專利名稱：測(cè)量機(jī)臺(tái)的評(píng)估方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及測(cè)量機(jī)臺(tái)的評(píng)估方法。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體器件制造工藝在工藝控制、設(shè)備操作和材料制造方面的質(zhì)量要求 很高。
一個(gè)錯(cuò)誤就有可能導(dǎo)致半導(dǎo)體器件的完全報(bào)廢。在整個(gè)工藝過程中， 工藝質(zhì)量好壞的評(píng)估是通過大量測(cè)試，并根據(jù)測(cè)試結(jié)果進(jìn)行分析得出的。目 前，在對(duì)測(cè)試結(jié)果進(jìn)行分析時(shí)有多種評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)，其中較重要的兩個(gè)評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)
就是偏倚(Bias or Accuracy )和精確度(Precision)。所述精確度是指通過測(cè) 量機(jī)臺(tái)獲得的各個(gè)半導(dǎo)體器件的測(cè)量值的離散度。而所述偏倚指通過測(cè)量機(jī) 臺(tái)獲得的半導(dǎo)體器件的測(cè)量值的平均值與標(biāo)準(zhǔn)值的差值。并且，在評(píng)估偏倚 時(shí)，通常會(huì)使用線性度(Linearity)來評(píng)估，線性度是對(duì)各組不同量程的測(cè)量 值與標(biāo)準(zhǔn)值比較所獲得的偏倚的綜合考慮。同 一批次的半導(dǎo)體器件通過測(cè)量 機(jī)臺(tái)獲得的測(cè)量值，其線性度和精確度越高，就越符合質(zhì)量要求。
在半導(dǎo)體代工廠的生產(chǎn)過程中，即使是同 一型號(hào)的多臺(tái)測(cè)量機(jī)臺(tái)也會(huì)有 區(qū)別，因此，在這些機(jī)臺(tái)中會(huì)選出一臺(tái)機(jī)臺(tái)作為金牌機(jī)臺(tái)(Golden Tool), 而選擇金牌機(jī)臺(tái)就會(huì)使用到上述的線性度以及精確度。2002年出版的測(cè)量系 統(tǒng)分析參考手冊(cè)(第三版)提供了一種標(biāo)準(zhǔn)統(tǒng)計(jì)方法來對(duì)單個(gè)機(jī)臺(tái)測(cè)量值的 精度和線性度進(jìn)行評(píng)估，但對(duì)金牌機(jī)臺(tái)的選擇并沒有提供建議方法。而且， 該標(biāo)準(zhǔn)統(tǒng)計(jì)方法對(duì)于例如比例型線性度(proportional linearity)的數(shù)據(jù)分布情 況是不適用的。所述比例型線性分布是指各組不同量程的測(cè)量值與標(biāo)準(zhǔn)值比 較所獲得的偏倚之間呈比例關(guān)系，或者說各組偏倚呈線性增大或線性縮小。目前，有一種統(tǒng)計(jì)控制方法通過將測(cè)量值的平均值作為參考標(biāo)準(zhǔn)值，以各組 測(cè)量值的離散度的總和最低作為準(zhǔn)則選擇金牌機(jī)臺(tái)。然而，這種方法所選擇 的金牌機(jī)臺(tái)所測(cè)量的值并不一定符合實(shí)際測(cè)量值，因而也不能精確反映與實(shí) 際標(biāo)準(zhǔn)值的差異，可能出現(xiàn)的情況就是各組測(cè)量值的離散性很好，但測(cè)量值 與標(biāo)準(zhǔn)值比較所獲得的偏倚卻可能很大，因而所選擇的金牌機(jī)臺(tái)可能并不夠 精確，從而導(dǎo)致質(zhì)量評(píng)估不準(zhǔn)確。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種測(cè)量機(jī)臺(tái)的評(píng)估方法，解決現(xiàn)有技術(shù)由于選擇的金牌機(jī) 臺(tái)不夠精確而導(dǎo)致質(zhì)量評(píng)估不準(zhǔn)確的問題。
為解決上述問題，本發(fā)明提供一種測(cè)量機(jī)臺(tái)的評(píng)估方法，包括下列步驟
對(duì)于至少兩臺(tái)測(cè)量機(jī)臺(tái)，計(jì)算各個(gè)測(cè)量機(jī)臺(tái)所獲得的至少兩組半導(dǎo)體器 件的測(cè)量值的精度；
將所述各個(gè)測(cè)量機(jī)臺(tái)的符合精度要求的至少兩組測(cè)量值作為質(zhì)量評(píng)估樣 本，計(jì)算所述樣本中各組半導(dǎo)體器件測(cè)量值的偏倚；
按所述各組半導(dǎo)體器件測(cè)量值的偏倚和離散程度對(duì)所述質(zhì)量評(píng)估樣本進(jìn) 行分類，并將所述各組半導(dǎo)體器件測(cè)量值的偏倚線性度、離散程度和穩(wěn)定程 度作為評(píng)估指標(biāo)；
將所述評(píng)估指標(biāo)中至少有兩個(gè)評(píng)估指標(biāo)最佳的質(zhì)量評(píng)估樣本對(duì)應(yīng)的測(cè)量 機(jī)臺(tái)作為金牌機(jī)臺(tái)。
所述半導(dǎo)體器件測(cè)量值的穩(wěn)定程度是指同一臺(tái)測(cè)量機(jī)臺(tái)在一段時(shí)間后再 次測(cè)量同一半導(dǎo)體器件所獲得的測(cè)量值與之前的測(cè)量值的差異程度。所述各 組測(cè)量值的穩(wěn)定程度根據(jù)下述公式獲得<formula>formula see original document page 6</formula>其中MeanShift為同一測(cè)量機(jī)臺(tái)兩次對(duì)同一半導(dǎo)體器件測(cè)量的差值，USL為被測(cè)量半導(dǎo)體器件的規(guī)格界上限，LSL為被測(cè)量半導(dǎo) 體器件的規(guī)格界下限。
若所述各組半導(dǎo)體器件的測(cè)量值的偏倚在偏倚容忍范圍內(nèi)，且各組偏倚 的差在相近范圍內(nèi)，并且所述各組半導(dǎo)體器件測(cè)量值的離散程度在相近范圍 內(nèi)，則將所述各組半導(dǎo)體器件的測(cè)量值和對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)值的絕對(duì)偏倚的線性度、 各組半導(dǎo)體器件的測(cè)量值的重復(fù)性及再現(xiàn)性(GRR2)和半導(dǎo)體器件測(cè)量值的 穩(wěn)定程度作為評(píng)估指標(biāo)。
若所述各組半導(dǎo)體器件的測(cè)量值的偏倚在偏倚容忍范圍內(nèi)，所述各組偏 倚不在相近范圍內(nèi)，并且隨標(biāo)準(zhǔn)值的變大而變大，而各組半導(dǎo)體器件的測(cè)量 值的離散程度在相近范圍內(nèi)，則將根據(jù)各組半導(dǎo)體器件的測(cè)量值和對(duì)應(yīng)的標(biāo) 準(zhǔn)值的相對(duì)偏倚的線性度、各組半導(dǎo)體器件的測(cè)量值的重復(fù)性及再現(xiàn)性 (GRR2 )和半導(dǎo)體器件測(cè)量值的穩(wěn)定程度作為評(píng)估指標(biāo)。
若所述各組半導(dǎo)體器件的測(cè)量值的偏倚在偏倚容忍范圍內(nèi)，且各組偏倚 的差在相近范圍內(nèi)，而各組半導(dǎo)體器件的測(cè)量值的離散程度不在相近范圍內(nèi)， 隨著標(biāo)準(zhǔn)值的變大而變大，則將各組半導(dǎo)體器件的測(cè)量值和對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)值的 絕對(duì)偏倚的線性度、各組半導(dǎo)體器件的測(cè)量值的權(quán)重重復(fù)性及再現(xiàn)性(GRR2) 和半導(dǎo)體器件測(cè)量值的穩(wěn)定程度作為評(píng)估指標(biāo)。
若所述各組半導(dǎo)體器件的測(cè)量值的偏倚在偏倚容忍范圍內(nèi)，所述各組偏 倚不在相近范圍內(nèi)，并且隨標(biāo)準(zhǔn)值的變大而變大，而各組半導(dǎo)體器件的測(cè)量 值的離散程度不在相近范圍內(nèi)，隨著標(biāo)準(zhǔn)值的變大而變大，則將各組半導(dǎo)體 器件的測(cè)量值和對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)值的相對(duì)偏倚的線性度、各組半導(dǎo)體器件的測(cè)量 值的權(quán)重重復(fù)性及再現(xiàn)性(GRR2)和半導(dǎo)體器件測(cè)量值的穩(wěn)定程度作為評(píng)估 指標(biāo)。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，上述方案具有以下優(yōu)點(diǎn)上述測(cè)量機(jī)臺(tái)的評(píng)估方法根據(jù)各個(gè)測(cè)量機(jī)臺(tái)所獲得的質(zhì)量評(píng)估樣本中各組半導(dǎo)體器件測(cè)量值的偏倚和離 散程度對(duì)所述質(zhì)量評(píng)估樣本的數(shù)據(jù)分布情況進(jìn)行分類，并計(jì)算所述分類數(shù)據(jù) 分布對(duì)應(yīng)的評(píng)估指標(biāo)，并將至少有兩個(gè)評(píng)估指標(biāo)最佳的質(zhì)量評(píng)估樣本對(duì)應(yīng)的 測(cè)量機(jī)臺(tái)作為金牌機(jī)臺(tái)。由于上述方法是通過將數(shù)據(jù)分布進(jìn)行分類再進(jìn)行各 自對(duì)應(yīng)的評(píng)估，因而所獲得的金牌機(jī)臺(tái)所獲得的測(cè)量值更接近于實(shí)際測(cè)量值， 根據(jù)所述金牌機(jī)臺(tái)獲得的測(cè)量值也能更精確地獲得與實(shí)際標(biāo)準(zhǔn)值的差異，從 而也提高了質(zhì)量評(píng)估的準(zhǔn)確性。


圖1是本發(fā)明測(cè)量機(jī)臺(tái)的評(píng)估方法的一種實(shí)施方式流程圖； 圖2是圖1所述方法流程中對(duì)數(shù)據(jù)分布進(jìn)行分類的方法流程圖； 圖3是圖2所示分類方法中第一類樣本的一種數(shù)據(jù)分布示意圖； 圖4是圖2所示分類方法中第一類樣本的另一種數(shù)據(jù)分布示意圖； 圖5是圖2所示分類方法中第二類樣本的一種數(shù)據(jù)分布示意圖； 圖6是圖2所示分類方法中第三類樣本的一種數(shù)據(jù)分布示意圖。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明測(cè)量機(jī)臺(tái)的評(píng)估方法根據(jù)各個(gè)測(cè)量機(jī)臺(tái)所獲得的質(zhì)量評(píng)估樣本中 各組半導(dǎo)體器件測(cè)量值的偏倚和離散程度對(duì)所述質(zhì)量評(píng)估樣本的數(shù)據(jù)分布情 況進(jìn)行分類，并計(jì)算所述分類數(shù)據(jù)分布對(duì)應(yīng)的評(píng)估指標(biāo)，并將至少有兩個(gè)評(píng) 估指標(biāo)最佳的質(zhì)量評(píng)估樣本對(duì)應(yīng)的測(cè)量機(jī)臺(tái)作為金牌機(jī)臺(tái)。
參照?qǐng)Dl所示，本發(fā)明測(cè)量機(jī)臺(tái)的評(píng)估方法包括下列步驟，
步驟sl,對(duì)于至少兩臺(tái)測(cè)量機(jī)臺(tái)，計(jì)算各個(gè)測(cè)量機(jī)臺(tái)所獲得的至少兩組
半導(dǎo)體器件的測(cè)量值的精度；
步驟S2，判斷所述各組測(cè)量值的精度是否符合精度要求，若不符合，則執(zhí)行步驟s3,若符合，則執(zhí)行步驟s4;
步驟s3，排除所述測(cè)量值對(duì)應(yīng)的測(cè)量機(jī)臺(tái)；
步驟s4，將所述各個(gè)測(cè)量機(jī)臺(tái)的符合精度要求的至少兩組測(cè)量值作為質(zhì) 量評(píng)估樣本，計(jì)算所述樣本中各組半導(dǎo)體器件測(cè)量值的偏倚；
步驟s5，按所述各組半導(dǎo)體器件測(cè)量值的偏倚和離散程度對(duì)所述質(zhì)量評(píng) 估樣本進(jìn)行分類，并將所述各組半導(dǎo)體器件測(cè)量值的偏倚線性度、離散程度 和穩(wěn)定程度作為評(píng)估指標(biāo)；
步驟s6，將所述評(píng)估指標(biāo)中至少有兩個(gè)評(píng)估指標(biāo)最佳的質(zhì)量評(píng)估樣本對(duì) 應(yīng)的測(cè)量才幾臺(tái)作為金牌機(jī)臺(tái)。
對(duì)于步驟sl，所述各組測(cè)量值的精度根據(jù)下述公式獲得
%讚=J^j^,)2+(5.15(J—) xl00%，其中aw用來表示在一小段測(cè)量時(shí)
間內(nèi)用同一測(cè)量機(jī)臺(tái)對(duì)同一點(diǎn)多次測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)方差，而a一用來表示當(dāng)測(cè)量
條件改變導(dǎo)致的測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)方差，所述的測(cè)量條件改變包括測(cè)量者的改變、測(cè)
量位置的改變以及測(cè)量環(huán)境的改變，USL為被測(cè)量半導(dǎo)體器件的規(guī)格界上限， LSL為被測(cè)量半導(dǎo)體器件的規(guī)格界下限。
對(duì)于步驟s2,所述精度要求為。/。GRIK10。/0。
對(duì)于步驟s4，所述偏倚為所述半導(dǎo)體器件的測(cè)量值的平均值與對(duì)應(yīng)標(biāo)準(zhǔn) 值的差異。
參考圖2所示，對(duì)于步驟s5，包括下列步驟
步驟s50,所述各組半導(dǎo)體器件的測(cè)量值的偏倚是否在相近范圍內(nèi)，若是， 則執(zhí)行步驟s54，若否，則執(zhí)行步驟s51;
步驟s51，所述偏倚是否隨標(biāo)準(zhǔn)值的變大而變大，若是，則執(zhí)行步驟s52，若否，則執(zhí)行步驟s54;
步驟s52，所述各組半導(dǎo)體器件測(cè)量值的離散程度是否在相近范圍內(nèi)，若 是，則執(zhí)行步驟s58，若否，則執(zhí)行步驟s53;
步驟s53，所述離散度是否隨標(biāo)準(zhǔn)值的變大而變大，若是，則執(zhí)行步驟s59, 若否，則執(zhí)行步驟s58;
步驟s54,所述各組半導(dǎo)體器件測(cè)量值的離散程度是否在相近范圍內(nèi)，若 是，則執(zhí)行步驟s56，若否，則執(zhí)行步驟s55;
步驟s55,所述離散度是否隨標(biāo)準(zhǔn)值的變大而變大，若是，則執(zhí)行步驟s57， 若否，則執(zhí)行步驟s56;
步驟s56,將所述各組半導(dǎo)體器件的測(cè)量值和對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)值的絕對(duì)偏倚的 線性度、各組半導(dǎo)體器件的測(cè)量值的重復(fù)性及再現(xiàn)性和半導(dǎo)體器件測(cè)量值的 穩(wěn)定程度作為評(píng)估指標(biāo)；
步驟s57，將各組半導(dǎo)體器件的測(cè)量值和對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)值的絕對(duì)偏倚的線性 度、各組半導(dǎo)體器件的測(cè)量值的權(quán)重重復(fù)性及再現(xiàn)性和半導(dǎo)體器件測(cè)量值的 穩(wěn)定程度作為評(píng)估指標(biāo)；
步驟s58，將各組半導(dǎo)體器件的測(cè)量值和對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)值的相對(duì)偏倚的線性 度、各組半導(dǎo)體器件的測(cè)量值的重復(fù)性及再現(xiàn)性和半導(dǎo)體器件測(cè)量值的穩(wěn)定 程度作為評(píng)估指標(biāo)；
步驟s59,將各組半導(dǎo)體器件的測(cè)量值和對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)值的相對(duì)偏倚的線性 度、各組半導(dǎo)體器件的測(cè)量值的權(quán)重重復(fù)性及再現(xiàn)性和半導(dǎo)體器件測(cè)量值的 穩(wěn)定程度作為評(píng)估指標(biāo)。
所述各組半導(dǎo)體器件的絕對(duì)偏倚的線性度根據(jù)下述公式獲得 &=>;_^。，其中Yij為第i組半導(dǎo)體器件的測(cè)量數(shù)據(jù)的第j個(gè)測(cè)量值，X。為第i組半導(dǎo)體器件的測(cè)量值對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)值,
ly.=i^，其中入i」為第i組半導(dǎo)體器件的測(cè)量lt據(jù)的第j個(gè)測(cè)量值，
Xio為第i組半導(dǎo)體器件的測(cè)量值對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)值。
所述各組半導(dǎo)體器件的測(cè)量值的重復(fù)性及再現(xiàn)性根據(jù)下述7>式獲得
G朋2"5.15 ,)2+(5.15f7—)2，其中a^用來表示在一小段測(cè)量時(shí)間內(nèi)用同
一測(cè)量機(jī)臺(tái)對(duì)同一點(diǎn)多次測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)方差，而a。d用來表示當(dāng)測(cè)量條件改變 導(dǎo)致的測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)方差。
所述各組半導(dǎo)體器件的測(cè)量值的權(quán)重重復(fù)性及再現(xiàn)性根據(jù)下述公式獲
^曰
付
^LG朋J+^Gi^22+ZlLG朋32+…，其中Xh)、 X20、 X3o為各組半導(dǎo)體器
^10 義20 ^30
件的測(cè)量值對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)值，而GRR卩、GRR22、 GRR32為各組半導(dǎo)體器件的測(cè) 量值的重復(fù)性及再現(xiàn)性。
下面通過一個(gè)具體例子對(duì)上述方法作進(jìn)一步闡述。
執(zhí)行步驟sl，對(duì)于至少兩臺(tái)測(cè)量機(jī)臺(tái)，計(jì)算各個(gè)測(cè)量機(jī)臺(tái)所獲得的至少 兩組半導(dǎo)體器件的測(cè)量值的精度。為了對(duì)測(cè)量機(jī)臺(tái)進(jìn)行評(píng)估，通常先通過測(cè) 量機(jī)臺(tái)來測(cè)量一定數(shù)量的測(cè)量數(shù)據(jù)作為進(jìn)行質(zhì)量評(píng)估的數(shù)據(jù)樣本，由于對(duì)每 一臺(tái)機(jī)臺(tái)的操作步驟都相同，下面僅以一臺(tái)測(cè)量機(jī)臺(tái)舉例，所述精度可以通 過下述方法獲得
例如，第一天安排第一個(gè)測(cè)量人員應(yīng)用所述測(cè)量機(jī)臺(tái)對(duì)IO個(gè)標(biāo)準(zhǔn)值附近 的測(cè)量樣本進(jìn)行測(cè)量，每個(gè)樣本測(cè)量3次；第二次在1至3天后安排第二個(gè) 測(cè)量人員應(yīng)用同樣的測(cè)量機(jī)臺(tái)對(duì)同樣的測(cè)量樣本進(jìn)行測(cè)量，每個(gè)樣本仍舊測(cè)量3次，以此類推，共測(cè)量三次來獲得用于計(jì)算精度的數(shù)據(jù)。然后，計(jì)算重
復(fù)性標(biāo)準(zhǔn)方差a ^，以及再現(xiàn)性標(biāo)準(zhǔn)方差a "d，其中a w用來表示在一 d、段測(cè) 量時(shí)間內(nèi)用同 一測(cè)量機(jī)臺(tái)對(duì)同 一點(diǎn)多次測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)方差，而cj 。d用來表示當(dāng) 測(cè)量條件改變導(dǎo)致的測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)方差，所述的測(cè)量條件改變包括測(cè)量者的改變、 測(cè)量位置的不可避免地改變、測(cè)量機(jī)臺(tái)短期不穩(wěn)定以及測(cè)量環(huán)境的改變。計(jì) 算CJ *和a 一所應(yīng)用的公式可以根據(jù)統(tǒng)計(jì)學(xué)中的標(biāo)準(zhǔn)方差分量分析(Variance Component Analysis )方法來得到。
則所述精度根據(jù)下述公式獲得
+(5. )x腿，USL為被測(cè)量半導(dǎo)體器件的規(guī)格界 上限，LSL為被測(cè)量半導(dǎo)體器件的規(guī)格界下限。
本步驟計(jì)算所述各組測(cè)量值的精度是為了檢驗(yàn)測(cè)量機(jī)臺(tái)的測(cè)量誤差是否 符合要求。若測(cè)量機(jī)臺(tái)的測(cè)量誤差不符合要求，那么若將測(cè)量所得去進(jìn)行質(zhì) 量評(píng)估顯然也不能得到準(zhǔn)確的質(zhì)量評(píng)估結(jié)果。
執(zhí)行步驟s2，判斷所述各組測(cè)量值的精度是否符合精度要求，若不符合， 則執(zhí)行步驟s3,若符合，則執(zhí)行步驟s4。
所述精度要求為％GRR<10%。 ％GRR越大，說明測(cè)量機(jī)臺(tái)獲得的測(cè)量值 相對(duì)于真實(shí)值的誤差就越大。若計(jì)算得到的該組測(cè)量值樣本的精度 %GRR<10%,則該組測(cè)量值樣本符合精度要求，執(zhí)行步驟s4;而若計(jì)算得到 的該組測(cè)量值樣本的精度。/。GRR》10%，則執(zhí)行步驟s3,排除所述測(cè)量值對(duì)應(yīng) 的測(cè)量機(jī)臺(tái)，即所述測(cè)量機(jī)臺(tái)不滿足最基本的精度要求，不具備作為金牌機(jī) 臺(tái)的資才各。
執(zhí)行步驟s4，將所述各個(gè)測(cè)量機(jī)臺(tái)的符合精度要求的至少兩組測(cè)量值作 為質(zhì)量評(píng)估樣本，計(jì)算所述樣本中各組半導(dǎo)體器件測(cè)量值的偏倚。所述偏倚
1為所述半導(dǎo)體器件的測(cè)量值的平均值與對(duì)應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)值的差異，所述偏倚是作為 下述步驟對(duì)質(zhì)量評(píng)估樣本的數(shù)據(jù)分布情況進(jìn)行分類的分類依據(jù)之一。
執(zhí)行步驟S5，按所述各組半導(dǎo)體器件測(cè)量值的偏倚和離散程度對(duì)所述質(zhì) 量評(píng)估樣本進(jìn)行分類，并將所述各組半導(dǎo)體器件測(cè)量值的偏倚線性度、離散 程度和穩(wěn)定程度作為評(píng)估指標(biāo)。下述步驟即是按所述偏倚、離散程度的不同 情況的組合進(jìn)行分類的詳細(xì)步驟。
步驟s50，所述各組半導(dǎo)體器件的測(cè)量值的偏倚是否在相近范圍內(nèi)，若是， 則執(zhí)行步驟s54，若否，則執(zhí)行步驟s51;
步驟s51，所述偏倚是否隨標(biāo)準(zhǔn)值的變大而變大，若是，則執(zhí)行步驟s52， 若否，則執(zhí)行步驟s54。
值的偏倚是否近似相同。當(dāng)然，在分析之前的前提是各組半導(dǎo)體器件的測(cè)量 值的偏倚都應(yīng)在各自對(duì)應(yīng)的偏倚容忍范圍內(nèi)。若所述各組偏倚不在相近范圍 內(nèi)，則不能認(rèn)為所述各組半導(dǎo)體器件的測(cè)量值的偏倚近似相同。而若各組半 導(dǎo)體器件的偏倚不能認(rèn)為近似相同，則還需考察各組偏倚的變化與所對(duì)應(yīng)標(biāo) 準(zhǔn)值的變化來確定采用何種評(píng)估方式。所述相近范圍可根據(jù)實(shí)際的評(píng)估精度 來設(shè)定。
例如，假定以4組測(cè)量值作為質(zhì)量評(píng)估樣本，而各組測(cè)量值的偏倚均在 偏倚容忍范圍內(nèi)，則若各組偏倚均大于O,且各組偏倚在相近范圍內(nèi)，則可以 認(rèn)為這4組測(cè)量值的偏倚近似相同；同樣的，若這4組測(cè)量值的平均值均小 于標(biāo)準(zhǔn)值，且各組偏倚在相近范圍內(nèi)，則可以認(rèn)為這4組測(cè)量值的平均值近 似相同。所述的相近范圍可以根據(jù)實(shí)際的評(píng)估精度而設(shè)定；同樣的，若雖然 所述4組測(cè)量值的偏倚有的大于0，有的小于O，但各組偏倚還是在相近范圍 內(nèi)，則還是認(rèn)為這4組測(cè)量值的偏倚近似相同。而若各組偏倚不在相近范圍內(nèi)，則需考察各組偏倚的大小是否與其對(duì)應(yīng) 的標(biāo)準(zhǔn)值有關(guān)，例如第一組對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)值最小，第一組測(cè)量值的偏倚也最小， 第二、三、四組對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)值依次增大，其測(cè)量值的偏倚也依次增大，這時(shí) 候就認(rèn)為各組偏倚隨著標(biāo)準(zhǔn)值的變大而變大，宜采用不同于近似相同的評(píng)估 方法。反之，也是一樣的，即各組偏倚隨標(biāo)準(zhǔn)值的變小而變小也屬于此種情 況。
至此，通過步驟s50和步驟s51，各個(gè)質(zhì)量評(píng)估樣本已按偏倚被分成了所 述偏倚近似相同和偏倚不相同兩類，下面就根據(jù)各組半導(dǎo)體器件的測(cè)量值的 離散程度來所述的兩類質(zhì)量評(píng)估樣本進(jìn)行進(jìn)一步分類。
步驟s52,所述各組半導(dǎo)體器件測(cè)量值的離散程度是否在相近范圍內(nèi)，若 是，則執(zhí)行步驟s58，若否，則執(zhí)行步驟s53;
步驟s53,所述離散程度是否隨標(biāo)準(zhǔn)值的變大而變大，若是，則執(zhí)行步驟 s59，若否，則執(zhí)行步驟s58。
步驟s54,所述各組半導(dǎo)體器件測(cè)量值的離散程度是否在相近范圍內(nèi)，若 是，則執(zhí)行步驟s56,若否，則執(zhí)行步驟s55;
步驟s55，所述離散度是否隨標(biāo)準(zhǔn)值的變大而變大，若是，則執(zhí)行步驟s57， 若否，則執(zhí)行步驟s56。
步驟s52、步驟s53,和步驟s54、步驟s55就是按所述各組半導(dǎo)體器件測(cè) 量值的離散程度是否相近來進(jìn)一步分類。經(jīng)過步驟s52、步驟s53，和步驟s54、 步驟s55的分類，所有的質(zhì)量評(píng)估樣本就可分成四類，第一類所述各組半導(dǎo) 體器件測(cè)量值的偏倚近似相同，并且各組半導(dǎo)體器件測(cè)量值的離散程度也相 近；第二類所述各組半導(dǎo)體器件測(cè)量值的偏倚近似相同，但各組半導(dǎo)體器 件測(cè)量值的離散程度不相近；第三類所述各組半導(dǎo)體器件測(cè)量值的偏倚不 相同，而各組半導(dǎo)體器件測(cè)量值的離散程度相近；第四類所述各組半導(dǎo)體器件測(cè)量值的偏倚不相同，并且各組半導(dǎo)體器件測(cè)量值的離散程度也不相近。
參照?qǐng)D3所示，為4組半導(dǎo)體器件的測(cè)量數(shù)據(jù)圖，其中每一組數(shù)據(jù)樣本 是對(duì)一個(gè)半導(dǎo)體器件多次測(cè)量所得的測(cè)量數(shù)據(jù)。從圖3中可以看出，各組數(shù) 據(jù)樣本的偏倚都接近于0，因此，可以認(rèn)為是屬于第一類樣本。圖4的數(shù)據(jù)取 得方法與圖3相同，從圖4中可以看到，各組數(shù)據(jù)樣本的偏倚都大于0，并且 近似相同，也可以認(rèn)為是第一類樣本。執(zhí)行步驟s56,將所述各組半導(dǎo)體器件 的測(cè)量值和對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)值的絕對(duì)偏倚的線性度、各組半導(dǎo)體器件的測(cè)量值的 重復(fù)性及再現(xiàn)性和半導(dǎo)體器件測(cè)量值的穩(wěn)定程度作為評(píng)估指標(biāo)。
所述各組半導(dǎo)體器件的絕對(duì)偏倚的線性度根據(jù)下述公式獲得
其中Y,j代表測(cè)量數(shù)據(jù)，例如Yn就是將對(duì)第一個(gè)半導(dǎo)體器 件的第一次測(cè)量所得的測(cè)量數(shù)據(jù)作為第一組數(shù)據(jù)樣本的第一個(gè)數(shù)據(jù)，Y14就是 將對(duì)第 一個(gè)半導(dǎo)體器件的第四次測(cè)量所得的測(cè)量數(shù)據(jù)作為第 一組數(shù)據(jù)樣本的 第四個(gè)數(shù)據(jù)，Xi。為第i組半導(dǎo)體器件的測(cè)量值對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)值。
所述各組半導(dǎo)體器件的測(cè)量值的重復(fù)性及再現(xiàn)性根據(jù)下述公式獲得
G朋2 = (5.15 p,)2+(5.15^^)2，其中(7。t用來表示在一小段測(cè)量時(shí)間內(nèi)用同 一測(cè)量機(jī)臺(tái)對(duì)同一半導(dǎo)體器件多次測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)方差，而cr。d用來表示當(dāng)測(cè)量 條件改變導(dǎo)致的測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)方差。獲得a ^和or ^的方法參照上述計(jì)算精度的公 式。
所述半導(dǎo)體器件測(cè)量值的穩(wěn)定程度詳述如下，對(duì)一臺(tái)金牌機(jī)臺(tái)來說，對(duì) 同一半導(dǎo)體器件進(jìn)行測(cè)量所獲得測(cè)量值應(yīng)具有穩(wěn)定性，例如第一次測(cè)量所獲
得的測(cè)量值和3個(gè)月后對(duì)同一半導(dǎo)體器件再次測(cè)量所獲得的測(cè)量值應(yīng)相同， 或兩者的差應(yīng)在可以認(rèn)為近似相同的范圍內(nèi)。否則所述測(cè)量機(jī)臺(tái)就不能作為 金牌機(jī)臺(tái)，因?yàn)槿羲鰷y(cè)量機(jī)臺(tái)的穩(wěn)定性不夠，那么各個(gè)時(shí)間段內(nèi)以所述測(cè) 量值為基礎(chǔ)進(jìn)行的質(zhì)量評(píng)估結(jié)果也會(huì)差異很大，影響質(zhì)量評(píng)估的精確性。所述各組測(cè)量值的穩(wěn)定程度根據(jù)下述公式獲得
馬-M簡(jiǎn)卿o,o，其中MeanShift為同一測(cè)量機(jī)臺(tái)兩次對(duì)同一半導(dǎo)體器
件測(cè)量的差值，USL為被測(cè)量半導(dǎo)體器件的規(guī)格界上限，LSL為被測(cè)量半導(dǎo) 體器件的規(guī)格界下限。需要指出的是，為了檢測(cè)穩(wěn)定程度的過程較準(zhǔn)確，通 常兩次測(cè)量同一半導(dǎo)體器件的時(shí)間間隔不能太短， 一般為1至3個(gè)月或更長(zhǎng) 的時(shí)間，但以不影響工藝的生產(chǎn)進(jìn)度為前提。
圖5的數(shù)據(jù)取得方法與圖3相同，從圖5中可以看到，各組數(shù)據(jù)樣本的 偏倚都接近于0，但離散程度不相近，第一組至第四組數(shù)據(jù)樣本的離散程度是 依次變大的。符合上述描述的離散程度隨標(biāo)準(zhǔn)值變大而變大的情況，可以認(rèn) 為是第二類樣本，因此采用權(quán)重重復(fù)性及再現(xiàn)性作為評(píng)估指標(biāo)較為精確。執(zhí) 行步驟s57，將各組半導(dǎo)體器件的測(cè)量值和對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)值的絕對(duì)偏倚的線性 度、各組半導(dǎo)體器件的測(cè)量值的權(quán)重重復(fù)性及再現(xiàn)性和半導(dǎo)體器件測(cè)量值的 穩(wěn)定程度作為評(píng)估指標(biāo)。
所述各組半導(dǎo)體器件的絕對(duì)偏倚的線性度根據(jù)下述公式獲得
其中Yy代表測(cè)量數(shù)據(jù)，例如Yu就是將對(duì)第一個(gè)半導(dǎo)體器 件的第 一次測(cè)量所得的測(cè)量數(shù)據(jù)作為第 一組數(shù)據(jù)樣本的第 一個(gè)數(shù)據(jù)，Y14就是 將對(duì)第 一個(gè)半導(dǎo)體器件的第四次測(cè)量所得的測(cè)量數(shù)據(jù)作為第 一組數(shù)據(jù)樣本的 第四個(gè)數(shù)據(jù)，Xi。為第i組半導(dǎo)體器件的測(cè)量值對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)值。
所述各組半導(dǎo)體器件的測(cè)量值的權(quán)重重復(fù)性及再現(xiàn)性根據(jù)下述公式獲
得
^G^2+^g朋J+，g朋3、…，其中&o、 X20、 X3。為各組半導(dǎo)體器
件的測(cè)量值對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)值，而GRR厶GRR22、 GRR卩為各組半導(dǎo)體器件的測(cè) 量值的重復(fù)性及再現(xiàn)性。所述半導(dǎo)體器件測(cè)量值的穩(wěn)定程度參照第一類樣本的描述。
對(duì)于第三類樣本，包括以下幾種數(shù)據(jù)分布情況第一種數(shù)據(jù)分布情況 各組半導(dǎo)體器件的測(cè)量值偏倚有的大于0,有的小于0，并且各組偏倚不相近， 隨著標(biāo)準(zhǔn)值的變大而變大，但各組離散程度相近。圖6所示即為此種數(shù)據(jù)分 布情況，圖6的數(shù)據(jù)取得方法與圖3相同，從圖6中可以看到，第一、第二 組數(shù)據(jù)樣本偏倚小于O,第三、第四組數(shù)據(jù)樣本偏倚大于0。
第二種數(shù)據(jù)分布情況各組半導(dǎo)體器件的偏倚雖然均大于0或均小于0， 但是各組偏倚不相近，隨標(biāo)準(zhǔn)值的變大而變大。
對(duì)于上述兩種數(shù)據(jù)分布情況，采用相對(duì)偏倚的線性度作為評(píng)估指標(biāo)較為 精確。執(zhí)行步驟s58，將根據(jù)各組半導(dǎo)體器件的測(cè)量值和對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)值的相對(duì) 偏倚的線性度、各組半導(dǎo)體器件的測(cè)量值的重復(fù)性及再現(xiàn)性和半導(dǎo)體器件測(cè) 量值的穩(wěn)定程度作為評(píng)估指標(biāo)。
所述各組半導(dǎo)體器件的相對(duì)偏倚的線性度根據(jù)下述公式獲得 A=^^，其中Yij代表測(cè)量數(shù)據(jù)，例如Yu就是將對(duì)第一個(gè)半導(dǎo)體器
義,o
件的第一次測(cè)量所得的測(cè)量數(shù)據(jù)作為第一組數(shù)據(jù)樣本的第一個(gè)數(shù)據(jù)，Y14就是 將對(duì)第一個(gè)半導(dǎo)體器件的第四次測(cè)量所得的測(cè)量數(shù)據(jù)作為第一組^t據(jù)樣本的 第四個(gè)數(shù)據(jù)，Xi。為第i組半導(dǎo)體器件的測(cè)量值對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)值。
所述各組半導(dǎo)體器件的測(cè)量值的重復(fù)性及再現(xiàn)性;f艮據(jù)下述^^式獲得
Gi / 2=(5.15 ,)2+(5.15c7—)2，其中CT^用來表示在一小段測(cè)量時(shí)間內(nèi)用同 一測(cè)量機(jī)臺(tái)對(duì)同一點(diǎn)多次測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)方差，而a。d用來表示當(dāng)測(cè)量條件改變 導(dǎo)致的測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)方差。獲得a。t和cj"d的方法參照上述計(jì)算精度的公式。
所述半導(dǎo)體器件測(cè)量值的穩(wěn)定程度參照第一類樣本的描述。
對(duì)于第四類樣本，執(zhí)行步驟s59，將各組半導(dǎo)體器件的測(cè)量值和對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)值的相對(duì)偏倚的線性度、各組半導(dǎo)體器件的測(cè)量值的權(quán)重重復(fù)性及再現(xiàn)性 和半導(dǎo)體器件測(cè)量值的穩(wěn)定程度作為評(píng)估指標(biāo)。
& =^l￡_ ，其中Yij代表測(cè)量數(shù)據(jù)，例如Y 就是將對(duì)第一個(gè)半導(dǎo)體器
《o
件的第一次測(cè)量所得的測(cè)量數(shù)據(jù)作為第一組數(shù)據(jù)樣本的第一個(gè)數(shù)據(jù)，Y14就是 將對(duì)第一個(gè)半導(dǎo)體器件的第四次測(cè)量所得的測(cè)量數(shù)據(jù)作為第一組數(shù)據(jù)樣本的 第四個(gè)數(shù)據(jù)，Xw為第i組半導(dǎo)體器件的測(cè)量值對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)值。
所述各組半導(dǎo)體器件的測(cè)量值的權(quán)重重復(fù)性及再現(xiàn)性根據(jù)下述公式獲
得
^1LG/^2+^1L(^^22+Zilg 朋32+…，其中Xh)、 X20、 X3o為各組半導(dǎo)體器
^10 ^20
件的測(cè)量值對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)值，而GRR,2、 GRR22、 GRR卩為各組半導(dǎo)體器件的測(cè) 量值的重復(fù)性及再現(xiàn)性。
所述半導(dǎo)體器件測(cè)量值的穩(wěn)定程度參照第一類樣本的描述。
步驟s6,將所述評(píng)估指標(biāo)中至少有兩個(gè)評(píng)估指標(biāo)最佳的質(zhì)量評(píng)估樣本對(duì) 應(yīng)的測(cè)量機(jī)臺(tái)作為金牌機(jī)臺(tái)。當(dāng)對(duì)于上述的各類樣本中的各個(gè)評(píng)估指標(biāo)進(jìn)行 計(jì)算之后，就能以此對(duì)所述的各個(gè)測(cè)量機(jī)臺(tái)進(jìn)行評(píng)估來選4奪金牌機(jī)臺(tái)了。例 如，對(duì)于待選的測(cè)量機(jī)臺(tái)，^i殳這些測(cè)量機(jī)臺(tái)的數(shù)據(jù)分布都屬于第一類樣本， 若有測(cè)量機(jī)臺(tái)在絕對(duì)偏倚的線性度、測(cè)量值的重復(fù)性及再現(xiàn)性和穩(wěn)定程度三 個(gè)評(píng)估指標(biāo)中有至少任意兩個(gè)指標(biāo)都優(yōu)于其他測(cè)量機(jī)臺(tái)，那么該臺(tái)測(cè)量機(jī)臺(tái) 就可以作為金牌機(jī)臺(tái)。而對(duì)于屬于不同分類樣本的數(shù)據(jù)分布，通常第一類樣 本的數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)的測(cè)量機(jī)臺(tái)也認(rèn)為是較優(yōu)的，可以作為金牌機(jī)臺(tái)。
綜上所述，上述測(cè)量機(jī)臺(tái)的評(píng)估方法根據(jù)各個(gè)測(cè)量機(jī)臺(tái)所獲得的質(zhì)量評(píng) 估樣本中各組半導(dǎo)體器件測(cè)量值的偏倚和離散程度對(duì)所述質(zhì)量評(píng)估樣本的數(shù)據(jù)分布情況進(jìn)行分類，并計(jì)算所述分類數(shù)據(jù)分布對(duì)應(yīng)的評(píng)估指標(biāo)，并將至少 有兩個(gè)評(píng)估指標(biāo)最佳的質(zhì)量評(píng)估樣本對(duì)應(yīng)的測(cè)量機(jī)臺(tái)作為金牌機(jī)臺(tái)。由于上 述方法是通過將數(shù)據(jù)分布進(jìn)行分類再進(jìn)行各自對(duì)應(yīng)的評(píng)估，因而所獲得的金 牌機(jī)臺(tái)所獲得的測(cè)量值更接近于實(shí)際測(cè)量值，根據(jù)所述金牌機(jī)臺(tái)獲得的測(cè)量 值也能更精確地獲得與實(shí)際標(biāo)準(zhǔn)值的差異，從而也提高了質(zhì)量評(píng)估的準(zhǔn)確性。
雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例披露如上，但本發(fā)明并非限定于此。任何本 領(lǐng)域技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，均可作各種更動(dòng)與修改， 因此本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)當(dāng)以權(quán)利要求所限定的范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種測(cè)量機(jī)臺(tái)的評(píng)估方法，其特征在于，包括下列步驟，對(duì)于至少兩臺(tái)測(cè)量機(jī)臺(tái)，計(jì)算各個(gè)測(cè)量機(jī)臺(tái)所獲得的至少兩組半導(dǎo)體器件的測(cè)量值的精度；將所述各個(gè)測(cè)量機(jī)臺(tái)的符合精度要求的至少兩組測(cè)量值作為質(zhì)量評(píng)估樣本，計(jì)算所述樣本中各組半導(dǎo)體器件測(cè)量值的偏倚；按所述各組半導(dǎo)體器件測(cè)量值的偏倚和離散程度對(duì)所述質(zhì)量評(píng)估樣本進(jìn)行分類，并將所述各組半導(dǎo)體器件測(cè)量值的偏倚線性度、離散程度和穩(wěn)定程度作為評(píng)估指標(biāo)；將所述評(píng)估指標(biāo)中至少有兩個(gè)評(píng)估指標(biāo)最佳的質(zhì)量評(píng)估樣本對(duì)應(yīng)的測(cè)量機(jī)臺(tái)作為金牌機(jī)臺(tái)。
2. 如權(quán)利要求1所述的測(cè)量機(jī)臺(tái)的評(píng)估方法，其特征在于，若所述各組半導(dǎo) 體器件的測(cè)量值的偏倚在偏倚容忍范圍內(nèi)，且各組偏倚在相近范圍內(nèi)，并且 所述各組半導(dǎo)體器件測(cè)量值的離散程度在相近范圍內(nèi)，則將所述各組半導(dǎo)體 器件的測(cè)量值和對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)值的絕對(duì)偏倚的線性度、各組半導(dǎo)體器件的測(cè)量 值的重復(fù)性及再現(xiàn)性和半導(dǎo)體器件測(cè)量值的穩(wěn)定程度作為評(píng)估指標(biāo)。
3. 如權(quán)利要求1所述的測(cè)量機(jī)臺(tái)的評(píng)估方法，其特征在于，若所述各組半導(dǎo) 體器件的測(cè)量值的偏倚在偏倚容忍范圍內(nèi)，所述各組偏倚不在相近范圍內(nèi)， 并且隨標(biāo)準(zhǔn)值的變大而變大，而各組半導(dǎo)體器件的測(cè)量值的離散程度在相近 范圍內(nèi)，則將所述各組半導(dǎo)體器件的測(cè)量值和對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)值的相對(duì)偏倚的線 性度、各組半導(dǎo)體器件的測(cè)量值的重復(fù)性及再現(xiàn)性和半導(dǎo)體器件測(cè)量值的穩(wěn) 定程度作為評(píng)估指標(biāo)。
4. 如權(quán)利要求1所述的測(cè)量機(jī)臺(tái)的評(píng)估方法，其特征在于，若所述各組半導(dǎo) 體器件的測(cè)量值的偏倚在偏倚容忍范圍內(nèi)，且各組偏倚在相近范圍內(nèi)，而各 組半導(dǎo)體器件的測(cè)量值的離散程度不在相近范圍內(nèi)，隨著標(biāo)準(zhǔn)值的變大而變大，則將所述各組半導(dǎo)體器件的測(cè)量值和對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)值的絕對(duì)偏倚的線性度、 各組半導(dǎo)體器件的測(cè)量值的權(quán)重重復(fù)性及再現(xiàn)性和半導(dǎo)體器件測(cè)量值的穩(wěn)定 程度作為評(píng)估指標(biāo)。
5. 如權(quán)利要求1所述的測(cè)量機(jī)臺(tái)的評(píng)估方法，其特征在于，若所述各組半導(dǎo) 體器件的測(cè)量值的偏倚在偏倚容忍范圍內(nèi)，所述各組偏倚不在相近范圍內(nèi)， 并且隨標(biāo)準(zhǔn)值的變大而變大，而各組半導(dǎo)體器件的測(cè)量值的離散程度不在相 近范圍內(nèi)，隨著標(biāo)準(zhǔn)值的變大而變大，則將所述各組半導(dǎo)體器件的測(cè)量值和 對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)值的相對(duì)偏倚的線性度、各組半導(dǎo)體器件的測(cè)量值的權(quán)重重復(fù)性 及再現(xiàn)性和半導(dǎo)體器件測(cè)量值的穩(wěn)定程度作為評(píng)估指標(biāo)。
6. 如權(quán)利要求1所述的測(cè)量機(jī)臺(tái)的評(píng)估方法，其特征在于，所述各組測(cè)量值 的精度根據(jù)下述公式獲得<formula>formula see original document page 3</formula>,其中Grpt用來表示在一小段測(cè)量時(shí) C/S丄一丄Si 卬間內(nèi)用同一測(cè)量機(jī)臺(tái)對(duì)同一半導(dǎo)體器件多次測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)方差，而(Trpd用來表 示當(dāng)測(cè)量條件改變導(dǎo)致的測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)方差，所述的測(cè)量條件改變包括測(cè)量者的改變、測(cè)量位置的改變以及測(cè)量環(huán)境的改變，USL為被測(cè)量半導(dǎo)體器件的規(guī) 格界上限，LSL為被測(cè)量半導(dǎo)體器件的規(guī)格界下限。
7. 如權(quán)利要求6所述的測(cè)量機(jī)臺(tái)的評(píng)估方法，其特征在于，所述精度要求為 %GRR<10%。
8. 如權(quán)利要求1所述的測(cè)量機(jī)臺(tái)的評(píng)估方法，其特征在于，所述各組測(cè)量值 的穩(wěn)定程度根據(jù)下述公式獲得雄=％ ，其中MeanShift為同一測(cè)量機(jī)臺(tái)兩次對(duì)同一半導(dǎo)體器件測(cè)量的差值，USL為被測(cè)量半導(dǎo)體器件規(guī)格界上限，LSL為被測(cè)量半導(dǎo)體 器件規(guī)格界下限。
9. 如權(quán)利要求2至5任一項(xiàng)所述的測(cè)量機(jī)臺(tái)的評(píng)估方法，其特征在于，所述各組半導(dǎo)體器件的絕對(duì)偏倚的線性度根據(jù)下述公式獲得& =其中Yy代表第i組半導(dǎo)體器件測(cè)量凄y居的第j個(gè)測(cè)量值，X,o為第i組半導(dǎo)體器件的測(cè)量值對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)值。
10. 如權(quán)利要求2至5任一項(xiàng)所述的測(cè)量機(jī)臺(tái)的評(píng)估方法，其特征在于，所述 各組半導(dǎo)體器件的相對(duì)偏倚的線性度根據(jù)下述公式獲得& =^z￡ii ，其中Yy代表第i組半導(dǎo)體器件測(cè)量數(shù)據(jù)的第j個(gè)測(cè)量值，Xi。為第i組半導(dǎo)體器件的測(cè)量值對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)值。
11 如權(quán)利要求2至5任一項(xiàng)所述的測(cè)量機(jī)臺(tái)的評(píng)估方法，其特征在于，所述 各組半導(dǎo)體器件的測(cè)量值的重復(fù)性及再現(xiàn)性根據(jù)下述公式獲得( 朋2=(5.15 ,)2+(5.15%(/)2，其中。。t用來表示在一小段測(cè)量時(shí)間內(nèi)用同一測(cè)量機(jī)臺(tái)對(duì)同一點(diǎn)多次測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)方差，而a。d用來表示當(dāng)測(cè)量條件改變 導(dǎo)致的測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)方差。
12.如權(quán)利要求2至5任一項(xiàng)所述的測(cè)量機(jī)臺(tái)的評(píng)估方法，其特征在于，所述 各組半導(dǎo)體器件的測(cè)量值的權(quán)重重復(fù)性及再現(xiàn)性根據(jù)下述公式獲得ZllGi^2+^LG朋22+^LG朋32+一其中x,o、 X20、 X3。為各組半導(dǎo)體器件的測(cè)量值對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)值，而GRE42、 GRR22、 GRR32為各組半導(dǎo)體器件的測(cè) 量值的重復(fù)性及再現(xiàn)性。
全文摘要
一種測(cè)量機(jī)臺(tái)的評(píng)估方法，包括下列步驟，對(duì)于至少兩臺(tái)測(cè)量機(jī)臺(tái)，計(jì)算各個(gè)測(cè)量機(jī)臺(tái)所獲得的至少兩組半導(dǎo)體器件的測(cè)量值的精度；將所述各個(gè)測(cè)量機(jī)臺(tái)的符合精度要求的至少兩組測(cè)量值作為質(zhì)量評(píng)估樣本，計(jì)算所述樣本中各組半導(dǎo)體器件測(cè)量值的偏倚；按所述各組半導(dǎo)體器件測(cè)量值的偏倚和離散程度對(duì)所述質(zhì)量評(píng)估樣本進(jìn)行分類，并將所述各組半導(dǎo)體器件測(cè)量值的偏倚線性度、離散程度和穩(wěn)定程度作為評(píng)估指標(biāo)；將所述評(píng)估指標(biāo)中至少有兩個(gè)評(píng)估指標(biāo)最佳的質(zhì)量評(píng)估樣本對(duì)應(yīng)的測(cè)量機(jī)臺(tái)作為金牌機(jī)臺(tái)。
文檔編號(hào)G01R31/26GK101592692SQ20081011406
公開日2009年12月2日 申請(qǐng)日期2008年5月30日 優(yōu)先權(quán)日2008年5月30日
發(fā)明者楊斯元, 簡(jiǎn)維廷 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(北京)有限公司