專利名稱：多功能石英舟的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種石英舟，尤其涉及一種能夠承載不同規(guī)格硅片的多功能石英舟，屬于石英制品技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
石英玻璃制品以其優(yōu)良的物理化學(xué)特性，被廣泛應(yīng)用于微電子產(chǎn)業(yè)集成電路芯片制造業(yè)。石英舟是擴(kuò)散時的常用工具。擴(kuò)散是制造太陽能電池光電轉(zhuǎn)換核心部件-PN結(jié)的工藝環(huán)節(jié)，是太陽能電池制造的關(guān)鍵技術(shù)。現(xiàn)有的石英舟通常在連接桿上開槽為硅片形成一個置放區(qū)間，用于擴(kuò)散時對硅片的承載。如申請?zhí)枮?00920068241. 4的中國實(shí)用新型專利，提供了一種石英舟，它包括支撐框架和支杠組件，支杠組件由安裝在支撐框架上的一對上支杠和一對下支杠共四根支杠組成，該對上支杠由對稱設(shè)置的左上支杠和右上支杠組成，該對下支杠由對稱設(shè)置的左下支杠和右下支杠組成，該對上支杠所在的平面與該對下 支杠所在的平面相平行。該石英舟僅適合承載單種規(guī)格的硅片，當(dāng)需要擴(kuò)散的硅片的大小與上次擴(kuò)散不同時，則需要另外提供一個與之大小相適的石英舟，不僅使用時麻煩，還得配備多種型號的石英舟。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是為解決上述技術(shù)問題，提供一種多功能石英舟，該石英舟可以適應(yīng)各種大小不同的娃片。本發(fā)明的上述技術(shù)目的是通過以下技術(shù)方案得以實(shí)現(xiàn)的
多功能石英舟，包括舟首、舟身和舟尾，所述舟身由縱向構(gòu)件形成，所述縱向構(gòu)件包括龍骨和龍筋，所述龍骨和龍筋上均設(shè)置有成排的卡槽，所述龍骨和龍筋上的卡槽均設(shè)置在內(nèi)上角。本發(fā)明上述技術(shù)方案中，內(nèi)上角的內(nèi)是相對舟體而言的內(nèi)部，內(nèi)上角的上是相對于龍骨或龍筋而言的上方，內(nèi)上角的角則明確了龍骨或龍筋與承載的硅片具有接觸點(diǎn)，該接觸點(diǎn)謂為角。因此，所述卡槽設(shè)置在龍骨或龍筋與承載的硅片的接觸點(diǎn)上，并且該接觸點(diǎn)位于舟體的內(nèi)部并且是龍骨或龍筋的上方。作為上述技術(shù)方案的優(yōu)選，所述舟首和舟尾上均設(shè)置有相同軌槽；所述龍筋有兩個，其中一個龍筋通過所述軌槽活動連接在所述舟首和舟尾上。作為上述技術(shù)方案的一種優(yōu)選，所述軌槽的橫截面為“一”字形。進(jìn)一步的，與所述軌槽活動連接的龍筋，它的軸伸出所述軌槽，并且，其中一端，伸出部分粗于未伸出部分，另一端，未伸出部分粗于伸出部分。作為上述技術(shù)方案的另一種優(yōu)選，所述軌槽的橫截面為“I”字形。作為上述技術(shù)方案的再一種優(yōu)選，所述軌槽的橫截面為“T”字形。作為上述技術(shù)方案的優(yōu)選，所述石英舟還具有4個支撐腳，所述支撐腳設(shè)置在舟首和舟尾的下部。進(jìn)一步的，所述龍骨之間的間距為L，所述支撐腳高度為h，則滿足以下關(guān)系h > 1/2L。通常情況下，L的大小還與硅片尺寸相適應(yīng)，若硅片為圓形，則L大于半徑小于直徑；若硅片為方形，則L通常與邊長相近。作為上述技術(shù)方案的優(yōu)選，所述龍骨和龍筋之間還連接有肋骨。作為上述技術(shù)方案的優(yōu)選，所述石英舟的舟首和舟尾上均設(shè)置有便于兩根紅外線穿透的兩個小孔；所述石英舟的舟首和舟尾上還各設(shè)置有一對把柱，其中一對把柱的下緣還設(shè)置有洼口。本發(fā)明上述技術(shù)方案中，小孔的設(shè)置是讓紅外線可以穿透，所述紅外線可以用于檢測硅片的插槽情況。把柱的設(shè)置是便于石英舟工作時的固定。其中一對把柱上設(shè)有洼口，是便于在擴(kuò)散完成時可以用手把石英舟拿出。綜上所述，本發(fā)明具有以下技術(shù)效果· 本發(fā)明創(chuàng)造性地采用“內(nèi)上角”技術(shù)固定了卡槽的位置，使得硅片的插槽方式較之以往發(fā)生了改變，使得原本石英舟只適應(yīng)一種規(guī)格大小的硅片變成了可以適應(yīng)多種大小規(guī)格的硅片。


圖I是對比例結(jié)構(gòu)示意 圖2是本發(fā)明實(shí)施例一的結(jié)構(gòu)示意 圖3是本發(fā)明實(shí)施例二的結(jié)構(gòu)示意 圖I中，I'-舟首，2'-舟身，3'-舟尾，21'-龍骨，22'-龍筋，201'-卡槽；
圖2中，I-舟首，2-舟身，3-舟尾，21-龍骨，22-龍筋，23-肋骨，201-卡槽，101-支撐腳，103-小孔，104-把柱，1041-洼口 ；
圖3中，I-舟首，2-舟身，3-舟尾，21-龍骨，22-龍筋，23-肋骨，201-卡槽，102-軌槽，211-軸，101-支撐腳，103-小孔，104-把柱，1041-洼口。
具體實(shí)施例方式以下結(jié)合附圖對本發(fā)明做進(jìn)一步的說明。本具體實(shí)施例僅僅是對本發(fā)明的解釋，其并不是對本發(fā)明的限制，本領(lǐng)域技術(shù)人員在閱讀完本說明書后可以根據(jù)需要對本實(shí)施例做出任何修改，但只要在本發(fā)明的權(quán)利要求范圍內(nèi)都受到專利法的保護(hù)。對比例
如圖I所示，一種石英舟。包括舟首r、舟身2'和舟尾3'，所述舟身2'由縱向構(gòu)件形成，所述縱向構(gòu)件包括龍骨21'和龍筋22'，所述龍骨21'和龍筋22'上均設(shè)置有成排的卡槽201'。實(shí)施例一
如圖2所不,多功能石英舟，包括舟首I、舟身2和舟尾3,所述舟身2由縱向構(gòu)件形成，所述縱向構(gòu)件包括龍骨21和龍筋22，所述龍骨21和龍筋22上均設(shè)置有成排的卡槽201，所述龍骨21和龍筋22上的卡槽201均設(shè)置在內(nèi)上角。所述石英舟還具有4個支撐腳101，所述支撐腳101設(shè)置在舟首I和舟尾3的下部。所述龍骨21之間的間距為L，所述支撐腳101高度為h，則滿足以下關(guān)系h > 1/2L。通常情況下，L的大小還與硅片尺寸相適應(yīng)，若硅片為圓形，則L大于半徑小于直徑；若硅片為方形，則L通常與邊長相近。所述龍骨21和龍筋22之間還連接有肋骨。所述石英舟的舟首I和舟尾3上均設(shè)置有便于兩根紅外線穿透的兩個小孔103 ;所述石英舟的舟首I和舟尾3上還各設(shè)置有一對把柱104，其中一對把柱104的下緣還設(shè)置有洼口 1041。 實(shí)施例二
如圖3所不,多功能石英舟，包括舟首 I、舟身2和舟尾3,所述舟身2由縱向構(gòu)件形成，所述縱向構(gòu)件包括龍骨21和龍筋22，所述龍骨21和龍筋22上均設(shè)置有成排的卡槽201，所述龍骨21和龍筋22上的卡槽201均設(shè)置在內(nèi)上角。所述舟首I和舟尾3上均設(shè)置有相同軌槽102 ;所述龍筋22有兩個，其中一個龍筋22通過所述軌槽102活動連接在所述舟首I和舟尾3上。所述軌槽102的橫截面為“一”字形。與所述軌槽102活動連接的龍筋22，它的軸211伸出所述軌槽102，并且，其中一端，伸出部分粗于未伸出部分，另一端，未伸出部分粗于伸出部分，由于該設(shè)置，便可以通過橫向平移該龍筋22調(diào)整龍筋22之間的距離，以適應(yīng)不同形狀的硅片的承載；通過縱向平移該龍筋22使所述龍筋22與舟首I和舟尾3預(yù)緊。所述石英舟還具有4個支撐腳101，所述支撐腳101設(shè)置在舟首I和舟尾3的下部。所述龍骨21之間的間距為L，所述支撐腳101高度為h，則滿足以下關(guān)系h > 1/2L?，F(xiàn)有技術(shù)中由于硅片是邊與水平面平行的方式放置的，因此不需要這個設(shè)置，而本發(fā)明中，由于硅片相對于現(xiàn)有技術(shù)轉(zhuǎn)過一定角度放置，如圖3所示，因此會有一部分伸出石英舟底部，如此設(shè)置便是為了避免在硅片插入時由于底部被頂住而無法插入的情況發(fā)生。通常情況下，L的大小還與娃片尺寸相適應(yīng)，若娃片為圓形，則L大于半徑小于直徑；若娃片為方形,則L通常與邊長相近。如此設(shè)置，不僅是適應(yīng)與固定一定范圍大小的硅片，還能增強(qiáng)硅片插入后的穩(wěn)定性。所述龍骨21和龍筋22之間還連接有肋骨。所述石英舟的舟首I和舟尾3上均設(shè)置有便于兩根紅外線穿透的兩個小孔103 ;所述石英舟的舟首I和舟尾3上還各設(shè)置有一對把柱104，其中一對把柱104的下緣還設(shè)置有洼口 1041。在本技術(shù)領(lǐng)域里，洼口 1041的設(shè)置就可以有效減輕工人的勞動強(qiáng)度，而且只需要在其中一對把柱104上設(shè)置所述哇口1041即可。
權(quán)利要求
1.多功能石英舟，包括舟首(I)、舟身(2)和舟尾(3)，所述舟身(2)由縱向構(gòu)件形成，所述縱向構(gòu)件包括龍骨(21)和龍筋(22)，所述龍骨(21)和龍筋(22)上均設(shè)置有成排的卡槽(201)，其特征在于所述龍骨(21)和龍筋(22)上的卡槽(201)均設(shè)置在內(nèi)上角。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的多功能石英舟，其特征在于所述舟首(I)和舟尾(3)上均設(shè)置有相同軌槽(102);所述龍筋(22)有兩個，其中一個龍筋通過所述軌槽(102)活動連接在所述舟首(I)和舟尾(3 )上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的多功能石英舟，其特征在于所述軌槽(102)的橫截面為“一”字形。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的多功能石英舟，其特征在于與所述軌槽(102)活動連接的龍筋(21)，它的軸(211)伸出所述軌槽(102)，并且，其中一端的伸出部分粗于未伸出部分，另一端的未伸出部分粗于伸出部分。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的多功能石英舟，其特征在于所述軌槽(102)的橫截面為“I”字形。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的多功能石英舟，其特征在于所述軌槽(102)的橫截面為“T”字形。
7.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的多功能石英舟，其特征在于所述石英舟還具有4個支撐腳(101)，所述支撐腳(101)設(shè)置在舟首(I)和舟尾(3 )的下部。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的多功能石英舟，其特征在于所述龍骨(21)之間的間距為L，所述支撐腳(101)高度為h，則滿足以下關(guān)系h > 1/2L。
9.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的多功能石英舟，其特征在于所述龍骨(21)和龍筋(22)之間還連接有肋骨(23)。
10.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的多功能石英舟，其特征在于所述石英舟的舟首(I)和舟尾(3 )上均設(shè)置有兩個小孔(103 );所述石英舟的舟首(I)和舟尾(3 )上還各設(shè)置有一對把柱(104)，其中一對把柱(104)的下緣還設(shè)置有洼口(1041)。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種能夠承載不同規(guī)格硅片的多功能石英舟，屬于石英制品技術(shù)領(lǐng)域。多功能石英舟，包括舟首、舟身和舟尾，所述舟身由縱向構(gòu)件形成，所述縱向構(gòu)件包括龍骨和龍筋，所述龍骨和龍筋上均設(shè)置有成排的卡槽，所述龍骨和龍筋上的卡槽均設(shè)置在內(nèi)上角。本發(fā)明創(chuàng)造性地采用“內(nèi)上角”技術(shù)固定了卡槽的位置，使得硅片的插槽方式較之以往發(fā)生了改變，使得原本石英舟只適應(yīng)一種規(guī)格大小的硅片變成了可以適應(yīng)多種大小規(guī)格的硅片。
文檔編號H01L21/673GK102709219SQ20121007384
公開日2012年10月3日 申請日期2012年3月20日 優(yōu)先權(quán)日2012年3月20日
發(fā)明者宋偉宏, 沈根法, 計斌, 陸建國 申請人:湖州奧博石英科技有限公司