間隙調(diào)整裝置和間隙調(diào)整方法、傳送設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示設(shè)備制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種間隙調(diào)整裝置、利用該間隙調(diào)整裝置的間隙調(diào)整方法、以及包括該間隙調(diào)整裝置的傳送設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有工藝中，基板傳送經(jīng)過濕法刻蝕設(shè)備時，刻蝕液體或氣體會對基板進行噴淋沖刷，為了減小基板在傳送過程中的振動，通常需要采用雙滾輪結(jié)構(gòu)來對基板進行支撐，以增強基板在傳送過程中的穩(wěn)定性。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中的雙滾輪結(jié)構(gòu)設(shè)計如圖1所示，下滾輪102位置固定，上滾輪101能夠相對于下滾輪102上下移動，上滾輪軸103和下滾輪軸104兩端分別設(shè)置有軸支撐架105。現(xiàn)有技術(shù)中通過在軸支撐架105之間加減墊片106來增加或減小兩滾輪之間的間隙，或者，在上滾輪101對應(yīng)的軸支撐架105上設(shè)置調(diào)整螺栓107，通過調(diào)節(jié)調(diào)整螺栓107來升降上滾輪101的位置。
[0004]目前，基板的尺寸厚度趨于多樣化，在生產(chǎn)中需要根據(jù)不同基板的厚度對雙滾輪的間隙進行頻繁調(diào)整?，F(xiàn)有的上述調(diào)整方式主要具有以下缺陷:首先，滾輪位于濕法刻蝕設(shè)備內(nèi)部，增減墊片和設(shè)置調(diào)整螺栓的方式難度較大，人員在設(shè)備內(nèi)頻繁作業(yè)容易污染內(nèi)部環(huán)境，影響產(chǎn)品品質(zhì)，且浪費人力物力；其次，現(xiàn)有技術(shù)采用塞尺來手動確認調(diào)整結(jié)果，精度低，人員操作差異性大，雙滾輪間隙異常時容易造成基板破損，造成產(chǎn)品損失，降低設(shè)備稼動率；此外，現(xiàn)有技術(shù)無法測量基板受到滾輪的應(yīng)力，不利于間隙調(diào)整以及破片后進行分析。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的在于提供一種間隙調(diào)整裝置和間隙調(diào)整方法、傳送設(shè)備，以實現(xiàn)對雙滾輪間隙進行自動調(diào)整和監(jiān)控，減少人力成本，避免產(chǎn)品破損。
[0006]為解決上述技術(shù)問題，作為本發(fā)明的第一個方面，提供了一種間隙調(diào)整裝置，所述間隙調(diào)整裝置用于調(diào)整相對設(shè)置的兩個滾輪之間的間隙，兩個所述滾輪中的至少一者能夠相對于另一者上下移動，所述間隙調(diào)整裝置包括驅(qū)動器和控制器，所述驅(qū)動器用于驅(qū)動能夠移動的所述滾輪上下移動，所述控制器內(nèi)設(shè)置有預(yù)定間隙范圍，所述控制器與所述驅(qū)動器相連，用于控制所述驅(qū)動器驅(qū)動能夠移動的所述滾輪上下移動，以使得兩個所述滾輪之間的間隙在所述預(yù)設(shè)間隙范圍內(nèi)。
[0007]優(yōu)選地，兩個所述滾輪中的一者是固定的，另一者是能夠移動的，所述間隙調(diào)整裝置還包括位移測量器，所述位移測量器設(shè)置在能夠移動的所述滾輪的側(cè)部，用于測量該滾輪的位移，所述位移測量器還與所述控制器相連，能夠?qū)y得的位移數(shù)據(jù)傳輸給所述控制器，
[0008]所述控制器能夠根據(jù)接收到的所述位移數(shù)據(jù)判斷兩個所述滾輪之間的間隙是否在所述預(yù)定間隙值范圍內(nèi)，當所述控制器判斷兩個所述滾輪之間的間隙不在所述預(yù)定間隙值范圍內(nèi)時，所述控制器向所述驅(qū)動器發(fā)出控制信號，所述驅(qū)動器接收到所述控制信號后驅(qū)動能夠移動的所述滾輪繼續(xù)移動，直至兩個所述滾輪之間的間隙在所述預(yù)設(shè)間隙值范圍內(nèi)為止。
[0009]優(yōu)選地，所述位移測量器為光柵尺，所述光柵尺包括標尺光柵和光柵讀數(shù)頭，所述標尺光柵固定地設(shè)置在所述間隙調(diào)整裝置中，且對應(yīng)于能夠移動的所述滾輪的側(cè)部所在的位置，所述光柵讀數(shù)頭與該滾輪相連，且能夠隨該滾輪同步移動。
[0010]優(yōu)選地，兩個所述滾輪為相對設(shè)置的上滾輪和下滾輪，所述下滾輪固定，所述上滾輪能夠移動，所述上滾輪設(shè)置在上滾輪軸上且能夠繞所述上滾輪軸轉(zhuǎn)動，所述下滾輪設(shè)置在下滾輪軸上且能夠繞所述下滾輪軸轉(zhuǎn)動。
[0011]優(yōu)選地，所述間隙調(diào)整裝置還包括滑動組件，所述滑動組件包括滑塊和與該滑塊配合的線性導(dǎo)軌，所述滑塊固定在所述上滾輪軸的端部，所述線性導(dǎo)軌沿豎直方向設(shè)置，且位于所述滑塊的外側(cè)，所述滑塊能夠沿所述線性導(dǎo)軌上下移動。
[0012]優(yōu)選地，所述間隙調(diào)整裝置包括兩組分別設(shè)置在所述上滾輪軸兩端的所述滑動組件。
[0013]優(yōu)選地，所述位移測量器為光柵尺，所述光柵尺包括標尺光柵和光柵讀數(shù)頭，所述標尺光柵固定地設(shè)置在所述間隙調(diào)整裝置中，且對應(yīng)于所述上滾輪的側(cè)部所在的位置，所述光柵讀數(shù)頭設(shè)置在所述滑塊上。
[0014]優(yōu)選地，所述上滾輪軸上設(shè)置有兩個所述上滾輪，所述下滾輪軸上設(shè)置有兩個所述下滾輪。
[0015]優(yōu)選地，所述上滾輪的圓周表面設(shè)置有壓電感應(yīng)器，所述壓電感應(yīng)器用于測量所述上滾輪與待傳送基板之間的壓力，所述壓電感應(yīng)器與所述控制器相連，能夠?qū)y得的壓力數(shù)據(jù)傳輸給所述控制器。
[0016]優(yōu)選地，所述上滾輪的外表面設(shè)置有O型圈，所述O型圈采用壓電材料制成，以形成為所述壓電感應(yīng)器，所述O型圈上設(shè)置有導(dǎo)出線，所述導(dǎo)出線與所述控制器電連接。
[0017]優(yōu)選地，所述間隙調(diào)整裝置包括傳動機構(gòu)，所述傳動機構(gòu)包括偏心輪以及相互嚙合的第一齒輪和第二齒輪，所述第一齒輪固定在所述驅(qū)動器的輸出軸上，所述傳動機構(gòu)還包括貫穿所述第二齒輪中心的傳動軸、以及用于連接所述偏心輪和所述上滾輪軸的支架，所述偏心輪固定在所述傳動軸的端部，所述偏心輪的轉(zhuǎn)動通過所述支架的傳動作用轉(zhuǎn)化為所述上滾輪軸的升降運動。
[0018]優(yōu)選地，所述傳動機構(gòu)包括兩個偏心輪和兩個支架，兩個所述偏心輪分別固定在所述傳動軸的兩端，且兩個所述偏心輪分別通過與之對應(yīng)的所述支架與所述上滾輪軸的兩端連接。
[0019]優(yōu)選地，所述間隙調(diào)整裝置還包括人機交互設(shè)備，所述控制器與所述人機交互設(shè)備相連，操作者通過所述人機交互設(shè)備將所述預(yù)設(shè)間隙值發(fā)送給所述控制器，所述人機交互設(shè)備包括計算機或觸摸屏。
[0020]優(yōu)選地，所述控制器包括可編程邏輯控制器。
[0021 ] 優(yōu)選地，所述驅(qū)動器包括馬達。
[0022]作為本發(fā)明的第二個方面，還提供了一種利用上述間隙調(diào)整裝置的間隙調(diào)整方法，包括以下步驟:
[0023]向所述控制器內(nèi)設(shè)置預(yù)定間隙范圍；
[0024]所述控制器根據(jù)所述預(yù)定間隙范圍控制所述驅(qū)動器運作，所述驅(qū)動器驅(qū)動兩個所述滾輪中的至少一者相對于另一者上下移動，直至兩個所述滾輪之間的間隙在所述預(yù)設(shè)間隙范圍內(nèi)。
[0025]優(yōu)選地，兩個所述滾輪中的一者是固定的，另一者是能夠移動的，所述間隙調(diào)整裝置還包括位移測量器，所述位移測量器設(shè)置在能夠移動的所述滾輪的側(cè)部，用于測量該滾輪的位移，所述位移測量器還與所述控制器相連，能夠?qū)y得的位移數(shù)據(jù)傳輸給所述控制器；
[0026]所述間隙調(diào)整方法還包括以下步驟:
[0027]所述位移測量器實時測量能夠移動的所述滾輪的位移，并將測得的位移數(shù)據(jù)發(fā)送給所述控制器；
[0028]所述控制器能夠根據(jù)接收到的所述位移數(shù)據(jù)判斷兩個所述滾輪之間的間隙是否在所述預(yù)定間隙值范圍內(nèi)；
[0029]當所述控制器判斷兩個所述滾輪之間的間隙不在所述預(yù)定間隙值范圍內(nèi)時，所述控制器向所述驅(qū)動器發(fā)出控制信號；
[0030]所述驅(qū)動器接收到所述控制信號后驅(qū)動能夠移動的所述滾輪繼續(xù)移動，直至兩個所述滾輪之間的間隙在所述預(yù)設(shè)間隙值范圍內(nèi)為止。
[0031]優(yōu)選地，兩個所述滾輪為相對設(shè)置的上滾輪和下滾輪，所述下滾輪固定，所述上滾輪能夠移動，所述上滾輪的圓周表面設(shè)置有壓電感應(yīng)器，所述壓電感應(yīng)器用于測量所述上滾輪與待傳送基板之間的壓力，所