本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種用于WAT(晶圓驗(yàn)收測(cè)試)檢測(cè)機(jī)的探針結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)：

現(xiàn)有WAT檢測(cè)機(jī)的主流方案是：探針固定，當(dāng)晶圓上待檢測(cè)觸點(diǎn)與探針在豎直方向?qū)R時(shí)，微位移機(jī)構(gòu)在電機(jī)的作用下驅(qū)動(dòng)晶圓盤垂直向上微運(yùn)動(dòng)，以實(shí)現(xiàn)探針與晶圓上待檢測(cè)觸點(diǎn)的接觸，完成檢測(cè)；此微位移機(jī)構(gòu)有的采用絲杠導(dǎo)軌，有的采用凸輪，其裝配復(fù)雜，運(yùn)動(dòng)效率低，易磨損，且維修復(fù)雜。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明目的是提供一種用于WAT檢測(cè)機(jī)的探針結(jié)構(gòu)，解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述問題。

本發(fā)明解決上述技術(shù)問題的技術(shù)方案如下：

一種用于WAT檢測(cè)機(jī)的探針結(jié)構(gòu)，包括壓電陶瓷彎曲致動(dòng)片，所述壓電陶瓷彎曲致動(dòng)片一端設(shè)置有探針，另一端設(shè)置在固定支架上；所述壓電陶瓷彎曲致動(dòng)片的正負(fù)接線處通過(guò)導(dǎo)線與電源電連接，所述電源與控制器電連接。

本發(fā)明的有益效果是：當(dāng)晶圓上待檢測(cè)觸點(diǎn)與探針在豎直方向?qū)R時(shí)，控制器驅(qū)動(dòng)電源給壓電陶瓷彎曲致動(dòng)片施加電壓，壓電陶瓷彎曲致動(dòng)片在電壓的驅(qū)動(dòng)下向下彎曲，帶動(dòng)探針向下移動(dòng)，以實(shí)現(xiàn)探針與晶圓上待檢測(cè)觸點(diǎn)接觸，完成檢測(cè)；用壓電陶瓷彎曲致動(dòng)片帶動(dòng)探針向下移動(dòng)替代現(xiàn)有技術(shù)中微位移機(jī)構(gòu)在電機(jī)作用下驅(qū)動(dòng)晶圓盤向上移動(dòng)；有效避免了微位移機(jī)構(gòu)裝配復(fù)雜，運(yùn)動(dòng)效率低，易磨損，且維修復(fù)雜的問題；且探針移動(dòng)，移動(dòng)負(fù)載小，有效提高探針與晶圓上待檢測(cè)觸點(diǎn)的接觸精度，提高測(cè)試性能。

在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，本發(fā)明還可以做如下改進(jìn)。

進(jìn)一步，所述固定支架包括固定板和連接板；所述連接板一端與所述固定板連接，另一端與位于其上方的第一固定蓋板相配合夾緊所述壓電陶瓷彎曲致動(dòng)片；所述連接板上開設(shè)有與所述正負(fù)接線處的焊點(diǎn)相匹配的凹槽。

采用上述進(jìn)一步方案的有益效果是，連接板上開設(shè)有凹槽，壓電陶瓷彎曲致動(dòng)片的正負(fù)接線處的焊點(diǎn)位于凹槽內(nèi)，便于連接板與第一固定蓋板相配合夾緊壓電陶瓷彎曲致動(dòng)片；且防止當(dāng)連接板為金屬材質(zhì)時(shí)，與焊點(diǎn)接觸導(dǎo)電；防止焊點(diǎn)裸露在外，受外界環(huán)境損傷。

進(jìn)一步，所述連接板與所述第一固定蓋板通過(guò)螺釘連接夾緊所述壓電陶瓷彎曲致動(dòng)片。

采用上述進(jìn)一步方案的有益效果是，可通過(guò)調(diào)節(jié)螺釘改變連接板與第一固定蓋板之間的距離，實(shí)現(xiàn)對(duì)壓電陶瓷彎曲致動(dòng)片夾緊的同時(shí)，不會(huì)損傷壓電陶瓷彎曲致動(dòng)片。

進(jìn)一步，所述固定板、連接板和第一固定蓋板的材質(zhì)均為鋁合金；所述連接板和第一固定蓋板與所述壓電陶瓷彎曲致動(dòng)片相接觸的接觸面上均設(shè)置有隔離膠。

采用上述進(jìn)一步方案的有益效果是，鋁合金質(zhì)輕且不易變形，保證探針與晶圓上待檢測(cè)觸點(diǎn)的接觸精度；隔離膠防止鋁合金材質(zhì)的連接板和第一固蓋板損傷壓電陶瓷彎曲致動(dòng)片，或與壓電陶瓷彎曲致動(dòng)片接觸導(dǎo)電。

進(jìn)一步，所述固定板為L(zhǎng)型結(jié)構(gòu)；所述固定板的一端與所述壓電陶瓷彎曲致動(dòng)片平行或共面，并與所述連接板固定連接；所述固定板的另一端與所述壓電陶瓷彎曲致動(dòng)片垂直設(shè)置，用于固定所述探針結(jié)構(gòu)。

采用上述進(jìn)一步方案的有益效果是，L型結(jié)構(gòu)固定板利于探針結(jié)構(gòu)的固定。

進(jìn)一步，所述壓電陶瓷彎曲致動(dòng)片上設(shè)置有固定基板，所述固定基板與位于其上方的第二固定蓋板相配合夾緊所述探針。

進(jìn)一步，所述固定基板與所述第二固定蓋板通過(guò)螺釘連接夾緊所述探針。

采用上述進(jìn)一步方案的有益效果是，可通過(guò)調(diào)節(jié)螺釘改變固定基板與第二固定蓋板之間的距離，實(shí)現(xiàn)對(duì)探針夾緊的同時(shí)，不會(huì)損傷探針。

進(jìn)一步，所述固定基板通過(guò)環(huán)氧樹脂固定在所述壓電陶瓷彎曲致動(dòng)片上。

采用上述進(jìn)一步方案的有益效果是，采用環(huán)氧樹脂固定，防止損傷壓電陶瓷彎曲致動(dòng)片。

進(jìn)一步，所述導(dǎo)線上并聯(lián)或串聯(lián)有電流表。

采用上述進(jìn)一步方案的有益效果是，當(dāng)探針與晶圓上待檢測(cè)觸點(diǎn)接觸時(shí)，探針受待檢測(cè)觸點(diǎn)反作用力，并進(jìn)一步將此反作用力施加到壓電陶瓷彎曲致動(dòng)片，壓電陶瓷彎曲致動(dòng)片由于壓電效應(yīng)便會(huì)產(chǎn)生電流；在導(dǎo)線上并聯(lián)或串聯(lián)電流表，通過(guò)電流表的量測(cè)值折算出壓電陶瓷彎曲致動(dòng)片受探針與待檢測(cè)觸點(diǎn)接觸的反作用力，獲知探針與待檢測(cè)觸點(diǎn)接觸的作用力，從而有效控制探針與待檢測(cè)觸點(diǎn)接觸的作用力，保證探針與待檢測(cè)觸點(diǎn)有效接觸的同時(shí)，不會(huì)損傷晶圓。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明一種用于WAT檢測(cè)機(jī)的探針結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖中，各標(biāo)號(hào)所代表的部件列表如下：

1、壓電陶瓷彎曲致動(dòng)片，11、固定基板，12、第二固定蓋板，2、探針，3、固定支架，31、固定板，32、連接板，33、第一固定蓋板，321、凹槽，4、螺釘。

具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的原理和特征進(jìn)行描述，所舉實(shí)例只用于解釋本發(fā)明，并非用于限定本發(fā)明的范圍。

如圖1所示，一種用于WAT檢測(cè)機(jī)的探針結(jié)構(gòu)，包括壓電陶瓷彎曲致動(dòng)片1，所述壓電陶瓷彎曲致動(dòng)片1一端設(shè)置有探針2，另一端設(shè)置在固定支架3上；所述壓電陶瓷彎曲致動(dòng)片1的正負(fù)接線處通過(guò)導(dǎo)線與電源電連接，所述電源與控制器電連接。

所述固定支架3包括固定板31和連接板32；所述連接板32一端與所述固定板31連接，另一端與位于其上方的第一固定蓋板33相配合夾緊所述壓電陶瓷彎曲致動(dòng)片1；所述連接板32上開設(shè)有與所述正負(fù)接線處的焊點(diǎn)相匹配的凹槽321。所述連接板32與所述第一固定蓋板33通過(guò)螺釘4連接夾緊所述壓電陶瓷彎曲致動(dòng)片1。所述固定板31、連接板32和第一固定蓋板33的材質(zhì)均為鋁合金；所述連接板32和第一固定蓋板33與所述壓電陶瓷彎曲致動(dòng)片1相接觸的接觸面上均設(shè)置有隔離膠。所述固定板31為L(zhǎng)型結(jié)構(gòu)；所述固定板31的一端與所述壓電陶瓷彎曲致動(dòng)片1平行或共面，并與所述連接板32通過(guò)螺釘4固定連接；所述固定板31的另一端與所述壓電陶瓷彎曲致動(dòng)片1垂直設(shè)置，用于固定所述探針結(jié)構(gòu)。

所述壓電陶瓷彎曲致動(dòng)片1上設(shè)置有固定基板11，所述固定基板11與位于其上方的第二固定蓋板12相配合夾緊所述探針2。所述固定基板11與所述第二固定蓋板12通過(guò)螺釘4連接夾緊所述探針2。所述固定基板11通過(guò)環(huán)氧樹脂固定在所述壓電陶瓷彎曲致動(dòng)片1上。

所述導(dǎo)線上并聯(lián)或串聯(lián)有電流表。

以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。