一種研磨液傳送系統(tǒng)的排氣系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種研磨液傳送系統(tǒng)的排氣系統(tǒng)，包含：設(shè)置在研磨液箱體上的研磨液輸入端閥門、研磨液輸出端氣控閥門、滾壓轉(zhuǎn)子以及研磨液輸送軟管，所述的研磨液輸送軟管從研磨液輸出端氣控閥門接出后繞過滾壓轉(zhuǎn)子再接入研磨液輸入端閥門，滾壓轉(zhuǎn)子將研磨液輸送軟管中的空氣擠出，還包含：輸送軟管輸入端接頭，所述的輸送軟管輸入端接頭設(shè)置在滾壓轉(zhuǎn)子和研磨液輸入端閥門之間。本發(fā)明能夠?qū)Q裝研磨液輸送軟管時泄漏進入研磨液循環(huán)系統(tǒng)中的空氣排出，保護了生產(chǎn)設(shè)備，大大降低了維修成本，提高了經(jīng)濟效益。
【專利說明】一種研磨液傳送系統(tǒng)的排氣系統(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種液體傳輸管道系統(tǒng)，特別涉及一種研磨液傳送系統(tǒng)的排氣系統(tǒng)。【背景技術(shù)】
[0002]當(dāng)機器研磨晶圓的數(shù)量達到120k片時，研磨液傳輸系統(tǒng)需要更換研磨液輸送軟管。當(dāng)更換研磨液輸送軟管時，則需要拆下輸送軟管，從而會導(dǎo)致研磨液輸送系統(tǒng)中的研磨液流出輸送系統(tǒng)。這會導(dǎo)致在安裝上新的研磨液輸送軟管后，空氣進入研磨液輸送系統(tǒng)。并且，研磨液輸送軟管中的空氣由于滾壓轉(zhuǎn)子擠壓而很難將滾壓轉(zhuǎn)子前端的輸送軟管中的空氣排凈，特別是用于連接研磨液輸送軟管的接頭處。
[0003]在研磨液傳送系統(tǒng)的排氣系統(tǒng)中的空氣會導(dǎo)致研磨液流量監(jiān)測器監(jiān)測到研磨液流量不穩(wěn)定從而發(fā)出過多的警報；另外，研磨液傳送系統(tǒng)的排氣系統(tǒng)中的空氣還會導(dǎo)致研磨液氧化和結(jié)晶，這會導(dǎo)致晶圓表面產(chǎn)生微小的刮傷，進而影響產(chǎn)品的良率。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的是提供一種研磨液傳送系統(tǒng)的排氣系統(tǒng)，能夠?qū)Q裝研磨液輸送軟管時進入研磨液循環(huán)系統(tǒng)中的空氣排出，保護了生產(chǎn)設(shè)備，大大降低了維修成本，提高了經(jīng)濟效益。
[0005]為了實現(xiàn)以上目的，本發(fā)明是通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)的:
一種研磨液傳送系統(tǒng)的排氣系統(tǒng)，包含:設(shè)置在研磨液箱體上的研磨液輸入端閥門、研磨液輸出端氣控閥門、滾壓轉(zhuǎn)子以及研磨液輸送軟管，所述的研磨液輸送軟管從研磨液輸出端氣控閥門接出后繞過滾壓轉(zhuǎn)子再接入研磨液輸入端閥門，滾壓轉(zhuǎn)子擠壓研磨液輸送軟管，將研磨液輸送軟管中的空氣擠出后將研磨液輸送至研磨盤上，還包含:
輸送軟管輸入端接頭，所述的輸送軟管輸入端接頭設(shè)置在滾壓轉(zhuǎn)子和研磨液輸入端閥門之間。
[0006]所述的輸送軟管輸入端接頭為三通接頭，其第一端連接滾壓轉(zhuǎn)子，第二端連接研磨液輸入端閥門，第三端通過排氣管道與大氣相連。
[0007]還包含:閥門，所述的閥門與輸送軟管輸入端接頭的第三端相連，將輸送軟管輸入端接頭處積壓的空氣釋放出去。
[0008]閥門是一個在正常工作狀態(tài)下關(guān)閉而在調(diào)換研磨液輸送軟管后打開供氣體排放的手動閥門。
[0009]本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有以下優(yōu)點:
能夠?qū)Q裝研磨液管道時泄漏進入研磨液循環(huán)系統(tǒng)中的空氣排出，保護了生產(chǎn)設(shè)備，大大降低了維修成本，提高了經(jīng)濟效益。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0010]圖1為本發(fā)明一種研磨液傳送系統(tǒng)的排氣系統(tǒng)的原理不意圖?！揪唧w實施方式】
[0011]以下結(jié)合附圖，通過詳細(xì)說明一個較佳的具體實施例，對本發(fā)明做進一步闡述。
[0012]如圖1所示，一種研磨液傳送系統(tǒng)的排氣系統(tǒng)，包含:設(shè)置在研磨液箱體上的研磨液輸入端閥門21、研磨液輸出端氣控閥門22、滾壓轉(zhuǎn)子6以及研磨液輸送軟管1，所述的研磨液輸送軟管I從研磨液輸出端氣控閥門22接出后繞過滾壓轉(zhuǎn)子6再接入研磨液輸入端閥門21，滾壓轉(zhuǎn)子6將研磨液輸送軟管I中的空氣擠出后將研磨液輸送至研磨盤上，還包含:輸送軟管輸入端接頭5，其設(shè)置在滾壓轉(zhuǎn)子6和研磨液輸入端閥門21之間。在本實施例中，輸送軟管輸入端接頭5為三通接頭，其第一端連接滾壓轉(zhuǎn)子6，第二端連接研磨液輸入端閥門21，第三端通過排氣管道與大氣相連。
[0013]在本實施例中,還包含:閥門4,其與輸送軟管輸入端接頭5的第三端相連,將輸送軟管輸入端接頭5處積壓的空氣釋放出去，該閥門4是一個在正常工作狀態(tài)下關(guān)閉而在調(diào)換研磨液輸送軟管I后打開供氣體排放的手動閥門。
[0014]當(dāng)使用時，重新更換過研磨液輸送軟管I之后，研磨液循環(huán)系統(tǒng)中進入了空氣，通過滾壓轉(zhuǎn)子6的擠壓將研磨液輸送軟管I中的絕大部分空氣排出，但是不能排凈，因此，通過增加的輸送軟管輸入端接頭5和閥門4，當(dāng)更換完研磨液輸送軟管I后由于滾壓轉(zhuǎn)子6擠壓研磨液輸送軟管I導(dǎo)致空氣集中在連接輸送軟管輸入端接頭5處。此時打開閥門4，軟管輸入端接頭5處的空氣由于研磨液輸送軟管I內(nèi)部的壓力而被排出，從而徹底排空了研磨液管道I中的空氣，保護了生產(chǎn)設(shè)備，降低了事故率。
[0015]綜上所述，本發(fā)明一種研磨液傳送系統(tǒng)的排氣系統(tǒng)，能夠?qū)Q裝研磨液管道時泄漏進入研磨液循環(huán)系統(tǒng)中的空氣排出，保護了生產(chǎn)設(shè)備，大大降低了維修成本，提高了經(jīng)濟效益。
[0016]盡管本發(fā)明的內(nèi)容已經(jīng)通過上述優(yōu)選實施例作了詳細(xì)介紹，但應(yīng)當(dāng)認(rèn)識到上述的描述不應(yīng)被認(rèn)為是對本發(fā)明的限制。在本領(lǐng)域技術(shù)人員閱讀了上述內(nèi)容后，對于本發(fā)明的多種修改和替代都將是顯而易見的。因此，本發(fā)明的保護范圍應(yīng)由所附的權(quán)利要求來限定。
【權(quán)利要求】
1.一種研磨液傳送系統(tǒng)的排氣系統(tǒng)，包含:設(shè)置在研磨液箱體上的研磨液輸入端閥門(21)、研磨液輸出端氣控閥門(22)、滾壓轉(zhuǎn)子(6)以及研磨液輸送軟管(1)，所述的研磨液輸送軟管(I)從研磨液輸出端氣控閥門(22)接出后繞過滾壓轉(zhuǎn)子(6)再接入研磨液輸入端閥門(21)，滾壓轉(zhuǎn)子(6)擠壓研磨液輸送軟管(1)，將研磨液輸送軟管(I)中的空氣擠出后將研磨液輸送至研磨盤上，其特征在于，還包含: 輸送軟管輸入端接頭(5 )，所述的輸送軟管輸入端接頭(5 )設(shè)置在滾壓轉(zhuǎn)子(6 )和研磨液輸入端閥門(21)之間。
2.如權(quán)利要求1所述的研磨液傳送系統(tǒng)的排氣系統(tǒng)，其特征在于，所述的輸送軟管輸入端接頭(5)為三通接頭，其第一端連接滾壓轉(zhuǎn)子(6)，第二端連接研磨液輸入端閥門(21)，第三端通過排氣管道與大氣相連。
3.如權(quán)利要求2所述的研磨液傳送系統(tǒng)的排氣系統(tǒng)，其特征在于，還包含:閥門(4)，所述的閥門(4 )與輸送軟管輸入端接頭(5 )的第三端相連，將輸送軟管輸入端接頭(5 )處積壓的空氣釋放出去。
4.如權(quán)利要求3所述的研磨液傳送系統(tǒng)的排氣系統(tǒng)，其特征在于，閥門(4)是一個在正常工作狀態(tài)下關(guān)閉而在調(diào)換研磨液輸送軟管(I)后打開供氣體排放的手動閥門。
【文檔編號】B24B57/02GK103878696SQ201210557416
【公開日】2014年6月25日 申請日期:2012年12月20日 優(yōu)先權(quán)日:2012年12月20日
【發(fā)明者】邵爾劍 申請人:上海華虹宏力半導(dǎo)體制造有限公司