專利名稱：處理含有六氯乙硅烷的蒸氣的方法
處理含有六氯乙硅烷的蒸氣的方法六氯乙硅烷在硅芯片制造中日益廣泛地被使用。其經(jīng)常被使用CVD的氣相法工藝沉積下來(lái)。但是，這導(dǎo)致需要處理離開沉積室后的蒸氣。US 2009/0104100A1描述了含有六氯乙硅烷的廢氣的處理方法。該方法包括首先在復(fù)雜的裝置中在排除濕氣的條件下氧化所述廢氣，然后使其通過(guò)充滿了水的洗滌器。六氯乙硅烷與水或濕氣的反應(yīng)通常會(huì)釋放出 氣體。該氣體會(huì)攻擊Si-Si鍵。這將產(chǎn)生包含Si-H-的水解產(chǎn)物，其在機(jī)械接觸時(shí)分解，例如由于摩擦導(dǎo)致的機(jī)械接觸，并產(chǎn)生火花。固體形式的水解產(chǎn)物甚至可以在水下有火花地(with sparking)分解。本發(fā)明的一個(gè)目的是改進(jìn)現(xiàn)有技術(shù)，更具體地，是提供一種無(wú)風(fēng)險(xiǎn)地處理六氯乙硅烷殘余物的方法。在這方面，需要尋找一種可以無(wú)風(fēng)險(xiǎn)地處理蒸氣或者液體六氯乙硅烷的方法。已經(jīng)發(fā)現(xiàn)，將六氯乙硅烷引入脲和醇的混合物中時(shí)，沒有可燃性混合物的形成。已經(jīng)吃驚地發(fā)現(xiàn)，脲一方面具有足夠的堿性以限制HCl釋放，而另一方面，它并不催化產(chǎn)生任何六氯乙硅烷的任何重排。本發(fā)明提供一種處理含有六氯乙硅烷的蒸氣的方法，其特征在于，將含有六氯乙硅烷的蒸氣引入混合物中，該混合物包括在900-1100hPa和25°C為液體的非極性烴，脲，及在900-1100hPa和25°C為液體的醇。使用的溶劑可為以下非極性烴優(yōu)選非極性烴，例如脂肪族或芳香族烴，優(yōu)選溶劑是基于在標(biāo)準(zhǔn)壓力(900-1 IOhPa)下沸點(diǎn)優(yōu)選低于100°C的烴，優(yōu)選的烴具有1_20個(gè)碳原子，優(yōu)選具有6_12個(gè)碳原子，更優(yōu)選辛烷、壬烷、癸烷、苯、甲苯、二甲苯，特別優(yōu)選二甲苯。使用的醇可為以下的優(yōu)選在900-1 IOOhPa和25°C下為液體的醇，優(yōu)選沸點(diǎn)為50° -150°C，優(yōu)選90° -110°C，更優(yōu)選100° _120°C，所述沸點(diǎn)均對(duì)應(yīng)在900-1 IOOhPa的壓力下，優(yōu)選具有1-6個(gè)碳原子、優(yōu)選具有3-5個(gè)碳原子的醇，單官能團(tuán)醇，二或多官能團(tuán)醇，更優(yōu)選戊醇，例如I-戊醇、2-戊醇、3-戊醇，以及I- 丁醇、2- 丁醇、3- 丁醇、I-丙醇、2-丙醇，特別優(yōu)選3-丁醇。使用高沸點(diǎn)的醇來(lái)處理廢氣時(shí)，基于I摩爾的醇使用-O. 1-0. 5摩爾的脲，更優(yōu)選O. 2-0. 4摩爾的脲，-10-200毫升的溶劑，更優(yōu)選50-100毫升的溶劑。
實(shí)施例含有六氯乙硅烷的廢氣的處理使來(lái)自在氮?dú)庀抡麴s六氯乙硅烷的裝置的廢氣通過(guò)50ml 二甲苯、50ml叔丁醇和IOg脲的混合物。用磁攪拌器攪拌混合物。與廢氣僅通過(guò)硅油的裝置相反，在氣體出口處沒有形成與金屬接觸時(shí)開始燃燒的白色沉淀物。在本發(fā)明的上下文中，除非在各個(gè)情況下另外說(shuō)明，否則所有的數(shù)量和百分?jǐn)?shù)基于重量，并且所有的百分?jǐn)?shù)都基于總重量，所有的溫度是室溫25°C，所有的壓力是環(huán)境壓力，即900-1100hPa。所有的粘度都在25°C下 測(cè)定。
權(quán)利要求
1.一種處理含有六氯乙硅烷的蒸氣的方法，其特征在于，將含有六氯乙硅烷的蒸氣引入混合物中，該混合物包括在900-1100hPa和25 °C下為液體的非極性烴，脲，及在900-1 IOOhPa和25°C下為液體的醇。
2.如權(quán)利要求I所述的處理含有六氯乙硅烷的蒸氣的方法，其特征在于，所述烴在標(biāo)準(zhǔn)壓力(900-1100hPa)下具有低于100°C的沸點(diǎn)。
3.如權(quán)利要求I或2所述的處理含有六氯乙硅烷的蒸氣的方法，其特征在于，所述烴具有1-20個(gè)碳原子。
4.如權(quán)利要求3所述的處理含有六氯乙硅烷的蒸氣的方法，其特征在于，所述烴具有6-12個(gè)碳原子。
5.如前述權(quán)利要求之一所述的處理含有六氯乙娃燒的蒸氣的方法，其特征在于，所述烴是二甲苯。
6.如前述權(quán)利要求之一所述的處理含有六氯乙娃燒的蒸氣的方法，其特征在于，所述醇是具有1-6個(gè)碳原子的醇。
7.如前述權(quán)利要求之一所述的處理含有六氯乙硅烷的蒸氣的方法，其特征在于，所述醇選自I-戊醇、2-戊醇、3-戊醇，I- 丁醇、2- 丁醇、3- 丁醇、I-丙醇、2-丙醇。
全文摘要
一種處理含有六氯乙硅烷的蒸氣的方法，其特征在于，將含有六氯乙硅烷的蒸氣引入混合物中，該混合物包括在900-1100hPa和25℃下為液體的非極性烴，脲，及在900-1100hPa和25℃下為液體的醇。
文檔編號(hào)B01D53/68GK102791360SQ201180011979
公開日2012年11月21日 申請(qǐng)日期2011年3月9日 優(yōu)先權(quán)日2010年3月12日
發(fā)明者H·艾布爾邁爾, K·伯格舒森, W·克尼斯 申請(qǐng)人:瓦克化學(xué)股份公司