技術(shù)編號：12772406
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及自動化檢測技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種基于晶元片檢測的探針組件。背景技術(shù)晶元(Wafer)，是生產(chǎn)集成電路所用的載體，多指單晶硅圓片，也叫晶元芯片。普通硅砂拉制提煉，經(jīng)過溶解、提純、蒸餾一系列措施制成單晶硅棒，單晶硅棒經(jīng)過拋光、切片之后，就成為了晶元片。一個圓盤狀的晶元片上分布有很多一格格的晶元，晶元呈陣列排布，晶元在封裝制造成芯片之前需要對其性能進(jìn)行檢測，由于一個晶元片上存在成百上千個晶元，人工通過探針對每個晶元進(jìn)行檢測，工作量非常大，而且容易漏檢。實用新型內(nèi)容本實用新型為了解決現(xiàn)有技...
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