專利名稱：晶棒定位裝置輸出軸機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及CZ法拉制單晶棒設(shè)備部件，特別是一種晶棒定位裝置輸出軸機(jī)構(gòu)。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有生產(chǎn)領(lǐng)域使用的硅單晶爐，一般是單個上爐筒及拉晶系統(tǒng)，零部件數(shù)量繁多且不易加工制造，還會導(dǎo)致晶棒直接暴露在空氣中容易氧化污染，所以上爐筒下方配備了獨立的隔離閥。業(yè)內(nèi)目前通常的做法是在硅單晶爐在上爐筒下方開口處配備了晶棒晶棒定位組件，同時也不能晶棒進(jìn)行有效地定位。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種結(jié)構(gòu)緊湊，零部件數(shù)量少且容易加工制造，可實現(xiàn)晶棒有效定位的晶棒定位裝置輸出軸機(jī)構(gòu)。本發(fā)明晶棒定位裝置輸出軸機(jī)構(gòu)，包括輸出軸，在所述輸出軸的一端設(shè)有銅螺母；接近傳感器，所述接近傳感器設(shè)置在所述輸出軸的外側(cè)；滑移柱塞，所述滑移柱塞的一端與所述輸出軸的一端連接；密封裝置，所述密封裝置與所述滑移柱塞的另外一端連接。所述滑移柱塞為中空的設(shè)計，在所述滑移柱塞內(nèi)設(shè)有彈簧。在所述彈簧的外側(cè)設(shè)有銅螺母防轉(zhuǎn)導(dǎo)槽。在所述滑移柱塞相對于與所述輸出軸連接端的另外一端上設(shè)有石墨耳座。所述密封裝置包括套杯以及設(shè)置在所述套杯一端的夾緊銷。在所述套杯設(shè)有所述夾緊銷的一端的內(nèi)壁上設(shè)有平板防轉(zhuǎn)導(dǎo)槽。所述接近傳感器通過防滑平板與所述輸出軸連接。 在所述套杯及所述滑移柱塞的外側(cè)表面設(shè)有0形密封圈。本發(fā)明晶棒定位裝置輸出軸機(jī)構(gòu)摒棄了原先硅單晶爐在上爐筒下方開口處配備了晶棒晶棒定位組件，利用設(shè)置在上爐筒外側(cè)的減速器組件可實現(xiàn)晶棒有效定位，并且結(jié)構(gòu)緊湊，零部件數(shù)量少且容易加工制造。


圖1為本發(fā)明晶棒定位裝置輸出軸機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)爆炸示意圖；本發(fā)明晶棒定位裝置輸出軸機(jī)構(gòu)附圖中附圖標(biāo)記說明1-輸出軸2-滑移柱塞 3-彈簧4-銅螺母5-接近傳感器 6-銅螺母防轉(zhuǎn)導(dǎo)槽
7-石墨耳座 8-平板防轉(zhuǎn)導(dǎo)槽9-防滑平板10-0形密封圈11-套杯12-夾緊銷
具體實施例方式下面結(jié)合附圖對本發(fā)明晶棒定位裝置輸出軸機(jī)構(gòu)4作進(jìn)一步詳細(xì)說明。如圖1所示，本發(fā)明晶棒定位裝置輸出軸機(jī)構(gòu)，輸出軸1的輸出端為一段螺紋，螺紋部位裝有銅螺母4，銅螺母4外緣的方形耳與滑移柱塞2的矩形銅螺母防轉(zhuǎn)導(dǎo)槽6配合限制銅螺母4在滑移柱塞2中的轉(zhuǎn)動，銅螺母4前進(jìn)時首先推壓經(jīng)過預(yù)壓的彈簧3，彈簧3的預(yù)壓力克服滑動摩擦推動滑移柱塞2在套杯11中做直線平移。防滑平板9通過螺釘與滑移柱塞10作剛性聯(lián)接，防滑平板9外緣方耳與套杯8的矩形平板防轉(zhuǎn)導(dǎo)槽8相配合限制滑移柱塞2在套杯11中的轉(zhuǎn)動。在滑移柱塞2的前端固定有石墨耳座7，定位時石墨耳座7和高溫晶棒發(fā)生接觸。 基于高溫和不對高溫晶棒造成金屬污染的考慮，石墨耳座7選材石墨。在密封裝置靠近滑移柱塞2 —端的外側(cè)設(shè)置有夾緊銷12。石墨耳座7和晶棒接觸，單晶爐原有LCR系統(tǒng)能夠立即檢測到晶棒接地，此時PLC 要求直流減速電機(jī)停止轉(zhuǎn)動，滑移柱塞2停止進(jìn)給。能夠把銅螺母4進(jìn)給力傳遞給滑移柱塞2的彈簧3，可以緩沖直流減速電機(jī)的過沖運動，保護(hù)晶棒只受和彈簧3壓縮力相等的定位力。在套杯11的外部裝有接近傳感器5，當(dāng)滑移柱塞2回退時，可以檢測到防滑平板9得接近，電氣控制發(fā)指令，直流減速電機(jī)停止，滑移柱塞2停止回退。本發(fā)明晶棒定位裝置輸出軸機(jī)構(gòu)摒棄了原先硅單晶爐在上爐筒下方開口處配備了晶棒晶棒定位組件，利用設(shè)置在上爐筒外側(cè)的減速器組件可實現(xiàn)晶棒有效定位，并且結(jié)構(gòu)緊湊，零部件數(shù)量少且容易加工制造。以上已對本發(fā)明創(chuàng)造的較佳實施例進(jìn)行了具體說明，但本發(fā)明并不限于實施例， 熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員在不違背本發(fā)明創(chuàng)造精神的前提下還可作出種種的等同的變型或替換，這些等同的變型或替換均包含在本申請的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.晶棒定位裝置輸出軸機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括輸出軸，在所述輸出軸的一端設(shè)有銅螺母；接近傳感器，所述接近傳感器設(shè)置在所述輸出軸的外側(cè)；滑移柱塞，所述滑移柱塞的一端與所述輸出軸的一端連接；密封裝置，所述密封裝置與所述滑移柱塞的另外一端連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶棒定位裝置輸出軸機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述滑移柱塞為中空的設(shè)計，在所述滑移柱塞內(nèi)設(shè)有彈簧。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶棒定位裝置輸出軸機(jī)構(gòu)，其特征在于，在所述彈簧的外側(cè)設(shè)有銅螺母防轉(zhuǎn)導(dǎo)槽。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶棒定位裝置輸出軸機(jī)構(gòu)，其特征在于，在所述滑移柱塞相對于與所述輸出軸連接端的另外一端上設(shè)有石墨耳座。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶棒定位裝置輸出軸機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述密封裝置包括套杯以及設(shè)置在所述套杯一端的夾緊銷。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的晶棒定位裝置輸出軸機(jī)構(gòu)，其特征在于，在所述套杯設(shè)有所述夾緊銷的一端的內(nèi)壁上設(shè)有平板防轉(zhuǎn)導(dǎo)槽。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶棒定位裝置輸出軸機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述接近傳感器通過防滑平板與所述輸出軸連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的晶棒定位裝置輸出軸機(jī)構(gòu)，其特征在于，在所述套杯及所述滑移柱塞的外側(cè)表面設(shè)有0形密封圈。
全文摘要
本發(fā)明晶棒定位裝置輸出軸機(jī)構(gòu)，包括輸出軸，在所述輸出軸的一端設(shè)有銅螺母；接近傳感器，所述接近傳感器設(shè)置在所述輸出軸的外側(cè)；滑移柱塞，所述滑移柱塞的一端與所述輸出軸的一端連接；密封裝置，所述密封裝置與所述滑移柱塞的另外一端連接。本發(fā)明晶棒定位裝置輸出軸機(jī)構(gòu)摒棄了原先硅單晶爐在上爐筒下方開口處配備了晶棒晶棒定位組件，利用設(shè)置在上爐筒外側(cè)的減速器組件可實現(xiàn)晶棒有效定位，并且結(jié)構(gòu)緊湊，零部件數(shù)量少且容易加工制造。
文檔編號C30B15/00GK102321912SQ201110295589
公開日2012年1月18日 申請日期2011年9月30日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月30日
發(fā)明者楊永錄, 葛亮, 賀賢漢 申請人:上海漢虹精密機(jī)械有限公司