專利名稱：一種石英舟的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種用于太陽(yáng)能電池生產(chǎn)的石英舟載具，特別是涉及太陽(yáng)能電池生產(chǎn)中氧化擴(kuò)散工藝用的一種石英舟。
背景技術(shù)：
目前，太陽(yáng)能電池是一種現(xiàn)今大規(guī)模使用 的清潔能源。在太陽(yáng)能電池的制造生產(chǎn)過(guò)程中，提高太陽(yáng)能的轉(zhuǎn)換效率，增加單體時(shí)間內(nèi)的產(chǎn)能，及降低制造成本是該領(lǐng)域內(nèi)的重點(diǎn)。氧化擴(kuò)散工藝是太陽(yáng)能電池制造過(guò)程中的關(guān)鍵工序，該工藝使用的設(shè)備常采用水平管式爐，其涉及到一種放置于爐管中裝載硅片的石英舟，可用于800-1100度高溫處理。石英舟包括卡槽棒和支撐卡槽棒的支架，在卡槽棒上均布設(shè)有固定娃片的卡槽，能使娃片豎直放置，間隔均勻，充分與工藝氣體反應(yīng)。由于爐管內(nèi)恒溫區(qū)的長(zhǎng)度限制，常用的石英舟長(zhǎng)度為800mm-1300mm,其中卡槽個(gè)數(shù)在150-250個(gè),卡槽與卡槽間距為4. 76mm,卡槽的寬度可容納2片硅片。當(dāng)每個(gè)卡槽內(nèi)放置2片硅片時(shí)，每舟單位時(shí)間內(nèi)的產(chǎn)能達(dá)到最大，但這種放置方式會(huì)使得最終的電池片成品的光電轉(zhuǎn)換效率降低；若每個(gè)卡槽內(nèi)放置I片硅片時(shí)，會(huì)利于電池片的光電轉(zhuǎn)換效率，但這樣使得單位時(shí)間內(nèi)的產(chǎn)能減半。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種石英舟，既能滿足高產(chǎn)能的需要，且電池片的光電轉(zhuǎn)換效率高。本實(shí)用新型解決技術(shù)問(wèn)題采用的技術(shù)方案是一種石英舟，包括卡槽棒和支撐卡槽棒的支架，所述卡槽棒上設(shè)有固定硅片的卡槽，所述卡槽棒包括一對(duì)左右平行設(shè)置的上卡槽棒和一對(duì)左右平行設(shè)置的下卡槽棒，所述上卡槽棒之間的間距大于下卡槽棒之間的間距；所述卡槽均布設(shè)置于卡槽棒內(nèi)側(cè)上部的棱邊上，所述各卡槽之間的間距為2mm 3mm,所述卡槽的寬度為0. 35mm 0. 45mm ;在同一橫截面上,左側(cè)上卡槽棒所設(shè)卡槽的底面和下卡槽棒所設(shè)相應(yīng)卡槽的底面的連接線以及右側(cè)上卡槽棒所設(shè)卡槽的底面和下卡槽棒所設(shè)相應(yīng)卡槽的底面的連接線向下延伸后相交構(gòu)成90°角。作為一種優(yōu)選，所述卡槽兩側(cè)邊的頂部設(shè)有倒角，所述卡槽兩側(cè)邊頂部的倒角為50。 70。之間。本實(shí)用新型的有益效果是縮短卡槽之間的間距及卡槽的寬度，增加卡槽的個(gè)數(shù)，確保每片硅片放置在單獨(dú)的卡槽內(nèi)，利于提高其最終的光電轉(zhuǎn)換效率，且能兼顧產(chǎn)能。卡槽兩側(cè)邊頂部設(shè)計(jì)成倒角，方便了硅片在卡槽上的取放。

圖I為本實(shí)用新型實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例卡槽在卡槽棒上的位置示意圖。[0010]圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例硅片安裝后的示意圖。
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步說(shuō)明。
具體實(shí)施方式
如圖I、圖2所示，一種石英舟，包括卡槽棒和支撐卡槽棒的支架I，該卡槽棒包括一對(duì)左右平行設(shè)置的上卡槽棒3和一對(duì)左右平行設(shè)置的下卡槽棒4,上卡槽棒3和下卡槽棒4在同一水平面內(nèi)平行放置，且上卡槽棒3之間的間距大于下卡槽棒4之間的間距；卡槽2均布設(shè)置于卡槽棒內(nèi)側(cè)上部的棱邊上，各卡槽2之間的間距為2. 38mm，各卡槽2的寬度為
0.4mm。在同一橫截面上,左側(cè)上卡槽棒3所設(shè)卡槽的底面和下卡槽棒4所設(shè)相應(yīng)卡槽的底面的連接線以及右側(cè)上卡槽棒3所設(shè)卡槽的底面和下卡槽棒4所設(shè)相應(yīng)卡槽的底面的連接線向下延伸后相交構(gòu)成90°角。在卡槽2兩側(cè)邊的頂部設(shè)有60°的倒角5。 圖3為本實(shí)用新型將硅片6安裝后的側(cè)面示意圖。
權(quán)利要求1.一種石英舟，包括卡槽棒和支撐卡槽棒的支架(I )，所述卡槽棒上設(shè)有固定硅片(6)的卡槽(2)，其特征在于所述卡槽棒包括一對(duì)左右平行設(shè)置的上卡槽棒(3)和一對(duì)左右平行設(shè)置的下卡槽棒(4)，所述上卡槽棒(3)之間的間距大于下卡槽棒(4)之間的間距；所述卡槽(2)均布設(shè)置于卡槽棒內(nèi)側(cè)上部的棱邊上,所述各卡槽(2)之間的間距為2mm 3mm,所述卡槽(2)的寬度為O. 35mm O. 45mm ;在同一橫截面上,左側(cè)上卡槽棒(3)所設(shè)卡槽的底面和下卡槽棒(4)所設(shè)相應(yīng)卡槽的底面的連接線以及右側(cè)上卡槽棒(3)所設(shè)卡槽的底面和下卡槽棒(4)所設(shè)相應(yīng)卡槽的底面的連接線向下延伸后相交構(gòu)成90°角。
2.如權(quán)利要求I所述的一種石英舟，其特征在于所述卡槽(2)兩側(cè)邊的頂部設(shè)有倒角(5)，所述卡槽(2)兩側(cè)邊頂部的倒角為50° 70。之間。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種石英舟，包括卡槽棒和支撐卡槽棒的支架，所述卡槽棒上設(shè)有固定硅片的卡槽，所述卡槽棒包括一對(duì)左右平行設(shè)置的上卡槽棒和一對(duì)左右平行設(shè)置的下卡槽棒，所述上卡槽棒之間的間距大于下卡槽棒之間的間距；所述卡槽均布設(shè)置于卡槽棒內(nèi)側(cè)上部的棱邊上，所述各卡槽之間的間距為2mm～3mm，所述卡槽的寬度為0.35mm～0.45mm；在同一橫截面上，左側(cè)上卡槽棒所設(shè)卡槽的底面和下卡槽棒所設(shè)相應(yīng)卡槽的底面的連接線以及右側(cè)上卡槽棒所設(shè)卡槽的底面和下卡槽棒所設(shè)相應(yīng)卡槽的底面的連接線向下延伸后相交構(gòu)成90°角。本實(shí)用新型既能滿足高產(chǎn)能的需要，且電池片的光電轉(zhuǎn)換效率高。
文檔編號(hào)H01L21/673GK202513132SQ20122014350
公開(kāi)日2012年10月31日 申請(qǐng)日期2012年4月9日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月9日
發(fā)明者查超麟, 梅曉東, 湯安民, 沈艷, 鄭金彩 申請(qǐng)人:浙江晶科能源有限公司