技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種用于WAT檢測機(jī)的探針結(jié)構(gòu)，包括壓電陶瓷彎曲致動(dòng)片，所述壓電陶瓷彎曲致動(dòng)片一端設(shè)置有探針，另一端設(shè)置在固定支架上；所述壓電陶瓷彎曲致動(dòng)片的正負(fù)接線處通過導(dǎo)線與電源電連接，所述電源與控制器電連接。本發(fā)明的有益效果是：用壓電陶瓷彎曲致動(dòng)片帶動(dòng)探針向下移動(dòng)替代現(xiàn)有技術(shù)中微位移機(jī)構(gòu)在電機(jī)作用下驅(qū)動(dòng)晶圓盤向上移動(dòng)；有效避免了微位移機(jī)構(gòu)裝配復(fù)雜，運(yùn)動(dòng)效率低，易磨損，且維修復(fù)雜的問題；且探針移動(dòng)，移動(dòng)負(fù)載小，有效提高探針與晶圓上待檢測觸點(diǎn)的接觸精度，提高測試性能。

技術(shù)研發(fā)人員：黃煒;張曉敏;舒晶;徐靜靜
受保護(hù)的技術(shù)使用者：武漢新芯集成電路制造有限公司
文檔號碼：201611103702
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.05
技術(shù)公布日：2017.05.31