廢氣處理裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種廢氣處理裝置，包含由第一和第二筒體構(gòu)成的筒狀外殼、設(shè)置在筒狀外殼內(nèi)的筒狀內(nèi)殼和固定板、分別設(shè)置在第一和第二筒體上的入口法蘭和出口法蘭；其中，筒狀內(nèi)殼和固定板相對(duì)設(shè)置并采用固定桿進(jìn)行連接；所述廢氣處理裝置還包含：設(shè)置在筒狀內(nèi)殼中的過(guò)濾筒；過(guò)濾筒包含N組并沿固定桿的軸心進(jìn)行環(huán)形陣列，且筒狀內(nèi)殼的端部和固定板上對(duì)應(yīng)過(guò)濾筒的安裝位分別開(kāi)設(shè)有與過(guò)濾筒導(dǎo)通的第一圓孔和第二圓孔。同現(xiàn)有技術(shù)相比，廢氣可通過(guò)管道由入口法蘭傳送到筒狀外殼內(nèi)，然后由筒狀內(nèi)殼端面的圓孔進(jìn)入過(guò)濾筒內(nèi)，由過(guò)濾筒進(jìn)行處理后，再由出口法蘭帶出，最后可經(jīng)過(guò)機(jī)械泵等抽氣裝置將其進(jìn)行排出，從而達(dá)到處理廢氣的目的。
【專利說(shuō)明】廢氣處理裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種廢氣處理裝置，特別涉及一種應(yīng)用于原子層沉積、化學(xué)氣相沉積、磁控濺射和氣氛反應(yīng)爐設(shè)備的尾氣處理裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]真空鍍膜行業(yè)發(fā)展迅速，原子層沉積(ALD)是一種最新的和最前沿的薄膜制備技術(shù)，也是一種用于納米技術(shù)研究的方法。典型的原子層沉積是在各種尺寸和形狀的基底上沉積高精度、無(wú)針孔、高保形的納米薄膜。
[0003]原子層沉積(ALD)可歸類于一種化學(xué)氣相沉積技術(shù)。在該技術(shù)開(kāi)發(fā)的初期，它被用于生產(chǎn)納米疊加結(jié)構(gòu)的絕緣體(Al2O3 / TiO2)和薄膜電致發(fā)光顯示器(TFEL)的硫化鋅(ZnS)發(fā)光膜。其后，原子層沉積逐漸成熟，如其在半導(dǎo)體等工業(yè)的廣泛應(yīng)用。今天原子層沉積技術(shù)已經(jīng)應(yīng)用到了各種各樣的工業(yè)領(lǐng)域，其中包括光伏、光學(xué)、化學(xué)、水氣阻擋層、有機(jī)印刷電子、珠寶保護(hù)和醫(yī)療行業(yè)一更多的工業(yè)領(lǐng)域正處于不斷發(fā)展中。
[0004]原子層沉積(ALD)是基于表面控制的薄膜沉積技術(shù)。在鍍膜過(guò)程中，兩種或更多的化學(xué)氣相前軀體依次在基底表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)從而產(chǎn)生固態(tài)的薄膜。由于沉積是一個(gè)飽和反應(yīng)過(guò)程，剩余的反應(yīng)物如果不經(jīng)過(guò)處理排放到大氣中會(huì)造成環(huán)境污染?，F(xiàn)有裝置，吸附效率低，安裝不方便，循環(huán)使用效果差。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0005]本實(shí)用新型的目的在于提供一種構(gòu)造簡(jiǎn)單，密封效果良好的廢氣處理裝置。
[0006]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型設(shè)計(jì)了一種廢氣處理裝置，包含由第一筒體和第二筒體構(gòu)成的筒狀外殼、設(shè)置在所述筒狀外殼內(nèi)的筒狀內(nèi)殼和固定板、分別設(shè)置在所述第一筒體和所述第二筒體上的入口法蘭和出口法蘭；其中，所述筒狀內(nèi)殼和所述固定板相對(duì)設(shè)置并采用固定桿進(jìn)行連接；
[0007]所述廢氣處理裝置還包含:設(shè)置在所述筒狀內(nèi)殼中的過(guò)濾筒；所述過(guò)濾筒包含N組并沿所述固定桿的軸心進(jìn)行環(huán)形陣列，其中所述N為自然數(shù)，且所述筒狀內(nèi)殼的端部和所述固定板上對(duì)應(yīng)所述過(guò)濾筒的安裝位分別開(kāi)設(shè)有與所述過(guò)濾筒導(dǎo)通的第一圓孔和第二圓孑L。
[0008]本實(shí)用新型的實(shí)施方式相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)而言，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，密封效果良好，廢氣可通過(guò)管道由入口法蘭傳送到筒狀外殼內(nèi)，然后由筒狀內(nèi)殼端面的圓孔進(jìn)入過(guò)濾筒內(nèi)，由過(guò)濾筒進(jìn)行處理后，再由出口法蘭帶出，最后可經(jīng)過(guò)機(jī)械泵等抽氣裝置將其進(jìn)行排出，從而達(dá)到處理廢氣的目的。
[0009]其中，所述筒狀內(nèi)殼的端部對(duì)應(yīng)所述第一圓孔設(shè)有第一定位件；所述第一定位件具有一個(gè)與所述第一圓孔形狀相適配并插入所述第一圓孔內(nèi)的第一突起部、一個(gè)抵在所述筒狀內(nèi)殼端面的第一凸緣部和一個(gè)與所述第一圓孔導(dǎo)通的第一中空部；其中，所述第一定位件的第一突起部至少有部分插入所述過(guò)濾筒內(nèi)，由所述第一定位件的第一突起部對(duì)所述過(guò)濾筒在所述筒狀內(nèi)殼端面的安裝位進(jìn)行定位。而所述固定板對(duì)應(yīng)所述第二圓孔設(shè)有第二定位件；所述第二定位件具有一個(gè)與所述第二圓孔形狀相適配并插入所述圓孔內(nèi)的第二突起部、一個(gè)抵在所述固定板端面的第二凸緣部和一個(gè)與所述第二圓孔導(dǎo)通的第二中空部；其中，所述第二定位件的第二突起部至少有部分插入所述過(guò)濾筒內(nèi)，由所述第二定位件的第二突起部對(duì)所述過(guò)濾筒在所述固定板上的安裝位進(jìn)行定位。由于在筒狀內(nèi)殼的端面和固定板上設(shè)有定位件，通過(guò)定位件可對(duì)過(guò)濾筒進(jìn)行固定和定位，從而確保了過(guò)濾筒在筒狀內(nèi)殼中固定的牢固性。
[0010]進(jìn)一步的，所述廢氣處理裝置還包含用于連接所述第一筒體和所述第二筒體的中心支架，所述中心支架至少有部分設(shè)置在所述第一筒體和所述第二筒體的結(jié)合部?jī)?nèi)，并與所述筒狀內(nèi)殼進(jìn)行固定連接。由于第一筒體和第二筒體是通過(guò)中心支架進(jìn)行固定連接，且中心支架有部分是延伸到第一筒體和第二筒體的內(nèi)部并與筒狀內(nèi)殼進(jìn)行固定連接，從而能夠?qū)ν矤顑?nèi)殼在筒狀內(nèi)殼中的位置進(jìn)行進(jìn)一步固定。
[0011]進(jìn)一步的，所述廢氣處理裝置還包含兩組套設(shè)在所述中心支架上，對(duì)所述中心支架進(jìn)行加緊的半環(huán)形卡箍。通過(guò)兩組半環(huán)形卡箍可對(duì)第一筒體和第二筒體進(jìn)行加緊，以使筒狀外殼內(nèi)部的空間達(dá)到一個(gè)密封的效果，從而完成整個(gè)筒狀外殼的裝配。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0012]圖1為本實(shí)用新型第一實(shí)施方式的廢氣處理裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0013]圖2為本實(shí)用新型第一實(shí)施方式的廢氣處理裝置的裝配圖。
【具體實(shí)施方式】
[0014]為使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的各實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)的闡述。然而，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可以理解，在本實(shí)用新型各實(shí)施方式中，為了使讀者更好地理解本申請(qǐng)而提出了許多技術(shù)細(xì)節(jié)。但是，即使沒(méi)有這些技術(shù)細(xì)節(jié)和基于以下各實(shí)施方式的種種變化和修改，也可以實(shí)現(xiàn)本申請(qǐng)各權(quán)利要求所要求保護(hù)的技術(shù)方案。
[0015]本實(shí)用新型的第一實(shí)施方式涉及一種廢氣處理裝置，如圖1和圖2所示，包含由第一筒體I和第二筒體2構(gòu)成的筒狀外殼、設(shè)置在筒狀外殼內(nèi)的筒狀內(nèi)殼3和固定板4、分別設(shè)置在第一筒體I和第二筒體2上的入口法蘭5和出口法蘭6。其中，筒狀內(nèi)殼3和固定板4相對(duì)設(shè)置并采用固定桿7進(jìn)行連接。
[0016]另外，本實(shí)施方式的廢氣處理裝置還包含:設(shè)置在筒狀內(nèi)殼3中的過(guò)濾筒8。其中，在本實(shí)施方式中，過(guò)濾筒8設(shè)有四組并沿固定桿7的軸心進(jìn)行環(huán)形陣列，且筒狀內(nèi)殼3的端部和固定板4上對(duì)應(yīng)各組過(guò)濾筒8的安裝位分別開(kāi)設(shè)有與過(guò)濾筒8導(dǎo)通的第一圓孔和第二圓孑L。
[0017]具體的說(shuō)，廢氣可通過(guò)管道由入口法蘭傳送到筒狀外殼內(nèi)，然后由筒狀內(nèi)殼端面的圓孔進(jìn)入過(guò)濾筒內(nèi)，由過(guò)濾筒進(jìn)行處理后，再由出口法蘭帶出，最后可經(jīng)過(guò)機(jī)械泵等抽氣裝置將其進(jìn)行排出，從而達(dá)到處理廢氣的目的。
[0018]由上述內(nèi)容可知，本實(shí)施方式的廢氣處理裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，密封效果良好，在過(guò)濾筒吸收過(guò)濾飽和之后，可進(jìn)行清洗或替換，降低使用成本。吸附材料根據(jù)不同反應(yīng)氣體，可以替換，該結(jié)構(gòu)采用法蘭式固定，拆裝方便適合科研和生產(chǎn)上使用。
[0019]另外,在本實(shí)施方式中，筒狀內(nèi)殼3的端部對(duì)應(yīng)第一圓孔設(shè)有第一定位件11。該第一定位件11具有一個(gè)與第一圓孔形狀相適配并插入第一圓孔內(nèi)的第一突起部、一個(gè)抵在筒狀內(nèi)殼3端面的第一凸緣部和一個(gè)與第一圓孔導(dǎo)通的第一中空部。其中，第一定位件11的第一突起部至少有部分插入過(guò)濾筒8內(nèi)，由第一定位件11的第一突起部對(duì)過(guò)濾筒8在筒狀內(nèi)殼3端面的安裝位進(jìn)行定位。而固定板4對(duì)應(yīng)第二圓孔設(shè)有第二定位件12，該第二定位件12具有一個(gè)與第二圓孔形狀相適配并插入所述圓孔內(nèi)的第二突起部、一個(gè)抵在固定板4端面的第二凸緣部和一個(gè)與第二圓孔導(dǎo)通的第二中空部。其中，所述第二定位件的第二突起部至少有部分插入過(guò)濾筒8內(nèi)，由第二定位件12的第二突起部對(duì)過(guò)濾筒8在固定板4上的安裝位進(jìn)行定位。由于在筒狀內(nèi)殼3的端面和固定板4上設(shè)有定位件，通過(guò)定位件可對(duì)過(guò)濾筒進(jìn)行固定和定位，從而確保了過(guò)濾筒在筒狀內(nèi)殼中固定的牢固性。
[0020]具體的說(shuō)，兩組的定位件為環(huán)形臺(tái)階狀零件，并分別將兩組定位件的突起部焊接在筒狀內(nèi)殼3端部的第一和第二圓孔內(nèi)并有部分突出。四個(gè)過(guò)濾筒8的兩端一端分別卡在第一定位件11和第二定位件12的突起部上。而端固定板4和筒狀內(nèi)殼3端面的中心處具有一小孔,固定桿7的一端穿過(guò)端固定板4中心的小孔，而另一端穿過(guò)筒狀內(nèi)殼3端面的小孔，并由螺母13緊固，且螺母13的數(shù)量包含兩個(gè)分別設(shè)置在固定桿7的兩端。且值得一提的是，第一定位件11、第二定位件12、固定板4、固定桿7材質(zhì)為不銹鋼，大小可以根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行設(shè)計(jì)。所述過(guò)濾筒8材質(zhì)及規(guī)格也可以根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行設(shè)計(jì)。
[0021]并且，在本實(shí)施方式的廢氣處理裝置還包含:用于連接第一筒體I和第二筒體2的中心支架14，且該中心支架14至少有部分設(shè)置在第一筒體I和第二筒體2的結(jié)合部?jī)?nèi)，并與筒狀內(nèi)殼3進(jìn)行固定連接。由此可知，由于第一筒體I和第二筒體2是通過(guò)中心支架14進(jìn)行固定連接，且中心支架14有部分是延伸到第一筒體I和第二筒體2的內(nèi)部并與筒狀內(nèi)殼3進(jìn)行固定連接，從而能夠?qū)ν矤顑?nèi)殼在筒狀內(nèi)殼中的位置進(jìn)行進(jìn)一步固定。
[0022]另外，值得一提的是，本實(shí)施方式的廢氣處理裝置還包含:兩組套設(shè)在所述中心支架14上，對(duì)中心支架14進(jìn)行加緊的半環(huán)形卡箍15。通過(guò)兩組半環(huán)形卡箍可對(duì)第一筒體和第二筒體進(jìn)行加緊，以使筒狀外殼內(nèi)部的空間達(dá)到一個(gè)密封的效果，從而完成整個(gè)筒狀外殼的裝配。
[0023]本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可以理解，上述各實(shí)施方式是實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的具體實(shí)施例，而在實(shí)際應(yīng)用中，可以在形式上和細(xì)節(jié)上對(duì)其作各種改變，而不偏離本實(shí)用新型的精神和范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種廢氣處理裝置，其特征在于:包含由第一筒體和第二筒體構(gòu)成的筒狀外殼、設(shè)置在所述筒狀外殼內(nèi)的筒狀內(nèi)殼和固定板、分別設(shè)置在所述第一筒體和所述第二筒體上的入口法蘭和出口法蘭；其中，所述筒狀內(nèi)殼和所述固定板相對(duì)設(shè)置并采用固定桿進(jìn)行連接; 所述廢氣處理裝置還包含:設(shè)置在所述筒狀內(nèi)殼中的過(guò)濾筒；所述過(guò)濾筒包含N組并沿所述固定桿的軸心進(jìn)行環(huán)形陣列，其中所述N為自然數(shù)，且所述筒狀內(nèi)殼的端部和所述固定板上對(duì)應(yīng)所述過(guò)濾筒的安裝位分別開(kāi)設(shè)有與所述過(guò)濾筒導(dǎo)通的第一圓孔和第二圓孔。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的廢氣處理裝置，其特征在于:所述筒狀內(nèi)殼的端部對(duì)應(yīng)所述第一圓孔設(shè)有第一定位件； 所述第一定位件具有一個(gè)與所述第一圓孔形狀相適配并插入所述第一圓孔內(nèi)的第一突起部、一個(gè)抵在所述筒狀內(nèi)殼端面的第一凸緣部和一個(gè)與所述第一圓孔導(dǎo)通的第一中空部; 其中，所述第一定位件的第一突起部至少有部分插入所述過(guò)濾筒內(nèi)，由所述第一定位件的第一突起部對(duì)所述過(guò)濾筒在所述筒狀內(nèi)殼端面的安裝位進(jìn)行定位。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的廢氣處理裝置，其特征在于:所述固定板對(duì)應(yīng)所述第二圓孔設(shè)有第二定位件； 所述第二定位件具有一個(gè)與所述圓孔形狀相適配并插入所述圓孔內(nèi)的第二突起部、一個(gè)抵在所述固定板端面的第二凸緣部和一個(gè)與所述第二圓孔導(dǎo)通的第二中空部； 其中，所述第二定位件的第二突起部至少有部分進(jìn)入所述過(guò)濾筒內(nèi)，由所述第二定位件的第二突起部對(duì)所述過(guò)濾筒在所述固定板上的安裝位進(jìn)行定位。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的廢氣處理裝置，其特征在于:所述廢氣處理裝置還包含用于連接所述第一筒體和所述第二筒體的中心支架，所述中心支架至少有部分設(shè)置在所述第一筒體和所述第二筒體的結(jié)合部?jī)?nèi)，并與所述筒狀內(nèi)殼進(jìn)行固定連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的廢氣處理裝置，其特征在于:所述廢氣處理裝置還包含兩組套設(shè)在所述中心支架上，對(duì)所述中心支架進(jìn)行加緊的半環(huán)形卡箍。
【文檔編號(hào)】B01D46/24GK203764039SQ201420100921
【公開(kāi)日】2014年8月13日 申請(qǐng)日期:2014年3月6日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月6日
【發(fā)明者】褚家寶, 譚新, 韓子水, 李 杰 申請(qǐng)人:上海福宜真空設(shè)備有限公司