技術編號：6322795
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種用于集成電路制造的烤箱。 背景技術現(xiàn)有的用于集成電路制造的烤箱通常只具有一個溫控器和一個定時器，在對集成 電路進行烘烤時，只能實現(xiàn)一段式烘烤，及只能設定一個烘烤溫度及一個烘烤時間，當烤箱 達到所設的的烘烤溫度時，定時器開始計時，當達到所設定的烘烤時間后，烤箱停止工作， 完成一段式烘烤。而有些集成電路產品要求具有更高的穩(wěn)定性，此時，就需要對該集成電路進行二 段式烘烤，即當恒定在一個溫度點進行一段時間烘烤后，通過升降溫作業(yè)再進入第二個溫 度點進行...
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