專利名稱：一種用于真空濺鍍制程的傳動裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型關(guān)于一種傳動裝置，其特別關(guān)于一種用于真空 濺鍍制程的傳動裝置。
背景技術(shù)：
真空濺鍍技術(shù)是真空薄膜制程中應(yīng)用層面相當(dāng)廣泛的 一項重要技 術(shù)，近年來已經(jīng)逐漸取代噴導(dǎo)電漆或電解電鍍的方式，大量地應(yīng)用在 光電、通信、半導(dǎo)體等產(chǎn)業(yè)，成為相當(dāng)重要的表面處理技術(shù)。一般在使用連續(xù)式傳輸?shù)恼婵諡R鍍裝置，將基材整齊固定排放在 標準化的承載盤上，藉由傳動機構(gòu)的帶動，將承載盤平順地輸送于各 個腔室之間進行濺鍍。目前在真空濺鍍裝置中習(xí)用的傳動機構(gòu)是使用 皮帶，然而，在真空'踐鍍裝置腔體局部的高溫環(huán)境中，溫度高達攝氏200度左右，熱應(yīng)力的作用容易造成皮帶的耗損，使得皮帶的使用壽命 縮短，導(dǎo)致傳動失效。此外，皮帶的長度有規(guī)格的限制，而相關(guān)機構(gòu) 的位置必須依照皮帶的長度規(guī)格進行設(shè)計，因此在設(shè)計上就受限于皮 帶長度規(guī)格，造成機構(gòu)設(shè)計上的不便。另外，傳動力量亦會因為皮帶 過長而造成力量的遞減，導(dǎo)致傳輸過程的不順利，皮帶使用久了更會 產(chǎn)生松脫的缺點，而這些因素都將影響濺鍍品質(zhì)。此外，于2006年06月01日公告的中國臺灣新型專利第291479 專利證號，名稱為「真空傳動裝置的軸承座結(jié)構(gòu)改良」，該實用新 型裝設(shè)于一真空賊(蒸)鍍腔體內(nèi)的左右兩側(cè)，用以承載一工作物體的行 進，然而，該實用新型的特征在于其軸承座的結(jié)構(gòu)改良，以一軸承擋 板套設(shè)于軸桿上，使鍍膜分子不會累積在軸承內(nèi)部造成傳動裝置卡死。然而，該實用新型并未針對皮帶產(chǎn)生的缺點進行改良，故本實用 新型的創(chuàng)作人鑒于習(xí)知的缺點，針對真空濺鍍裝置中的傳動機構(gòu)作進 一步的改良，增加其使用壽命及操作效率，以提升整體生產(chǎn)效能。實用新型內(nèi)容本實用新型主要目的在于提供一種用于真空賊鍍制程的傳動裝置。本實用新型的技術(shù)方案為包括 一主體，具有復(fù)數(shù)個軸孔，各 軸孔內(nèi)貫穿軸桿；復(fù)數(shù)個導(dǎo)輪，分別套設(shè)于各軸桿的一端；復(fù)數(shù)個第 一螺旋齒輪，分別套設(shè)于該各軸桿的另一端；復(fù)數(shù)個止推固定座，設(shè) 置于該主體上，介于該復(fù)數(shù)個第一螺旋齒輪之間，且與該第一螺旋齒 輪位于該主體的同一平面；以及一傳動心軸，貫穿于該復(fù)數(shù)個止推固 定座中，其更具有復(fù)數(shù)個第二螺旋齒輪分別對應(yīng)于該第一螺旋齒輪； 其特征在于該第一螺旋齒輪與第二螺旋齒輪相互嚙合，藉由一動力 源提供動力驅(qū)動該第一螺旋齒輪與第二螺旋齒輪，進而帶動該導(dǎo)輪轉(zhuǎn) 動，達到傳動的功能；該止推固定座將該傳動心軸限定于原位旋轉(zhuǎn)， 使該傳動心軸不因旋轉(zhuǎn)時產(chǎn)生的側(cè)向推移力量而移動位置。其中，該止推固定座更包含一止推軸承及一滾珠軸承，用以承受 該傳動心軸旋轉(zhuǎn)時產(chǎn)生的側(cè)向推移力量，使該止推固定座可將該傳動 心軸限定于原位旋轉(zhuǎn)。其中，該傳動心軸更具有復(fù)數(shù)個束緊塊，以確保該止推軸承、滾 珠軸承及第二螺旋齒輪不受側(cè)向推力影響。其中，該動力源為一伺服馬達，并以一連軸器連接于該傳動心軸 或第一螺旋齒輪，以提供動力驅(qū)動該傳動裝置。其中，該第 一及第二螺旋齒輪必須適合于真空濺鍍的高溫環(huán)境以 及傳動過程中高時數(shù)的連續(xù)運轉(zhuǎn)，故該第一螺旋齒輪采用具有耐高溫、 抗磨損特性的高分子聚合物作為其材質(zhì)；該第二螺旋齒輪的材質(zhì)則為 具有耐熱及高強度特性的合成金屬。本實用新型的有益效果為本實用新型對于習(xí)知真空濺鍍裝置傳 動機構(gòu)的改良，以螺旋齒輪取代了皮帶并改善以皮帶作為傳動機構(gòu)所 衍生的缺點，藉此，真空濺鍍制程的傳動裝置的使用壽命延長，濺鍍 品質(zhì)也得以改善，生產(chǎn)效率則隨的提升。


圖l說明本實用新型用于真空'踐鍍制程的傳動裝置的立體示意圖； 圖2說明本實用新型用于真空濺鍍制程的傳動裝置的使用狀態(tài)示圖3說明本實用新型用于真空賊鍍制程的傳動裝置的使用狀態(tài)俯圖4說明本實用新型用于真空濺鍍制程的傳動裝置的局部側(cè)視圖。圖號^兌明具體實施方式
為使熟悉該項技藝人士了解本實用新型的目的、特征及功效，茲 藉由下述具體實施例，并配合所附的圖式，對本實用新型詳加說明， 說明如后請參考圖1，說明本實用新型用于真空濺鍍制程的傳動裝置的立體 示意圖，該傳動裝置1包括一主體ll、復(fù)數(shù)個導(dǎo)輪12、復(fù)數(shù)個第一螺 旋齒輪14、復(fù)數(shù)個止推固定座15以及一傳動心軸16,其中，該主體 11具有復(fù)數(shù)個軸孔111,各軸孔111內(nèi)設(shè)有軸桿13貫穿該主體11;該 復(fù)數(shù)個導(dǎo)輪12則分別套設(shè)于各軸桿13的一端用以傳送工件載盤以進 行'戚鍍；該復(fù)數(shù)個第一螺旋齒輪14,以鐵氟龍為材質(zhì)制成，分別套設(shè) 于各軸桿13相對于導(dǎo)輪12的另一端；復(fù)數(shù)個止推固定座15,設(shè)置于 該主體11上，介于該復(fù)數(shù)個第一螺旋齒輪14之間，且與該第一螺旋意圖;牙見圖；以及l(fā)傳動裝置111軸孔13軸桿15止推固定座152滾珠軸承17第二螺旋齒輪2伺服馬達11主體 12導(dǎo)輪14第一螺旋齒專侖 151止推軸承 16傳動心軸 18束緊塊 3連軸器齒輪14位于該主體11的同一平面；以及一傳動心軸16,貫穿于該復(fù) 數(shù)個止推固定座15中，該傳動心軸16更具有復(fù)數(shù)個第二螺旋齒輪17 分別對應(yīng)于該第一螺旋齒輪14,該第二螺旋齒輪17的材質(zhì)則為不銹鋼。 另外，本實用新型的特征在于該第一螺旋齒輪14與第二螺旋齒輪17 相互嚙合，以一伺服馬達2作為動力源提供動力驅(qū)動該第一螺旋齒輪 14與第二螺旋齒輪17，進而帶動該導(dǎo)輪12轉(zhuǎn)動，達到傳動的功能； 該止推固定座15將該傳動心軸16限定于原位旋轉(zhuǎn)，使該傳動心軸16 不因旋轉(zhuǎn)時產(chǎn)生的側(cè)向推移力量而移動位置。另外，在本實用新型的實施例中采用兩組傳動裝置的搭配以進行 真空濺鍍制程中工件載盤的傳送，請參考圖2及圖3，說明本實用新型 用于真空濺鍍制程的傳動裝置的使用狀態(tài)立體示意圖及俯視圖，其中， 本實用新型的傳動裝置1的第一實施例以一伺服馬達2作為動力源使 該傳動裝置1運轉(zhuǎn)，該伺服馬達2在本實施例中以一連軸器3連接于 任一第一螺旋齒輪14,激活該伺服馬達2提供動力驅(qū)動該第一螺旋齒 輪14后，該傳動心軸16上與該第一螺旋齒輪14嚙合的第二螺旋齒輪 17亦被驅(qū)動，該傳動心軸16則隨的旋轉(zhuǎn)，同時，與其它第二螺旋齒輪 17嚙合的第一螺旋齒輪14亦被驅(qū)動，進而帶動各導(dǎo)輪12轉(zhuǎn)動，如此 即可輸送工件載盤以進行濺鍍。本實施例的設(shè)計不僅適用于單一式機 臺，亦適用于連續(xù)式機臺，當(dāng)兩臺以上機臺連接時，動力源的裝設(shè)不 會受限于空間的限制；且以螺旋齒輪作為傳動機構(gòu)，可依需求增減螺 旋齒輪個數(shù)，在機臺設(shè)計方面不會有皮帶長度規(guī)格的限制。然而，當(dāng)真空濺鍍制程中使用單一式機臺時，本實用新型不限定 于第一實施例將動力源接在任一第一螺旋齒輪14上的設(shè)計，接著，請 再參考圖2及圖3，說明本實用新型用于真空濺鍍制程的傳動裝置1的 第二實施例，以一連軸器3將該伺服馬達2連接于該傳動心軸16的一 端，激活該伺服馬達2后，該傳動心軸16即被驅(qū)動而旋轉(zhuǎn)，設(shè)置于該 傳動心軸16上的復(fù)數(shù)個第二螺旋齒輪17亦隨的旋轉(zhuǎn)，同時，與該第 二螺旋齒輪17.嚙合的復(fù)數(shù)個第一螺旋齒輪14因而被驅(qū)動，進而帶動 各導(dǎo)輪12轉(zhuǎn)動以傳送工件載盤進行濺鍍。接著，請參考圖4，說明本實用新型用于真空濺鍍制程的傳動裝置 的局部側(cè)-觀圖，本實用新型的傳動裝置1主體11的止推固定座15中， 更具有一止推軸承151與一滾珠軸承152,當(dāng)該傳動心軸16旋轉(zhuǎn)時， 會產(chǎn)生徑向的推力負載，亦即左右向的推移力量，該止推軸承151的 設(shè)置可抵抗該徑向負載；而該滾珠軸承152則可承受徑向負載、推力 負載或二者的合成負載；藉由該止推與滾珠軸承151、 152所發(fā)揮的作 用，使得該傳動裝置l被驅(qū)動時，該傳動心軸16被限定于原位旋轉(zhuǎn)， 而不會受到徑向負載的影響而移動位置，并且，工件也不會在旋轉(zhuǎn)時 產(chǎn)生過大的摩擦而造成使用壽命的縮短。此外，該傳動心軸16上設(shè)有 復(fù)數(shù)個束緊塊18,分別設(shè)置于該第二螺旋齒輪17旁以及該止推固定座 15兩側(cè)，用以頂住該第二螺旋齒輪17、止推軸承151及滾珠軸承152, 其作用亦是使之不會受到徑向推力而產(chǎn)生位移現(xiàn)象。本實用新型用于真空濺鍍制程的傳動裝置，不僅使用壽命更為延 長，在機構(gòu)的設(shè)計上不會有長度的限制，傳動力量也較皮帶更為穩(wěn)定， 且螺旋齒輪一經(jīng)耗損即可立即更換，相較于皮帶局部受損就必須整組 更換，在更換的便利性上更為提升，故本實用新型解決了習(xí)知采用皮 帶作為輸送機構(gòu)所產(chǎn)生的缺點。然而以上所述者，僅為本實用新型的較佳實施例，當(dāng)不能以此限 定本實用新型實施的范圍；故，凡依本實用新型申請專利范圍及實用 新型說明書內(nèi)容所作的筒單的等效變化與修飾，皆應(yīng)仍屬本實用新型 專利涵蓋的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1. 一種用于真空濺鍍制程的傳動裝置，其特征在于，包括一主體，具有復(fù)數(shù)個軸孔，各軸孔內(nèi)貫穿軸桿；復(fù)數(shù)個導(dǎo)輪，分別套設(shè)于各軸桿的一端；復(fù)數(shù)個第一螺旋齒輪，分別套設(shè)于該各軸桿的另一端；復(fù)數(shù)個將傳動心軸限定于原位旋轉(zhuǎn)的止推固定座，設(shè)置于該主體上，介于該復(fù)數(shù)個第一螺旋齒輪之間，且與該第一螺旋齒輪位于該主體的同一平面；以及一傳動心軸，貫穿于該復(fù)數(shù)個止推固定座中，其更具有復(fù)數(shù)個第二螺旋齒輪分別對應(yīng)于該第一螺旋齒輪；該第一螺旋齒輪與第二螺旋齒輪相互嚙合，并連接一驅(qū)動該第一螺旋齒輪與第二螺旋齒輪的動力源，進而帶動該導(dǎo)輪轉(zhuǎn)動。
2、 如權(quán)利要求1所述一種用于真空濺鍍制程的傳動裝 置，其特征在于，該止推固定座更包含一止推軸承與一滾珠 軸承。
3、 如權(quán)利要求1所述一種用于真空濺鍍制程的傳動裝 置，其特征在于，該動力源為一伺服馬達。
4、 如權(quán)利要求1所述一種用于真空濺鍍制程的傳動裝 置，其特征在于，該第一螺旋齒輪的村質(zhì)為高分子聚合物。
5、 如權(quán)利要求1所述一種用于真空濺鍍制程的傳動裝 置，其特征在于，該第二螺旋齒輪的材質(zhì)為合成金屬。
6、 如權(quán)利要求1所述一種用于真空濺鍍制程的傳動裝 置，其特征在于，該動力源以一連軸器連接任一該第一螺旋 齒輪。
7、 如權(quán)利要求1所述一種用于真空濺鍍制程的傳動裝 置，其特征在于，該動力源以一連軸器連接該傳動心軸。
8、 如權(quán)利要求1所述一種用于真空濺鍍制程的傳動裝置，其特征在于，該傳動心軸更具有復(fù)數(shù)個使得該止推軸承、 滾珠軸承及第二螺旋齒輪不受側(cè)向推力影響的束緊塊。
9、 如權(quán)利要求4所述一種用于真空濺鍍制程的傳動裝 置，其特征在于，該高分子聚合物為鐵氟龍。
10、 如權(quán)利要求5所述一種用于真空'減鍍制程的傳動裝 置，其特征在于，該合成金屬為不銹鋼。
專利摘要本實用新型關(guān)于一種用于真空濺鍍制程的傳動裝置，包括一主體、復(fù)數(shù)個導(dǎo)輪、復(fù)數(shù)個第一螺旋齒輪、復(fù)數(shù)個止推固定座以及一具有復(fù)數(shù)個第二螺旋齒輪的傳動心軸，貫穿于該復(fù)數(shù)個止推固定座中；其特征在于該第一螺旋齒輪與第二螺旋齒輪相互嚙合，藉由一動力源驅(qū)動該第一螺旋齒輪與第二螺旋齒輪，進而帶動該導(dǎo)輪轉(zhuǎn)動，達到傳動的功能；該止推固定座將該傳動心軸限定于原位旋轉(zhuǎn)，使該傳動心軸不因旋轉(zhuǎn)時產(chǎn)生的側(cè)向推移力量而移動位置。
文檔編號F16H1/20GK201083252SQ20072012657
公開日2008年7月9日 申請日期2007年8月22日 優(yōu)先權(quán)日2007年8月22日
發(fā)明者鄭玉綸 申請人:鈺衡科技股份有限公司