技術(shù)編號(hào):11726923
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及帶電粒子束顯微鏡領(lǐng)域,尤其涉及一種真空氣氛處理裝置及樣品觀測(cè)系統(tǒng)。背景技術(shù)20世紀(jì)60年代發(fā)明了掃描電子顯微鏡(ScanningElectronMicroscope,SEM),用于觀測(cè)微米或納米量級(jí)的微小物體或結(jié)構(gòu);但是,傳統(tǒng)的SEM觀測(cè)樣品時(shí),通常將樣品放置于高真空的樣品室內(nèi),因此,利用SEM觀測(cè)樣品時(shí),需要對(duì)樣品進(jìn)行干燥、冷凍或鍍金等特殊處理;對(duì)于取樣困難的樣品、液體樣品或生物活體樣品等特殊樣品不能利用SEM進(jìn)行觀測(cè)。環(huán)境掃描電子顯微鏡(Environmentalscannin...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。