一種石英舟的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種石英舟，包括兩個(gè)固定框架及連接于所述兩個(gè)固定框架之間的兩個(gè)底部支撐桿和兩個(gè)側(cè)部支撐桿，底部支撐桿和側(cè)部支撐桿平行設(shè)置，其特征在于：側(cè)部支撐桿的內(nèi)側(cè)壁上沿其長(zhǎng)度方向間隔設(shè)有若干個(gè)垂直貫通的第一插槽，底部支撐桿的上壁上沿其長(zhǎng)度方向間隔設(shè)有若干個(gè)水平貫通的第二插槽，第二插槽與第一插槽一一對(duì)應(yīng)并構(gòu)成固定太陽能電池片的限位機(jī)構(gòu)；第二插槽包括第二U型槽和兩個(gè)第二傾斜面，兩個(gè)所述第二傾斜面向外傾斜地對(duì)稱設(shè)置在第二U型槽的槽口兩側(cè)兩個(gè)第二傾斜面所在的平面間的夾角α為55°～65°，相鄰第二U型槽的對(duì)稱面的間距l(xiāng)1為3～3.5mm。本石英舟采用雙面擴(kuò)散，適用于工藝衛(wèi)生條件不足的環(huán)境。
【專利說明】一種石英舟

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種載具，具體涉及一種石英舟，屬于晶體硅太陽能電池【技術(shù)領(lǐng)域】，用于太陽能電池制作過程中的擴(kuò)散工序。

【背景技術(shù)】
[0002]石英舟是擴(kuò)散工藝的必備工具，無論是半導(dǎo)體器件的擴(kuò)散，還是太陽能工藝的擴(kuò)散都大量使用石英器件做為載體，石英舟耐高溫不變形，不污染器件而且能重復(fù)使用，尤其是近幾年來由于太陽能產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展，人們使用石英舟的式樣也越來越多。
[0003]石英舟是一種用于承載太陽能電池片的夾具，太陽能電池插放于石英舟上后，將承載太陽能電池片的石英舟放入擴(kuò)散爐的反應(yīng)腔中進(jìn)行擴(kuò)散制造。因此，石英舟是擴(kuò)散時(shí)的常用用具，擴(kuò)散是制造太陽能電池光電轉(zhuǎn)換核心部件-PN結(jié)的工藝環(huán)節(jié)，是太陽能電池制造的關(guān)鍵技術(shù)。目前產(chǎn)線擴(kuò)散工段使用三氯氧磷的磷原子向硅片表面進(jìn)行擴(kuò)散，現(xiàn)在產(chǎn)線使用的正常石英舟擁有100個(gè)卡槽，進(jìn)行的是單面擴(kuò)散，每個(gè)卡槽里插入兩片硅片，也就是一個(gè)石英舟能插入200片硅片。但是單面擴(kuò)散對(duì)于產(chǎn)線的潔凈度要求非常高，這就要求生產(chǎn)車間具有嚴(yán)格的工藝衛(wèi)生條件，從而致使現(xiàn)有石英舟的使用具有限制性，不能適用于所用工藝衛(wèi)生條件的生產(chǎn)車間。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0004]本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是針對(duì)技術(shù)現(xiàn)狀提供一種對(duì)工作衛(wèi)生條件無苛刻要求的使用雙面擴(kuò)散的石英舟，該石英舟在較差的工藝衛(wèi)生條件下同樣具有理想的轉(zhuǎn)化效率。
[0005]本實(shí)用新型解決上述技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案為:一種石英舟，包括兩個(gè)固定框架及連接于所述兩個(gè)固定框架之間的兩根底部支撐桿和兩根側(cè)部支撐桿，所述底部支撐桿與側(cè)部支撐桿平行設(shè)置，其特征在于:所述側(cè)部支撐桿的內(nèi)側(cè)壁上沿其長(zhǎng)度方向間隔設(shè)有若干個(gè)垂直貫通的第一插槽，所底部支撐桿的上壁上沿其長(zhǎng)度方向間隔設(shè)有若干個(gè)水平貫通的第二插槽，所述第二插槽與第一插槽一一對(duì)應(yīng)并構(gòu)成固定太陽能電池片的限位機(jī)構(gòu)；
[0006]所述第二插槽包括第二 U型槽和兩個(gè)第二傾斜面，兩個(gè)所述第二傾斜面設(shè)置在所述第二 U型槽的槽口兩側(cè)并向外傾斜，兩個(gè)所述第二傾斜面以所述第二 U型槽的中心縱截面為對(duì)稱面對(duì)稱設(shè)置，兩個(gè)所述第二傾斜面間的夾角α為55°?65°，相鄰第二 U型槽的對(duì)稱面之間的距離11為3?3.5mm。
[0007]優(yōu)選的，兩個(gè)所述第二傾斜面間的夾角α為60°，相鄰兩個(gè)第二 U型槽的對(duì)稱面之間的距離11為3.34mm。
[0008]優(yōu)選的，所述第二 U型槽的寬度dl為0.8mm。
[0009]優(yōu)選的，所述第二傾斜面頂端到第二 U型槽的底部之間的距離，即第二插槽的槽深12為3_。
[0010]優(yōu)選的，所述側(cè)部支撐桿為圓柱體，所述第一插槽包括第一 U型槽和兩個(gè)第一傾斜面，兩個(gè)所述第一傾斜面設(shè)置在所述第一 U型槽的槽口兩側(cè)并向外傾斜，兩個(gè)所述第一傾斜面以所述第一 U型槽的中心縱截面為對(duì)稱面對(duì)稱設(shè)置，兩個(gè)所述第一傾斜面的外廓線所在圓弧的延長(zhǎng)線的交點(diǎn)與第一傾斜面的外廓線的中點(diǎn)之間的連線間的夾角β為3°
[0011]優(yōu)選的，所述第一 U型槽的寬度d2為0.8mm。
[0012]優(yōu)選的，所述側(cè)部支撐桿和底部支撐桿分別為直徑為14mm的圓柱體。
[0013]優(yōu)選的，所述底部支撐桿為兩根，并且，兩根所述底部支撐桿的中心軸線間的距離13 為 31.8mm ?32.2mm。
[0014]優(yōu)選的，所述側(cè)部支撐桿為兩根，并且，兩根側(cè)部支撐桿的中心軸線間的距離14為 165.9mm ?166.1mnin
[0015]優(yōu)選的，所述第一插槽和第二插槽的個(gè)數(shù)分別為150個(gè)，可以增大擴(kuò)散產(chǎn)量。
[0016]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于:本石英舟調(diào)整了了用于限定太陽能電池片位置的插槽(包括第一插槽和第二插槽)的寬度和相鄰插槽間的距離，沒對(duì)限位機(jī)構(gòu)(即一一對(duì)應(yīng)的第一插槽和第二插槽)內(nèi)只插放一片太陽能電池片，從而將現(xiàn)有的單面擴(kuò)散變?yōu)殡p面擴(kuò)散，本采用雙面擴(kuò)散的石英舟可適用于工藝衛(wèi)生條件較差的生產(chǎn)車間，而且在同等工藝衛(wèi)生條件下，本石英舟的轉(zhuǎn)化效率要比采用單面擴(kuò)散的傳統(tǒng)石英舟高出0.2%左右，同時(shí)還可保持?jǐn)U散方塊電阻的穩(wěn)定性。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0017]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例石英舟的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例石英舟的側(cè)視圖；
[0019]圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例石英舟從固定框架方向看去的縱向剖視圖；
[0020]圖4為圖2中A的放大示意圖；
[0021]圖5為圖2中B的放大示意圖；
[0022]圖6為圖2中A的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖7為圖2中B的結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0024]以下結(jié)合附圖實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)描述。
[0025]本實(shí)施例的石英舟，如圖1至圖7所示，包括兩個(gè)固定框架I及連接于兩個(gè)固定框架I之間的兩根底部支撐桿3和兩根側(cè)部支撐桿2，底部支撐桿3與側(cè)部支撐桿2平行設(shè)置，側(cè)部支撐桿2的內(nèi)側(cè)壁上沿其長(zhǎng)度方向間隔設(shè)有若干個(gè)垂直貫通的第一插槽，底部支撐桿3的上壁上沿其長(zhǎng)度方向間隔設(shè)有若干個(gè)水平貫通的第二插槽，第二插槽與第一插槽一一對(duì)應(yīng)并構(gòu)成固定太陽能電池片的限位機(jī)構(gòu)；第二插槽包括第二 U型槽6和兩個(gè)第二傾斜面7，兩個(gè)第二傾斜面7設(shè)置在第二 U型槽6的槽口兩側(cè)并向外傾斜，兩個(gè)第二傾斜面7以第二 U型槽6的中心縱截面為對(duì)稱面對(duì)稱設(shè)置，兩個(gè)第二傾斜面7所在平面間的夾角α為55°?65°，優(yōu)選為60°，相鄰兩個(gè)第二 U型槽6的間距11為3?3.5mm，優(yōu)選為3.34mm，本實(shí)施例中，11指相鄰兩個(gè)第二 U型槽6的對(duì)稱面之間的距離。第一插槽和第二插槽的個(gè)數(shù)分別為150個(gè)。
[0026]第二 U型槽6的寬度dl為0.8mm,第二傾斜面7頂端到第二 U型槽6的底部之間的距離，即第二插槽的槽深12為3mm。
[0027]第一插槽包括第一 U型槽4和兩個(gè)第一傾斜面5，兩個(gè)第一傾斜面5設(shè)置在第一 U型槽4的槽口兩側(cè)并向外傾斜，兩個(gè)第一傾斜面5以第一 U型槽4的中心縱截面為對(duì)稱面對(duì)稱設(shè)置，兩個(gè)第一傾斜面5的外廓線所在圓弧的延長(zhǎng)線的交點(diǎn)與第一傾斜面5的外廓線的中點(diǎn)之間的連線間的夾角β為3°，第一 U型槽4的寬度d2為0.8mm。
[0028]側(cè)部支撐桿2和底部支撐桿3分別為直徑為14mm的圓柱體，底部支撐桿3為兩根，并且，兩根底部支撐桿3的中心軸線間的距離13為31.8mm?32.2mm，本實(shí)施例優(yōu)選為32mm0
[0029]側(cè)部支撐桿2為兩根，并且，兩根側(cè)部支撐桿2的中心軸線間的距離14為165.9mm?166.1mm，本實(shí)施例優(yōu)選為166mm。
[0030]以上內(nèi)容僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員，依據(jù)本實(shí)用新型的思想，在【具體實(shí)施方式】及應(yīng)用范圍上均會(huì)有改變之處，本說明書內(nèi)容不應(yīng)理解為對(duì)本實(shí)用新型的限制。
【權(quán)利要求】
1.一種石英舟，包括兩個(gè)固定框架(I)及連接于兩個(gè)所述固定框架(I)之間的兩根底部支撐桿(3)和兩根側(cè)部支撐桿(2)，所述底部支撐桿(3)與側(cè)部支撐桿(2)平行設(shè)置，其特征在于:所述側(cè)部支撐桿(2)的內(nèi)側(cè)壁上沿其長(zhǎng)度方向間隔設(shè)有若干個(gè)垂直貫通的第一插槽，所述底部支撐桿(3)的上壁上沿其長(zhǎng)度方向間隔設(shè)有若干個(gè)水平貫通的第二插槽，所述第二插槽與第一插槽 對(duì)應(yīng)并構(gòu)成固定太陽能電池片的限位機(jī)構(gòu)； 所述第二插槽包括第二 U型槽(6)和兩個(gè)第二傾斜面(7)，兩個(gè)所述第二傾斜面(7)設(shè)置在所述第二 U型槽￠)的槽口兩側(cè)并向外傾斜，兩個(gè)所述第二傾斜面(7)以所述第二 U型槽出)的中心縱截面為對(duì)稱面對(duì)稱設(shè)置，兩個(gè)所述第二傾斜面(7)所在平面間的夾角α為55°?65°，相鄰所述第二 U型槽(6)的對(duì)稱面之間的距離11為3?3.5mm ; 所述側(cè)部支撐桿(2)為圓柱體，所述第一插槽包括第一 U型槽(4)和兩個(gè)第一傾斜面(5)，兩個(gè)所述第一傾斜面(5)設(shè)置在所述第一 U型槽(4)的槽口兩側(cè)并向外傾斜，兩個(gè)所述第一傾斜面(5)以所述第一 U型槽(4)的中心縱截面為對(duì)稱面對(duì)稱設(shè)置，兩個(gè)所述第一傾斜面(5)的外廓線所在圓弧的延長(zhǎng)線的交點(diǎn)與第一傾斜面(5)的外廓線的中點(diǎn)之間的連線間的夾角β為3°。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英舟，其特征在于:兩個(gè)所述第二傾斜面(7)所在的平面間的夾角α為60°，相鄰所述第二 U型槽(6)的對(duì)稱面之間的距離11為3.34mm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英舟，其特征在于:所述第二U型槽￠)的寬度dl為0.8mm η
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英舟，其特征在于:所述第二插槽的槽深12為3mm。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英舟，其特征在于:所述第一U型槽(4)的寬度d2為0.8mm η
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5任一項(xiàng)所述的石英舟，其特征在于:所述側(cè)部支撐桿(2)和底部支撐桿(3)分別為直徑為14mm的圓柱體。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的石英舟，其特征在于:所述底部支撐桿(3)為兩根，并且，兩根所述底部支撐桿⑶的中心軸線間的距離13為31.8mm?32.2mm。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的石英舟，其特征在于:所述側(cè)部支撐桿(2)為兩根，并且，兩根所述側(cè)部支撐桿⑵的中心軸線間的距離14為165.9mm?166.1mm。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英舟，其特征在于:所述第一插槽和所述第二插槽的個(gè)數(shù)分別為150個(gè)。
【文檔編號(hào)】H01L21/673GK204155911SQ201420360483
【公開日】2015年2月11日 申請(qǐng)日期:2014年7月1日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月1日
【發(fā)明者】沈少杰 申請(qǐng)人:蘇州矽美仕綠色新能源有限公司