技術(shù)編號(hào)：7077037
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種石英舟，尤其涉及一種能夠承載不同規(guī)格硅片的多功能石英舟，屬于石英制品。背景技術(shù)石英玻璃制品以其優(yōu)良的物理化學(xué)特性，被廣泛應(yīng)用于微電子產(chǎn)業(yè)集成電路芯片制造業(yè)。石英舟是擴(kuò)散時(shí)的常用工具。擴(kuò)散是制造太陽(yáng)能電池光電轉(zhuǎn)換核心部件-PN結(jié)的工藝環(huán)節(jié)，是太陽(yáng)能電池制造的關(guān)鍵技術(shù)。現(xiàn)有的石英舟通常在連接桿上開(kāi)槽為硅片形成一個(gè)置放區(qū)間，用于擴(kuò)散時(shí)對(duì)硅片的承載。如申請(qǐng)?zhí)枮?00920068241. 4的中國(guó)實(shí)用新型專利，提供了一種石英舟，它包括支撐框架和支杠組件...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。