專利名稱：真空濺鍍設(shè)備的傳動裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種真空濺鍍設(shè)備的傳動裝置，特別是關(guān)于一種 用于真空濺鍍制程中且可耐受濺鍍設(shè)備的腔體內(nèi)高溫并可傳送工件 載盤的傳動裝置。
背景技術(shù)：
真空濺鍍技術(shù)是真空薄膜制程中應(yīng)用層面相當(dāng)廣泛的一項重要 技術(shù)，近年來已經(jīng)逐漸取代了噴導(dǎo)電漆或電解電鍍等方式，且大量地 應(yīng)用在光電、通信、半導(dǎo)體等產(chǎn)業(yè)，成為相當(dāng)重要的表面處理技術(shù)。
一般使用連續(xù)式傳輸?shù)恼婵諡R鍍裝置，其是將工件整齊固定排放 在標(biāo)準(zhǔn)化的承載盤上，通過傳動元件的帶動，將承載盤平順地輸送于 各個腔室之間進(jìn)行濺鍍。目前在真空濺鍍裝置中的己知傳動元件是使
用皮帶，然而，在真空濺鍍裝置腔體的高溫環(huán)境中，溫度高達(dá)攝氏2 0 0度至4 0 0度，熱應(yīng)力的作用容易造成皮帶的耗損，使得皮帶的 使用壽命縮短從而導(dǎo)致傳動失效。
此外，皮帶的長度有規(guī)格的限制，而相關(guān)機(jī)構(gòu)的位置必須依照皮 帶的長度規(guī)格進(jìn)行設(shè)計，因此在設(shè)計上就受限于皮帶長度規(guī)格，造成 機(jī)構(gòu)設(shè)計上的不便。另外，傳動力量業(yè)會因為皮帶過長而造成力量的 遞減，導(dǎo)致傳輸過程的不順利，皮帶使用久了更會產(chǎn)生松脫的缺點，然而這些因素都將影響濺鍍質(zhì)量。
實用新型內(nèi)容
鑒于上述真空濺鍍設(shè)備以皮帶作為傳動組件而具有不耐高溫的 缺失，本實用新型主要目的在于提供一種用于真空濺鍍制程中且可耐 受濺鍍設(shè)備之腔體內(nèi)高溫并且傳送工件載盤的傳動裝置。 為達(dá)到上述目的，本實用新型為采取以下之技術(shù)手段 本實用新型所述傳動裝置為設(shè)置于一真空濺鍍設(shè)備之腔體中，且 包括二固定座、多個傳動齒輪、至少二導(dǎo)輪以及至少二導(dǎo)輪齒輪，其 中，所述二固定座為相對設(shè)置于所述腔體的內(nèi)壁，且各固定座具有至 少一貫穿于該固定座的軸孔以及至少一穿設(shè)于該所述軸孔的連接軸；
所述多個傳動齒輪為樞設(shè)于所述固定座且面對所述腔體之內(nèi)壁的一
側(cè)；所述至少二導(dǎo)輪各套為設(shè)置于所述連接軸異于腔體內(nèi)壁的一端；
所述至少二導(dǎo)輪齒輪各套為設(shè)置于所述連接軸且異于所述導(dǎo)輪的一
端并嚙合于該所述傳動齒輪。
當(dāng)一濺鍍工件的載盤于腔體內(nèi)被傳送時，是以一外部動力源提供 動力驅(qū)使所述導(dǎo)輪齒輪旋轉(zhuǎn)，且與該導(dǎo)輪齒輪嚙合的傳動齒輪亦隨之 旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而帶動各相互嚙合的傳動齒輪及導(dǎo)輪齒輪旋轉(zhuǎn)，同時，各導(dǎo) 輪即轉(zhuǎn)動以達(dá)到傳送工件載盤的功能。
此外，所述傳動齒輪、導(dǎo)輪及導(dǎo)輪齒輪為具有耐高溫及高強(qiáng)度特 性的合金齒輪，因此，本實用新型以該所述傳動齒輪、導(dǎo)輪及導(dǎo)輪齒 輪取代皮帶并改善以皮帶作為傳動機(jī)構(gòu)所衍生出不耐高溫、傳動容易失效等缺點，將可使得真空濺鍍制程中傳動裝置的使用壽命延長，而 降低設(shè)備更換、修繕的成本耗費。


圖1為本實用新型所述真空濺鍍設(shè)備的傳動裝置的俯視圖； 圖2為本實用新型所述真空濺鍍設(shè)備的傳動裝置的側(cè)視圖； 圖3為本實用新型所述真空濺鍍設(shè)備的傳動裝置于腔體外部設(shè)有
動力源的側(cè)視透視圖4為本實用新型所述真空濺鍍設(shè)備的傳動裝置于腔體外部未設(shè)
有動力源的側(cè)視透視圖5為本實用新型所述真空濺鍍設(shè)備的傳動裝置的前視圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖以及具體實施例來對本實用新型所述真空濺鍍設(shè) 備的傳動裝置作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。
請參考圖1和圖2中所示，本實用新型所述真空濺鍍設(shè)備的傳 動裝置1為設(shè)置于一真空濺鍍設(shè)備之腔體2中，且包括有
二固定座l 1，其為相對設(shè)置于所述腔體2的內(nèi)壁，且各固定 座11上具有至少一貫穿于該固定座11的軸孔(圖中未示)以及至 少一穿設(shè)于該軸孔的連接軸111;
多個傳動齒輪1 2 ，為樞設(shè)于所述固定座1 1且面對所述腔體 2之內(nèi)壁的一側(cè)；至少二導(dǎo)輪1 3 ，各套為設(shè)置于所述連接軸1 1 1且異于所述
腔體2內(nèi)壁的一端；
至少二導(dǎo)輪齒輪1 4 ,各套為設(shè)置于所述連接軸1 1 1且異于 所述導(dǎo)輪1 3的一端并嚙合于所述傳動齒輪1 2 。
參考圖3、圖4和圖5中所示，該所述真空濺鍍設(shè)備的傳動裝置 1還包括至少二相對設(shè)置于所述連接軸111且設(shè)有導(dǎo)輪齒輪14 之一端的聯(lián)軸器1 5以及至少二設(shè)置于該所述聯(lián)軸器1 5且異于該 連接軸1 1 1之一端的旋轉(zhuǎn)軸體1 6 。
所述旋轉(zhuǎn)軸體1 6為貫穿于該腔體2的側(cè)壁，其位于該所述腔 體2外部的一端亦連接一真空軸封1 7 ，且該真空軸封1 7為將所述 腔體2外的大氣側(cè)與該腔體2內(nèi)的真空側(cè)予以隔離并以確保該所述 腔體2內(nèi)的真空環(huán)境。
此外，所述真空濺鍍設(shè)備的傳動裝置1還包括一設(shè)置于所述腔 體2外部下方的傳動心軸1 8 ，且在該傳動心軸1 8的二端上各固設(shè) 有相互鄰接的第一時規(guī)輪1 8 1以及第二時規(guī)輪18 2，在本實施例 中，該所述第二時規(guī)輪l 8 2是位于所述第一時規(guī)輪1 8 l的內(nèi)側(cè)， 并且該所述第一時規(guī)輪l 8 l是以一時規(guī)皮帶l 8 3連接于所述真 空軸封1 7 。
另外，在該所述腔體2外部下方設(shè)置有一外部動力源(圖中未 示)以及一連接于該外部動力源的第三時規(guī)輪1 9，且該第三時規(guī)輪 1 9是以另一時規(guī)皮帶1 9 l連接于所述第二時規(guī)輪l 8 2。
如圖l、圖2、圖3、圖4和圖5中所示，本實施例是以三組傳動裝置1串聯(lián)設(shè)置于一真空濺鍍設(shè)備的腔體2中以作為本實用新型 的較佳實施例，各組傳動裝置1是以其傳動齒輪1 2相互嚙合而連 接，且在該實施例中是以一伺服馬達(dá)(圖中未示)作為外部動力源， 當(dāng)該外部動力源啟動時，連接于該外部動力源的第三時規(guī)輪1 9即轉(zhuǎn) 動并透過所述時規(guī)皮帶l 9 l帶動第二時規(guī)輪l 8 2與傳動心軸1 8旋轉(zhuǎn)，同時，固設(shè)于所述傳動心軸l 8的第一時規(guī)輪1 8 l亦隨之 旋轉(zhuǎn)，并且透過連接該所述第一時規(guī)輪1 8 1與所述真空軸封1 7的 時規(guī)皮帶l 8 3帶動該所述真空軸封1 7轉(zhuǎn)動。
接著，該所述真空軸封1 7即驅(qū)使所述轉(zhuǎn)動軸體1 6 、所述聯(lián) 軸器1 5以及所述連接軸1 1 1旋轉(zhuǎn)，使得設(shè)置于該連接軸1 1 1 二 端的導(dǎo)輪1 3及導(dǎo)輪齒輪1 4隨之旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而帶動與所述導(dǎo)輪齒輪1 4嚙合的傳動齒輪1 2旋轉(zhuǎn)，之后，通過該所述傳動齒輪l 2相互嚙 合而連接的另外二組傳動裝置1即開始作動從而使得各導(dǎo)輪1 3可 轉(zhuǎn)動以傳送承載待濺鍍工件的載盤。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型所述的一種真空濺鍍設(shè)備的傳動裝 置改善了已知傳動裝置以皮帶作為傳動組件所衍生的缺失，使得真空 濺鍍制程中傳動裝置的使用壽命得以延長，并且大大降低了設(shè)備的更 換率以及設(shè)備修繕帶來的成本耗費。
惟以上所述者，僅為本實用新型的較佳實施例，當(dāng)不能以此限 定本實用新型實施的范圍；故，凡依本實用新型申請專利范圍及說明 書內(nèi)容所作之簡單的等效變化與修飾，皆應(yīng)仍屬本實用新型專利涵蓋 的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1、一種真空濺鍍設(shè)備的傳動裝置，為設(shè)置于真空濺鍍設(shè)備的腔體中，其特征在于，該裝置包括有二固定座，其相對設(shè)置于所述腔體的內(nèi)壁，各固定座具有至少一貫穿于該固定座之軸孔以及至少一穿設(shè)于該軸孔的連接軸；多個傳動齒輪，其為樞設(shè)于所述固定座面對所述腔體之內(nèi)壁的一側(cè)；至少二導(dǎo)輪，且各套為設(shè)于所述連接軸異于腔體內(nèi)壁的一端；至少二導(dǎo)輪齒輪，且各套為設(shè)于所述連接軸異于所述導(dǎo)輪的一端并嚙合于該傳動齒輪。
2 、根據(jù)權(quán)利要求1所述真空濺鍍設(shè)備的傳動裝置，其特征在于， 還包括至少二相對設(shè)置于所述連接軸設(shè)有導(dǎo)輪齒輪之一端的聯(lián)軸器 以及至少二設(shè)置于所述聯(lián)軸器異于該連接軸之一端的旋轉(zhuǎn)軸體。
3 、根據(jù)權(quán)利要求2所述真空濺鍍設(shè)備的傳動裝置，其特征在于， 所述旋轉(zhuǎn)軸體為貫穿于所述腔體的側(cè)壁，且該旋轉(zhuǎn)軸體位于該腔體外 部一端亦連接一真空軸封。
4 、根據(jù)權(quán)利要求3所述真空濺鍍設(shè)備的傳動裝置，其特征在于， 還包括一設(shè)置于該腔體外部下方的傳動心軸。
5 、根據(jù)權(quán)利要求4所述真空濺鍍設(shè)備的傳動裝置，其特征在于，所述傳動心軸的二端各固設(shè)有相互鄰接的第一時規(guī)輪以及第二時規(guī) 輪。
6 、根據(jù)權(quán)利要求5所述真空濺鍍設(shè)備的傳動裝置，其特征在于，所述第一時規(guī)輪是以一時規(guī)皮帶連接于所述真空軸封。
7 、根據(jù)權(quán)利要求6所述真空濺鍍設(shè)備的傳動裝置，其特征在于， 還包括一設(shè)置于所述腔體外部下方的外部動力源以及一連接于該外 部動力源的第三時規(guī)輪。
8 、根據(jù)權(quán)利要求7所述真空濺鍍設(shè)備的傳動裝置，其特征在于，所述第三時規(guī)輪是以一時規(guī)皮帶連接于第二時規(guī)輪。
專利摘要本實用新型公開一種真空濺鍍設(shè)備的傳動裝置，其為設(shè)置于一真空濺鍍設(shè)備的腔體中，且該裝置包括二固定座、多個傳動齒輪、至少二導(dǎo)輪以及至少二導(dǎo)輪齒輪；其中，所述二固定座為相對設(shè)置于腔體的內(nèi)壁，且各固定座具有至少一貫穿于該固定座的軸孔及至少一穿設(shè)于該軸孔的連接軸；所述多個傳動齒輪為樞設(shè)于固定座面對腔體之內(nèi)壁的一側(cè)；所述至少二導(dǎo)輪為各套設(shè)于連接軸且異于腔體內(nèi)壁的一端；所述至少二導(dǎo)輪齒輪為各套設(shè)于連接軸且異于導(dǎo)輪的一端并嚙合于所述傳動齒輪。本實用新型的優(yōu)點在于，可耐受濺鍍設(shè)備的腔體內(nèi)高溫，并傳動效果好，使用壽命長，大大降低了設(shè)備更換、修繕的成本耗費。
文檔編號C23C14/56GK201280592SQ20082013501
公開日2009年7月29日 申請日期2008年8月26日 優(yōu)先權(quán)日2008年8月26日
發(fā)明者洪婉玲, 郭勛聰 申請人:鈺衡科技股份有限公司