本實(shí)用新型涉及自動(dòng)化檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種基于晶元片檢測(cè)的探針組件。

背景技術(shù)：

晶元(Wafer)，是生產(chǎn)集成電路所用的載體，多指單晶硅圓片，也叫晶元芯片。普通硅砂拉制提煉，經(jīng)過溶解、提純、蒸餾一系列措施制成單晶硅棒，單晶硅棒經(jīng)過拋光、切片之后，就成為了晶元片。一個(gè)圓盤狀的晶元片上分布有很多一格格的晶元，晶元呈陣列排布，晶元在封裝制造成芯片之前需要對(duì)其性能進(jìn)行檢測(cè)，由于一個(gè)晶元片上存在成百上千個(gè)晶元，人工通過探針對(duì)每個(gè)晶元進(jìn)行檢測(cè)，工作量非常大，而且容易漏檢。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型為了解決現(xiàn)有技術(shù)中晶元片檢測(cè)效率低的問題，提供了一種能適用于自動(dòng)檢測(cè)設(shè)備，安裝調(diào)節(jié)方便，可極大提高檢測(cè)效率的基于晶元片檢測(cè)的探針組件。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案：

一種基于晶元片檢測(cè)的探針組件，包括探針座，所述的探針座由陶瓷制成，所述探針座的上端中心設(shè)有凹腔，所述凹腔底部設(shè)有若干探針定位通孔，所述探針定位通孔內(nèi)設(shè)有探針，探針的下端伸出探針座底面，所述凹腔的內(nèi)壁上設(shè)有環(huán)形階梯面，所述的環(huán)形階梯面上設(shè)有線路板，所述的線路板與探針之間電連接，所述凹腔的開口端設(shè)有端蓋，所述探針座的外側(cè)設(shè)有若干環(huán)形散熱槽；所述端蓋的上側(cè)面中心設(shè)有螺桿，螺桿的下端與端蓋之間轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述端蓋的正上方設(shè)有連接座，連接座的底板上設(shè)有螺套，所述的螺桿穿過螺套，所述螺桿的上端設(shè)有調(diào)節(jié)輪，所述調(diào)節(jié)輪與連接座的頂面之間設(shè)有預(yù)緊壓簧，所述端蓋上還設(shè)有與螺桿平行的導(dǎo)向桿，所述導(dǎo)向桿的上端穿過連接座的底板形成滑動(dòng)連接，所述連接座的頂部設(shè)有連接柱。

連接柱與自動(dòng)檢測(cè)設(shè)備上的升降機(jī)構(gòu)連接，升降機(jī)構(gòu)的升降位移是固定的，晶元片安裝在滑動(dòng)支架上，通過調(diào)節(jié)輪帶動(dòng)螺桿轉(zhuǎn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)探針座的整體升降，從而調(diào)節(jié)探針與晶元接觸時(shí)的壓縮量，確保探針與晶元穩(wěn)定接觸，調(diào)節(jié)好預(yù)緊壓簧自動(dòng)預(yù)緊，防止檢測(cè)過程中螺桿與螺套之間發(fā)生轉(zhuǎn)動(dòng)；探針座向下移動(dòng)一次，所有的探針與晶元片表面的晶元彈性接觸、檢測(cè)，然后探針座上移，滑動(dòng)支架帶動(dòng)晶元片移動(dòng)一段距離，探針座下降檢測(cè)，依次循環(huán)，將晶元片上的所有晶元都檢測(cè)一次，檢測(cè)后直接從自動(dòng)化檢測(cè)設(shè)備上讀取檢測(cè)結(jié)果，極大的提高了晶元片的檢測(cè)效率；線路板、探針上端電連接都被封裝在凹腔內(nèi)，具有良好的防水、防塵性能好，穩(wěn)定性好；探針座由陶瓷制成，絕緣性能好，配合環(huán)形散熱槽，確保線路板良好的散熱。

作為優(yōu)選，所述探針定位通孔的兩端設(shè)有套設(shè)在探針外側(cè)的絕緣夾套，所述探針的下端表面位于絕緣夾套處設(shè)有限位凸環(huán)，所述探針的上端設(shè)有導(dǎo)電套，所述導(dǎo)電套的外端設(shè)有導(dǎo)電柱，所述的導(dǎo)電柱與線路板之間電連接。探針的兩端通過兩個(gè)絕緣夾套限位并與探針座之間絕緣，探針上端與導(dǎo)電套連接，探針下端通過限位凸環(huán)限位，探針長(zhǎng)時(shí)間使用需要更換，只需要卸下導(dǎo)電套，卸下探針上端的絕緣夾套，然后將探針從下端抽出，更換上新的探針，探針更換非常方便。

作為優(yōu)選，所述的絕緣夾套包括夾套本體、設(shè)在夾套本體一端的擋圈，所述夾套本體的另一端外側(cè)面呈錐形。錐形便于夾套本體頭部能夠快速插入探針定位通孔內(nèi)，擋圈露在探針定位通孔外部，便于取出絕緣夾套。

作為優(yōu)選，所述凹腔的側(cè)面設(shè)有引線孔，線路板上的數(shù)據(jù)線穿過引線孔，數(shù)據(jù)線的外端設(shè)有數(shù)據(jù)插頭，所述的引線孔內(nèi)設(shè)有防水套。線路板上的數(shù)據(jù)線從引線孔處伸出，數(shù)據(jù)接頭與自動(dòng)化設(shè)備上的接口直接連接，實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)傳遞；防水套對(duì)引線孔密封，起到防水作用，防止外界的水汽進(jìn)入凹腔內(nèi)導(dǎo)致探針短路。

作為優(yōu)選，所述端蓋的下側(cè)面邊緣與線路板邊緣處設(shè)有密封圈。密封圈起到密封作用，防止外界水分進(jìn)入凹腔內(nèi)造成短路。

作為優(yōu)選，所有探針的檢測(cè)端面為球面，所有探針的檢測(cè)端面共面。檢測(cè)端面與晶元接觸檢測(cè)，球面能確保與晶元接觸良好。

作為優(yōu)選，所述探針座的底面中心設(shè)有限位柱，所述限位柱與探針座之間螺紋連接，所述限位柱的外側(cè)套設(shè)有調(diào)節(jié)套，所述的限位柱為螺柱，所述調(diào)節(jié)套的下端設(shè)有緩沖墊片。通過轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)套可以調(diào)節(jié)緩沖墊片與探針座底面之間的距離，從而控制探針的最大壓縮量，保證探針；當(dāng)自動(dòng)檢測(cè)設(shè)備上的升降機(jī)構(gòu)出現(xiàn)故障時(shí)，能夠防止探針戳傷晶元片。

因此，本實(shí)用新型能適用于自動(dòng)檢測(cè)設(shè)備，安裝調(diào)節(jié)方便，可極大提高檢測(cè)效率；同時(shí)自身密封性能好，防水防塵性能好，穩(wěn)定性好；探針損壞后更換非常方便。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型的一種結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為探針座的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3為圖2中A處局部放大示意圖。

圖4為圖2中B處局部放大示意圖。

圖中：探針座1、凹腔2、探針定位通孔3、探針4、絕緣夾套5、導(dǎo)電套6、導(dǎo)電柱7、環(huán)形階梯面8、線路板9、端蓋10、密封圈11、螺桿12、引線孔13、數(shù)據(jù)線14、數(shù)據(jù)插頭15、防水套16、連接座17、螺套18、預(yù)緊壓簧19、調(diào)節(jié)輪20、導(dǎo)向桿21、連接柱22、限位柱23、調(diào)節(jié)套24、緩沖墊片25、轉(zhuǎn)動(dòng)片26、限位凸環(huán)40、夾套本體50、擋圈51、環(huán)形散熱槽100。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步描述：

如圖1和圖2所示的一種基于晶元片檢測(cè)的探針組件，包括探針座1，探針座由陶瓷制成，探針座的外側(cè)設(shè)有若干環(huán)形散熱槽100，探針座1的上端中心設(shè)有凹腔2，凹腔底部設(shè)有若干探針定位通孔3，探針定位通孔內(nèi)設(shè)有探針4，本實(shí)施例中的探針有16根，呈4X4的矩陣分布，探針定位通孔3的兩端設(shè)有套設(shè)在探針外側(cè)的絕緣夾套5，探針的下端伸出探針座底面，探針的檢測(cè)端面為球面，所有探針的檢測(cè)端面共面；如圖3所示，絕緣夾套5包括夾套本體50、設(shè)在夾套本體一端的擋圈51，夾套本體的另一端外側(cè)面呈錐形，探針4的下端表面位于絕緣夾套處設(shè)有限位凸環(huán)40，如圖4所示，探針的上端設(shè)有導(dǎo)電套6，導(dǎo)電套6的外端設(shè)有導(dǎo)電柱7，凹腔的內(nèi)壁上設(shè)有環(huán)形階梯面8，環(huán)形階梯面上設(shè)有線路板9，線路板與導(dǎo)電柱之間電連接，凹腔的開口端設(shè)有端蓋10，端蓋與凹腔開口端之間螺紋連接，端蓋的下側(cè)面邊緣與線路板邊緣處設(shè)有密封圈11，凹腔的側(cè)面設(shè)有引線孔13，線路板上的數(shù)據(jù)線14穿過引線孔，數(shù)據(jù)線的外端設(shè)有數(shù)據(jù)插頭15，引線孔內(nèi)設(shè)有防水套16。

端蓋的上側(cè)面中心設(shè)有螺桿12，螺桿的下端與端蓋之間轉(zhuǎn)動(dòng)連接，端蓋的正上方設(shè)有連接座17，連接座的底板上設(shè)有螺套18，螺桿穿過螺套，調(diào)節(jié)輪與連接座的頂面之間設(shè)有預(yù)緊壓簧19，調(diào)節(jié)輪與預(yù)緊壓簧之間設(shè)有轉(zhuǎn)動(dòng)片26，螺桿的上端設(shè)有調(diào)節(jié)輪20，端蓋上還設(shè)有與螺桿平行的導(dǎo)向桿21，導(dǎo)向桿的上端穿過連接座的底板形成滑動(dòng)連接，連接座的頂部設(shè)有連接柱22；探針座的底面中心設(shè)有限位柱23，限位柱與探針座之間螺紋連接，限位柱的外側(cè)套設(shè)有調(diào)節(jié)套24，限位柱為螺柱，調(diào)節(jié)套與限位柱之間螺紋連接，調(diào)節(jié)套的下端設(shè)有緩沖墊片25。

結(jié)合附圖，本實(shí)用新型的使用方法如下：連接柱與自動(dòng)檢測(cè)設(shè)備上的升降機(jī)構(gòu)連接，數(shù)據(jù)插頭與自動(dòng)檢測(cè)設(shè)備上的插口連接，通過調(diào)節(jié)輪帶動(dòng)螺桿轉(zhuǎn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)探針座的整體升降，從而調(diào)節(jié)探針與晶元接觸時(shí)的壓縮量，確保探針與晶元穩(wěn)定接觸；晶元片安裝在滑動(dòng)支架上，探針座向下移動(dòng)一次，4X4的探針分別與晶元片表面的4X4的晶元一一對(duì)應(yīng)彈性接觸、檢測(cè)，然后探針座上移，滑動(dòng)支架帶動(dòng)晶元片移動(dòng)一段距離，探針座下降檢測(cè)，依次循環(huán)，將晶元片上的所有晶元都檢測(cè)一次，檢測(cè)后直接從自動(dòng)化檢測(cè)設(shè)備上讀取檢測(cè)結(jié)果，極大的提高了晶元片的檢測(cè)效率；線路板、探針與導(dǎo)電片的連接都被完全封裝在凹腔內(nèi)，受外界干擾小，防水、防塵性能好；探針損壞后，更換非常方便。