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一種定位精確的單晶切方機的制作方法

文檔序號:1966466閱讀:548來源:國知局
專利名稱:一種定位精確的單晶切方機的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種硅單晶材料的切割設備,具體涉及到一種定位精確的單晶切方 機。
背景技術(shù)
鋼絲切方機又稱為開方機,是利一種用砂漿(SiC與油混合攪拌而成的研磨液)噴 淋在高速運行的鋼絲上從而對單晶硅棒或多晶硅錠進行切割的設備。其中,鋼絲在主軸上所開的鋼絲槽內(nèi)高速運行,對設置在單晶定位模板上的單晶 硅進行切割。由于鋼絲上噴淋有研磨液,因此,在正反轉(zhuǎn)過程啟動中,或者在電氣控制上不 能做到鋼絲的速度和主軸線速度完全一致,因此切割幾次,鋼絲槽會產(chǎn)生磨損切割,這時就 必須更換下一個鋼絲槽進行切割,否則容易導致鋼絲斷線或切割事故,假定鋼絲槽的間距 為P。當需要更換鋼絲槽時,單晶硅定位模板也需要相應的移動一個槽距,P。但是,切割是 在X、Y兩個方向同時進行的,因此定位模板需要同時在X和Y方向同時移動一個槽距P。目前使用較為廣泛的主要有兩種方法第一種,是在主軸上添加一個墊片,即如果 朝+X方向換槽時在正方向添加一個厚度為P的墊片,使得鋼絲槽仍然在原來的位置,依次 類推。此種方法,可以不移動單晶定位模板,但是此種方法的缺陷是,第一,由于添加墊片到 主軸上的結(jié)構(gòu)容易引起主軸軸向竄動,使得切割質(zhì)量較低甚至有時切割產(chǎn)品報廢;第二,添 加墊片需要拆卸主軸,更換時間長,效率低。第二種方法主軸換鋼絲槽不添加墊片,移動單晶定位模板,依靠螺釘調(diào)節(jié),首先 在X方向調(diào)節(jié)出一個槽距P,再在Y方向調(diào)節(jié)出一個槽距P。其缺點是調(diào)節(jié)繁瑣,且對調(diào)節(jié) 人員的技術(shù)水平和經(jīng)驗要求很高,也容易出錯。綜上所述,現(xiàn)有技術(shù)的主要存在定位不精確,或者調(diào)節(jié)的方式繁瑣的技術(shù)問題。

發(fā)明內(nèi)容
針對上述缺陷,本發(fā)明的目的是提供一種定位精確的單晶切方機,以解決現(xiàn)有技 術(shù)的切方機單晶定位模板在更換鋼絲槽后需要調(diào)整位置時,定位不精確,或者更換繁瑣的 技術(shù)問題。為實現(xiàn)上述目的,本發(fā)明采用了以下的技術(shù)方案一種定位精確的單晶切方機,包括數(shù)控機床、可在數(shù)控機床上移動的單晶定位模 板,設置在所述單晶定位模板四周的四組主軸,該些主軸上各設置一用于在一個方向上切 割單晶的鋼絲,該些主軸上設置有多個鋼絲槽,所述鋼絲可移動地設置在對應的主軸的鋼 絲槽內(nèi),兩相鄰的鋼絲槽之間間距固定;所述數(shù)控機床的面板上在邊緣位置各設置有一定位銷,所述單晶定位模板上兩側(cè) 分別設置有一組定位銷孔,每組定位銷孔中各定位銷孔中心位于同一直線上,該直線與所 述鋼絲所在直線成45度夾角,數(shù)目與每個主軸的鋼絲槽數(shù)目相同,兩相鄰的定位銷孔中心 之間間距為鋼絲槽間距的萬倍。
依照本發(fā)明較佳實施例所述的單晶切方機,所述單晶定位模板通過所述定位銷孔 與數(shù)控機床上的定位銷固定。依照本發(fā)明較佳實施例所述的單晶切方機,所述些定位銷孔尺寸相同,并且與所 述定位銷尺寸相配合。依照本發(fā)明較佳實施例所述的單晶切方機,所述單晶定位模板在與鋼絲呈45度 的方向上移動。依照本發(fā)明較佳實施例所述的單晶切方機,所述定位銷孔旁邊與所述鋼絲槽旁標 注有對應的編號,該些編號為數(shù)字、英文字母或其他符號之一。由于采用了以上的技術(shù)方案,使得本發(fā)明相比于現(xiàn)有技術(shù)具有以下的優(yōu)點和積極 效果首先,本發(fā)明提供的單晶切方機,在單晶定位模板上設置兩組定位銷孔,與數(shù)控機 床上的定位銷配合,可以精確完成定位,避免在鋼絲槽更換時造成定位不精確而導致的切 割單晶硅報廢的問題;其次,本發(fā)明提供的單晶切方機,在需要更換單晶定位模板位置時,只需要移動單 晶定位模板上的對應定位銷孔與定位銷固定即可,無需復雜的調(diào)整、測量定位等,對于沒有 經(jīng)驗的人同樣可以快速實現(xiàn),節(jié)約成本,也節(jié)省時間,從而達到提高工作效率的目的。


圖1是本發(fā)明一種定位精確的單晶切方機的示意圖;圖2是圖1中I部位的局部放大圖;圖3是圖2中II部位的局部放大圖。
具體實施例方式以下結(jié)合附圖對本發(fā)明的幾個優(yōu)選實施例進行詳細描述,但本發(fā)明并不僅僅限于 這些實施例。本發(fā)明涵蓋任何在本發(fā)明的精髓和范圍上做的替代、修改、等效方法以及方 案。為了使公眾對本發(fā)明有徹底的了解,在以下本發(fā)明優(yōu)選實施例中詳細說明了具體的細 節(jié),而對本領(lǐng)域技術(shù)人員來說沒有這些細節(jié)的描述也可以完全理解本發(fā)明請參考圖1,一種定位精確的單晶切方機,包括數(shù)控機床1、可在數(shù)控機床上移動 的單晶定位模板2,設置在所述單晶定位模板2四周的四組主軸3,該些主軸上各設置一用 于在一個方向上切割單晶4的鋼絲5。其中,每根鋼絲5都同時連接相對的兩組主軸中的一對,分別在X和Y方向?qū)尉?硅進行切割。請參考圖2,其為圖1中I部位的局部放大圖,由圖2可見,主軸3上設置有多個鋼 絲槽31,鋼絲5可移動地設置在對應的主軸的鋼絲槽內(nèi)31,即鋼絲5可以更換其所在的鋼 絲槽31,兩相鄰的鋼絲槽31之間間距固定,假定為間距為P。請返回參考圖1,并且同時參考圖3,圖3是圖1中II部位的放大圖,所述數(shù)控機 床1的面板上在邊緣位置各設置有一定位銷(圖中未繪示),單晶定位模板2上兩側(cè)分別 設置有一組定位銷孔21,每組定位銷孔21中各定位銷孔中心位于同一直線上,定位銷孔所 在的直線與鋼絲5所在直線成45度夾角(由于兩組鋼絲之間為垂直的,所以不管與X或者Y方向均為45度的夾角),數(shù)目與每個主軸的鋼絲槽數(shù)目相同,兩相鄰的定位銷孔之間間距 為鋼絲槽31間距的倍,即定位銷孔的中心間距為AP。并且,每個定位銷孔的尺寸相同,與定位銷的尺寸相配合,單晶定位模板通過所述 定位銷孔與數(shù)控機床上的定位銷固定,從而實現(xiàn)定位銷在定位銷孔內(nèi)部松動,可以實現(xiàn)定 位的效果。并且,由于鋼絲在主軸上更換鋼絲槽時,是有順序的,因此為避免混淆,在鋼絲槽 31邊緣設置編號,同時在定位銷孔旁邊也設置于每個鋼絲槽對應的編號,例如1、2、3、4或 者A、B、C、D等等,當鋼絲槽做了更換,只需要將對應的定位銷孔與定位銷固定即可。所述單晶定位模板2在與鋼絲呈45度的方向上移動,由于定位銷孔的中心間距為 v^p,其在X方向和Y方向的投影正好為P,對應鋼絲在X和Y方向的移動間距P,從而實現(xiàn) 與定位銷的配合,不會影響切割的精度,更換也更為方便。綜上所述,由于采用了以上的技術(shù)方案,使得本發(fā)明相比于現(xiàn)有技術(shù)具有以下的 優(yōu)點和積極效果首先,本發(fā)明提供的單晶切方機,在單晶定位模板上設置兩組定位銷孔,與數(shù)控機 床上的定位銷配合,可以精確完成定位,避免在鋼絲槽更換時造成定位不精確而導致的切 割單晶硅報廢的問題;其次,本發(fā)明提供的單晶切方機,在需要更換單晶定位模板位置時,只需要移動單 晶定位模板上的對應定位銷孔與定位銷固定即可,無需復雜的調(diào)整、測量定位等,對于沒有 經(jīng)驗的人同樣可以快速實現(xiàn),節(jié)約成本,也節(jié)省時間,從而達到提高工作效率的目的。本發(fā)明優(yōu)選實施例只是用于幫助闡述本發(fā)明。優(yōu)選實施例并沒有詳盡敘述所有的 細節(jié),也不限制該發(fā)明僅為所述的具體實施方式
。顯然,根據(jù)本說明書的內(nèi)容,可作很多的 修改和變化。本說明書選取并具體描述這些實施例,是為了更好地解釋本發(fā)明的原理和實 際應用,從而使所屬技術(shù)領(lǐng)域技術(shù)人員能很好地利用本發(fā)明。本發(fā)明僅受權(quán)利要求書及其 全部范圍和等效物的限制。
權(quán)利要求
一種定位精確的單晶切方機,包括數(shù)控機床、可在數(shù)控機床上移動的單晶定位模板,設置在所述單晶定位模板四周的四組主軸,該些主軸上各設置一用于在一個方向上切割單晶的鋼絲,其特征在于,該些主軸上設置有多個鋼絲槽,所述鋼絲可移動地設置在對應的主軸的鋼絲槽內(nèi),兩相鄰的鋼絲槽之間間距固定;所述數(shù)控機床的面板上在邊緣位置各設置有一定位銷,所述單晶定位模板上兩側(cè)分別設置有一組定位銷孔,每組定位銷孔中各定位銷孔中心位于同一直線上,該直線與所述鋼絲所在直線成45度夾角,數(shù)目與每個主軸的鋼絲槽數(shù)目相同,兩相鄰的定位銷孔中心之間間距為鋼絲槽間距的倍。FSA00000237982500011.tif
2.如權(quán)利要求1所述的單晶切方機,其特征在于,所述單晶定位模板通過所述定位銷 孔與數(shù)控機床上的定位銷固定。
3.如權(quán)利要求1所述的單晶切方機,其特征在于,所述些定位銷孔尺寸相同,并且與所 述定位銷尺寸相配合。
4.如權(quán)利要求1-3任意一項所述的單晶切方機,其特征在于,所述單晶定位模板在與 鋼絲呈45度的方向上移動。
5.如權(quán)利要求1所述的單晶切方機,其特征在于,所述定位銷孔旁邊與所述鋼絲槽旁 標注有對應的編號,該些編號為數(shù)字、英文字母或其他符號之一。
全文摘要
本發(fā)明提供一種定位精確的單晶切方機,包括數(shù)控機床、可在數(shù)控機床上移動的單晶定位模板,設置在單晶定位模板四周的四組主軸,主軸上各設置用于在一個方向上切割單晶的鋼絲,主軸上設置有多個鋼絲槽,鋼絲可移動地設置在對應的主軸的鋼絲槽內(nèi),兩相鄰的鋼絲槽之間間距固定;數(shù)控機床的面板設置有一定位銷,單晶定位模板兩側(cè)分別設置一組定位銷孔,每組定位銷孔中各定位銷孔中心位于同一直線上,該直線與所述鋼絲所在直線成45度夾角,數(shù)目與每個主軸的鋼絲槽數(shù)目相同,兩相鄰的定位銷孔中心之間間距為鋼絲槽間距的倍。首先,本發(fā)明提供的單晶切方機,可以精確完成定位,節(jié)約成本,也節(jié)省時間,從而達到提高工作效率的目的。
文檔編號B28D5/04GK101973082SQ20101025917
公開日2011年2月16日 申請日期2010年8月20日 優(yōu)先權(quán)日2010年8月20日
發(fā)明者葉國卿, 賀賢漢 申請人:上海漢虹精密機械有限公司;上海申和熱磁電子有限公司
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