技術總結
本發(fā)明提供了一種基板翹曲量的測量裝置及方法，用于測量顯示母板的基板翹曲量，所述顯示母板包括相對而置的第一基板和第二基板，所述測量裝置包括：光源、測量目鏡及處理器；所述光源，用于向所述顯示母板的待測量區(qū)域發(fā)射單色光，形成牛頓環(huán)干涉圖案；所述測量目鏡，用于采集所述牛頓環(huán)干涉圖案，并測量出所述牛頓環(huán)干涉圖案中每條干涉條紋的直徑及對應的級數(shù)；所述處理器，與所述測量目鏡連接，用于根據(jù)每條干涉條紋的直徑、對應的級數(shù)及所述單色光的波長，得到每條干涉條紋處的空氣層厚度，以獲得所述顯示母板的待測量區(qū)域的翹曲量。本發(fā)明能夠判定顯示區(qū)域邊緣處的發(fā)黃程度，進而在制程中對局部發(fā)黃進行監(jiān)控，避免資材浪費。

技術研發(fā)人員：蔣學兵
受保護的技術使用者：京東方科技集團股份有限公司;合肥鑫晟光電科技有限公司
文檔號碼：201610687178
技術研發(fā)日：2016.08.18
技術公布日：2016.12.21