專利名稱：用于集成電路制造的烤箱的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于集成電路制造的烤箱。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有的用于集成電路制造的烤箱通常只具有一個溫控器和一個定時器，在對集成 電路進行烘烤時，只能實現(xiàn)一段式烘烤，及只能設(shè)定一個烘烤溫度及一個烘烤時間，當烤箱 達到所設(shè)的的烘烤溫度時，定時器開始計時，當達到所設(shè)定的烘烤時間后，烤箱停止工作， 完成一段式烘烤。而有些集成電路產(chǎn)品要求具有更高的穩(wěn)定性，此時，就需要對該集成電路進行二 段式烘烤，即當恒定在一個溫度點進行一段時間烘烤后，通過升降溫作業(yè)再進入第二個溫 度點進行一段時間的烘烤，然后才關(guān)閉加熱器執(zhí)行降溫作業(yè)直到室溫。此類經(jīng)過二段式烘 烤的產(chǎn)品穩(wěn)定性更高，可以在更為嚴茍作業(yè)條件下工作。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種可以實現(xiàn)二段式烘烤的用于集成電路制造的烤箱。為達到上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是
一種用于集成電路制造的烤箱，包括箱體、控制所述的烤箱的烘烤過程的控制裝置，所 述的控制裝置包括控制第一烘烤溫度的第一溫控器、控制第一烘烤時間的第一定時器，所 述的控制裝置還包括控制第二烘烤溫度的第二溫控器、控制第二烘烤時間的第二定時器； 所述的用于集成電路制造的烤箱在使用時，所述的第一溫控器感應(yīng)到達到所述的第一烘烤 溫度時，所述的第一定時器開始計時，當達到所述的第一烘烤時間后，所述的用于集成電路 制造的烤箱經(jīng)過升溫或降溫的過程，當所述的第二溫控器感應(yīng)到達到所述的第二烘烤溫度 時，所述的第二定時器開始計時，當達到所述的第二烘烤時間后，所述的烘烤過程結(jié)束。由于上述技術(shù)方案運用，本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列優(yōu)點
由于本發(fā)明的用于集成電路制造的烤箱具有兩個溫控器及兩個定時器，可以通過設(shè)定 兩個烘烤溫度及兩個烘烤時間來實現(xiàn)對集成電路的二段式烘烤，使集成電路產(chǎn)品具有更高 的穩(wěn)定性。


附圖1為本發(fā)明的用于集成電路制造的烤箱的控制電路圖； 附圖2為本發(fā)明的用于集成電路制造的烤箱的控制面板示意圖。
具體實施例方式下面結(jié)合附圖所示的實施例對本發(fā)明作進一步描述。實施例一參見附圖1和附圖2所示。一種用于集成電路制造的烤箱，包括箱體、控制烤箱的烘烤過程的控制裝置，控制裝置包括控制第一烘烤溫度的第一溫控器TX1、控制第一烘烤時間的第一定時器TR1，控制 裝置還包括控制第二烘烤溫度的第二溫控器TX2、控制第二烘烤時間的第二定時器TR2。該用于集成電路制造的烤箱在使用時，第一溫控器TXl感應(yīng)到達到設(shè)定好的第一 烘烤溫度時，第一定時器TRl開始計時，當達到設(shè)定好的第一烘烤時間后，該用于集成電路 制造的烤箱經(jīng)過升溫或降溫的過程，當?shù)诙乜仄鱐X2感應(yīng)到達到設(shè)定好的第二烘烤溫度 時，第二定時器TR2開始計時，當達到第二烘烤時間后，烘烤過程結(jié)束，實現(xiàn)了對集成電路 的二段式烘烤，以使其達到更好的穩(wěn)定性。上述實施例只為說明本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思及特點，其目的在于讓熟悉此項技術(shù)的人 士能夠了解本發(fā)明的內(nèi)容并據(jù)以實施，并不能以此限制本發(fā)明的保護范圍。凡根據(jù)本發(fā)明 精神實質(zhì)所作的等效變化或修飾，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1. 一種用于集成電路制造的烤箱，包括箱體、控制所述的烤箱的烘烤過程的控制裝置， 所述的控制裝置包括控制第一烘烤溫度的第一溫控器、控制第一烘烤時間的第一定時器， 其特征在于所述的控制裝置還包括控制第二烘烤溫度的第二溫控器、控制第二烘烤時間 的第二定時器；所述的用于集成電路制造的烤箱在使用時，所述的第一溫控器感應(yīng)到達到 所述的第一烘烤溫度時，所述的第一定時器開始計時，當達到所述的第一烘烤時間后，所述 的用于集成電路制造的烤箱經(jīng)過升溫或降溫的過程，當所述的第二溫控器感應(yīng)到達到所述 的第二烘烤溫度時，所述的第二定時器開始計時，當達到所述的第二烘烤時間后，所述的烘 烤過程結(jié)束。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于集成電路制造的烤箱，包括箱體、控制烤箱的烘烤過程的控制裝置，控制裝置包括控制第一烘烤溫度的第一溫控器、控制第一烘烤時間的第一定時器，控制裝置還包括控制第二烘烤溫度的第二溫控器、控制第二烘烤時間的第二定時器；用于集成電路制造的烤箱在使用時，第一溫控器感應(yīng)到達到第一烘烤溫度時，第一定時器開始計時，當達到第一烘烤時間后，用于集成電路制造的烤箱經(jīng)過升溫或降溫的過程，當?shù)诙乜仄鞲袘?yīng)到達到第二烘烤溫度時，第二定時器開始計時，當達到第二烘烤時間后，烘烤過程結(jié)束。由于本發(fā)明具有兩個溫控器及兩個定時器，可以通過設(shè)定兩個烘烤溫度及兩個烘烤時間來實現(xiàn)對集成電路的二段式烘烤。
文檔編號G05D23/19GK102074457SQ201010527050
公開日2011年5月25日 申請日期2010年11月2日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月2日
發(fā)明者沈國平 申請人:吳江巨豐電子有限公司