一種產線用oled基板高效熱處理設備的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種產線用OLED基板高效熱處理設備，包括腔體，基板出口和基板入口，基板入口設置在腔體左側腔壁的下部，基板出口設置在腔體右側腔壁的上部；還包括由處理室左部、處理室中部和處理室右部組成的處理室，處理室放置在腔體內部。本實用新型的產線用OLED基板高效熱處理設備優(yōu)點為：能夠在產線上自動運行，工藝誤差低，成本低，體積小。
【專利說明】一種產線用OLED基板高效熱處理設備
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及顯示器件的熱處理【技術領域】，特別是一種產線用OLED基板高效熱處理設備。
【背景技術】
[0002]由于OLED對水汽特別敏感以及退火和熱固化等低溫熱處理工藝的需要，在整個工藝制程中除了用于活化，氫化以及結晶等中、高溫熱處理工藝(大于500°C)以外，還較多的使用了低溫熱處理工藝(80-230°C)，目前這一類低溫熱處理工藝設備大多使用獨立方式，通常是離線獨立設備配置封包裝置，然后通過工廠的物流轉運系統(tǒng)如:空中往返運輸車和存儲貨架等方式和其他設備進行工藝連接。該方式通常使得連線轉運過程復雜、時間延長、產能降低且成本增加。由于該類型設備通常采用的方式為CCBS (ContinuousCleanBatch system)即進出口由同一只機械手，同一個窗口進出熱處理腔體完成,就是一片一片的裝進取出，突出的是裝和取同時連續(xù)的進行，和單臺固化爐原理一樣，這從程序上就無法避免當工藝時間(ex: 1800s，230°C )到達時，機械手卻正在進行入口的動作而導致實際加熱時間過長，根據(jù)經(jīng)驗如果從距離熱處理腔體的盒內進行取片裝載，延誤時間會超過100秒甚至更長，一方面這種方式本身影響對加熱系統(tǒng)的充分利用，降低了產能，更重要的是工藝控制得不到保證，影響產品質量。通常使用CCBS的系統(tǒng)內部沒有對進入加熱腔體的基片進行管理，即有可能玻璃在腔體內發(fā)生破碎而不被識別，繼續(xù)裝載和取放動作，那么由于破碎造成的微粒將會大面積污染產品。也有一些工藝設備配置為平衡穿梭式傳輸?shù)漠a線方式將上下流工藝進行銜接，但往往該方式使得設備長度超過十米以上，對于潔凈間的建造和維護成本大大增加。
實用新型內容
[0003]本實用新型是解決上述問題，提供一種能在產線上使用并且入口和出口不在一起的產線用OLED基板高效熱處理設備。
[0004]本實用新型的產線用OLED基板高效熱處理設備，包括腔體，基板出口和基板入口，基板入口設置在腔體左側腔壁的下部，基板出口設置在腔體右側腔壁的上部；還包括由處理室左部、處理室中部和處理室右部組成的處理室，處理室放置在腔體內部；處理室左部包括處理室左部底層、處理室左部一層、處理室左部二層、處理室左部三層和處理室左部四層，處理室左部底層、處理室左部一層、處理室左部二層、處理室左部三層和處理室左部四層依次重疊；處理室中部包括處理室中部底層、處理室中部一層、處理室中部二層、處理室中部三層和處理室中部四層，處理室中部底層、處理室中部一層、處理室中部二層、處理室中部三層和處理室中部四層依次重疊；處理室右部包括處理室右部底層、處理室右部一層、處理室右部二層、處理室右部三層和處理室右部四層，處理室右部底層、處理室右部一層、處理室右部二層、處理室右部三層和處理室右部四層依次重疊；處理室左部底層、處理室左部一層、處理室左部二層、處理室左部三層、處理室左部四層、處理室中部底層、處理室中部一層、處理室中部二層、處理室中部三層、處理室中部四層、處理室右部底層、處理室右部一層、處理室右部二層、處理室右部三層和處理室右部四層都設置有水平向傳動裝置；處理室右部一層、處理室左部二層、處理室右部三層和處理室左部四層還設置有升降裝置。
[0005]優(yōu)選地，所述處理室左部底層、處理室左部一層、處理室左部二層、處理室左部三層、處理室左部四層、處理室中部底層、處理室中部一層、處理室中部二層、處理室中部三層、處理室中部四層、處理室右部底層、處理室右部一層、處理室右部二層、處理室右部三層和處理室右部四層都含設置有水平方位的撥動式傳感器。
[0006]優(yōu)選地，所述處理室右部一層、處理室左部二層、處理室右部三層和處理室左部四層還設置有垂直方向的撥動式傳感器。
[0007]優(yōu)選地，所述水平向傳動裝置的材質為PI材質。
[0008]優(yōu)選地，所述處理室左部底層、處理室中部底層和處理室右部底層安裝有驅動裝置。
[0009]優(yōu)選地，所述驅動裝置和撥動式傳感器之間的連接線材采用鎧裝隔熱材料包裹。
[0010]綜上所述，本實用新型的產線用OLED基板高效熱處理設備優(yōu)點為:能夠在產線上自動運行，工藝誤差低，成本低，體積小。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0011]圖1為產線用OLED基板高效熱處理設備腔體圖；
[0012]圖2為產線用OLED基板高效熱處理設備結構圖；
[0013]圖3為處理室結構圖；
[0014]圖4為本實用新型的實施例處理室內部流程圖。
【具體實施方式】
[0015]下面結合附圖和具體的實施例對本實用新型作進一步的闡述。
[0016]本實用新型的產線用OLED基板高效熱處理設備，包括腔體1，基板出口 2和基板入口 3，基板入口 3設置在腔體I左側腔壁的下部，基板出口 2設置在腔體I右側腔壁的上部；還包括由處理室左部4、處理室中部5和處理室右部6組成的處理室，處理室放置在腔體I內部；處理室左部4包括處理室左部底層41、處理室左部一層42、處理室左部二層43、處理室左部三層44和處理室左部四層45，處理室左部底層41、處理室左部一層42、處理室左部二層43、處理室左部三層44和處理室左部四層45依次重疊；處理室中部5包括處理室中部底層51、處理室中部一層52、處理室中部二層53、處理室中部三層54和處理室中部四層55，處理室中部底層51、處理室中部一層52、處理室中部二層53、處理室中部三層54和處理室中部四層55依次重疊；處理室右部6包括處理室右部底層61、處理室右部一層62、處理室右部二層63、處理室右部三層64和處理室右部四層65，處理室右部底層61、處理室右部一層62、處理室右部二層63、處理室右部三層64和處理室右部四層65依次重疊；處理室左部底層41、處理室左部一層42、處理室左部二層43、處理室左部三層44、處理室左部四層45、處理室中部底層51、處理室中部一層52、處理室中部二層53、處理室中部三層54、處理室中部四層55、處理室右部底層61、處理室右部一層62、處理室右部二層63、處理室右部三層64和處理室右部四層65都設置有水平向傳動裝置；處理室右部一層62、處理室左部二層43、處理室右部三層64和處理室左部四層45還設置有升降裝置。所述處理室左部底層41、處理室左部一層42、處理室左部二層43、處理室左部三層44、處理室左部四層45、處理室中部底層51、處理室中部一層52、處理室中部二層53、處理室中部三層54、處理室中部四層55、處理室右部底層61、處理室右部一層62、處理室右部二層63、處理室右部三層64和處理室右部四層65都含設置有水平方位的撥動式傳感器。所述處理室右部一層62、處理室左部二層43、處理室右部三層64和處理室左部四層45還設置有垂直方向的撥動式傳感器。所述水平向傳動裝置的材質為PI材質。所述處理室左部底層41、處理室中部底層51和處理室右部底層61安裝有驅動裝置。所述驅動裝置和撥動式傳感器之間的連接線材采用鎧裝隔熱材料包裹。
[0017]運行時，升溫加熱，當檢測到產線用OLED基板高效熱處理設備內溫度恒定在設置溫度時，上流工藝取出基板然后通過基板入口 3將基板放入處理室左部一層42 ;當基板放入后，所有驅動裝置驅動處理室內的水平向傳動裝置和升降裝置開始工作；基板從處理室左部一層42，通過水平向傳動裝置運輸一直到達處理室右部一層62的升降裝置中，當處理室右部一層62工位最右端的水平方向的撥動式傳感器檢測到基板時，該升降裝置執(zhí)行上升動作，通過機械的方式保持與處理室右部二層63在一個水平面；上升動作完成之后，通過時間限定(例如I秒)來使處理室右部二層63的水平向傳動裝置使基板從右向左傳輸一直到達處理室左部二層43的升降機內。當處理室右部二層63最左邊的水平方向的撥動傳感器檢測到玻璃離開后，升降機向下執(zhí)行下降的動作并與處理室右部一層62保持水平(通過機械限制的方式確保)，處理室右部一層62的水平向傳動裝置開動，使處理室中部一層52的基板可以流進該位置。處理室左部二層43升降機的水平方向的撥動傳感器檢測到基板到達以后。向上執(zhí)行上升動作與處理室左部三層44保持水平(機械限制確保水平)，上升指令執(zhí)行后規(guī)定時間(例如I秒)后，處理室左部三層44水平向傳動裝置使基板從左向右流動；同時當處理室左部三層44的水平向的撥片傳感器檢測到玻璃離開后，升降機向下執(zhí)行下降的動作并與處理室左部二層43保持水平，處理室左部二層43水平向傳動裝置開動，使處理室右部二層63的基板可以流進該工位。處理室右部三層64工位最右端的水平方向的撥動式傳感器檢測到基板時，該升降裝置執(zhí)行上升動作，通過機械的方式保持與處理室右部三層64在一個水平面；上升動作完成之后，通過時間限定(例如I秒)來使處理室右部三層64的水平向傳動裝置使基板從右向左傳輸一直到達處理室左部三層44的升降機內。當處理室右部四層65最左邊的水平方向的撥動傳感器檢測到玻璃離開后，升降機向下執(zhí)行下降的動作并與處理室右部三層64保持水平(通過機械限制的方式確保)，處理室右部三層64的水平向傳動裝置開動，使處理室中部三層54的基板可以流進該位置。處理室左部四層45升降機的水平方向的撥動傳感器檢測到基板到達以后。向上執(zhí)行上升動作與處理室左部頂層保持水平(機械限制確保水平)，上升指令執(zhí)行后規(guī)定時間(例如I秒)后，處理室左部頂層水平向傳動裝置使基板從左向右流動；同時當處理室左部頂層的水平向的撥片傳感器檢測到玻璃離開后，升降機向下執(zhí)行下降的動作并與處理室左部四層45保持水平，處理室左部四層45水平向傳動裝置開動，使處理室右部四層65的基板可以流進該工位。基板通過處理室左部頂層、處理室中部頂層和處理室右部頂層到達基板出口 2。通過升降機撥動傳感器對玻璃進行檢測，由于加熱時間確定后，傳輸速度以及升降的時間都可以確定，所以相同間隔的時間內每個升降機一定能夠檢測到玻璃的到達，如果在確定的間隔時間內沒有檢測到玻璃到達，則說明玻璃發(fā)生破碎或者處理室中部的傳輸異常。同樣在升降機內，從撥動傳感器檢測到玻璃進入以后，到一定確定的時間之后，另一端的撥動傳感器會檢測到玻璃到達，再過一定規(guī)定時間后，進入端的撥動傳感器會檢測到玻璃離開，如果發(fā)生異常則會發(fā)生異常報警?？梢詫γ總€工位的基板情況進行管理，檢測卡片，重疊，破碎以及上升下降中的一場情況等，并且發(fā)生異常后報警提示且停止機械手裝載動作。傳輸速度=(熱處理時間-上升下降總時間)/總工位*每個工位長度，實際操作中只需要設置熱處理時間(如1800秒)，通過內部如上計算方式，則自動計算出傳輸速度，以確保每片玻璃在處理室內有準確的工藝時間。通過入口機械手臂上的檢測傳感器來對每片玻璃進行入庫記憶管理，通過出口機械手臂上的檢測傳感器對玻璃進行出庫記憶管理，以確定產線用OLED基板高效熱處理設備內的玻璃數(shù)量，以及具體工位上玻璃的有無情況的記憶。
[0018]本領域的普通技術人員將會意識到，這里所述的實施例是為了幫助讀者理解本實用新型的原理，應被理解為本實用新型的保護范圍并不局限于這樣的特別陳述和實施例。本領域的普通技術人員可以根據(jù)本實用新型公開的這些技術啟示做出各種不脫離本實用新型實質的其它各種具體變形和組合，這些變形和組合仍然在本實用新型的保護范圍內。
【權利要求】
1.一種產線用OLED基板高效熱處理設備，其特征在于:包括腔體(1)，基板出口(2)和基板入口( 3 )，基板入口( 3 )設置在腔體(I)左側腔壁的下部，基板出口( 2 )設置在腔體(I)右側腔壁的上部；還包括由處理室左部(4)、處理室中部(5)和處理室右部(6)組成的處理室，處理室放置在腔體(I)內部；處理室左部(4)包括處理室左部底層(41)、處理室左部一層(42)、處理室左部二層(43)、處理室左部三層(44)和處理室左部四層(45)，處理室左部底層(41)、處理室左部一層(42)、處理室左部二層(43)、處理室左部三層(44)和處理室左部四層(45)依次重疊；處理室中部(5)包括處理室中部底層(51)、處理室中部一層(52)、處理室中部二層(53)、處理室中部三層(54)和處理室中部四層(55)，處理室中部底層(51)、處理室中部一層(52)、處理室中部二層(53)、處理室中部三層(54)和處理室中部四層(55)依次重疊；處理室右部(6 )包括處理室右部底層(61)、處理室右部一層(62 )、處理室右部二層(63)、處理室右部三層(64)和處理室右部四層(65)，處理室右部底層(61)、處理室右部一層(62)、處理室右部二層(63)、處理室右部三層(64)和處理室右部四層(65)依次重疊；處理室左部底層(41)、處理室左部一層(42)、處理室左部二層(43)、處理室左部三層(44)、處理室左部四層(45)、處理室中部底層(51)、處理室中部一層(52)、處理室中部二層(53)、處理室中部三層(54)、處理室中部四層(55)、處理室右部底層(61)、處理室右部一層(62)、處理室右部二層(63)、處理室右部三層(64)和處理室右部四層(65)都設置有水平向傳動裝置；處理室右部一層(62)、處理室左部二層(43)、處理室右部三層(64)和處理室左部四層(45)還設置有升降裝置。
2.如權利要求1所述的產線用OLED基板高效熱處理設備，其特征在于:所述處理室左部底層(41)、處理室左部一層(42)、處理室左部二層(43)、處理室左部三層(44)、處理室左部四層(45)、處理室中部底層(51)、處理室中部一層(52)、處理室中部二層(53)、處理室中部三層(54)、處理室中部四層(55)、處理室右部底層(61)、處理室右部一層(62)、處理室右部二層(63)、處理室右部三層(64)和處理室右部四層(65)都含設置有水平方位的撥動式傳感器。
3.如權利要求2所述的產線用OLED基板高效熱處理設備，其特征在于:所述處理室右部一層(62)、處理室左部二層(43)、處理室右部三層(64)和處理室左部四層(45)還設置有垂直方向的撥動式傳感器。
4.如權利要求3所述的產線用OLED基板高效熱處理設備，其特征在于:所述水平向傳動裝置的材質為PI材質。
5.如權利要求4所述的產線用OLED基板高效熱處理設備，其特征在于:所述處理室左部底層(41)、處理室中部底層(51)和處理室右部底層(61)安裝有驅動裝置。
6.如權利要求5所述的產線用OLED基板高效熱處理設備，其特征在于:所述驅動裝置和撥動式傳感器之間的連接線材采用鎧裝隔熱材料包裹。
【文檔編號】H01L51/56GK203760522SQ201420143402
【公開日】2014年8月6日 申請日期:2014年3月27日 優(yōu)先權日:2014年3月27日
【發(fā)明者】魏鋒, 敬啟毓, 任海 申請人:四川虹視顯示技術有限公司