技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種晶圓片的清洗烘干系統(tǒng)，包括帶狀清洗槽、安裝于所述清洗槽兩側(cè)的多根清洗管及安裝于清洗槽底部的排水槽，所述清洗槽的前端安裝有分輸箱，清洗槽包括清洗區(qū)及烘干區(qū)，所述清洗區(qū)的兩側(cè)槽板上具有噴洗孔，所述烘干區(qū)兩側(cè)槽板上具有噴氣孔，所述噴洗孔及噴氣孔貫穿槽板的兩側(cè)并朝晶圓片的輸送方向傾斜，所述噴洗孔與清洗管連通，所述清洗管連接清洗泵，所述噴氣孔與烘干腔連通，所述烘干腔連接熱風(fēng)機(jī)。本發(fā)明采用帶狀清洗槽，對(duì)晶圓片進(jìn)行移動(dòng)時(shí)清洗，可縮短清洗時(shí)間，并無(wú)需二次沖洗，節(jié)省清洗操作，降低成本；并且，于清洗槽的尾端設(shè)置烘干區(qū)，晶圓片清洗完成后，直接進(jìn)行烘干，整個(gè)操作流暢，效率高。

技術(shù)研發(fā)人員：呂耀安
受保護(hù)的技術(shù)使用者：無(wú)錫宏納科技有限公司
文檔號(hào)碼：201610867121
技術(shù)研發(fā)日：2016.09.29
技術(shù)公布日：2017.02.22