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基于重心驅(qū)動(dòng)原理的并聯(lián)XY運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12809998

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本發(fā)明涉及超精密定位平面驅(qū)動(dòng)設(shè)備領(lǐng)域,尤其涉及基于重心驅(qū)動(dòng)原理的并聯(lián)XY運(yùn)動(dòng)平臺(tái)。背景技術(shù)目前芯片制造集成、微型零件裝配以及量子材料制備等領(lǐng)域發(fā)展十分迅速,這些領(lǐng)域中工件的運(yùn)行軌跡非常復(fù)雜,而且運(yùn)動(dòng)精度一般要求在數(shù)十納米范圍內(nèi),這就對(duì)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的加速度與速度、伺服系統(tǒng)的快速響應(yīng)能力提出了很高的要求?,F(xiàn)有的技術(shù)中,串聯(lián)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)結(jié)構(gòu)比較簡(jiǎn)單易于設(shè)計(jì),但是兩軸動(dòng)力學(xué)不匹配與誤差累積等問(wèn)題,限制了它的高加速度和動(dòng)態(tài)軌跡精度;多鉸鏈結(jié)構(gòu)并聯(lián)XY運(yùn)動(dòng)平臺(tái)可克服串聯(lián)結(jié)構(gòu)所產(chǎn)生的技術(shù)難題,但是運(yùn)動(dòng)學(xué)非線性解耦與作...
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