專(zhuān)利名稱(chēng)：半導(dǎo)體激光線(xiàn)陣及迭陣的微通道熱沉化學(xué)清洗裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于半導(dǎo)體光電子學(xué)技術(shù)領(lǐng)域，涉及半導(dǎo)體激光線(xiàn)陣和迭陣熱沉化學(xué)清洗裝置。
背景技術(shù)：
目前高功率半導(dǎo)體激光線(xiàn)陣和迭陣所面臨的主要問(wèn)題是其低的性能價(jià)格比，即激光線(xiàn)陣、迭陣的性能低(功率、效率、可靠性和穩(wěn)定性、一致性等)，而制作成本(即售價(jià))卻很高，這在很大程度上限制了其實(shí)際應(yīng)用。激光線(xiàn)陣和迭陣的性能除與外延材料有關(guān)以外，還與激光線(xiàn)陣和迭陣工藝有關(guān)，如熱沉清洗、拋光等工藝。
目前國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體激光線(xiàn)陣、迭陣的微通道熱沉清洗采用手工操作方式，重復(fù)性很差。手工操作即操做者用鑷子將微通道熱沉放到容器里，一般是直立放置，直立擺放完微通道熱沉后才能倒入腐蝕液；倒腐蝕液時(shí)有時(shí)腐蝕液會(huì)濺到微通道熱沉上，導(dǎo)致熱沉表面損傷，平整度受到影響，熱沉的散熱也同時(shí)受到影響。待腐蝕完后，要用鑷子一個(gè)一個(gè)的取出來(lái)放到去離子水里。這樣每個(gè)微通道熱沉腐蝕的時(shí)間是不一樣的，腐蝕的效果就不一樣。另外，手工操作存在的缺點(diǎn)還有擺動(dòng)微通道熱沉進(jìn)行腐蝕時(shí)，腐蝕液會(huì)進(jìn)入到微通道的通道口，腐蝕到微通道致使微通道通道內(nèi)變形，造成水流不通暢致使激光線(xiàn)陣、迭陣散熱不理想，成品率下降；另外在清洗過(guò)程中，當(dāng)用去離子水清洗時(shí)，由于放到一個(gè)容器里，微通道熱沉之間會(huì)發(fā)生碰撞，平整度受到破壞，給微通道熱沉散熱和芯片的焊接帶來(lái)影響，因?yàn)樾酒瑮l非常小、易碎，如若不能與熱沉均勻接觸，使激光線(xiàn)陣、迭陣的穩(wěn)定性、可靠性和壽命都受到嚴(yán)重影響。

發(fā)明內(nèi)容
針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)手工操作方式存在的腐蝕液損傷熱沉表面、腐蝕微通道、清洗時(shí)微通道熱沉之間發(fā)生碰撞導(dǎo)致平整度受到破壞及每個(gè)熱沉腐蝕時(shí)間不一致的問(wèn)題，本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體激光線(xiàn)陣及迭陣的微通道熱沉化學(xué)清洗裝置，在腐蝕前將多個(gè)微通道熱沉水平對(duì)齊安裝在清洗裝置上，然后通過(guò)高度調(diào)節(jié)裝置使微通道熱沉浸入腐蝕液適當(dāng)深度，腐蝕液只能腐蝕到微通道熱沉浸入腐蝕液中的部分，提高了微通道熱沉的腐蝕質(zhì)量和成品率；用去離子水清洗時(shí)，微通道熱沉不會(huì)因發(fā)生碰撞使平整度受到破壞；并且在相同的時(shí)間內(nèi)可以一次性完成多個(gè)微通道熱沉的清洗，提高了多個(gè)微通道熱沉腐蝕效果的一致性和清洗效率。
本發(fā)明包括底座1，支架2，滑塊11，升降調(diào)節(jié)桿3，微調(diào)旋鈕10，第一橡膠板4，第二橡膠板5，第三橡膠板6，魚(yú)夾7；支架2固定在底座1的邊緣，升降調(diào)節(jié)桿3垂直安裝在支架2的上端；滑塊11與升降調(diào)節(jié)桿3活動(dòng)連接，微調(diào)旋鈕10固定安裝在滑塊11上并與升降調(diào)節(jié)桿3動(dòng)連接，調(diào)節(jié)微調(diào)旋鈕10可以使滑塊11相對(duì)于升降調(diào)節(jié)桿3上下滑動(dòng)；第一橡膠板4固定在滑塊11上，第二橡膠板5與第一橡膠板4活動(dòng)連接；第三橡膠板6與第二橡膠板5的固定連接；所有魚(yú)夾7以相同高度水平排列安裝在第三橡膠板6的兩側(cè)。
使用本發(fā)明清洗熱沉包括以下步驟將第二橡膠板5從第一橡膠板4上移動(dòng)下來(lái)；用鑷子將要清洗的微通道熱沉放到魚(yú)夾7上夾緊；將第二橡膠板5重新安裝到第一橡膠板4上適當(dāng)高度，并將兩者相對(duì)位置固定；將腐蝕液倒入容器，容器放置在底座1上；
調(diào)解微調(diào)旋鈕10，將要清洗的熱沉浸沒(méi)到腐蝕液中所需深度；待腐蝕完后，將裝有腐蝕液的容器移走，再在底座1上放置裝有去離子水的容器反復(fù)清洗，直至將腐蝕液去凈為止。
有益效果本發(fā)明可以水平對(duì)齊固定安裝多個(gè)微通道熱沉，并通過(guò)高度調(diào)節(jié)裝置使微通道熱沉浸入腐蝕液適當(dāng)深度，腐蝕液只能腐蝕到微通道熱沉浸入腐蝕液中的部分，提高了微通道熱沉的腐蝕質(zhì)量和成品率；用去離子水清洗時(shí)，微通道熱沉不會(huì)因發(fā)生碰撞使平整度受到破壞；并且在相同的時(shí)間內(nèi)可以一次性完成多個(gè)微通道熱沉的清洗，提高了多個(gè)微通道熱沉腐蝕效果的一致性和清洗效率。
本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、制作成本低，適用于高功率半導(dǎo)體激光線(xiàn)陣、迭陣微通道熱沉及其他熱沉的化學(xué)清洗。


圖1是本發(fā)明立體結(jié)構(gòu)示意圖，也是摘要附圖。圖中1、底座，2、支架，11、滑塊，3、升降調(diào)節(jié)桿，10、微調(diào)旋鈕，4、第一橡膠板，5、第二橡膠板，6、第三橡膠板，7、魚(yú)夾，8、直角型銅片，9、螺釘。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步說(shuō)明，但本發(fā)明不限于這些實(shí)施例。
本發(fā)明底座1、支架2、滑塊11、升降調(diào)節(jié)桿3、微調(diào)旋鈕10采用顯微鏡的底座、支架、滑塊、升降調(diào)節(jié)桿、微調(diào)旋鈕；第一橡膠板4水平放置，其一端用螺釘與滑塊11固定聯(lián)接；第二橡膠板5的一側(cè)通過(guò)梯形槽與第一橡膠板4的另一端插接，并用螺釘9將兩者相對(duì)位置固定；第三橡膠板6的上部分用螺釘與第二橡膠板5另一側(cè)固定聯(lián)接，其下部分兩側(cè)以相同高度水平排列魚(yú)夾7；為了能夠穩(wěn)定地夾住微通道熱沉，在魚(yú)夾7上用上下兩個(gè)螺釘固定直角型銅片8。調(diào)節(jié)微調(diào)旋鈕10時(shí)注意觀察微通道熱沉浸沒(méi)的深度，浸沒(méi)深度根據(jù)清洗液液面與魚(yú)夾7的相對(duì)位置判斷。浸沒(méi)深度應(yīng)保證清洗液不至于浸沒(méi)到微通道里，腐蝕微通道。腐蝕完后，將腐蝕液移走，用去離子水反復(fù)清洗20次，最后放入到MOS級(jí)乙醇里，清洗完畢。
第一橡膠板4、第二橡膠板5、第三橡膠板6均可由金屬材料(鑄鐵、銅、無(wú)氧銅)、塑料或者橡膠制成。
權(quán)利要求
1.一種半導(dǎo)體激光線(xiàn)陣及迭陣的微通道熱沉化學(xué)清洗裝置，其特征在于包括底座(1)，支架(2)，滑塊(11)，升降調(diào)節(jié)桿(3)，微調(diào)旋鈕(10)，第一橡膠板(4)，第二橡膠板(5)，第三橡膠板(6)，魚(yú)夾(7)；支架(2)固定在底座(1)的邊緣，升降調(diào)節(jié)桿(3)垂直安裝在支架(2)的上端；滑塊(11)與升降調(diào)節(jié)桿(3)活動(dòng)連接，微調(diào)旋鈕(10)固定安裝在滑塊(11)上并與升降調(diào)節(jié)桿(3)動(dòng)連接；第一橡膠板(4)固定在滑塊(11)上，第二橡膠板(5)與第一橡膠板(4)活動(dòng)連接；第三橡膠板(6)與第二橡膠板(5)的固定連接；所有魚(yú)夾(7)以相同高度水平排列安裝在第三橡膠板(6)的兩側(cè)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體激光線(xiàn)陣及迭陣的微通道熱沉化學(xué)清洗裝置，其特征在于第二橡膠板(5)的一側(cè)通過(guò)梯形槽與第一橡膠板(4)的另一端插接，并用螺釘(9)將兩者相對(duì)位置固定。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體激光線(xiàn)陣及迭陣的微通道熱沉化學(xué)清洗裝置，其特征在于魚(yú)夾(7)上固定直角型銅片(8)。
全文摘要
本發(fā)明屬于半導(dǎo)體光電子學(xué)技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種半導(dǎo)體激光線(xiàn)陣及迭陣的微通道熱沉化學(xué)清洗裝置，包括底座，支架，滑塊，升降調(diào)節(jié)桿，微調(diào)旋鈕，第一橡膠板，第二橡膠板，第三橡膠板，魚(yú)夾；通過(guò)調(diào)節(jié)微調(diào)旋鈕可以使滑塊相對(duì)于升降調(diào)節(jié)桿上下滑動(dòng)，帶動(dòng)第三橡膠板上以相同高度水平排列安裝的魚(yú)夾上下移動(dòng)，從而使夾緊在魚(yú)夾上的微通道熱沉浸入腐蝕液適當(dāng)深度，提高了微通道熱沉的腐蝕質(zhì)量和成品率；并且在相同的時(shí)間內(nèi)可以一次性完成多個(gè)微通道熱沉的清洗，提高了多個(gè)微通道熱沉腐蝕效果的一致性和清洗效率。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、制作成本低，適用于高功率半導(dǎo)體激光線(xiàn)陣、迭陣微通道熱沉及其他熱沉的化學(xué)清洗。
文檔編號(hào)B08B3/08GK101079534SQ20071005578
公開(kāi)日2007年11月28日 申請(qǐng)日期2007年6月20日 優(yōu)先權(quán)日2007年6月20日
發(fā)明者劉云, 王立軍, 李再金, 姚迪 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所