diào)制槽3、貯存槽2也可以如使用圖2～圖5的附圖說明的方式的罐那樣，形成為采取橢圓筒、桶型、多邊形筒、長方體、立方體等各種形狀的罐形狀。橫置的圓筒形狀是指圓筒的中心軸沿著橫向(水平方向)。

根據(jù)該方式的罐，在罐的設(shè)置空間在高度方向上受限而在橫向上寬闊的情況下，能夠形成為不增高高度而能夠有效地利用橫向的設(shè)置空間的罐?；蛘?，通過腳部支承罐，能夠在罐的下方的空間設(shè)置送液泵、配管類等。

需要說明的是，第一實(shí)施方式的罐是通過將調(diào)制槽與貯存槽中的一方呈嵌套狀配置在另一方的內(nèi)側(cè)而構(gòu)成為一體的罐。在該情況下，配置在內(nèi)側(cè)的槽的壁面成為將貯存槽2與調(diào)制槽3隔開的隔壁100。在此，根據(jù)需要適當(dāng)形成供藥液流通的流路、供氣體流通的氣體連通路。

[第二實(shí)施方式]

本實(shí)施方式的罐是通過使將調(diào)制槽3與貯存槽2隔開的隔壁100成為調(diào)制槽3以及貯存槽2的側(cè)面的一部分而構(gòu)成為一體的罐。即，調(diào)制槽3與貯存槽2將其側(cè)面的一部分設(shè)為隔壁100共用而構(gòu)成為一體的罐。根據(jù)本實(shí)施方式的罐，不僅能夠有效地利用罐的設(shè)置空間，并且與將調(diào)制槽以及貯存槽以嵌套狀組合而成的罐相比，在調(diào)制槽內(nèi)和貯存槽內(nèi)均容易進(jìn)行攪拌，故而優(yōu)選。

圖9所示的罐4是將調(diào)制槽3與貯存槽2隔著隔壁100接合而一體化的罐，該調(diào)制槽3與貯存槽2呈將圓筒沿中心軸切成兩半而成的半圓筒形狀。隔壁100構(gòu)成調(diào)制槽3以及貯存槽2的側(cè)面的一部分。罐4的外形呈縱置的圓筒形狀。需要說明的是，隔壁100是平面。

根據(jù)該實(shí)施方式的罐，不僅能夠有效地利用罐的設(shè)置空間，并且與將調(diào)制槽以及貯存槽2以嵌套狀組合而成的罐相比，在調(diào)制槽內(nèi)和貯存槽內(nèi)均容易進(jìn)行攪拌。

圖10所示的罐4是將調(diào)制槽3與貯存槽2隔著隔壁100接合而一體化的罐，該調(diào)制槽3與貯存槽2呈將圓筒的一部分沿中心軸切除而成的形狀。隔壁100構(gòu)成調(diào)制槽3以及貯存槽2的側(cè)面的一部分。罐4的外形呈大致葫蘆形狀。隔壁100是平面。需要說明的是，在圖10中繪出為調(diào)制槽3與貯存槽2隔著隔壁100對稱，但不限于該情況。例如，也可以僅將貯存槽2形成為半圓筒形狀等，適當(dāng)變更調(diào)制槽3與貯存槽2的大小、形狀等而組合。

該方式的罐能夠視為圖9所示的方式的罐的變形例，起到同樣的效果。另外，在使用圖10說明的方式的罐中，還能夠自由地設(shè)計(jì)調(diào)制槽3、貯存槽2的內(nèi)容積。

圖11所示的罐4是將貯存槽2與圓筒形狀的調(diào)制槽3的側(cè)面接合而一體化的罐，該貯存槽2呈將圓筒的一部分沿中心軸切除而成的形狀。調(diào)制槽3的側(cè)面中的堵塞貯存槽2的側(cè)面的切口部分的部分成為隔壁100。隔壁100構(gòu)成調(diào)制槽3以及貯存槽2的側(cè)面的一部分。罐4的外形呈大致葫蘆形狀。調(diào)制槽3與貯存槽2也可以相反地設(shè)置。需要說明的是，在本實(shí)施方式中，隔壁100是彎曲面。

該方式的罐能夠視為圖10所示的方式的罐的變形例，具有同樣的效果。另外，與使用圖10說明的方式的罐相比，調(diào)制槽3可以保持圓筒形狀而無需切斷，因此制作的工時(shí)減少從而能夠容易地制作。

圖12所示的罐4是將呈長方體或立方體形狀的調(diào)制槽3與貯存槽2以橫向排列的方式接合而一體化的罐。隔壁100構(gòu)成調(diào)制槽3以及貯存槽2的側(cè)面的一部分。罐4的外形呈大致長方體形狀或大致立方體形狀。需要說明的是，在本實(shí)施方式中，隔壁100是平面。

根據(jù)該方式的罐，在罐的設(shè)置空間的地面呈正方形、長方形等情況下，與剖面形狀呈將圓組合而成的大致葫蘆形狀相比，能夠更加有效地利用罐的設(shè)置空間。

圖13所示的罐4是圖9所示的罐4變形例，其剖面形狀呈橢圓或長圓形狀。隔壁100構(gòu)成調(diào)制槽3以及貯存槽2的側(cè)面的一部分。罐4的外形呈大致橢圓筒形狀。調(diào)制槽3與貯存槽2可以形成為隔著隔壁100對稱。需要說明的是，在本實(shí)施方式中，隔壁100是平面。

根據(jù)該方式的罐，在罐的設(shè)置空間的地面呈長方形的情況下，與將剖面形狀設(shè)為圖9、10、11的形狀相比，能夠更加有效地利用罐的設(shè)置空間。

圖14所示的罐4是將調(diào)制槽3與貯存槽2隔著隔壁100接合而一體化的罐，該調(diào)制槽3與貯存槽2呈將圓筒沿中心軸切成兩半而成的半圓筒形狀。隔壁100構(gòu)成調(diào)制槽3以及貯存槽2的側(cè)面的一部分。罐4的外形呈橫置的圓筒形狀。橫置的圓筒形狀是指圓筒的中心軸沿著橫向(水平方向)。需要說明的是，在本實(shí)施方式中，隔壁100是平面。

根據(jù)該方式的罐，在罐的設(shè)置空間在高度方向上受限而在橫向上寬闊的情況下，能夠形成為不增高高度而能夠有效地利用橫向的設(shè)置空間的罐。若通過腳部支承罐，則能夠在罐的下方的空間設(shè)置送液泵、配管類等。

圖15所示的罐4是將調(diào)制槽3與大致立方體形狀或大致長方體形狀的貯存槽2的側(cè)面接合而一體化的罐，該調(diào)制槽3呈將圓筒的一部分沿中心軸切除而成的形狀。調(diào)制槽3也可以呈將橢圓筒的一部分切除而成的形狀。貯存槽2的水平方向的剖面可以不呈四邊形而是呈其他多邊形。貯存槽2與調(diào)制槽3也可以相反地設(shè)置。需要說明的是，在本實(shí)施方式中，隔壁100是平面。

根據(jù)該方式的罐，調(diào)制槽3呈將圓筒的一部分切除而成的形狀，因此容易在調(diào)制槽3內(nèi)的藥液中引起攪拌流，從而容易進(jìn)行攪拌。特別是在通過噴流進(jìn)行攪拌的情況下，容易通過噴流而使槽內(nèi)的藥液流動。另一方面，貯存槽2呈大致立方體或大致長方體的形狀，因此在相同的設(shè)置面積內(nèi)與設(shè)置圓筒形狀的貯存槽相比，能夠增大貯存槽的內(nèi)容積，能夠更加有效地利用罐的設(shè)置空間。

[第三實(shí)施方式]

本實(shí)施方式的罐以調(diào)制槽3的底面成為貯存槽2的上表面的方式將調(diào)制槽3配置在貯存槽2之上，從而將調(diào)制槽3與貯存槽2構(gòu)成為一體。根據(jù)本實(shí)施方式的罐，不僅能夠有效地利用罐的設(shè)置空間，并且與將調(diào)制槽3以及貯存槽2以嵌套狀組合而成的罐相比，在調(diào)制槽內(nèi)和貯存槽內(nèi)均容易進(jìn)行攪拌，故而優(yōu)選。

對于圖16所示的罐4而言，以調(diào)制槽3的底面102成為貯存槽2的上表面的方式將調(diào)制槽3配置在貯存槽2之上，從而將調(diào)制槽3與貯存槽2構(gòu)成為一體。底面102也是將調(diào)制槽3與貯存槽2隔開的隔壁。罐4的外形呈縱置的圓筒形狀。調(diào)制槽3與貯存槽2也可以不具有相同的直徑。

該方式的罐適于罐的設(shè)置空間在水平方向上受限而在高度方向上不受限的情況等。與單獨(dú)地設(shè)置調(diào)制槽與貯存槽的情況相比，能夠通過與一個(gè)貯存槽相應(yīng)的地板占有面積，設(shè)置與設(shè)置兩槽同等的罐。另外，根據(jù)該方式的罐，與將調(diào)制槽3以及貯存槽2以嵌套狀組合而成的罐相比，在調(diào)制槽內(nèi)和貯存槽內(nèi)均容易進(jìn)行攪拌。此外，在該方式的罐中，將調(diào)制槽配備在貯存槽之上，因此若在底面102(隔壁)配備有供藥液從調(diào)制槽3向貯存槽2流通的流路，則當(dāng)因從貯存槽2向罐外供給藥液而使貯存槽2內(nèi)的液量減少時(shí)，減少量的藥液自然地從調(diào)制槽3通過該流路向貯存槽2移送。貯存槽2內(nèi)的藥液無需送液泵等而自動地從調(diào)制槽3補(bǔ)給。

對于圖17所示的罐4而言，以調(diào)制槽3的底面102成為貯存槽2的上表面的方式將調(diào)制槽3配置在貯存槽2之上，從而將調(diào)制槽3與貯存槽2構(gòu)成為一體。底面102也是將調(diào)制槽3與貯存槽2隔開的隔壁。罐4的外形呈大致長方體形狀或大致立方體形狀。調(diào)制槽3與貯存槽2可以不具有相同的大小。

根據(jù)該方式的罐，除得到與使用圖16說明的方式的罐同樣的效果以外，在罐的設(shè)置空間的地面呈正方形、長方形的情況下，與設(shè)置水平方向的剖面呈圓形、橢圓形的罐相比，能夠有效地利用設(shè)置空間，能夠增大兩槽的內(nèi)容積。

對于圖18所示的罐4而言，以調(diào)制槽3的底面102成為貯存槽2的上表面的方式將調(diào)制槽3配置在貯存槽2之上，從而將調(diào)制槽3與貯存槽2構(gòu)成為一體。底面102也是將調(diào)制槽3與貯存槽2隔開的隔壁。罐4的外形呈大致橢圓筒形狀。調(diào)制槽3與貯存槽2可以不具有相同的大小。

根據(jù)該方式的罐，除得到與使用圖16說明的方式的罐同樣的效果以外，在罐的設(shè)置空間的地面呈長方形的情況下，與設(shè)置水平方向的剖面呈圓形的罐相比，能夠有效地利用設(shè)置空間，能夠增大兩槽的內(nèi)容積。

對于圖19所示的罐4而言，以調(diào)制槽3的底面102成為貯存槽2的上表面的方式將調(diào)制槽3配置在貯存槽2之上，從而將調(diào)制槽3與貯存槽2構(gòu)成為一體。底面102也是將調(diào)制槽3與貯存槽2隔開的隔壁。罐4的外形呈橫置的圓筒形狀。橫置的圓筒形狀是指圓筒的中心軸沿著橫向(水平方向)。

根據(jù)該方式的罐，除得到與使用圖16說明的方式的罐同樣的效果以外，在罐的設(shè)置空間在高度方向上受限而在橫向上寬闊的情況下，能夠形成為不增高高度而能夠有效地利用橫向的設(shè)置空間的罐。若通過腳部支承罐，則能夠在罐的下方的空間設(shè)置送液泵、配管類等。

[第四實(shí)施方式]

在本實(shí)施方式中，作為具備多個(gè)調(diào)制槽的例子，例示將兩個(gè)調(diào)制槽與一個(gè)貯存槽構(gòu)成為一體的罐。多個(gè)調(diào)制槽以至少與貯存槽鄰接的方式配置，或者上下配置，從而構(gòu)成為一體。

對于圖20所示的罐4而言，將貯存槽2配置在調(diào)制槽的內(nèi)側(cè)，從而將調(diào)制槽以及貯存槽2構(gòu)成為一體。對于調(diào)制槽而言，兩個(gè)調(diào)制槽3a與3b以調(diào)制槽3a的底面102成為調(diào)制槽3b的上表面的方式上下層疊。貯存槽2貫通調(diào)制槽3a與調(diào)制槽3b。罐4的外形呈縱置的圓筒形狀。貯存槽2的側(cè)面成為將調(diào)制槽3a、3b與貯存槽2隔開的隔壁100。需要說明的是，在圖20中繪出將貯存槽配置在上下分成兩層的調(diào)制槽的內(nèi)側(cè)的同軸雙重圓筒形狀的罐，但不限于此。也可以采用不同軸而中心軸錯(cuò)開的變形例、具有橢圓、多邊形的剖面的變形例等第一實(shí)施方式中說明的各種變形例。另外，調(diào)制槽3a、3b可以不具有相同的大小。

根據(jù)該方式的罐，除能夠得到與第一實(shí)施方式中說明的方式的罐同樣的效果以外，由于具備兩個(gè)調(diào)制槽，因此即便任一方發(fā)生故障，也能夠通過另一方的調(diào)制槽繼續(xù)進(jìn)行藥液的調(diào)制，能夠不中斷而連續(xù)地向貯存槽供給由調(diào)制槽調(diào)制的藥液。

對于圖21所示的罐4而言，通過將兩個(gè)調(diào)制槽3a、3b配置在貯存槽2中，從而將調(diào)制槽3a、3b以及貯存槽2構(gòu)成為一體。罐4的外形呈大致橢圓筒形狀。調(diào)制槽3a、3b呈縱置的圓筒形狀。

根據(jù)該方式的罐，由于具備兩個(gè)調(diào)制槽，因此即便任一方發(fā)生故障，也能夠通過另一方的調(diào)制槽繼續(xù)進(jìn)行藥液的調(diào)制。能夠不中斷而連續(xù)地向貯存槽供給由調(diào)制槽調(diào)制的藥液。

對于圖22所示的罐4而言，以兩個(gè)調(diào)制槽3a、3b與一個(gè)貯存槽2形成為一個(gè)圓筒形狀的方式，將調(diào)制槽3a、3b以及貯存槽2構(gòu)成為一體。隔壁100構(gòu)成調(diào)制槽3a、3b以及貯存槽2的側(cè)面的一部分。罐4的外形呈縱置的圓筒形狀。需要說明的是，在圖22中，隔壁100由三個(gè)平面構(gòu)成，各平面從罐4的中心軸朝向罐4的側(cè)面延伸。在圖22中以將圓筒三等分的方式繪出，但不限于此。也可以不三等分。該情況可以包括使隔壁100的中心軸上的接合的角度從120度起改變從而改變各槽的內(nèi)容積的情況，也可以包括通過使隔壁100的接合位置偏離圓筒的中心軸從而改變各槽的內(nèi)容積的情況。

根據(jù)該方式的罐，不僅能夠有效地利用罐的設(shè)置空間，而且在外觀上也能夠如成為一個(gè)罐那樣優(yōu)美地設(shè)計(jì)。當(dāng)然，由于具備兩個(gè)調(diào)制槽，因此即便任一方發(fā)生故障，也能夠通過另一方的調(diào)制槽繼續(xù)進(jìn)行藥液的調(diào)制。

對于圖23所示的罐4而言，將調(diào)制槽3a、3b接合于大致長方體形狀的貯存槽2的兩側(cè)面，從而將調(diào)制槽3a、3b以及貯存槽2構(gòu)成為一體。隔壁100由貯存槽2與調(diào)制槽3a、3b相接的側(cè)面構(gòu)成。隔壁100均是平面。罐4的外形呈大致長方體形狀或大致立方體形狀。需要說明的是，在圖23中繪出調(diào)制槽3a與3b配置為夾著貯存槽2的方式，但不限于此。

根據(jù)該方式的罐，由于具備兩個(gè)調(diào)制槽，因此即便任一方發(fā)生故障，也能夠通過另一方的調(diào)制槽繼續(xù)進(jìn)行藥液的調(diào)制，能夠不中斷而連續(xù)地供給所調(diào)制的藥液。在罐的設(shè)置空間的地面呈正方形或長方形的情況下，與設(shè)置圓筒形狀的罐相比，能夠有效地利用設(shè)置空間，能夠增大各槽的內(nèi)容積。

對于圖24所示的罐4而言，將半圓筒形狀的兩個(gè)調(diào)制槽3a、3b接合于大致長方體形狀的貯存槽2的兩側(cè)面，從而將調(diào)制槽3a、3b以及貯存槽2構(gòu)成為一體。隔壁100由貯存槽2與調(diào)制槽3a、3b相接的側(cè)面構(gòu)成。隔壁100均是平面。罐4的外形呈大致橫長圓筒形狀。也可以呈大致橢圓筒形狀。需要說明的是，在圖24中繪出調(diào)制槽3a與3b配置為夾著貯存槽2的方式，但不限于此。此外，也能夠列舉隔壁100不是平面而是曲面的變形例。例如，調(diào)制槽3a、3b呈圓筒形狀的情況等(隔壁100為該圓筒的側(cè)面的一部分)。

根據(jù)該方式的罐，由于具備兩個(gè)調(diào)制槽，因此即便任一方發(fā)生故障，也能夠通過另一方的調(diào)制槽繼續(xù)進(jìn)行藥液的調(diào)制，能夠不中斷而連續(xù)地向貯存槽供給由調(diào)制槽調(diào)制的藥液。在外觀上也能夠如成為一個(gè)罐那樣優(yōu)美地設(shè)計(jì)。

對于圖25所示的罐4而言，使呈將圓筒的一部分沿著中心軸切除而成的形狀的兩個(gè)調(diào)制槽3a、3b與呈大致立方體或大致長方體形狀的一個(gè)貯存槽2接合，從而將調(diào)制槽3a、3b以及貯存槽2構(gòu)成為一體。隔壁100構(gòu)成調(diào)制槽3a以及貯存槽2的側(cè)面的一部分，另一隔壁100構(gòu)成調(diào)制槽3b以及貯存槽2的側(cè)面的一部分。需要說明的是，在圖25中，隔壁100由兩個(gè)平面構(gòu)成，但不限于此。也能夠列舉隔壁100不是平面而是曲面的變形例。例如，調(diào)制槽3a、3b呈圓筒形狀的情況等(隔壁100為該圓筒的側(cè)面的一部分)。另外，在圖25中繪出調(diào)制槽3a與3b配置為夾著貯存槽2的方式，但不限于此。

根據(jù)該方式的罐，調(diào)制槽3a、3b呈將圓筒的一部分切除而成的形狀，因此容易在調(diào)制槽3a、3b內(nèi)的藥液中引起攪拌流，從而容易進(jìn)行攪拌。特別是在通過噴流進(jìn)行攪拌的情況下，容易通過噴流而使槽內(nèi)的藥液流動。另一方面，貯存槽2呈大致立方體或大致長方體的形狀，因此在相同的設(shè)置面積內(nèi)與設(shè)置圓筒形狀的貯存槽相比，能夠增大貯存槽的內(nèi)容積，能夠更加有效地利用罐的設(shè)置空間。另外，根據(jù)該方式的罐，由于具備兩個(gè)調(diào)制槽，因此即便任一方發(fā)生故障，也能夠通過另一方的調(diào)制槽繼續(xù)進(jìn)行藥液的調(diào)制，能夠不中斷而連續(xù)地向貯存槽供給由調(diào)制槽調(diào)制的藥液。

對于圖26所示的罐4而言，以調(diào)制槽3a與調(diào)制槽3b的底面102成為貯存槽2的上表面的方式，將調(diào)制槽3a、3b配置在貯存槽2之上，從而將調(diào)制槽3a、3b以及貯存槽2構(gòu)成為一體。底面102也是將調(diào)制槽3a、3b與貯存槽2隔開的隔壁。罐4的外形呈縱置的圓筒形狀。調(diào)制槽3a、3b與貯存槽2也可以不具有相同的直徑。另外，罐4的外形也可以呈橢圓筒形狀等。將調(diào)制槽3a與調(diào)制槽3b隔開的調(diào)制槽隔壁104構(gòu)成調(diào)制槽3a與調(diào)制槽3b的側(cè)面的一部分，從而將調(diào)制槽3a與調(diào)制槽3b構(gòu)成為一體的罐。

該方式的罐適于罐的設(shè)置空間在水平方向上受限而在高度方向上不受限的情況等。與單獨(dú)地設(shè)置調(diào)制槽與貯存槽的情況相比，能夠通過與一個(gè)貯存槽相應(yīng)的地板占有面積，設(shè)置與設(shè)置兩槽同等的罐。另外，根據(jù)該方式的罐，與將調(diào)制槽以及貯存槽以嵌套狀組合而成的罐相比，在調(diào)制槽內(nèi)和貯存槽內(nèi)均容易進(jìn)行攪拌。此外，在該方式的罐中，將調(diào)制槽配備在貯存槽之上，因此若在底面102(隔壁)配備有供藥液流通的流路，則當(dāng)因向罐外供給藥液而使貯存槽2內(nèi)的液量減少時(shí)，減少量的藥液自然地從調(diào)制槽3a、3b分別通過該流路向貯存槽2移送。貯存槽2內(nèi)的藥液無需送液泵等而自動地從調(diào)制槽3a、3b補(bǔ)給。此外，根據(jù)該方式的罐，由于具備兩個(gè)調(diào)制槽，因此即便任一方發(fā)生故障，也能夠通過另一方的調(diào)制槽繼續(xù)進(jìn)行藥液的調(diào)制，能夠不中斷而連續(xù)地向貯存槽供給由調(diào)制槽調(diào)制的藥液。

對于圖27所示的罐4而言，以被調(diào)制槽隔壁104隔開的調(diào)制槽3a與調(diào)制槽3b的底面102成為貯存槽2的上表面的方式，將調(diào)制槽3a、3b配置在貯存槽2之上，從而將調(diào)制槽3a、3b以及貯存槽2構(gòu)成為一體。罐4的外形呈大致長方體形狀或大致立方體形狀。

根據(jù)該方式的罐，除得到與使用圖26說明的方式的罐同樣的效果以外，在罐的設(shè)置空間的地面呈正方形、長方形的情況下，與設(shè)置水平方向的剖面呈圓形、橢圓形的罐相比，能夠有效地利用設(shè)置空間，能夠增大兩槽的內(nèi)容積。

對于圖28所示的罐4而言，被調(diào)制槽隔壁104隔開的兩個(gè)調(diào)制槽3a、3b與一個(gè)貯存槽2以形成圓筒形狀的外形的方式構(gòu)成為一體。貯存槽2配置在調(diào)制槽3a、3b之下。調(diào)制槽3a與調(diào)制槽3b的底面102成為貯存槽2的上表面。底面102也是將調(diào)制槽3a、3b與貯存槽2隔開的隔壁。罐4的外形呈橫置的圓筒形狀。也可以呈橢圓筒形狀。需要說明的是，在本實(shí)施方式中，隔壁100由三個(gè)平面構(gòu)成，各平面從罐4的中心軸朝向罐4的側(cè)面延伸。

根據(jù)該方式的罐，在罐的設(shè)置空間在高度方向上受限而在橫向上寬闊的情況下，能夠形成為不增高高度而能夠有效地利用橫向的設(shè)置空間的罐。若通過腳部支承罐，則能夠在罐的下方的空間設(shè)置送液泵、配管類等。另外，由于具備兩個(gè)調(diào)制槽，因此即便任一方發(fā)生故障，也能夠通過另一方的調(diào)制槽繼續(xù)進(jìn)行藥液的調(diào)制，能夠不中斷而連續(xù)地向貯存槽供給由調(diào)制槽調(diào)制的藥液。

對于圖29所示的罐4而言，被調(diào)制槽隔壁104隔開的兩個(gè)調(diào)制槽3a、調(diào)制槽3b與一個(gè)貯存槽2以形成圓筒形狀的外形的方式構(gòu)成為一體。以調(diào)制槽3a與調(diào)制槽3b的底面102成為貯存槽2的上表面的方式，將調(diào)制槽3a、3b配置在貯存槽2之上，從而將調(diào)制槽3a、3b以及貯存槽2構(gòu)成為一體。罐4的外形呈橫置的圓筒形狀。也可以呈橢圓筒形狀。

根據(jù)該方式的罐，在罐的設(shè)置空間在高度方向上受限而在橫向上寬闊的情況下，能夠形成為不增高高度而能夠有效地利用橫向的設(shè)置空間的罐。若通過腳部支承罐，則能夠在罐的下方的空間設(shè)置送液泵、配管類等。另外，由于具備兩個(gè)調(diào)制槽，因此即便任一方發(fā)生故障，也能夠通過另一方的調(diào)制槽繼續(xù)進(jìn)行藥液的調(diào)制，能夠不中斷而連續(xù)地向貯存槽供給由調(diào)制槽調(diào)制的藥液。

以上，以針對一個(gè)貯存槽2具備兩個(gè)調(diào)制槽3a、3b的罐4為例，對具備多個(gè)調(diào)制槽且構(gòu)成為一體的罐進(jìn)行了說明，但本發(fā)明不限于此。例如，也可以為針對一個(gè)貯存槽具備三個(gè)以上的調(diào)制槽且構(gòu)成為一體的罐。例如，也可以為針對兩個(gè)貯存槽具備三個(gè)調(diào)制槽且構(gòu)成為一體的罐等。在上述情況下，也與之前參照附圖說明的由一個(gè)貯存槽與兩個(gè)調(diào)制槽構(gòu)成為一體的罐的例子同樣地考慮罐的結(jié)構(gòu)即可。

調(diào)制槽與貯存槽構(gòu)成為一體的上述各實(shí)施方式的罐優(yōu)選至少在將調(diào)制槽與貯存槽隔開的隔壁，形成有供藥液在調(diào)制槽與貯存槽之間流通的流路。

作為這種流路，例如可以考慮設(shè)置于隔壁的開口、狹縫、切口等。流路可以為一個(gè)也可以為多個(gè)。流路總之是指設(shè)置于隔壁的藥液的通道，以在貯存槽內(nèi)的藥液減少時(shí)使調(diào)制槽內(nèi)的藥液自然地流入貯存槽內(nèi)。

在調(diào)制槽與貯存槽共用其側(cè)面的一部分而構(gòu)成為一體的罐的情況、在調(diào)制槽的內(nèi)側(cè)配置有貯存槽的雙重結(jié)構(gòu)的縱置型罐的情況下，優(yōu)選在隔壁的下方設(shè)置切口等。更優(yōu)選以在隔壁與罐的底面之間存在間隙的方式設(shè)置隔壁。這樣一來，能夠消除罐下部的液體殘留、液體存積。

在以調(diào)制槽的底面成為貯存槽的上表面的方式在貯存槽之上設(shè)置調(diào)制槽而構(gòu)成為一體的罐的情況下，調(diào)制槽的底面成為將調(diào)制槽與貯存槽隔開的隔壁。在該情況下，作為流路，優(yōu)選使調(diào)制槽的底面向貯存槽側(cè)彎曲并在其最下部附近設(shè)置開口。能夠消除調(diào)制槽下部的液體殘留、液體存積。

通過在將調(diào)制槽與貯存槽隔開的隔壁設(shè)置供藥液流通的流路，能夠得到如下的效果。在因向罐外的設(shè)備供給藥液而使貯存槽內(nèi)的藥液減少的情況下，在調(diào)制槽內(nèi)調(diào)制的藥液能夠自然地流入貯存槽內(nèi)，從而防止貯存槽變空。能夠?qū)崿F(xiàn)藥液的連續(xù)供給。另外，不需要在沒有這種流路的情況下所需的用于將調(diào)制槽的藥液向貯存槽內(nèi)移送的配管、送液泵等。因此，不需要這種配管、送液泵等所需的設(shè)置空間，能夠進(jìn)一步增大罐的設(shè)置空間。

調(diào)制槽與貯存槽構(gòu)成為一體的上述各實(shí)施方式的罐優(yōu)選至少在將調(diào)制槽與貯存槽隔開的隔壁還形成有供氣體在調(diào)制槽的上部空間與貯存槽的上部空間之間流通的氣體連通路。

作為這種氣體連通路，例如可以考慮設(shè)置于隔壁的開口、狹縫、切口等。氣體連通路可以為一個(gè)也可以為多個(gè)。氣體連通路總之是指設(shè)置于隔壁的氣體的通道，以在調(diào)制槽與貯存槽之間使上部空間的氣體能夠自由來往。

在調(diào)制槽與貯存槽共用其側(cè)面的一部分而構(gòu)成為一體的罐的情況、在調(diào)制槽的內(nèi)側(cè)配置有貯存槽的雙重結(jié)構(gòu)的縱置型罐的情況下，優(yōu)選在隔壁的上方設(shè)置切口等。更優(yōu)選以在隔壁與罐的頂面之間存在間隙的方式設(shè)置隔壁。這樣一來，在調(diào)制槽與貯存槽中使槽的內(nèi)壓相同。

在以調(diào)制槽的底面成為貯存槽的上表面的方式將調(diào)制槽設(shè)置在貯存槽之上而構(gòu)成為一體的罐的情況下，作為氣體連通路，優(yōu)選使貫通成為隔壁的調(diào)制槽底面的配管沿著罐側(cè)壁的內(nèi)側(cè)從貯存槽上部設(shè)置至調(diào)制槽上部。能夠順暢地進(jìn)行藥液相對于貯存槽的出入。

通過在將調(diào)制槽與貯存槽隔開的隔壁設(shè)置氣體連通路，能夠得到如下的效果。不需要在沒有氣體連通路的情況下所需的設(shè)置于罐外的配管等。因此，不需要這種配管等所需的設(shè)置空間，能夠進(jìn)一步增大罐的設(shè)置空間。

接下來，對本發(fā)明所涉及的藥液調(diào)制裝置進(jìn)行說明。

在以下的說明中，以半導(dǎo)體或液晶顯示器基板的制造工藝為例進(jìn)行說明。但是，本發(fā)明所應(yīng)用的產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域不限于此。在電池所使用的電解液的制造工藝等其他產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域也能夠應(yīng)用本發(fā)明。另外，在以下的說明中，作為半導(dǎo)體或液晶顯示器基板的制造工藝中使用的藥液的具體例，適當(dāng)使用在顯影工序中主要作為顯影液而使用的2.38％的四甲基氫氧化銨水溶液(以下，將四甲基氫氧化銨稱作tmah)來進(jìn)行說明。

但是，本發(fā)明所應(yīng)用的藥液不限于此。作為本發(fā)明所能夠應(yīng)用的其他藥液的例子，除顯影液以外，能夠列舉蝕刻液、剝離液、防靜電劑、或者清洗液等。

這些藥液分別還存在多個(gè)種類、組成的藥液。例如，作為顯影液，此外能夠列舉氫氧化鉀、氫氧化鈉、磷酸鈉、硅酸鈉等無機(jī)化合物的水溶液、三甲基單乙醇?xì)溲趸@(膽堿)等有機(jī)化合物的水溶液等。例如，作為蝕刻液，能夠列舉草酸水溶液、硫酸與過氧化氫的混合水溶液、硫酸銅溶液、磷酸與醋酸與硝酸的混合水溶液、熱磷酸、硝酸鈰銨水溶液、氯化鐵溶液等。例如，作為剝離液，能夠列舉二甲基亞砜系原液與純水的溶液、n-甲基吡咯烷酮系原液與純水的溶液、烷醇胺與乙二醇醚與純水的溶液等水系抗蝕劑剝離液、單乙醇胺與丁基二甘醇與添加劑的混合溶液等非水系抗蝕劑剝離液等。

[第五實(shí)施方式]

圖30是用于對本實(shí)施方式的藥液調(diào)制裝置進(jìn)行說明的示意圖。在本實(shí)施方式的說明中，對將濃度為20％的tmah水溶液與純水調(diào)配從而調(diào)制濃度為2.38％的tmah水溶液的藥液調(diào)制裝置作為具體例來進(jìn)行說明。

本實(shí)施方式的藥液調(diào)制裝置10包括：調(diào)制槽3與貯存槽2構(gòu)成為一體的罐4、測定調(diào)制槽3的藥液的濃度的調(diào)制槽濃度測定機(jī)構(gòu)31、根據(jù)調(diào)制槽濃度測定機(jī)構(gòu)31測定出的濃度來控制向調(diào)制槽3供給的藥液的原料的供給量以使得由調(diào)制槽3調(diào)制出的藥液的濃度成為設(shè)定的濃度的控制機(jī)構(gòu)1、以及將調(diào)制出的藥液向罐外的設(shè)備等送液的藥液供給配管5等。

作為調(diào)制槽3與貯存槽2構(gòu)成為一體的罐4，以貯存槽2配置在調(diào)制槽3的內(nèi)部的同軸雙重圓筒形狀的罐為例進(jìn)行說明。

但是，本發(fā)明所涉及的藥液調(diào)制裝置的罐不限于此。也可以通過在第一至第四實(shí)施方式的說明中列舉的各種罐的方式，將貯存槽2與調(diào)制槽3構(gòu)成為一體。關(guān)于本發(fā)明所涉及的藥液調(diào)制裝置的罐的貯存槽與調(diào)制槽如何構(gòu)成為一體，與第一至第四實(shí)施方式的說明相同。在以下的說明中，省略關(guān)于藥液調(diào)制裝置的罐如何構(gòu)成為一體的說明。

在罐4的調(diào)制槽3中設(shè)置有用于對調(diào)制槽3內(nèi)的藥液進(jìn)行攪拌的噴流攪拌裝置35。作為噴流攪拌裝置35，優(yōu)選使用噴嘴。噴流攪拌裝置35與設(shè)置有循環(huán)攪拌泵33的循環(huán)管路34連接。

用于對調(diào)制槽3內(nèi)的藥液進(jìn)行攪拌的機(jī)構(gòu)不限于噴流攪拌裝置。能夠采用各種攪拌手法?？梢允褂檬箶嚢枞~片旋轉(zhuǎn)的攪拌裝置，也可以為在槽內(nèi)使攪拌件旋轉(zhuǎn)的攪拌裝置。在將槽內(nèi)的藥液排出然后再次返回槽內(nèi)的返回循環(huán)攪拌方式中，優(yōu)選在排出口使用噴嘴進(jìn)行噴流攪拌。優(yōu)選以在循環(huán)攪拌的配管中匯合的方式供給藥液的原料，然后立即進(jìn)行攪拌。能夠迅速地得到濃度均勻的藥液。

由調(diào)制槽3調(diào)整為所設(shè)定的濃度的藥液向貯存槽2供給。藥液通過形成于貯存槽2的側(cè)面(即，將調(diào)制槽3與貯存槽2隔開的隔壁)的流路8，從調(diào)制槽3向貯存槽2移動。貯存槽2貯存進(jìn)行濃度調(diào)整后的藥液。在圖30的實(shí)施方式中，貯存槽2的側(cè)面(隔壁)設(shè)置為在側(cè)面與罐4的底面之間存在間隙，該側(cè)面與罐4的底面的間隙作為流路8而發(fā)揮功能。

另外，在貯存槽2的側(cè)面(隔壁)形成有氣體連通路9，以使得氣體在貯存槽2的上部空間與調(diào)制槽3的上部空間之間流通。

在貯存槽2的底面設(shè)置有用于對貯存于貯存槽2的藥液進(jìn)行攪拌的噴流攪拌裝置26。作為噴流攪拌裝置26，優(yōu)選使用噴嘴。噴流攪拌裝置26與設(shè)置有循環(huán)攪拌泵23的循環(huán)管路24連接。貯存槽2的攪拌機(jī)構(gòu)也與調(diào)制槽3的攪拌機(jī)構(gòu)同樣地，不限于噴流攪拌裝置。能夠采用各種攪拌方式。

在將20％的tmah水溶液與純水調(diào)配而調(diào)制2.38％的tmah水溶液的情況下，成為原料的是20％的tmah水溶液，將其從藥液原料入口52經(jīng)由藥液原料補(bǔ)充配管42貯存于藥液原料貯存罐11或12。

控制閥13～18經(jīng)由信號線44與計(jì)算機(jī)1(控制機(jī)構(gòu))連接。計(jì)算機(jī)1經(jīng)由信號線44將控制信號向控制閥13～18傳遞，從而對控制閥13～18進(jìn)行開閉控制。在向藥液原料貯存罐11填充20％的tmah水溶液時(shí)，將控制閥13打開。在向藥液原料貯存罐12填充20％的tmah水溶液時(shí)，將控制閥15打開。

藥液原料貯存罐11以及12通過從氮?dú)馊肟?0經(jīng)由氮?dú)夤┙o配管62供給的氮?dú)舛患訅?。?jīng)由與調(diào)制槽3連接的藥液原料供給配管43，輸送所貯存的20％的tmah水溶液。在輸送藥液原料貯存罐11內(nèi)的20％的tmah水溶液時(shí)，將控制閥14與控制閥17打開。在輸送藥液原料貯存罐12內(nèi)的20％的tmah水溶液時(shí)，將控制閥16與控制閥17打開。

在由20％的tmah水溶液調(diào)制2.38％的tmah水溶液時(shí)，向20％的tmah水溶液混入純水而進(jìn)行稀釋。純水從純水入口51經(jīng)由純水供給配管41供給至調(diào)制槽3。在輸送純水時(shí)，將控制閥18打開。

調(diào)制槽3具備調(diào)制槽濃度測定機(jī)構(gòu)31以及第一液面計(jì)32。調(diào)制槽濃度測定機(jī)構(gòu)31對調(diào)制槽3內(nèi)的藥液進(jìn)行抽樣，并測定其濃度。第一液面計(jì)32測定調(diào)制槽3內(nèi)的藥液的液面的位置。另外，調(diào)制槽3內(nèi)的藥液通過配備于循環(huán)管路34的循環(huán)攪拌泵33以及噴流攪拌裝置35而被循環(huán)攪拌。由此，調(diào)制槽3內(nèi)的藥液成為均勻的濃度。

在圖30中，貯存槽2配置在調(diào)制槽3的內(nèi)側(cè)。向調(diào)制槽3供給的原液以及純水貯存在調(diào)制槽3的內(nèi)側(cè)且貯存槽2的外側(cè)的空間。在該空間內(nèi)藥液的原料被攪拌而混合，調(diào)制出濃度均勻的藥液。能夠通過噴流攪拌裝置35在調(diào)制槽3內(nèi)的藥液中產(chǎn)生攪拌流，從而充分地對藥液進(jìn)行攪拌。另外，通過使噴流攪拌裝置35間歇地工作，能夠利用慣性力對藥液進(jìn)行攪拌。

也可以將圖30中示出的一臺循環(huán)攪拌泵33例如形成為排列配置的多個(gè)循環(huán)攪拌泵。通過設(shè)置多個(gè)循環(huán)攪拌泵，即使在假設(shè)一臺循環(huán)攪拌泵發(fā)生故障的情況下，也能夠使藥液調(diào)制裝置10連續(xù)地運(yùn)轉(zhuǎn)。

調(diào)制槽濃度測定機(jī)構(gòu)31以及第一液面計(jì)32經(jīng)由信號線45以及46與計(jì)算機(jī)1(控制機(jī)構(gòu))連接。計(jì)算機(jī)1監(jiān)視由調(diào)制槽濃度測定機(jī)構(gòu)31測定出的藥液的濃度、以及由第一液面計(jì)32測定出的藥液的液面位置。計(jì)算機(jī)1根據(jù)濃度、液面位置等測定值，以如下方式對控制閥13～18進(jìn)行開閉控制。由此，能夠以始終為規(guī)定的液量以及供給量的方式自動地調(diào)制規(guī)定濃度的藥液、2.38％的tmah水溶液。

例如，在調(diào)制槽3內(nèi)的tmah濃度低于2.38％的情況下，計(jì)算機(jī)1將控制閥14或16中的任一方與控制閥17打開，補(bǔ)充20％的tmah水溶液?？刂崎y17是調(diào)節(jié)開時(shí)流量的開閉控制閥，計(jì)算機(jī)1以將控制閥17打開規(guī)定時(shí)間的方式進(jìn)行控制，從而補(bǔ)給所需量的20％的tmah水溶液。

例如，在調(diào)制槽3內(nèi)的tmah濃度高于2.38％的情況下，計(jì)算機(jī)1將控制閥18打開，補(bǔ)充純水?？刂崎y18是調(diào)節(jié)開時(shí)流量的開閉控制閥，計(jì)算機(jī)1以將控制閥18打開規(guī)定時(shí)間的方式進(jìn)行控制，從而補(bǔ)給所需量的純水。

例如，在調(diào)制槽3內(nèi)的液面位置降低了的情況下，適當(dāng)將控制閥14或16中的任一方與控制閥17以及控制閥18打開，增加藥液的調(diào)制量。

另外，在藥液原料貯存罐11變空時(shí)，計(jì)算機(jī)1將控制閥14關(guān)閉，將控制閥13打開，向藥液原料貯存罐11補(bǔ)充藥液原料。同樣，在藥液原料貯存罐12變空時(shí)，計(jì)算機(jī)1將控制閥16關(guān)閉，將控制閥15打開，向藥液原料貯存罐12補(bǔ)充藥液原料。這樣，計(jì)算機(jī)1確保在藥液原料貯存罐11或12中的任一方必然填充有藥液原料的狀態(tài)。

由調(diào)制槽3調(diào)制出的2.38％的tmah水溶液經(jīng)由形成于貯存槽2的側(cè)面(隔壁)的流路8向貯存槽2移動并貯存。當(dāng)從貯存槽2向藥液使用設(shè)備90供給藥液而使貯存于內(nèi)部的藥液量減少時(shí)，由調(diào)制槽3調(diào)制出的藥液經(jīng)由流路8向貯存槽2移動。

在本實(shí)施方式中，將貯存槽2的開口底面設(shè)為流路8，但不限于此。例如，在貯存槽2具有側(cè)面與底面的情況下，能夠?qū)⑿纬捎趥?cè)面以及底面中的至少一方的貫通孔設(shè)為流路8。

流路8具有使在調(diào)制槽3中產(chǎn)生的藥液濃度的變動不會波及貯存槽2內(nèi)部的濃度變動的緩沖作用。對于流路8的大小、形狀、形成的位置，能夠根據(jù)調(diào)制槽3、貯存槽2的容量、所供給的原液的液量、所使用的藥液的液量而適當(dāng)確定。

在圖30所示的實(shí)施方式中，在將調(diào)制槽3與貯存槽2隔開的隔壁具有供藥液流通的流路8，因此無需設(shè)置用于連通藥液的連通配管。

貯存槽2也與調(diào)制槽3同樣地具備貯存槽濃度測定機(jī)構(gòu)21與第二液面計(jì)22。上述的貯存槽濃度測定機(jī)構(gòu)21與第二液面計(jì)22也經(jīng)由信號線47以及48與計(jì)算機(jī)2(控制機(jī)構(gòu))連接。計(jì)算機(jī)1根據(jù)貯存槽濃度測定機(jī)構(gòu)21測定出的貯存槽2內(nèi)的藥液的濃度、以及第二液面計(jì)22測定出的貯存槽2內(nèi)的藥液的液面位置，適當(dāng)?shù)貙刂崎y13～18進(jìn)行控制。控制與調(diào)制槽3的情況相同。貯存槽2的濃度變動非常小，因此實(shí)際上不進(jìn)行內(nèi)部的藥液的濃度的監(jiān)視、液量管理、以及供給量管理。

另外，貯存槽2內(nèi)的藥液通過配備于循環(huán)管路24的循環(huán)攪拌泵23以及噴流攪拌裝置26而被循環(huán)攪拌。由此，貯存槽2內(nèi)的藥液維持為均勻的濃度。

貯存于貯存槽2的藥液利用送液泵25通過藥液供給配管5以及積算流量計(jì)6而從藥液供給口53供給至藥液使用設(shè)備90。藥液使用設(shè)備90經(jīng)由信號線92與計(jì)算機(jī)1連接。計(jì)算機(jī)1經(jīng)由信號線92接收從使用者側(cè)的藥液使用設(shè)備90發(fā)出的藥液供給請求信號?？刂崎y19經(jīng)由信號線49與計(jì)算機(jī)1連接。計(jì)算機(jī)1根據(jù)來自藥液使用設(shè)備90側(cè)的使用者的要求，對配備于藥液供給配管5的控制閥19進(jìn)行開閉控制。由此，藥液使用設(shè)備90能夠在需要藥液時(shí)以所需的量接受藥液的供給。

若貯存槽2的藥液減少，則通過調(diào)制槽3與貯存槽2的水位壓力差將調(diào)制槽3內(nèi)的藥液經(jīng)由流路8自然地向貯存槽2供給。通過調(diào)制槽3的液面下降，貯存槽2的液面上升，從而調(diào)制槽3與貯存槽2的液面大致保持恒定。在液面大致恒定時(shí)，調(diào)制槽3的液面下降。計(jì)算機(jī)1監(jiān)視由第一液面計(jì)32測定出的藥液的液面位置，因此根據(jù)該液面位置而對控制閥13～18進(jìn)行開閉控制，以始終成為規(guī)定的液量的方式自動地調(diào)制規(guī)定濃度的藥液、2.38％的tmah水溶液。

tmah水溶液具有強(qiáng)堿性，若液面暴露于大氣中則吸收大氣中的二氧化碳，產(chǎn)生濃度變動而劣化。如該例子那樣，在防止藥液與大氣接觸的情況下，有時(shí)向調(diào)制槽3、貯存槽2的上部導(dǎo)入氮?dú)獾让芊鈿怏w。

在圖30中，經(jīng)由氮?dú)夤┙o配管65向調(diào)制槽3與貯存槽2供給氮?dú)狻Ｋ┙o的氮?dú)庠谡{(diào)制槽3、貯存槽2的上部空間與在槽內(nèi)氣化的藥液混合，成為濕潤的氣體。與槽內(nèi)的液面位置的上下移動相應(yīng)地，適當(dāng)向槽內(nèi)供給氮?dú)饣蛳虿弁馀懦龅獨(dú)狻?/p>

在貯存槽2的側(cè)面(將調(diào)制槽3與貯存槽2隔開的隔壁)形成有氣體連通路9，若氮?dú)庀蛸A存槽的上部空間的供給通過從調(diào)制槽3的上部空間優(yōu)先地供給來進(jìn)行，則由于藥液的蒸氣而濕潤的氮?dú)鈱?dǎo)入至貯存槽2，因此與導(dǎo)入干燥的氮?dú)獾那闆r相比，能夠抑制貯存槽2內(nèi)的無謂的蒸發(fā)，能夠有效地抑制貯存槽2內(nèi)的藥液的因蒸發(fā)產(chǎn)生的濃度變動。

通過氣體連通路9而使氣體在貯存槽2與調(diào)制槽3的上部空間流通，因此調(diào)制槽3與貯存槽2的內(nèi)部的壓力大致保持恒定。當(dāng)調(diào)制槽3與貯存槽2的液面下降時(shí)，調(diào)制槽3與貯存槽2的內(nèi)部的氣體空間的體積增大，從而調(diào)制槽3與貯存槽2的內(nèi)部壓力下降。由此，氮?dú)庾匀坏毓┙o至調(diào)制槽3與貯存槽2。

當(dāng)通過向調(diào)制槽3供給原液以及純水中的至少一方而使調(diào)制槽3與貯存槽2的液面上升時(shí)，調(diào)制槽3與貯存槽2的內(nèi)部的氣體空間的體積減小，從而調(diào)制槽3與貯存槽2的內(nèi)部壓力上升。由此，調(diào)制槽3與貯存槽2的內(nèi)部的氮?dú)庾匀坏胤祷氐獨(dú)夤┙o配管65。

在上述的藥液調(diào)制裝置10的實(shí)施方式中，對將通過20％的tmah原液稀釋調(diào)配顯影液即2.38％的tmah水溶液的裝置作為具體例而進(jìn)行了說明。在該實(shí)施方式中說明的藥液調(diào)制裝置10的藥液調(diào)制部分是典型的例子，但不將本發(fā)明限定于此。只要能夠由原料調(diào)制藥液使用設(shè)備90所需的成分濃度的藥液，則能夠采用各種方式。當(dāng)然，藥液調(diào)制裝置10的藥液調(diào)制部分能夠根據(jù)想要調(diào)制的藥液的種類而采用各種變形例。除通過純水對原液進(jìn)行稀釋調(diào)配的情況以外，可以應(yīng)用實(shí)現(xiàn)對多個(gè)藥液進(jìn)行調(diào)配的情況、通過固體原料進(jìn)行調(diào)制的情況等各種調(diào)制方法的裝置的結(jié)構(gòu)。

另外，信號線44～49、92表示來自計(jì)算機(jī)1的控制信號的傳遞(路線)，信號線44～49、92可以是信號電纜，也可以是無線通信。

在上述的藥液調(diào)制裝置的說明中，根據(jù)對優(yōu)選實(shí)施方式的藥液調(diào)制裝置10進(jìn)行圖示的圖30進(jìn)行了說明。但是，對于本發(fā)明所涉及的藥液調(diào)制裝置而言，圖30所記載的結(jié)構(gòu)并非全部是必需的。作為本發(fā)明的藥液調(diào)制裝置，只要由藥液的原料調(diào)制所設(shè)定的濃度的藥液，則包括各種變形例。

另外，將貯存槽2配置在調(diào)制槽3的內(nèi)部的同軸雙重圓筒形狀的罐4作為例子進(jìn)行了說明，但罐4不限于此。在不脫離本發(fā)明的范圍內(nèi)，能夠?qū)⒕哂衅渌Y(jié)構(gòu)的罐應(yīng)用于藥液調(diào)制裝置10。能夠在將構(gòu)成罐4的貯存槽2與調(diào)制槽3隔開的隔壁設(shè)置流路8。流路8能夠設(shè)置在比貯存于貯存槽2的藥液的液面以及貯存于調(diào)制槽3的藥液的液面這兩方的液面靠下方的位置。

能夠在將構(gòu)成罐4的貯存槽2與調(diào)制槽3隔開的隔壁設(shè)置氣體連通路9。氣體連通路9能夠設(shè)置在比貯存于貯存槽2的藥液的液面以及貯存于調(diào)制槽3的藥液的液面這兩方的液面靠下方的位置。

本發(fā)明的藥液調(diào)制裝置10主要具備：調(diào)制槽3，其調(diào)制所設(shè)定的濃度的藥液；貯存槽2，其貯存由調(diào)制槽3調(diào)制出的藥液；調(diào)制槽濃度測定機(jī)構(gòu)31，其測定調(diào)制槽3的藥液的濃度；以及控制機(jī)構(gòu)(計(jì)算機(jī)1等)，其根據(jù)調(diào)制槽濃度測定機(jī)構(gòu)31測定出的濃度來控制向調(diào)制槽3供給的藥液的原料的供給量，以使得由調(diào)制槽3調(diào)制出的藥液的濃度成為所設(shè)定的濃度，藥液調(diào)制裝置通過將貯存槽2與調(diào)制槽3構(gòu)成為一體，能夠有效地利用設(shè)置空間。

接下來，對罐4的詳細(xì)結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。圖31是罐4的立體圖。圖32是將雙重結(jié)構(gòu)罐沿水平方向切斷的剖視圖。如圖31所示，罐4通過將圓筒狀的調(diào)制槽3與貯存槽2以貯存槽2位于調(diào)制槽3的內(nèi)部的方式呈同軸狀配置的所謂雙重圓筒結(jié)構(gòu)構(gòu)成。罐4被配備于調(diào)制槽3的多個(gè)支承腳70支承。

在圖31中，在貯存槽2的側(cè)面形成有兩個(gè)貫通孔。該兩個(gè)的貫通孔作為流路8而發(fā)揮功能。流路8由與貯存槽2的高度方向大致平行的狹縫狀的貫通孔形成。然而，流路8不限于狹縫狀的貫通孔，例如也可以應(yīng)用圓形狀的貫通孔、多個(gè)圓形狀的貫通孔等。

如圖31以及圖32所示，兩個(gè)噴流攪拌裝置35在調(diào)制槽3的側(cè)壁設(shè)置在相互對置的位置。通過噴流攪拌裝置35在調(diào)制槽3內(nèi)產(chǎn)生攪拌流，從而對藥液進(jìn)行均勻地?cái)嚢?。特別是，通過將罐4形成為雙重圓筒結(jié)構(gòu)，能夠順暢地對藥液進(jìn)行循環(huán)攪拌。

如圖31所示，噴流攪拌裝置26在貯存槽2的底面上設(shè)置在噴流方向朝向斜上方的位置。通過噴流攪拌裝置26對濃度調(diào)整后的藥液在貯存槽2內(nèi)部進(jìn)行循環(huán)攪拌。噴流攪拌裝置35與噴流攪拌裝置26的噴流方向可以是相同方向也可以是相反方向。如上述那樣，通過使噴流攪拌裝置35間歇地工作，能夠利用慣性力對藥液進(jìn)行攪拌。同樣，通過使噴流攪拌裝置26間歇地工作，能夠利用慣性力對藥液進(jìn)行攪拌。

在上述的實(shí)施方式中，作為罐4，以貯存槽2配置在貯存槽3的內(nèi)側(cè)、并且調(diào)制槽3與貯存槽2構(gòu)成為一體的同軸雙重圓筒形狀的罐為例進(jìn)行了說明，但調(diào)制槽3與貯存槽2構(gòu)成為一體的罐4的結(jié)構(gòu)不限于此。

接下來，調(diào)制槽與貯存槽構(gòu)成為一體的罐也包括將單獨(dú)的調(diào)制槽與貯存槽連結(jié)成一體的情況、將調(diào)制槽與貯存槽隔開的隔壁是調(diào)制槽以及貯存槽的側(cè)面的一部分的情況、或者以調(diào)制槽的底面成為貯存槽的上表面的方式將調(diào)制槽配置在貯存槽之上的情況。

在將圖20～29所示的罐4應(yīng)用于藥液調(diào)制裝置10的情況下，能夠在多個(gè)調(diào)制槽3的每一個(gè)中分別配備調(diào)制槽濃度測定機(jī)構(gòu)31。

以上，對于參照附圖對各實(shí)施方式進(jìn)行說明的內(nèi)容而言，對于在半導(dǎo)體、液晶顯示器的制造工藝中使用的各種藥液、電池的制造中使用的各種電解液、進(jìn)行調(diào)制供給的藥液調(diào)制裝置也同樣能夠?qū)嵤?/p>