技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型公開了一種真空氣氛處理裝置，所述裝置的頂部與外部的粒子束產(chǎn)生裝置連接，其特征在于，所述裝置包括：底部與外部的待測樣品或承載所述待測樣品的平臺接觸的吸盤、與外部的供氣系統(tǒng)連接的第一氣體控制器、與外部的抽氣系統(tǒng)連接的第二氣體控制器；其中，所述裝置的頂部設(shè)置有窗口，所述窗口用于使外部的粒子束進(jìn)入所述裝置；所述第一氣體控制器，用于連接所述供氣系統(tǒng)和所述吸盤；所述第二氣體控制器，用于連接所述抽氣系統(tǒng)和所述吸盤。本實(shí)用新型還公開了一種樣品觀測系統(tǒng)。

技術(shù)研發(fā)人員：何偉;李帥;王鵬
受保護(hù)的技術(shù)使用者：聚束科技（北京）有限公司
文檔號碼：201621309552
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.01
技術(shù)公布日：2017.07.14