本發(fā)明涉及檢查被排出到被排出體的液滴檢查裝置，利用該液滴檢查裝置的液滴檢查方法、程序和計(jì)算機(jī)存儲介質(zhì)。

背景技術(shù)：

現(xiàn)有技術(shù)中，已知利用有機(jī)el(electroluminescence：場致發(fā)光)的發(fā)光的發(fā)光二極管即有機(jī)發(fā)光二極管(oled：organiclightemittingdiode)。利用該有機(jī)發(fā)光二極管的有機(jī)el顯示器不僅薄且輕并且消耗電力低，而且還具有在響應(yīng)速度、視角、對比度方面優(yōu)異之類的優(yōu)點(diǎn)，所以近年來作為下一代平板顯示器(fpd：flatpaneldisplay)受到關(guān)注。

有機(jī)發(fā)光二極管具有在基板上的陽極和陰極之間夾著有機(jī)el層的結(jié)構(gòu)。有機(jī)el層例如從陽極側(cè)依次層疊空穴注入層、空穴傳輸層、發(fā)光層、電子傳輸層、電子注入層而形成。當(dāng)形成這些有機(jī)el層的各層(特別是空穴注入層、空穴傳輸層和發(fā)光層)時，例如使用以噴墨方式對基板上排出有機(jī)材料的液滴之類的方法。

但是，在有機(jī)發(fā)光二極管中，有機(jī)el層的各層分別由幾十nm的薄膜形成，所以如果在各層中的任意層例如產(chǎn)生液滴的排出不良，則其影響在使產(chǎn)品工作時顯著地顯現(xiàn)出來。因此，為了抑制這種液滴的排出不良。需要檢查排出的液滴。

例如，專利文獻(xiàn)1中公開了利用上述的噴墨方式的液滴排出裝置，在該液滴排出裝置中，設(shè)置有受到來自液體排出頭的檢查排除的檢查片、和對被檢查排出到該檢查片的液滴的擊中點(diǎn)進(jìn)行圖像識別的識別攝像機(jī)。在該液滴排出裝置中，基于識別攝像機(jī)的圖像識別，來檢查液體排出頭的各排出噴嘴是否正常排出液滴。

另外，例如在專利文獻(xiàn)2中提出了如下方案：從液滴排出頭的各排出噴嘴排出液滴，使其擊中被檢測紙，利用拍攝裝置拍攝擊中被檢測紙的液滴，基于所拍攝的圖像數(shù)據(jù)檢查液滴從噴嘴掉落或飛濺等排出噴嘴的排出不良。

另外，例如在專利文獻(xiàn)3中，提出了如下方案：當(dāng)如上所述拍攝液滴的擊中點(diǎn)時，利用包括切換式環(huán)照明器(能夠三色切換照明光)的排出檢查攝像機(jī)。具體而言，排出檢查攝像機(jī)根據(jù)液滴的種類(色調(diào))，利用切換式環(huán)照明器在切換到適當(dāng)?shù)念伾恼彰鞴庀屡臄z擊中點(diǎn)。

另外，例如在專利文獻(xiàn)4中也公開了像這樣拍攝液滴的擊中點(diǎn)時，根據(jù)液滴的色調(diào)變更照明光的色調(diào)的方案。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開2008-233833號公報(bào)

專利文獻(xiàn)2：日本特開2009-95725號公報(bào)

專利文獻(xiàn)3：日本特開2010-82490號公報(bào)

專利文獻(xiàn)4：日本特開2010-214318號公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

發(fā)明想要解決的技術(shù)問題

然而，形成有機(jī)el層時使用的有機(jī)材料通常為無色透明的或無色半透明的，所以難以賦予與排出該液滴的被排出體的對比度。特別是，當(dāng)被排出體也是無色透明或無色半透明時，賦予對比度變更難。另外，在有機(jī)材料的排出量為少量時，難以賦予液滴和被排出體的對比度。

這種情況下，即使利用專利文獻(xiàn)1、2所公開的方法，如果照舊只是拍攝液滴，則無法適當(dāng)?shù)嘏臄z該液滴，另外，在專利文獻(xiàn)3、4中，雖然根據(jù)液滴的色調(diào)來改變照明光的色調(diào)，但該照明光為可視光時，還是無法適當(dāng)拍攝液滴。這樣，當(dāng)進(jìn)行液滴的檢查時，在計(jì)測液滴的大小或被排出體上的液滴的位置時，產(chǎn)生計(jì)測誤差。因此，液滴的檢查還有改善的余地。

本發(fā)明是鑒于上述的問題而作出的，其目的在于適當(dāng)檢查被排出到被排出體的液滴。

用于解決技術(shù)問題的技術(shù)方案

為了達(dá)成上述目的，本發(fā)明是一種液滴檢查裝置，其用于檢查排出到被排出體的液滴，上述液滴檢查裝置的特征在于，包括：將紫外線照射在存在上述液滴的上述被排出體上的照射區(qū)域的照射部；對上述液滴或上述被排出體發(fā)光的上述照射區(qū)域進(jìn)行拍攝的拍攝部；和基于由上述拍攝部拍攝的拍攝圖像，計(jì)測上述液滴的大小和上述被排出體上的上述液滴的位置的計(jì)測部。此外，本發(fā)明中的液體，除了粒狀的液滴之外，也包括以一定量排出到被排出體的液體。

根據(jù)本發(fā)明，從照射部對照射區(qū)域照射紫外線，使該照射區(qū)域的液滴或被排出體發(fā)光，然后由照射部拍攝該照射區(qū)域。該情況下，例如紫外線照射前的液滴為無色透明或無色半透明，或者即使液滴的排出量為少量，也使紫外線照射后的液滴或被排出體發(fā)光，由此在拍攝圖像中能夠提高液滴和被排出體的對比度。其結(jié)果是，基于該拍攝圖像，能夠適當(dāng)計(jì)測液滴的大小和被排出體上的液滴的位置，能夠抑制現(xiàn)有的計(jì)測誤差。并且，能夠適當(dāng)檢查被排出到被排出體的液滴。

上述液滴檢查裝置還可以包括：紫外線屏蔽濾光器，其設(shè)置在上述拍攝部的光軸上，用于屏蔽在上述被排出體上反射的紫外線。

上述拍攝部可以配置成該拍攝部的光軸與上述被排出體的主面垂直，上述照射部配置成從斜上方對上述液滴照射紫外線。

另外，上述拍攝部可以配置成該拍攝部的光軸與上述被排出體的主面垂直，上述照射部配置成從上述液滴的下方照射紫外線。

上述液滴檢查裝置還可以包括：用于使來自上述照射部的紫外線的光路朝向上述照射區(qū)域的光路變更部。

上述液滴檢查裝置可以設(shè)置在以噴墨方式對上述被排出體排出上述液滴的液滴排出裝置的內(nèi)部。

上述液滴可以是用于有機(jī)el層的有機(jī)材料。

根據(jù)另一觀點(diǎn)的本發(fā)明是一種液滴檢查方法，其用于檢查排出到被排出體的液滴，上述液滴檢查裝置的特征在于：從照射部將紫外線照射在存在上述液滴的上述被排出體上的照射區(qū)域，使該照射區(qū)域中的上述液滴或上述被排出體發(fā)光，由拍攝部對上述照射區(qū)域進(jìn)行拍攝，基于由上述拍攝部拍攝的拍攝圖像，計(jì)測上述液滴的大小和上述被排出體上的上述液滴的位置。

當(dāng)由上述拍攝部拍攝上述被排出體時，通過設(shè)置在該拍攝部的光軸上的紫外線屏蔽濾光器，屏蔽在上述被排出體上反射的紫外線。

上述液滴的檢查可以在以噴墨方式對上述被排出體排出上述液滴的液滴排出裝置的內(nèi)部進(jìn)行。

上述液滴可以是用于有機(jī)el層的有機(jī)材料。

另外，根據(jù)另一觀點(diǎn)的本發(fā)明，提供一種程序，在液滴檢查裝置的計(jì)算機(jī)上運(yùn)行，以使得由所述液滴檢查裝置執(zhí)行所述液滴檢查方法。

另外，根據(jù)另一觀點(diǎn)的本發(fā)明，提供一種可讀計(jì)算機(jī)存儲介質(zhì)，其特征在于存儲有所述程序。

發(fā)明效果

根據(jù)本發(fā)明，能夠適當(dāng)計(jì)測被排出到被排出體的液滴的大小和被排出體上的液滴的位置，能夠適當(dāng)檢查該液滴。

附圖說明

圖1是表示本實(shí)施方式的液滴檢查裝置的結(jié)構(gòu)的概略的示意圖。

圖2是在液滴檢查裝置中拍攝的拍攝圖像的說明圖。

圖3是表示不能進(jìn)行適當(dāng)?shù)囊旱螜z查的比較例的說明圖。

圖4是表示另一實(shí)施方式的液滴檢查裝置的結(jié)構(gòu)的概略的示意圖。

圖5是表示另一實(shí)施方式的液滴檢查裝置的結(jié)構(gòu)的概略的示意圖。

圖6是表示另一實(shí)施方式的液滴檢查裝置的結(jié)構(gòu)的概略的示意圖。

圖7是表示包括液滴檢查裝置的基板處理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的概略的平面圖。

圖8是表示有機(jī)發(fā)光二極管的結(jié)構(gòu)的概略的側(cè)視圖。

圖9是表示有機(jī)發(fā)光二極管的分隔壁多結(jié)構(gòu)的概略的平面圖。

附圖標(biāo)記

1液滴檢查裝置

10照射部

11拍攝部

12紫外線屏蔽濾光器

13a計(jì)測部

20檢查片

21液滴

22照射區(qū)域

30可視光成分

31紫外線

40、41光路變更部

100基板處理系統(tǒng)

140、160、180涂敷裝置

500有機(jī)發(fā)光二極管

530有機(jī)el層

531空穴注入層

532空穴傳輸層

533發(fā)光層

534電子傳輸層

535電子注入層

g玻璃基板。

具體實(shí)施方式

以下，參照附圖，對本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說明。另外，本發(fā)明不限于以下所示的實(shí)施方式。

首先，參照圖1，對本實(shí)施方式的液滴檢查裝置的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。圖1是表示液滴檢查裝置1的結(jié)構(gòu)的概略的示意圖。另外，各結(jié)構(gòu)要素的尺寸是為了便于容易技術(shù)上的理解，不一定對應(yīng)于實(shí)際尺寸。

液滴檢查裝置1包括照射部10、拍攝部11、紫外線屏蔽濾光器12和控制部13。液滴檢查裝置1的內(nèi)部維持在無光的暗處。并且，液滴檢查裝置1進(jìn)行被排出到作為被排出體的檢查片20的液滴21的檢查。另外，作為檢查對象的液滴21吸收紫外線而發(fā)光(磷光或熒光)。具體來說，例如，如后所述，有機(jī)材料等為檢查對象。

照射部10配置成從傾上方對檢查片20上的液滴21照射紫外線。照射部10具有紫外線的光源(未圖示)，從該照射部10照射的紫外線的波長例如為365nm。使用該波長的紫外線時，能夠抑制在液滴檢查裝置1的內(nèi)部產(chǎn)生臭氧。并且，照射部10向被排出到檢查片20的液滴21照射紫外線。以下，將包括液滴21在內(nèi)、來自照射部10的紫外線照射的檢查片20上的區(qū)域稱作照射區(qū)域22。

拍攝部11向該拍攝部11的光軸與檢查片20的主面垂直的方向配置，在本實(shí)施方式中，配置在液滴21(照射區(qū)域22)的鉛垂上方。照射部11使用各種攝像機(jī)，例如能夠使用區(qū)域掃描攝像機(jī)。另外，攝像部11拍攝來自照射部10的紫外線所照射的檢查片20的照射區(qū)域22。拍攝部11拍攝的拍攝圖像輸出到后述的控制部13的計(jì)測部13a。

紫外線屏蔽濾光器12設(shè)置在拍攝部11的光軸上，在本實(shí)施方式中安裝在拍攝部11的透鏡11a。紫外線屏蔽濾光器12只要是屏蔽上述波長的紫外線的行進(jìn)的，則可以使用任意的濾光器。另外，在檢查片20的照射區(qū)域22反射的紫外線被紫外線屏蔽濾光器12屏蔽而入射不到拍攝部11。

控制部13除了對液滴檢查裝置1中的照射部10和拍攝部11的動作進(jìn)行控制以外，還基于由拍攝部11拍攝的拍攝圖像，計(jì)測液滴21的大小和檢查片20上的液滴21的位置(擊中位置)?？刂撇?3具有計(jì)測部13a，在該計(jì)測部13a中，進(jìn)行上述的液滴21的大小和位置的計(jì)測。像這樣通過計(jì)測液滴21的大小，也能計(jì)測液滴21的重量。而且，因?yàn)轭A(yù)先判斷拍攝部11的位置，所以檢查片20上的液滴21的位置能夠根據(jù)該拍攝部11和檢查片20的關(guān)系來計(jì)測。另外，在計(jì)測部13a中，如上所述至少計(jì)測液滴21的大小和位置，但也可以計(jì)測除此之外的液滴21的尺寸或形狀。

控制部13例如為計(jì)算機(jī)，具有程序保存部(未圖示)。在程序保存部中除了用于控制照射部10和拍攝部11的動作的程序外，還保存有對拍攝圖像進(jìn)行圖像處理的程序和基于該圖像處理過的數(shù)據(jù)計(jì)算液滴21的大小和檢查片20上的液滴21的位置的程序等。另外，上述程序也可以是例如計(jì)算機(jī)可讀取的硬盤(hd)、軟盤(fd)、光盤(cd)、磁光盤(mo)、存儲卡等計(jì)算機(jī)可讀取的存儲介質(zhì)中記錄，并且從該存儲介質(zhì)安裝到控制部13的程序。

接著，對利用如上所述那樣構(gòu)成的液滴檢查裝置1進(jìn)行的液滴21的檢查方法進(jìn)行說明。

當(dāng)液滴21被排出到檢查片20時，將紫外線從照射部10照射到檢查片20上的照射區(qū)域22。這樣，位于照射區(qū)域22的液滴21吸收紫外線發(fā)光。其中，在照射區(qū)域22中，位于液滴21的周圍的檢查片20優(yōu)選使用即便紫外線照射也不發(fā)光的材料。

然后，由照射部11拍攝照射區(qū)域22。此時，在照射區(qū)域22發(fā)光的液滴21的可視光成分30和在照射區(qū)域22反射的紫外線31向鉛垂上方行進(jìn)，但上述紫外線31被紫外線屏蔽濾光器12屏蔽。

圖2表示由拍攝部11拍攝的拍攝圖像。如上所述在照射區(qū)域22中，液滴21發(fā)光，所以能夠提高液滴21和檢查片20的對比度。另外，當(dāng)檢查片20不發(fā)光時，能夠進(jìn)一步提高液滴21和檢查片20的對比度。

由拍攝部11所拍攝的拍攝圖像被輸出到控制部13的計(jì)測部13a。計(jì)測部13a中，基于拍攝圖像計(jì)測液滴21的大小和檢查片20上的液滴21的位置。這樣，進(jìn)行液滴21的檢查。

根據(jù)以上的實(shí)施方式，從照射部10向檢查片20上的液滴21照射紫外線，使該液滴21發(fā)光，然后由拍攝部11拍攝包含發(fā)光的液滴21的照射區(qū)域22。這種情況下，例如紫外線照射前的液滴21為無色透明或無色半透明的，或者即使液滴21的排出量為少量，通過使紫外線照射后的液滴21發(fā)光，仍能夠在拍攝圖像中提高液滴21和檢查片20的對比度。另外，當(dāng)在拍攝部11中拍攝照射區(qū)域22時，由紫外線屏蔽濾光器12屏蔽在照射區(qū)域22反射的紫外線31，所以能夠進(jìn)一步提高拍攝圖像中的液滴21與檢查片20的對比度。結(jié)果是，在控制部13的計(jì)測部13a中，基于該拍攝圖像，能夠適當(dāng)計(jì)測液滴21的大小和檢查片20上的液滴21的位置，能夠適當(dāng)檢查被排出到檢查片20的液滴21。

另外，在本實(shí)施方式中，當(dāng)檢查液滴21時，利用紫外線照射來使液滴21發(fā)光，但也可以使檢查片20發(fā)光。這種情況下，即使液滴21不發(fā)光，也能夠在拍攝部11拍攝的拍攝圖像中提高液滴21和檢查片20的對比度。另外，因?yàn)檫@樣不需要使液滴21發(fā)光，所以檢查對象的范圍擴(kuò)大，例如也能夠檢查抗蝕劑、色彩抗蝕劑、納米金屬墨等液滴21。

接著，對照射部10的配置進(jìn)行說明。照射部10的配置只要紫外線31能適當(dāng)照射到照射區(qū)域22，則能夠任意選擇。例如，圖3示出紫外線31不能被適當(dāng)照射到照射區(qū)域22的比較例。如圖3所述，從照射部10照射的紫外線31照射到拍攝部11的透鏡11a的內(nèi)部時，該紫外線31被紫外線屏蔽濾光器12屏蔽，不到達(dá)檢查片20的照射區(qū)域22。因此，無法使液滴21或檢查片20發(fā)光，無法享受上述的本實(shí)施方式的效果。

對于這個問題，在本實(shí)施方式中，因?yàn)檎丈洳?0配置成從斜上方對液滴21照射紫外線，所以能夠適當(dāng)?shù)貙⒆贤饩€從該照射部10照射到照射區(qū)域22。而且，在照射區(qū)域22反射的紫外線31不會過于變強(qiáng)烈，所以在紫外線屏蔽濾光器12中能夠可靠地屏蔽紫外線31。因此，在拍攝部11拍攝的拍攝圖像中，能夠進(jìn)一步提高液滴21和檢查片20的對比度。

另外，像這樣通過將照射部10配置在相對于液滴21位于斜上方的位置，能夠防止由擴(kuò)散光的影響導(dǎo)致拍攝圖像的質(zhì)量下降。而且，在提高拍攝圖像的質(zhì)量方面，也可以采用在照射部10和檢查片20之間配置聚光透鏡(未圖示)等的導(dǎo)光部件。

另外，照射部10的配置不限于如上述實(shí)施方式那樣相對于液滴21位于斜上方的位置，只要如上所述那樣紫外線31能適當(dāng)?shù)卣丈涞秸丈鋮^(qū)域22，就可以任意選擇。

例如，如圖4所示，照射部10也可以配置在照射區(qū)域22的鉛垂下方。這種情況下，能夠使紫外線31適當(dāng)?shù)貜恼丈洳?0照射到照射區(qū)域22。而且，與圖1所示的液滴檢查裝置1一樣，能夠減弱透射檢查片20的照射區(qū)域22的紫外線31，能夠在紫外線屏蔽濾光器12中可靠地屏蔽紫外線31。結(jié)果是，在拍攝部11拍攝的拍攝圖像中，能夠提高液滴21和檢查片20的對比度。

另外，例如也可以在液滴檢查裝置1中設(shè)置使來自照射部10的紫外線31的光路朝向照射區(qū)域22的光路變更部。例如，如圖5所示，可以在拍攝部11的下方設(shè)置反射鏡等光路變更部40?；蛘?，例如如圖6所示，可以在拍攝部11的透鏡11a的下部，設(shè)置作為與照射部10的光源連接的穹頂型的照明的光路變更部41。無論是哪一種情況，來自照射部10的紫外線31的光路均由光路變更部40、41變更為去往照射區(qū)域22。因此，能夠使紫外線31適當(dāng)?shù)貜恼丈洳?0照射到照射區(qū)域22，在拍攝部11拍攝的拍攝圖像中，能夠提高液滴21和檢查片20的對比度。

接著，對如上所述那樣構(gòu)成的液滴檢查裝置1的應(yīng)用例進(jìn)行說明。圖7是表示包括液滴檢查裝置1的基板處理系統(tǒng)100的結(jié)構(gòu)的概略的說明圖。在基板處理系統(tǒng)100中，形成有機(jī)發(fā)光二極管的有機(jī)el層。

首先，對有機(jī)發(fā)光二極管的結(jié)構(gòu)的概略和其制造方法進(jìn)行說明。圖8是表示有機(jī)發(fā)光二極管500的結(jié)構(gòu)的概略的側(cè)視圖。如圖8所示，有機(jī)發(fā)光二極管500具有在玻璃基板g上將有機(jī)el層530夾在陽極(anode)510和陰極(cathode)520之間的結(jié)構(gòu)。有機(jī)el層530從陽極510側(cè)起依次層疊空穴注入層531、空穴傳輸層532、發(fā)光層533、電子傳輸層534和電子注入層535而形成。

當(dāng)制造有機(jī)發(fā)光二極管500時，首先在玻璃基板g上形成有陽極510。陽極510例如利用蒸鍍法形成。另外，在陽極510例如可以使用由ito(indiumtinoxide：氧化銦錫)構(gòu)成的透明電極。

然后，在陽極510上如圖9所示形成分隔壁540。分隔壁540例如通過進(jìn)行光刻處理或蝕刻處理等而被圖案化為規(guī)定的圖案。并且，在分隔壁540中在行方向(x方向)和列方向(y方向)排列地形成多個狹縫狀的開口部541。并且，在該開口部541的內(nèi)部如后所述那樣層疊有機(jī)el層530和陰極520而形成像素。其中，分隔壁540例如使用感光性聚酰亞胺樹脂。

然后，在分隔壁540的開口部541內(nèi)，在陽極510上形成有機(jī)el層530。具體而言，在陽極510上形成空穴注入層531，在空穴注入層531上形成空穴傳輸層532，在空穴傳輸層532上形成發(fā)光層533，在發(fā)光層533上形成電子傳輸層534，在電子傳輸層534上形成電子注入層535。

在本實(shí)施方式中，空穴注入層531、空穴傳輸層532和發(fā)光層533分別在基板處理系統(tǒng)100中形成。即，在基板處理系統(tǒng)100中，依次進(jìn)行利用噴墨方式進(jìn)行的有機(jī)材料的涂敷處理、有機(jī)材料的減壓干燥處理、有機(jī)材料的燒制處理，形成這些空穴注入層531、空穴傳輸層532和發(fā)光層533。

另外，電子傳輸層534和電子注入層535分別例如利用蒸鍍法形成。

然后，在電子注入層535上形成陰極520。陰極520例如能夠使用蒸鍍法形成。另外，陰極520例如能夠使用鋁。

在這樣制造的有機(jī)發(fā)光二極管500中，通過在陽極510和陰極520之間施加電壓，在空穴注入層531中注入的規(guī)定數(shù)量的空穴經(jīng)由空穴傳輸層532傳輸?shù)桨l(fā)光層533，并且，在電子注入層535中注入的規(guī)定數(shù)量的電子經(jīng)由電子傳輸層534傳輸?shù)桨l(fā)光層533。另外，在發(fā)光層533內(nèi)空穴和電子復(fù)合形成激發(fā)態(tài)的分子，該發(fā)光層533發(fā)光。

接著，參照對圖7所示的基板處理系統(tǒng)100進(jìn)行說明。其中基板處理系統(tǒng)100中處理的玻璃基板g上預(yù)先形成有陽極510和分隔壁540，在該基板處理系統(tǒng)100中形成空穴注入層531、空穴傳輸層532和發(fā)光層533。

基板處理系統(tǒng)100具有將搬入站110、處理站120和搬出站130連接成一體的結(jié)構(gòu)，其中，該搬入站101以盒c單位從外部搬入多個玻璃基板g到基板處理系統(tǒng)100，并從盒c取出處理前的玻璃基板g；處理站102包括對玻璃基板g實(shí)施規(guī)定的處理的多個處理裝置；搬出站103將處理后的玻璃基板g收納在盒c內(nèi)，將多個玻璃基板g以盒c單位從基板處理系統(tǒng)100搬出到外部。搬入站101、處理站102和搬出站103沿x方向依次排列配置。

搬入站101設(shè)置有盒載置臺110。盒載置臺110能夠?qū)⒍鄠€盒c在y方向載置成一列。即，搬入站101構(gòu)成為能夠保留多個玻璃基板g。

搬入站101還設(shè)有能夠在搬送路徑111上移動的基板搬送體112，該搬送路徑111在y方向上延伸設(shè)置?；灏崴腕w112還設(shè)置成能夠在鉛垂方向和繞鉛垂方向移動，能夠在盒c和處理站102之間搬送玻璃基板g。另外，基板搬送體112例如將玻璃基板g吸附保持著搬送。

處理站102從搬入站110側(cè)配置在x方向依次排列配置有空穴注入層120、空穴傳輸層形成部121和發(fā)光層形成部122，其中，空穴注入層形成部120形成空穴注入層531，空穴傳輸層形成部121形成空穴傳輸層532，發(fā)光層形成部122形成發(fā)光層533。

在空穴注入層形成部120從搬入站101側(cè)起在x方向依次排列配置有第一基板搬送區(qū)域130、第二基板搬送區(qū)域131和第三基板搬送區(qū)域132。各基板搬送區(qū)域130、131、132在x方向延伸設(shè)置，在該基板搬送區(qū)域130、131、132設(shè)置有用于搬送玻璃基板g的基板搬送裝置(未圖示)?；灏崴脱b置能夠在水平方向、鉛垂方向和繞鉛垂方向移動，能夠?qū)⒉ＡЩ錱搬送到與這些基板搬送區(qū)域130、131、132相鄰設(shè)置的各裝置。

在搬入站101與第一基板區(qū)域130之間，設(shè)置有用于交接玻璃基板g的過渡裝置133。同樣，在第一基板搬送區(qū)域130與第二基板搬送區(qū)域131之間、以及第二基板搬送區(qū)域131與第三基板搬送區(qū)域132之間也分別設(shè)置有過渡裝置134、135。

在第一基板搬送區(qū)域130的y方向正向側(cè)，設(shè)置有在玻璃基板g(陽極510)上涂敷用于形成空穴注入層531的有機(jī)材料的作為液滴排出裝置的涂敷裝置140。在涂敷裝置140中，以噴墨方式在玻璃基板g上的規(guī)定位置即分隔壁540的開口部541的內(nèi)部涂敷有機(jī)材料。其中，本實(shí)施方式的有機(jī)材料是將用于形成空穴注入層531的規(guī)定的材料溶解于有機(jī)溶劑的溶液。

上述實(shí)施方式的液滴檢查裝置1配置在涂敷裝置140的內(nèi)部，進(jìn)行從液滴排出頭(未圖示)以噴墨方式排出的液滴21的檢查。其中，涂敷裝置140中的液滴檢查裝置1的配置能夠任意設(shè)定。

在第一基板搬送區(qū)域130的y方向負(fù)向側(cè)，設(shè)置有暫時收納多個玻璃基板g的緩沖裝置141。

在第二基板搬送區(qū)域131的y方向正向側(cè)和y方向負(fù)向側(cè)，層疊有多個用于對在涂敷裝置140中涂敷的有機(jī)材料進(jìn)行減壓干燥的減壓干燥裝置142，例如總共設(shè)置有五個。減壓干燥裝置142例如具有渦輪分子泵(未圖示)，并構(gòu)成為通過該渦輪分子泵將內(nèi)部氣氛減壓之例如1pa以下，以將有機(jī)材料干燥。

在第三基板搬送區(qū)域132的y方向正向側(cè)，多層層疊地設(shè)置有對在減壓干燥裝置142中干燥的有機(jī)材料進(jìn)行熱處理而燒制的熱處理裝置143，該熱處理裝置例如層疊為20層。熱處理裝置143在其內(nèi)部具有載置玻璃基板g的熱板(未圖示)，并構(gòu)成為利用該熱板燒制有機(jī)材料。

在第三基板搬送區(qū)域132的y方向負(fù)向側(cè)，設(shè)置有多個將在熱處理裝置143中熱處理過的玻璃基板g調(diào)整至規(guī)定的溫度，例如常溫的溫度調(diào)節(jié)裝置144。

其中，在空穴注入層形成部120中，這些涂敷裝置140、緩沖裝置141、減壓干燥裝置142、熱處理裝置143和溫度調(diào)節(jié)裝置144的數(shù)量和配置能夠任意選擇。

在空穴傳輸層形成部121從空穴注入層形成部120側(cè)起在x方向依次排列配置有第一基板搬送區(qū)域150、第二基板搬送區(qū)域151和第三基板搬送區(qū)域152。各基板搬送區(qū)域150、151、152在x方向延伸設(shè)置，在該基板搬送區(qū)域150、151、152設(shè)置有用于搬送玻璃基板g的基板搬送裝置(未圖示)?；灏崴脱b置能夠在水平方向、鉛垂方向和繞鉛垂方向移動，能夠?qū)⒉ＡЩ錱搬送到與這些基板搬送區(qū)域150、151、152相鄰設(shè)置的各裝置。

另外，在第三基板搬送區(qū)域152相鄰設(shè)置有后述的熱處理裝置163和溫度調(diào)節(jié)裝置164，這些各裝置163、164的內(nèi)部維持在低氧且低結(jié)露點(diǎn)氣氛。因此，在第三基板搬送區(qū)域152中，其內(nèi)部也維持在低氧且低結(jié)露點(diǎn)氣氛。在以下的說明中，低氧氣氛是指氧濃度低于大氣的氣氛，例如氧濃度為10ppm以下的氣氛。另外，低結(jié)露點(diǎn)氣氛是指結(jié)露點(diǎn)溫度低于大氣的氣氛，例如結(jié)露點(diǎn)溫度為-10℃以下的氣氛。另外，該低氧且低結(jié)露點(diǎn)氣氛是例如利用氮?dú)獾炔换顫姎怏w維持的。

在空穴注入形成部201與第一基板區(qū)域150之間以及第一基板搬送區(qū)域150與第二基板搬送區(qū)域151之間，分別設(shè)置有用于交接玻璃基板g的過渡裝置153、154。在第二基板搬送區(qū)域151和第三基板搬送區(qū)域152之間，設(shè)置有能夠暫時收納玻璃基板g的加載鎖定(loadlock)裝置155。加載鎖定裝置155構(gòu)成為能夠切換內(nèi)部氣氛，即能夠切換低氧且低結(jié)露點(diǎn)氣氛和大氣氣氛。

在第一基板搬送區(qū)域150的y方向正向側(cè)，設(shè)置有在玻璃基板g(空穴注入層531)上涂敷用于形成空穴傳輸層532的有機(jī)材料的作為液滴排出裝置的涂敷裝置160。在涂敷裝置160中，以噴墨方式在玻璃基板g上的規(guī)定位置即分隔壁540的開口部541的內(nèi)部涂敷有機(jī)材料。其中，本實(shí)施方式的有機(jī)材料是將用于形成空穴傳輸層532的規(guī)定的材料溶解于有機(jī)溶劑的溶液。

上述實(shí)施方式的液滴檢查裝置1配置在涂敷裝置160的內(nèi)部，進(jìn)行從液滴排出頭(未圖示)以噴墨方式排出的液滴21的檢查。其中，涂敷裝置160中的液滴檢查裝置1的配置能夠任意設(shè)定。

在第一基板搬送區(qū)域150的y方向負(fù)向側(cè)，設(shè)置有暫時收納多個玻璃基板g的緩沖裝置161。

在第二基板搬送區(qū)域151的y方向正向側(cè)和y方向負(fù)向側(cè)，層疊有多個用于對在涂敷裝置160中涂敷的有機(jī)材料進(jìn)行減壓干燥的減壓干燥裝置162，例如總共設(shè)置有五個。減壓干燥裝置162例如具有渦輪分子泵(未圖示)，并構(gòu)成為由該渦輪分子泵將內(nèi)部氣氛減壓之例如1pa以下，以將有機(jī)材料干燥。

在第三基板搬送區(qū)域152的y方向正向側(cè)，多層層疊地設(shè)置有對在減壓干燥裝置162中干燥的有機(jī)材料進(jìn)行熱處理而燒制的熱處理裝置163，該熱處理裝置例如層疊為20層。熱處理裝置163在其內(nèi)部具有載置玻璃基板g的熱板(未圖示)，并構(gòu)成為利用該熱板燒制有機(jī)材料。另外，熱處理裝置163的內(nèi)部維持在低氧且低結(jié)露點(diǎn)氣氛。

在第三基板搬送區(qū)域152的y方向負(fù)向側(cè)，設(shè)置有多個將在熱處理裝置163中熱處理過的玻璃基板g調(diào)整至規(guī)定的溫度，例如常溫的溫度調(diào)節(jié)裝置164。溫度調(diào)節(jié)裝置164的內(nèi)部維持在低氧且低結(jié)露點(diǎn)氣氛。

其中，在空穴傳輸層形成部121中，這些涂敷裝置160、緩沖裝置161、減壓干燥裝置162、熱處理裝置163和溫度調(diào)節(jié)裝置164的數(shù)量和配置能夠任意選擇。

在發(fā)光層形成部122從空穴傳輸層形成部121側(cè)起在x方向依次排列配置有第一基板搬送區(qū)域170、第二基板搬送區(qū)域171和第三基板搬送區(qū)域172。各基板搬送區(qū)域170、171、172在x方向延伸設(shè)置，在該基板搬送區(qū)域170、171、172設(shè)置有用于搬送玻璃基板g的基板搬送裝置(未圖示)?；灏崴脱b置能夠在水平方向、鉛垂方向和繞鉛垂方向移動，能夠?qū)⒉ＡЩ錱搬送到與這些基板搬送區(qū)域170、171、172相鄰設(shè)置的各裝置。

另外，在第三基板搬送區(qū)域172相鄰設(shè)置有后述的熱處理裝置183和溫度調(diào)節(jié)裝置184，這些各裝置183、184的內(nèi)部維持在低氧且低結(jié)露點(diǎn)氣氛。因此，在第三基板搬送區(qū)域172中，其內(nèi)部也維持在低氧且低結(jié)露點(diǎn)氣氛。

在空穴傳輸層形成部121與第一基板區(qū)域170之間以及第一基板搬送區(qū)域170與第二基板搬送區(qū)域171之間，分別設(shè)置有用于交接玻璃基板g的過渡裝置173、174。在第二基板搬送區(qū)域171和第三基板搬送區(qū)域172之間以及第三基板搬送區(qū)域172和搬出站103之間，設(shè)置有能夠暫時收納玻璃基板g的加載鎖定(loadlock)裝置175、176。加載鎖定裝置175、176構(gòu)成為能夠切換內(nèi)部氣氛，即能夠切換低氧且低結(jié)露點(diǎn)氣氛和大氣氣氛。

在第一基板搬送區(qū)域170的y方向正向側(cè)，設(shè)置有在玻璃基板g(空穴傳輸層532)上涂敷用于形成發(fā)光層533的有機(jī)材料的作為液滴排出裝置的涂敷裝置180。在涂敷裝置180中，以噴墨方式在玻璃基板g上的規(guī)定位置即分隔壁540的開口部541的內(nèi)部涂敷有機(jī)材料。其中，本實(shí)施方式的有機(jī)材料是將用于形成發(fā)光層533的規(guī)定的材料溶解于有機(jī)溶劑的溶液。

上述實(shí)施方式的液滴檢查裝置1配置在涂敷裝置180的內(nèi)部，進(jìn)行從液滴排出頭(未圖示)以噴墨方式排出的液滴21的檢查。其中，涂敷裝置180中的液滴檢查裝置1的配置能夠任意設(shè)定。

在第一基板搬送區(qū)域170的y方向負(fù)向側(cè)，設(shè)置有暫時收納多個玻璃基板的緩沖裝置181。

在第二基板搬送區(qū)域171的y方向正向側(cè)和y方向負(fù)向側(cè)，層疊有多個用于對在涂敷裝置180中涂敷的有機(jī)材料進(jìn)行減壓干燥的減壓干燥裝置182，例如總共設(shè)置有五個。減壓干燥裝置182例如具有渦輪分子泵(未圖示)，并構(gòu)成為由該渦輪分子泵將內(nèi)部氣氛減壓之例如1pa以下，以將有機(jī)材料干燥。

在第三基板搬送區(qū)域172的y方向正向側(cè)，多層層疊地設(shè)置有對在減壓干燥裝置182中干燥的有機(jī)材料進(jìn)行熱處理而燒制的熱處理裝置183，該熱處理裝置例如層疊為20層。熱處理裝置183在其內(nèi)部具有載置玻璃基板g的熱板(未圖示)，并構(gòu)成為利用該熱板燒制有機(jī)材料。另外，熱處理裝置183的內(nèi)部維持在低氧且低結(jié)露點(diǎn)氣氛。

在第三基板搬送區(qū)域172的y方向負(fù)向側(cè)，設(shè)置有多個將在熱處理裝置183中熱處理過的玻璃基板g調(diào)整至規(guī)定的溫度，例如常溫的溫度調(diào)節(jié)裝置184。溫度調(diào)節(jié)裝置184的內(nèi)部維持在低氧且低結(jié)露點(diǎn)氣氛。

其中，在發(fā)光層形成部122中，這些涂敷裝置180、緩沖裝置181、減壓干燥裝置182、熱處理裝置183和溫度調(diào)節(jié)裝置184的數(shù)量和配置能夠任意選擇。

搬出站103設(shè)置有盒載置臺190。盒載置臺190能夠?qū)⒍鄠€盒c在y方向載置成一列。即，搬出站103構(gòu)成為能夠保留多個玻璃基板g。

搬出站103還設(shè)有能夠在搬送路徑191上移動的基板搬送體192，搬送路徑191在y方向上延伸設(shè)置。基板搬送體192還設(shè)置成能夠在鉛垂方向和繞鉛垂方向移動，能夠在盒c和處理站102之間搬送玻璃基板g。另外，基板搬送體192例如將玻璃基板g吸附保持著搬送。

另外，搬出站103的內(nèi)部優(yōu)選維持在低氧且低結(jié)露點(diǎn)氣氛。

另外，以上的基板處理系統(tǒng)100可以設(shè)有控制部13。因此，涂敷裝置140、160、180的內(nèi)部設(shè)置的液滴檢查裝置1由控制部13控制。不過，在該控制部13的程序保存部(未圖示)，除了用于控制液滴檢查裝置1的程序之外，還保存有控制基板處理系統(tǒng)100的玻璃基板g的處理的程序。

另外，控制部13也具有數(shù)據(jù)保存部(未圖示)。在數(shù)據(jù)保存部例如預(yù)先保存有涂敷裝置140、160、180排出的液滴的大小和位置的正常數(shù)據(jù)，即與期望的大小和位置相適合的描述數(shù)據(jù)(比特圖數(shù)據(jù)(bitmapdata))。

接著，對利用如上所述構(gòu)成的基板處理系統(tǒng)100進(jìn)行的玻璃基板g的處理方法進(jìn)行說明。

首先，收納有多個玻璃基板g的盒c被搬入到搬入站101，載置在盒載置臺110上。然后，由基板搬送體112從盒載置臺110上的盒c依次取出基板g。

從盒c中取出的基板g由基板搬送體112搬送到空穴注入層形成部120的過渡裝置133，進(jìn)而經(jīng)由第一基板搬送區(qū)域130搬送到涂敷裝置140。然后在涂敷裝置140中，以噴墨方式在玻璃基板g(陽極510)上的規(guī)定的位置、即分隔壁540的開口部541的內(nèi)部，涂敷空穴注入層531用的有機(jī)材料。

此處，在涂敷裝置140中，當(dāng)對玻璃基板g的涂敷處理結(jié)束時，由液滴檢查裝置1進(jìn)行從液滴排出頭(未圖示)排出的液滴21的檢查。具體而言，在液滴排出頭的下方配置檢查片20，從該液滴排出頭像檢查片20排出液滴21，用于檢查。在排出該液滴21后即刻，從照射部10對照射區(qū)域22照射紫外線使液滴21發(fā)光，然后由拍攝部11拍攝包含發(fā)光的液滴21的照射區(qū)域22。所拍攝的拍攝圖像輸出到控制部13的計(jì)測部13a，在該計(jì)測部13a中，基于拍攝圖像計(jì)測液滴21的大小和檢查片20上的液滴21的位置。這樣進(jìn)行液滴21的檢查。

其中，為了避免該液滴21隨時間相繼地干燥而產(chǎn)生大小變化，所以液滴21的檢查優(yōu)選如上所述在排出液滴21后即刻執(zhí)行。此處，例如在涂敷裝置140設(shè)置有多個液滴排出頭時，從最初的液滴排出頭排出液滴21開始到最后的液滴排出液滴21為止存在時間差，在該期間排出的液滴21有可能隨時間相繼地干燥而發(fā)生大小變化?？紤]到這一點(diǎn)，為了如上所述檢查涂敷后即刻的液滴21，例如可以設(shè)置多個拍攝部11，也可以以能夠移動的方式構(gòu)成拍攝部11。通過采用這種結(jié)構(gòu)，每當(dāng)液滴21從液滴排出頭排出時，能夠進(jìn)行該液滴21的檢查。

當(dāng)在計(jì)測部13a中計(jì)測出液滴21的大小和位置時，接著在控制部13中，進(jìn)行液滴21的大小和位置的計(jì)測數(shù)據(jù)與預(yù)先保存的液滴的大小和位置的正常數(shù)據(jù)的比較。然后，當(dāng)計(jì)測數(shù)據(jù)偏離正常數(shù)據(jù)時，進(jìn)行反饋控制使得涂敷裝置140的液滴排出頭排出正常的液滴21。其中，該液滴21的檢查和對液滴排出頭的反饋控制既可以對每個玻璃基板g進(jìn)行，也可以對每規(guī)定數(shù)量的玻璃基板g進(jìn)行。

另一方面，結(jié)束涂敷裝置140中的涂敷處理的玻璃基板經(jīng)由第一基板搬送區(qū)域130被搬送到過渡裝置134，進(jìn)而經(jīng)由第二基板搬送區(qū)域131搬送到減壓干燥裝置142。然后，在減壓干燥裝置142中其內(nèi)部氣氛被減壓，對涂敷在玻璃基板g上的有機(jī)材料進(jìn)行干燥。

接著，玻璃基板g經(jīng)由第二基板搬送區(qū)域131搬送到過渡裝置135，進(jìn)而經(jīng)由第三基板搬送區(qū)域132搬送到熱處理裝置143。然后在熱處理裝置143中，將載置在熱板上的玻璃基板g加熱到規(guī)定的溫度，例如180℃，燒制該玻璃基板g的有機(jī)材料。

接著，玻璃基板g經(jīng)由第三基板搬送區(qū)域132搬送到溫度調(diào)節(jié)裝置144。然后，在溫度調(diào)節(jié)裝置144中，將玻璃基板g的溫度調(diào)節(jié)至規(guī)定的溫度，例如常溫。這樣，在玻璃基板g(陽極510)上形成空穴注入層531。

接著，玻璃基板g經(jīng)由第三搬送區(qū)域132搬送到空穴傳輸層形成部121的過渡裝置153，進(jìn)而經(jīng)由第一基板搬送區(qū)域150搬送到涂敷裝置160。然后，在涂敷裝置160中，以噴墨方式在玻璃基板g(空穴注入層531)上涂敷空穴傳輸層532用的有機(jī)材料。此處，當(dāng)涂敷裝置160對玻璃基板g的涂敷處理結(jié)束時，進(jìn)行由液滴檢查裝置1進(jìn)行的液滴21的檢查和對液滴排出頭的反饋控制。這些液滴21的檢查和對液滴排出頭的反饋控制與在上述涂敷裝置140中進(jìn)行的一樣，所以省略說明。

接著，玻璃基板g經(jīng)由第一基板搬送區(qū)域150被搬送到過渡裝置154，進(jìn)而經(jīng)由第二基板搬送區(qū)域151搬送到減壓干燥裝置162。然后，在減壓干燥裝置162中其內(nèi)部氣氛被減壓，對涂敷在玻璃基板g上的有機(jī)材料進(jìn)行干燥。

接著，玻璃基板g經(jīng)由第二基板搬送區(qū)域151搬送到加載鎖定裝置155。當(dāng)玻璃基板g搬入到加載鎖定裝置155中時，其內(nèi)部切換為低氧且低結(jié)露點(diǎn)氣氛。然后，加載鎖定裝置155的內(nèi)部與同樣維持在低氧且低結(jié)露點(diǎn)氣氛的第三基板搬送區(qū)域152的內(nèi)部連通。

接著，玻璃基板g經(jīng)由第三基板搬送區(qū)域152搬送到熱處理裝置163。該熱處理裝置163的內(nèi)部也維持在低氧且低結(jié)露點(diǎn)氣氛。然后在熱處理裝置163中，將載置在熱板上的玻璃基板g加熱到規(guī)定的溫度，例如200℃，燒制該玻璃基板g的有機(jī)材料。

接著，玻璃基板g經(jīng)由第三基板搬送區(qū)域152搬送到溫度調(diào)節(jié)裝置164。該溫度調(diào)節(jié)裝置164的內(nèi)部也維持在低氧且低結(jié)露點(diǎn)氣氛。然后，在溫度調(diào)節(jié)裝置164中，將玻璃基板g的溫度調(diào)節(jié)至規(guī)定的溫度，例如常溫。這樣，在玻璃基板g(空穴注入層531)上形成空穴傳輸層532。

接著，玻璃基板g經(jīng)由第三搬送區(qū)域152搬送到發(fā)光層形成部122的過渡裝置173，進(jìn)而經(jīng)由第一基板搬送區(qū)域170搬送到涂敷裝置180。然后，在涂敷裝置180中，以噴墨方式在玻璃基板g(空穴傳輸層532)上涂敷發(fā)光層533用的有機(jī)材料。此處，當(dāng)涂敷裝置180對玻璃基板g的涂敷處理結(jié)束時，進(jìn)行由液滴檢查裝置1進(jìn)行的液滴21的檢查和對液滴排出頭的反饋控制。這些液滴21的檢查和對液滴排出頭的反饋控制與在上述涂敷裝置140中進(jìn)行的一樣，所以省略說明。

接著，玻璃基板g經(jīng)由第一基板搬送區(qū)域170被搬送到過渡裝置174，進(jìn)而經(jīng)由第二基板搬送區(qū)域171搬送到減壓干燥裝置182。然后，在減壓干燥裝置182中其內(nèi)部氣氛被減壓，對涂敷在玻璃基板g上的有機(jī)材料進(jìn)行干燥。

接著，玻璃基板g經(jīng)由第二基板搬送區(qū)域171搬送到加載鎖定裝置175。當(dāng)玻璃基板g搬入到加載鎖定裝置175中時，其內(nèi)部切換為低氧且低結(jié)露點(diǎn)氣氛。然后，加載鎖定裝置175的內(nèi)部與同樣維持在低氧且低結(jié)露點(diǎn)氣氛的第三基板搬送區(qū)域172的內(nèi)部連通。

接著，玻璃基板g經(jīng)由第三基板搬送區(qū)域172搬送到熱處理裝置183。該熱處理裝置183的內(nèi)部也維持在低氧且低結(jié)露點(diǎn)氣氛。然后在熱處理裝置183中，將載置在熱板上的玻璃基板g加熱到規(guī)定的溫度，例如160℃，燒制該玻璃基板g的有機(jī)材料。

接著，玻璃基板g經(jīng)由第三基板搬送區(qū)域172搬送到溫度調(diào)節(jié)裝置184。該溫度調(diào)節(jié)裝置184的內(nèi)部也維持在低氧且低結(jié)露點(diǎn)氣氛。然后，在溫度調(diào)節(jié)裝置184中，將玻璃基板g的溫度調(diào)節(jié)至規(guī)定的溫度，例如常溫。這樣，在玻璃基板g(空穴傳輸層532)上形成發(fā)光層533。

接著，玻璃基板g經(jīng)由第三基板搬送區(qū)域172搬送到加載鎖定裝置176。該加載鎖定裝置176的內(nèi)部維持在低氧且低結(jié)露點(diǎn)氣氛。然后，使加載鎖定裝置176的內(nèi)部與同樣維持在低氧且低結(jié)露點(diǎn)氣氛的搬出站103的內(nèi)部連通。

接著，玻璃基板g由搬出站103的基板搬送體192搬送到盒載置臺190上的規(guī)定的盒c。這樣，結(jié)束基板處理系統(tǒng)100的一系列的對玻璃基板g的處理。

根據(jù)以上的實(shí)施方式，在涂敷裝置140、160、180的內(nèi)部設(shè)置有液滴檢查裝置1，所以能夠檢查從該涂敷裝置140、160、180的液滴排出頭排出的液滴21，進(jìn)而對液滴排出頭進(jìn)行反饋控制。因此，能夠抑制涂敷裝置140、160、180中的液滴21的排出不良，適當(dāng)控制液滴21的大小(即液滴21的重量)和排出到玻璃基板g的液滴21的位置，從而能夠在玻璃基板g上適當(dāng)?shù)赝糠笥袡C(jī)材料。

另外，以上實(shí)施方式的基板處理系統(tǒng)100的布局不限于圖7所示的布局，能夠任意設(shè)定。

另外，在以上的實(shí)施方式的基板處理系統(tǒng)100中，形成有空穴注入層531、空穴傳輸層532和發(fā)光層533，但也可以同樣形成有機(jī)發(fā)光二極管500的其他電子傳輸層534和電子注入層535。即，根據(jù)用于電子傳輸層534和電子注入層535的有機(jī)材料，分別進(jìn)行利用噴墨方式的有機(jī)材料的涂敷處理、有機(jī)材料的減壓干燥處理、有機(jī)材料的燒制處理，而在玻璃基板g上形成該電子傳輸層534和電子注入層535。另外，在這些電子傳輸層534和電子注入層535的涂敷處理中，也可以進(jìn)行液滴檢查裝置1對液滴21的檢查。

另外，作為液滴檢查裝置1的應(yīng)用例，說明了形成有機(jī)發(fā)光二極管500的有機(jī)el層530的基板處理系統(tǒng)100，但液滴檢查裝置1的應(yīng)用例不限于此。例如，也可以將液滴檢查裝置1應(yīng)用于例如涂敷彩色抗蝕劑的基板處理系統(tǒng)等。

此外，作為液滴檢查裝置1的應(yīng)用例，說明了噴墨方式的涂敷裝置140、160、180，但液滴檢查裝置1的應(yīng)用例不限于此。不限于以噴墨方式排出液滴的情況，例如也可以在連續(xù)排出固定量的涂敷液的涂敷裝置中應(yīng)用液滴檢查裝置1，檢查該涂敷液。此時，液滴檢查裝置1中，計(jì)測被排出到被排出體的涂敷液的大小(重量)和被排出體上的涂敷液的位置。另外，在本實(shí)施方式中，該固定量的涂敷液構(gòu)成本發(fā)明的液滴。

以上，參照附圖對本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式進(jìn)行了說明，但本發(fā)明不限于此。如果是本領(lǐng)域技術(shù)人員，在權(quán)利要求書中記載的思想的范圍內(nèi)能夠想到各種變更例或修正例是顯而易見的，可以理解為這些內(nèi)容當(dāng)然也屬于本發(fā)明的技術(shù)范圍。