本發(fā)明涉及超精密定位平面驅(qū)動(dòng)設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及基于重心驅(qū)動(dòng)原理的并聯(lián)xy運(yùn)動(dòng)平臺(tái)。

背景技術(shù)：

目前芯片制造集成、微型零件裝配以及量子材料制備等領(lǐng)域發(fā)展十分迅速，這些領(lǐng)域中工件的運(yùn)行軌跡非常復(fù)雜，而且運(yùn)動(dòng)精度一般要求在數(shù)十納米范圍內(nèi)，這就對(duì)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的加速度與速度、伺服系統(tǒng)的快速響應(yīng)能力提出了很高的要求。

現(xiàn)有的技術(shù)中，串聯(lián)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)結(jié)構(gòu)比較簡(jiǎn)單易于設(shè)計(jì)，但是兩軸動(dòng)力學(xué)不匹配與誤差累積等問(wèn)題，限制了它的高加速度和動(dòng)態(tài)軌跡精度；多鉸鏈結(jié)構(gòu)并聯(lián)xy運(yùn)動(dòng)平臺(tái)可克服串聯(lián)結(jié)構(gòu)所產(chǎn)生的技術(shù)難題，但是運(yùn)動(dòng)學(xué)非線性解耦與作業(yè)空間有限等問(wèn)題嚴(yán)重制約了它的廣泛應(yīng)用；而且現(xiàn)在的多鉸鏈結(jié)構(gòu)并聯(lián)xy運(yùn)動(dòng)平臺(tái)并未引入重心驅(qū)動(dòng)技術(shù)，使得一方面現(xiàn)有的并聯(lián)結(jié)構(gòu)中工作臺(tái)的重心與驅(qū)動(dòng)力在不同的平面，另一方面驅(qū)動(dòng)力的作用位置隨工作臺(tái)的運(yùn)動(dòng)而變化，引起了工作臺(tái)的扭轉(zhuǎn)變形。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的上述問(wèn)題，提出一種基于重心驅(qū)動(dòng)原理的并聯(lián)xy運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，以降低運(yùn)動(dòng)平臺(tái)水平方向運(yùn)動(dòng)過(guò)程中產(chǎn)生的扭轉(zhuǎn)與振動(dòng)，提高運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的響應(yīng)速度。本發(fā)明的基于重心驅(qū)動(dòng)原理的并聯(lián)xy運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，包括安裝底座、運(yùn)動(dòng)平臺(tái)、驅(qū)動(dòng)組件和解耦組件，所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)、驅(qū)動(dòng)組件和解耦組件設(shè)置在所述安裝底座上，其中，所述解耦組件用于在x軸方向和y軸方向解耦地引導(dǎo)所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)；所述驅(qū)動(dòng)組件包括：用于驅(qū)動(dòng)所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)沿x軸移動(dòng)的x方向電機(jī)，和用于驅(qū)動(dòng)所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)沿y軸移動(dòng)的兩個(gè)y方向電機(jī)，其中，所述x方向電機(jī)、兩個(gè)y方向電機(jī)分別與所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)相連接，使得所述x方向電機(jī)、兩個(gè)y方向電機(jī)的電機(jī)輸出力的合力能夠通過(guò)所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的重心并且指向所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的目標(biāo)位置。

優(yōu)選地，所述解耦組件包括至少一個(gè)十字交叉雙層導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)，所述十字交叉雙層導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)包括上層導(dǎo)軌、上層滑塊、下層導(dǎo)軌和下層滑塊，所述上層導(dǎo)軌與所述上層滑塊相互配合，所述上層滑塊能相對(duì)于所述上層導(dǎo)軌沿第一方向移動(dòng)，所述下層導(dǎo)軌固定在所述安裝底座上，所述下層導(dǎo)軌與所述下層滑塊相互配合，所述下層滑塊能相對(duì)于所述下層導(dǎo)軌沿垂直于第一方向的第二方向移動(dòng)，所述上層滑塊與所述下層滑塊彼此固定，使得所述上層滑塊能與所述下層滑塊一起相對(duì)于所述下層導(dǎo)軌沿所述第二方向移動(dòng)。

優(yōu)選地，所述解耦組件包括三個(gè)十字交叉雙層導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)，其中一個(gè)十字交叉雙層導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)的所述上層滑塊沿x方向?qū)颍硗鈨蓚€(gè)十字交叉雙層導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)的所述上層滑塊沿y方向?qū)颉?/p>

優(yōu)選地，所述上層滑塊和下層滑塊分別為槽形滑塊，所述上層導(dǎo)軌和下層導(dǎo)軌分別能移動(dòng)地配合在所述槽形滑塊的槽中。

優(yōu)選地，所述并聯(lián)xy運(yùn)動(dòng)平臺(tái)還包括檢測(cè)組件和控制系統(tǒng)，所述檢測(cè)組件包括位移傳感器，用于檢測(cè)所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)在x軸方向和y軸方向的位移，所述控制系統(tǒng)用于基于所檢測(cè)的位移控制所述驅(qū)動(dòng)組件，使得所述x方向電機(jī)、兩個(gè)y方向電機(jī)的電機(jī)輸出力的合力通過(guò)所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的重心并且指向所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的目標(biāo)位置。

優(yōu)選地，所述位移傳感器包括x方向光柵尺和y方向光柵尺，分別用于檢測(cè)所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)在x軸方向和y軸方向的位移。

優(yōu)選地，所述檢測(cè)組件還包括用于檢測(cè)所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)在xy運(yùn)動(dòng)平面內(nèi)所受的扭矩的扭矩傳感器，和/或用于檢測(cè)所述x方向電機(jī)、兩個(gè)y方向電機(jī)的電機(jī)輸出力的力傳感器，并將檢測(cè)到的扭矩信號(hào)和/或力信號(hào)反饋至所述控制系統(tǒng)。

優(yōu)選地，所述x方向電機(jī)和兩個(gè)y方向電機(jī)分別為音圈電機(jī)。

本發(fā)明的并聯(lián)xy運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，通過(guò)適當(dāng)布置所述x方向電機(jī)、兩個(gè)y方向電機(jī)能夠確保各電機(jī)驅(qū)動(dòng)力的合力通過(guò)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)重心，有利于降低運(yùn)動(dòng)平臺(tái)移動(dòng)過(guò)程中所發(fā)生的振動(dòng)，防止運(yùn)動(dòng)平臺(tái)移動(dòng)過(guò)程中水平方向所發(fā)生的扭轉(zhuǎn)；同時(shí)驅(qū)動(dòng)力的合力的方向與運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的目標(biāo)移動(dòng)位移的方向一致，可有效提高運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的響應(yīng)速度和效率。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明實(shí)施例的基于重心驅(qū)動(dòng)原理的并聯(lián)xy運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的整體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本發(fā)明實(shí)施例的基于重心驅(qū)動(dòng)原理的并聯(lián)xy運(yùn)動(dòng)平臺(tái)隱藏運(yùn)動(dòng)平臺(tái)后的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是本發(fā)明實(shí)施例的基于重心驅(qū)動(dòng)原理的并聯(lián)xy運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的解耦組件的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4是本發(fā)明實(shí)施例的電機(jī)輸出力計(jì)算示意圖。

具體實(shí)施方式

下面參照附圖來(lái)描述本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式。本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解的是，這些實(shí)施方式僅僅用于解釋本發(fā)明的技術(shù)原理，并非旨在限制本發(fā)明的保護(hù)范圍。

圖1是本發(fā)明實(shí)施例的基于重心驅(qū)動(dòng)原理的并聯(lián)xy運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的整體結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1所示，所述并聯(lián)xy運(yùn)動(dòng)平臺(tái)包括安裝底座10、運(yùn)動(dòng)平臺(tái)20、驅(qū)動(dòng)組件50和解耦組件30。所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)20、驅(qū)動(dòng)組件50和解耦組件30設(shè)置在所述安裝底座上10，所述解耦組件用于在x軸方向和y軸方向解耦地引導(dǎo)所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，所述驅(qū)動(dòng)組件50用于驅(qū)動(dòng)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)20在由x軸和y軸形成的xy平面內(nèi)運(yùn)動(dòng)。

所述驅(qū)動(dòng)組件包括用于驅(qū)動(dòng)所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)20沿x軸移動(dòng)的x方向電機(jī)57和用于驅(qū)動(dòng)所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)沿y軸移動(dòng)的兩個(gè)y方向電機(jī)58，其中，所述x方向電機(jī)57、兩個(gè)y方向電機(jī)58分別與所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)20相連接，使得所述x方向電機(jī)57、兩個(gè)y方向電機(jī)58的電機(jī)輸出力的合力能夠通過(guò)所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)20的重心并且指向所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)20的目標(biāo)位置。

在本發(fā)明的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施方式中，所述x方向電機(jī)、兩個(gè)y方向電機(jī)分別為音圈電機(jī)。參照?qǐng)D1和圖2，驅(qū)動(dòng)組件50用于驅(qū)動(dòng)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)20的移動(dòng)、平衡運(yùn)動(dòng)平臺(tái)20移動(dòng)過(guò)程中在xy平面所受的外部扭矩，使驅(qū)動(dòng)力的合力通過(guò)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)20的重心，并且使驅(qū)動(dòng)力合力與運(yùn)動(dòng)平臺(tái)20的目標(biāo)移動(dòng)位移方向相同。驅(qū)動(dòng)組件50包括x方向電機(jī)支座51、兩個(gè)y方向電機(jī)支座52、x方向電機(jī)滑塊53、兩個(gè)y方向電機(jī)滑塊54、x方向電機(jī)導(dǎo)軌55、兩個(gè)y方向電機(jī)導(dǎo)軌56、x方向電機(jī)57、兩個(gè)y方向電機(jī)58、x方向電機(jī)連結(jié)件59、兩個(gè)y方向電機(jī)連結(jié)件60。其中，x方向電機(jī)支座51、y方向電機(jī)支座52的底部固定在安裝底座10上，側(cè)面分別與x方向電機(jī)滑塊53、y方向電機(jī)滑塊54連接；x方向電機(jī)57、y方向電機(jī)58一端分別與x方向電機(jī)導(dǎo)軌55、y方向電機(jī)導(dǎo)軌56連接，另一端分別與x方向電機(jī)連結(jié)件59、y方向電機(jī)連結(jié)件60連接；x方向電機(jī)導(dǎo)軌55與x方向電機(jī)滑塊53相配合，實(shí)現(xiàn)x方向電機(jī)57在受到y(tǒng)方向力時(shí)沿y方向滑動(dòng)，y方向電機(jī)導(dǎo)軌56與y方向電機(jī)滑塊54相配合，實(shí)現(xiàn)y方向電機(jī)58在受到x方向力時(shí)沿x方向滑動(dòng)。

運(yùn)動(dòng)平臺(tái)20固定安裝在解耦組件30上。運(yùn)動(dòng)平臺(tái)20的側(cè)端面分別與x方向電機(jī)連接件59、兩個(gè)y方向電機(jī)連接件60固定連接，例如螺釘連接或焊接；x方向電機(jī)連結(jié)件59與x方向電機(jī)57連接，保證當(dāng)x方向電機(jī)57在x方向伸縮時(shí)，運(yùn)動(dòng)平臺(tái)20在x方向一起移動(dòng)；y方向電機(jī)連結(jié)件60分別與兩個(gè)y方向電機(jī)58連接，保證當(dāng)y方向電機(jī)58在y方向伸縮時(shí)，運(yùn)動(dòng)平臺(tái)20在y方向一起移動(dòng)。

優(yōu)選地，所述解耦組件30包括至少一個(gè)十字交叉雙層導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)，所述十字交叉雙層導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)包括上層導(dǎo)軌、上層滑塊、下層導(dǎo)軌和下層滑塊。其中，所述上層導(dǎo)軌與所述上層滑塊相互配合，所述上層滑塊能相對(duì)于所述上層導(dǎo)軌沿第一方向移動(dòng)，所述下層導(dǎo)軌固定在所述安裝底座上，所述下層導(dǎo)軌與所述下層滑塊相互配合，所述下層滑塊能相對(duì)于所述下層導(dǎo)軌沿垂直于第一方向的第二方向移動(dòng)，所述上層滑塊與所述下層滑塊彼此固定，使得所述上層滑塊能與所述下層滑塊一起相對(duì)于所述下層導(dǎo)軌沿所述第二方向移動(dòng)。

參照?qǐng)D2和3，在一個(gè)優(yōu)選的實(shí)施方式中，解耦組件30包括三個(gè)十字交叉雙層導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)，即第一十字交叉雙層導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)、第二十字交叉雙層導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)和第三十字交叉雙層導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)。其中，第一和第二十字交叉雙層導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)的所述上層滑塊沿y方向?qū)?，第三十字交叉雙層導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)的所述上層滑塊沿x方向?qū)?，?yōu)選地，所述上層滑塊和下層滑塊分別為槽形滑塊，所述上層導(dǎo)軌和下層導(dǎo)軌分別能移動(dòng)地配合在所述槽形滑塊的槽中。如圖2和3所示，第一十字交叉雙層導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)包括第一上層導(dǎo)軌31、第一上層滑塊32、第一l形聯(lián)結(jié)件33、第一下層滑塊34、第一下層導(dǎo)軌35。第一下層導(dǎo)軌35例如通過(guò)螺釘固定在安裝底座10上，第一下層導(dǎo)軌35上設(shè)有第一下層滑塊34，第一下層滑塊34與第一上層滑塊32通過(guò)第一l形聯(lián)結(jié)件33相固定，第一上層滑塊32上設(shè)有第一上層導(dǎo)軌31，第一上層導(dǎo)軌31與運(yùn)動(dòng)平臺(tái)20例如通過(guò)螺釘固定連接。

第二十字交叉雙層導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)包括第二上層導(dǎo)軌36、第二上層滑塊37、第二l形聯(lián)結(jié)件38、第二下層滑塊39、第二下層導(dǎo)軌40。第二下層導(dǎo)軌40例如通過(guò)螺釘固定在安裝底座10上，第二下層導(dǎo)軌40上設(shè)有第二下層滑塊39，第二下層滑塊39與第二上層滑塊37通過(guò)第二l形聯(lián)結(jié)件38相固定，第二上層滑塊37上設(shè)有第二上層導(dǎo)軌36，第二上層導(dǎo)軌36與運(yùn)動(dòng)平臺(tái)20例如通過(guò)螺釘固定連接。

第三十字交叉雙層導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)包括第三上層導(dǎo)軌41、第三上層滑塊42、第三l形聯(lián)結(jié)件43、第三下層滑塊44、第三下層導(dǎo)軌45。第三下層導(dǎo)軌45例如通過(guò)螺釘固定在安裝底座10上，第三下層導(dǎo)軌45上設(shè)有第三下層滑塊44，第三下層滑塊44與第三上層滑塊42通過(guò)第三l形聯(lián)結(jié)件43相固定，第三上層滑塊42上設(shè)有第三上層導(dǎo)軌41，第三上層導(dǎo)軌41與運(yùn)動(dòng)平臺(tái)20例如通過(guò)螺釘連接。

所述并聯(lián)xy運(yùn)動(dòng)平臺(tái)還可以包括檢測(cè)組件和控制系統(tǒng)，所述檢測(cè)組件包括位移傳感器，用于檢測(cè)所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)在x軸方向和y軸方向的位移，所述控制系統(tǒng)用于基于所檢測(cè)的位移控制所述驅(qū)動(dòng)組件，使得所述x方向電機(jī)、兩個(gè)y方向電機(jī)的電機(jī)輸出力的合力通過(guò)所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的重心并且指向所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的目標(biāo)位置。所述檢測(cè)組件還可以包括扭矩傳感器和/或力感器，扭矩傳感器用于檢測(cè)所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)在xy運(yùn)動(dòng)平面內(nèi)所受的扭矩，力傳感器用于測(cè)量各電機(jī)的輸出力，實(shí)現(xiàn)反饋。通過(guò)檢測(cè)組件和控制系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)和驅(qū)動(dòng)組件的閉環(huán)控制，提高運(yùn)動(dòng)平臺(tái)抗干擾的能力。

優(yōu)選地，位移傳感器包括檢測(cè)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)20在x方向位移的x方向光柵尺和檢測(cè)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)20在y方向位移的y方向光柵尺。其中，x方向光柵尺包括x方向標(biāo)準(zhǔn)光柵71、x方向光柵尺讀數(shù)頭73、x方向光柵尺安裝座75；x方向光柵尺安裝座75側(cè)面與第三l形聯(lián)結(jié)件43相連接，x方向光柵尺讀數(shù)頭73安裝在x方向光柵尺安裝座75上，x方向標(biāo)準(zhǔn)光柵71固定在運(yùn)動(dòng)平臺(tái)20底部；x方向光柵尺讀數(shù)頭73用于檢測(cè)x方向標(biāo)準(zhǔn)光柵71在x方向移動(dòng)的距離。y方向光柵尺包括y方向標(biāo)準(zhǔn)光柵72、y方向光柵尺讀數(shù)頭74、y方向光柵尺安裝座76；y方向光柵尺安裝座76側(cè)面與第二l形聯(lián)結(jié)件38相連接，y方向光柵尺讀數(shù)頭74安裝在y方向光柵尺安裝座76上，y方向標(biāo)準(zhǔn)光柵72固定在運(yùn)動(dòng)平臺(tái)底20底部；y方向光柵尺讀數(shù)頭74用于檢測(cè)y方向標(biāo)準(zhǔn)光柵72在y方向移動(dòng)的距離。

下面具體描述本發(fā)明實(shí)施例的基于重心驅(qū)動(dòng)原理的并聯(lián)xy運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的工作原理。

當(dāng)只有x方向電機(jī)57通電工作時(shí)，x方向電機(jī)57驅(qū)動(dòng)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)20沿x方向移動(dòng)，運(yùn)動(dòng)平臺(tái)20帶動(dòng)第三上層導(dǎo)軌41、第二下層滑塊39、第一下層滑塊34沿x方向移動(dòng)；而第三上層滑塊42與第三下層軌道45之間、第二上層軌道36與第二下層滑塊39之間、第一上層軌道31與第一下層滑塊34之間，均未發(fā)生相對(duì)移動(dòng)；x方向光柵尺讀數(shù)頭73檢測(cè)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)20沿x方向所移動(dòng)的距離并反饋回控制系統(tǒng)。

當(dāng)只有y方向電機(jī)58通電工作時(shí)，y方向電機(jī)58驅(qū)動(dòng)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)20沿y方向移動(dòng)，運(yùn)動(dòng)平臺(tái)20帶動(dòng)第三下層滑塊44、第二上層導(dǎo)軌36、第一上層導(dǎo)軌31沿y方向移動(dòng)；而第三上層導(dǎo)軌41與第三下層滑塊44之間、第二下層導(dǎo)軌40與第二上層滑塊37之間、第一下層軌道35與第一上層滑塊32之間，均未發(fā)生相對(duì)移動(dòng)；y方向光柵尺讀數(shù)頭74檢測(cè)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)20沿y方向所移動(dòng)的距離并反饋回控制系統(tǒng)。

當(dāng)x方向電機(jī)57與y方向電機(jī)58同時(shí)通電工作時(shí)，運(yùn)動(dòng)平臺(tái)實(shí)現(xiàn)x方向和y方向的平面移動(dòng)，根據(jù)x方向電機(jī)57與y方向電機(jī)58的輸出力在運(yùn)動(dòng)平臺(tái)20上的作用位置、運(yùn)動(dòng)平臺(tái)20的重心位置和目標(biāo)位置能夠計(jì)算出x方向電機(jī)、兩個(gè)y方向電機(jī)的電機(jī)輸出力，使得所述x方向電機(jī)、兩個(gè)y方向電機(jī)的電機(jī)輸出力的合力通過(guò)所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的重心并且指向所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的目標(biāo)位置，從而有效提高運(yùn)動(dòng)平臺(tái)響應(yīng)速度和效率。

如圖4所示，運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的重心目前所處位置位于w點(diǎn)，重心目標(biāo)位置位于p點(diǎn)，w點(diǎn)和p點(diǎn)連線與y方向成β角，w點(diǎn)和p點(diǎn)在x方向上相距a，w點(diǎn)和p點(diǎn)在y方向上相距b；x方向電機(jī)的輸出力為fx，與運(yùn)動(dòng)平臺(tái)目前重心位置w點(diǎn)在y方向上相距sx；y方向第一電機(jī)的輸出力為fy1，與運(yùn)動(dòng)平臺(tái)目前重心位置w點(diǎn)在x方向上相距sy1；y方向第二電機(jī)的輸出力為fy2，與運(yùn)動(dòng)平臺(tái)目前重心位置w點(diǎn)在x方向上相距sy2，當(dāng)x方向電機(jī)的輸出力為fx、y方向第一電機(jī)的輸出力為fy1和y方向第二電機(jī)的輸出力為fy2滿足方程組時(shí)，可保證各電機(jī)輸出力的合力通過(guò)所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的重心w并且指向所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的目標(biāo)位置p。

本發(fā)明的并聯(lián)xy運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，能夠確保各電機(jī)輸出力的合力通過(guò)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)重心，有利于降低運(yùn)動(dòng)平臺(tái)移動(dòng)過(guò)程中所發(fā)生的振動(dòng)，防止運(yùn)動(dòng)平臺(tái)移動(dòng)過(guò)程中水平方向所發(fā)生的扭轉(zhuǎn)；同時(shí)驅(qū)動(dòng)力的合力的方向指向運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的目標(biāo)位置，可有效提高運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的響應(yīng)速度和效率。

至此，已經(jīng)結(jié)合附圖所示的優(yōu)選實(shí)施方式描述了本發(fā)明的技術(shù)方案，但是，本領(lǐng)域技術(shù)人員容易理解的是，本發(fā)明的保護(hù)范圍顯然不局限于這些具體實(shí)施方式。在不偏離本發(fā)明的原理的前提下，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以對(duì)相關(guān)技術(shù)特征做出等同的更改或替換，這些更改或替換之后的技術(shù)方案都將落入本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。