一種剝離裝置和顯示基板生產(chǎn)線的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，具體地，涉及一種剝離裝置和顯示基板生產(chǎn)線。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，在液晶面板制造領(lǐng)域的濕法剝離過程中，設(shè)備的主體結(jié)構(gòu)及工序為前段在剝離腔室內(nèi)通過使加熱的藥液與顯示基板上的光刻膠進行反應(yīng)，后段在清洗腔室內(nèi)用常溫或加熱的清洗液對顯示基板上剝離下來的光刻膠進行清洗。清洗過程中，通過設(shè)置在剝離腔室和清洗腔室連通處的液刀機構(gòu)向顯示基板上噴出清洗液對剝離下來的光刻膠進行沖洗。
[0003]在此剝離工藝中，用常溫清洗液進行清洗會使顯示基板上殘留的藥液在后端相對低溫的清洗液環(huán)境中析出，造成藥液殘留不良，同時用于在清洗中向顯示基板上噴出清洗液的液刀頭的刀口容易出現(xiàn)藥液的結(jié)晶，導(dǎo)致液刀頭刀口堵塞。
[0004]另外，用加熱清洗液的方法清洗剝離下來的光刻膠通常有兩種方式:一種是在液刀頭22下端供液管路上直接安裝電阻絲5加熱，如圖1所示，此種方法加熱路徑有限，且液刀機構(gòu)中清洗液交換快，且非循環(huán)使用，致使清洗液升溫不均或來不及充分升溫；此外需要額外消耗大量電能。另一種是安裝額外的供液槽231，在供液槽231內(nèi)安裝加熱管6，如圖2所示，由于液刀機構(gòu)的工作狀態(tài)是有顯示基板3從其下方經(jīng)過時開啟噴液，其余時間關(guān)閉，而以上兩種加熱方法皆是一直保持加熱的常開狀態(tài)，大大的損耗了電能，若清洗液加熱與液刀頭22噴液保持同步間歇開啟，由于加熱距離有限，液體流速快，所以加熱會不夠充分，且無法提供溫度均一的清洗液。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述技術(shù)問題，提供一種剝離裝置和顯示基板生產(chǎn)線。該剝離裝置能使液刀頭輸出的清洗液達到設(shè)定溫度，從而能有效地去除殘留在顯示基板上的剝離液和光刻膠，避免剝離液在顯示基板上析出，進而避免剝離液結(jié)晶將液刀頭的輸出口堵塞；還能有效的利用剝離腔室內(nèi)原有的熱能，從而節(jié)約能耗。
[0006]本發(fā)明提供一種剝離裝置，包括剝離腔室，所述剝離腔室內(nèi)用于提供設(shè)定溫度的剝離液；還包括液刀機構(gòu)，所述液刀機構(gòu)包括供液管道和液刀頭，所述供液管道用于將清洗液供應(yīng)至所述液刀頭，所述液刀頭用于輸出清洗液，所述供液管道設(shè)置在所述剝離腔室內(nèi)，所述剝離液能使所述供液管道內(nèi)的清洗液達到設(shè)定溫度。
[0007]優(yōu)選地，所述剝離腔室內(nèi)設(shè)置有噴頭，所述噴頭用于噴灑所述設(shè)定溫度的剝離液；所述液刀頭位于所述剝離腔室外，且所述液刀頭連接在所述供液管道的一端端部。
[0008]優(yōu)選地，所述供液管道呈連續(xù)的S形曲線蜿蜒排布。
[0009]優(yōu)選地，所述供液管道包括兩條或三條以上的子管道，兩條或三條以上的所述子管道相互平行且依次首尾相接。
[0010]優(yōu)選地，所述供液管道呈螺旋曲線排布。
[0011]優(yōu)選地，所述供液管道平鋪在所述剝離腔室底部或者懸掛在所述剝離腔室的側(cè)壁。
[0012]優(yōu)選地，所述剝離腔室包括多個，多個所述剝離腔室相互貫通，所述供液管道連續(xù)布設(shè)在多個所述剝離腔室內(nèi)。
[0013]優(yōu)選地，所述液刀機構(gòu)還包括供應(yīng)源，用于供應(yīng)清洗液，所述供液管道的另一端端部連接所述供應(yīng)源，所述供應(yīng)源包括用于容納所述清洗液的供液槽和用于將所述供液槽內(nèi)的清洗液輸入到所述供液管道內(nèi)的壓力栗。
[0014]優(yōu)選地，所述壓力栗輸出的壓力與所述供液管道內(nèi)所述清洗液的流速成正比，所述壓力栗輸出的壓力能調(diào)節(jié)。
[0015]優(yōu)選地，還包括清洗腔室，所述清洗腔室與所述剝離腔室相互貫通，所述清洗腔室用于對所述顯示基板上剝離下來的所述光刻膠進行清洗，所述液刀頭設(shè)置在所述清洗腔室內(nèi)。
[0016]本發(fā)明還提供一種顯示基板生產(chǎn)線，包括上述剝離裝置。
[0017]本發(fā)明的有益效果:本發(fā)明所提供的剝離裝置，通過將供液管道設(shè)置在剝離腔室內(nèi)，使清洗液流經(jīng)能提供設(shè)定溫度剝離液的剝離腔室，再從剝離腔室流出來，進入液刀頭，經(jīng)過剝離腔室內(nèi)剝離液的加熱，能使液刀頭輸出的清洗液達到設(shè)定溫度，這使殘留在顯示基板上的剝離液及光刻膠能更好地溶解在設(shè)定溫度的清洗液中，從而能有效地去除殘留在顯示基板上的剝離液和光刻膠，避免剝離液在顯示基板上析出，進而避免剝離液結(jié)晶將液刀頭的輸出口堵塞；此外，與傳統(tǒng)的在液刀機構(gòu)供液管路下端單獨加熱的方法相比，該剝離裝置能有效的利用剝離腔室內(nèi)原有的熱能，從而節(jié)約了能耗。
[0018]本發(fā)明所提供的顯示基板生產(chǎn)線，通過采用上述剝離裝置，不僅改進了顯示基板上光刻膠的剝離效果，而且節(jié)省了該顯示基板生產(chǎn)線的能耗。
【附圖說明】
[0019]圖1為現(xiàn)有技術(shù)剝離裝置中一種液刀機構(gòu)加熱清洗液的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖2為現(xiàn)有技術(shù)剝離裝置中另一種液刀機構(gòu)加熱清洗液的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021]圖3為本發(fā)明實施例1中剝離裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0022]圖4為本發(fā)明實施例2中液刀機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0023]其中的附圖標(biāo)記說明:
[0024]1.剝離腔室；11.噴頭；2.液刀機構(gòu)；21.供液管道；211.子管道；22.液刀頭；23.供應(yīng)源；231.供液槽；232.壓力栗；3.顯示基板；4.清洗腔室；5.電阻絲；6.加熱管。
【具體實施方式】
[0025]為使本領(lǐng)域的技術(shù)人員更好地理解本發(fā)明的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖和【具體實施方式】對本發(fā)明所提供的一種剝離裝置和顯示基板生產(chǎn)線作進一步詳細描述。
[0026]實施例1:
[0027]本實施例提供一種剝離裝置，如圖3所示，包括剝離腔室1，剝離腔室I內(nèi)用于提供設(shè)定溫度的剝離液，剝離液對顯示基板3上的光刻膠進行剝離；還包括液刀機構(gòu)2，用于對剝離下來的光刻膠進行清洗，液刀機構(gòu)2包括供液管道21和液刀頭22，供液管道21用于將清洗液供應(yīng)至液刀頭22，液刀頭22用于輸出清洗液，供液管道21設(shè)置在剝離腔室I內(nèi)，剝離液能使供液管道21內(nèi)的清洗液達到設(shè)定溫度。
[0028]該剝離裝置通過將供液管道21設(shè)置在剝離腔室I內(nèi)，使清洗液流經(jīng)能提供設(shè)定溫度剝離液的剝離腔室1，再從剝離腔室I流出來，進入液刀頭22，經(jīng)過剝離腔室I內(nèi)剝離液的加熱，能使液刀頭22輸出的清洗液達到設(shè)定溫度，這使殘留在顯示基板3上的剝離液及光刻膠能更好地溶解在設(shè)定溫度的清洗液中，從而能有效地去除殘留在顯示基板3上的剝離液和光刻膠，避免剝離液在顯示基板3上析出，進而避免剝離液結(jié)晶將液刀頭22的輸出口堵塞；此外，與傳統(tǒng)的在液刀機構(gòu)供液管路下端單獨加熱的方法相比，該剝離裝置能有效的利用剝離腔室I內(nèi)原有的熱能，從而節(jié)約了能耗。
[0029]其中，剝離腔室I內(nèi)設(shè)置有噴頭11，噴頭11用于噴灑設(shè)定溫度的剝離液；液刀頭22位于剝離腔室I外，且液刀頭22連接在供液管道21的一端端部，液刀頭22輸出的清洗液用于噴灑到顯示基板3上，以對顯示基板3上剝離下來的光刻膠進行沖洗。噴頭11噴灑出的剝離液具有一定溫度，剝離液能使剝離腔室I內(nèi)的溫度升高，從而使設(shè)置在剝離腔室I內(nèi)的供液管道21內(nèi)的清洗液的溫度升高；經(jīng)過加熱的清洗液流出液刀頭22對顯示基板3進行清洗時，能夠避免殘留在顯示基板3上的剝離液在顯示基板3上析出，從而避免剝離液析出形成的結(jié)晶對液刀頭22的輸出口造成堵塞。
[0030]本實施例中，供液管道21呈連續(xù)的S形曲線蜿蜒排布。供液管道21包括兩條子管道211，兩條子管道211相互平行且首尾相接，即兩條子管道211相互連接為一整條供液管道21，供液管道21的長度為兩條連續(xù)S形子管道211的總長度。如此設(shè)置，能使流過供液管道21在剝離腔室I內(nèi)的排布長度足夠長，從而使供液管道21內(nèi)的清洗液在剝離液的作用下充分加熱，從而使最終從液刀頭22流出的清洗液具有設(shè)定溫度。
[0031]需要說明的