技術(shù)編號：1477246
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于半導(dǎo)體光電子學(xué)，涉及半導(dǎo)體激光線陣和迭陣熱沉化學(xué)清洗裝置。背景技術(shù)目前高功率半導(dǎo)體激光線陣和迭陣所面臨的主要問題是其低的性能價格比，即激光線陣、迭陣的性能低(功率、效率、可靠性和穩(wěn)定性、一致性等)，而制作成本(即售價)卻很高，這在很大程度上限制了其實際應(yīng)用。激光線陣和迭陣的性能除與外延材料有關(guān)以外，還與激光線陣和迭陣工藝有關(guān)，如熱沉清洗、拋光等工藝。目前國內(nèi)半導(dǎo)體激光線陣、迭陣的微通道熱沉清洗采用手工操作方式，重復(fù)性很差。手工操作即操做者用鑷子將...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。