專利名稱：：使用振動(dòng)檢測的坐標(biāo)測量機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及測量裝置，更具體地涉及坐標(biāo)測量機(jī)。
背景技術(shù)：
：諸如關(guān)節(jié)臂型PCMM的便攜式坐標(biāo)測量機(jī)(PortableCoordinateMeasurementMachine,PCMM)可以用于執(zhí)行各種測量和坐標(biāo)獲取任務(wù)。在一種常見的可商業(yè)獲得的PCMM中，具有通過關(guān)節(jié)接頭連接的三個(gè)傳動(dòng)構(gòu)件的關(guān)節(jié)臂使得探針頭部或探針頂端繞七個(gè)軸容易地移動(dòng)以進(jìn)行各種測量。在操作中，當(dāng)探針頭部或探針頂端接觸目標(biāo)時(shí)，PCMM向處理單元輸出與關(guān)節(jié)臂上的傳動(dòng)構(gòu)件和關(guān)節(jié)接頭的定向有關(guān)的數(shù)據(jù)。然后該數(shù)據(jù)將被轉(zhuǎn)化成在探針頭部或探針頂端的位置測量。這些裝置的典型用途通常涉及制造檢驗(yàn)和質(zhì)量控制。在這些應(yīng)用中，通常僅在臂上的測量點(diǎn)與待測物件接觸時(shí)才進(jìn)行測量?？梢酝ㄟ^應(yīng)變儀、靜電荷或用戶輸入表示接觸。這些裝置已獲得商業(yè)上的成功。但仍存在繼續(xù)提高這些儀器的精確度的一般需求。
發(fā)明內(nèi)容如進(jìn)一步詳細(xì)說明的，這里公開的系統(tǒng)和方法克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷并且具有某些優(yōu)勢。使用應(yīng)變儀來表示接觸，在該儀器的偏移將附加誤差引入位置測量的情況下會(huì)帶來問題。靜電荷不適用于所有應(yīng)用。用戶輸入可引入誤差，這是由于在初始接觸與用戶輸入之間可存在附加延遲，并且還由于用戶輸入本身(例如，啟動(dòng)按鈕)會(huì)導(dǎo)致PCMM的其他動(dòng)作。此外，這些裝置自身產(chǎn)生的振動(dòng)會(huì)增加它們測量的誤差。鑒于上述討論的現(xiàn)有方法，需要一種用于檢測接觸的更優(yōu)異的系統(tǒng)和方法。在一個(gè)實(shí)施例中，一種關(guān)節(jié)臂系統(tǒng)可以包括具有多個(gè)互連的支撐臂段的關(guān)節(jié)測量臂。所述臂段可以繞多個(gè)軸移動(dòng)。多個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)角傳感器可以安裝在該臂上，用于測量這些支撐臂段之間的旋轉(zhuǎn)位置。此外，在接近該臂的端部處，振動(dòng)檢測裝置可以與該臂連接。該振動(dòng)檢測裝置可以與這些傳感器操作性連接，從而當(dāng)檢測到超過閾值振幅的新振動(dòng)時(shí)由這些傳感器輸出旋轉(zhuǎn)位置。在另一實(shí)施例中，提供一種操作關(guān)節(jié)臂系統(tǒng)的方法。用關(guān)節(jié)測量臂接觸待測物品。該臂可以包括能繞多個(gè)軸移動(dòng)的多個(gè)互連支撐臂段。剛剛接觸該物品時(shí)，在該測量臂的端部感測新振動(dòng)。響應(yīng)該新振動(dòng)產(chǎn)生觸發(fā)信號。響應(yīng)該觸發(fā)信號自動(dòng)測量該測量臂的端部的位置。在一些實(shí)施例中，自動(dòng)測量的步驟可以包括傳感器輸出所述支撐臂段的旋轉(zhuǎn)位置。在其他實(shí)施例中，該步驟還可以包括存儲(chǔ)或處理輸出的旋轉(zhuǎn)位置。在又一實(shí)施例中，提供一種用于坐標(biāo)測量機(jī)的探針。該探針可以包括探針頂端，該探針頂端包括安裝在其內(nèi)的加速度計(jì)。該探針頂端可經(jīng)由探針頸部與探針主體連接。此外，安裝部可以將該探針主體安裝到坐標(biāo)測量機(jī)上。該安裝部可以包括連接裝置和數(shù)據(jù)端口。該連接裝置可以與該坐標(biāo)測量機(jī)形成相互接合的結(jié)構(gòu)以形成物理連接。該數(shù)據(jù)端口可以在該探針與該坐標(biāo)測量機(jī)之間提供數(shù)據(jù)傳輸。出于概述的目的，在此描述本發(fā)明的某些方面、優(yōu)勢和新穎特征。應(yīng)理解，根據(jù)本發(fā)明的任何特定實(shí)施例可不必實(shí)現(xiàn)所有這些優(yōu)勢。因此，例如，本領(lǐng)域的技術(shù)人員將認(rèn)識到本發(fā)明可以實(shí)現(xiàn)這里所教導(dǎo)的一個(gè)優(yōu)勢或一組優(yōu)勢的方式被具體化或?qū)嵤?，而不必?shí)現(xiàn)這里可教導(dǎo)或暗示的其他優(yōu)勢。從下文的詳細(xì)描述結(jié)合示出本發(fā)明示例性實(shí)施例的附圖中，本發(fā)明的進(jìn)一步目的、特征和優(yōu)勢將變得更加清楚，其中圖1是坐標(biāo)測量機(jī)(CMM)的實(shí)施例的立體圖；圖2是CMM的另一實(shí)施例的立體圖；圖3是用于圖1或圖2的CMM的探針的實(shí)施例的示意圖；圖3A是用于圖1或圖2的CMM的探針的實(shí)施例的示意圖；圖4是用于圖1或圖2的CMM的探針的另一實(shí)施例的示意圖；以及圖5是用于圖1或圖2的CMM的探針的另一實(shí)施例的示意圖。具體實(shí)施例方式下文的詳細(xì)說明介紹了這里所描述的本教導(dǎo)的某些實(shí)施例的各種說明。但是，本教導(dǎo)的發(fā)明范圍可以權(quán)利要求所限定和覆蓋的多種不同的方式被具體化。在本說明中將參照附圖，且在整個(gè)附圖中，用相同的附圖標(biāo)記表示相同的部件。圖1示出便攜式坐標(biāo)測量機(jī)(PCMM)10的一個(gè)實(shí)施例。雖然所示實(shí)施例是便攜式坐標(biāo)測量機(jī)，但應(yīng)理解某些實(shí)施例也可應(yīng)用于非便攜式或半便攜式CMM的情況。在所示實(shí)施例中，PCMM10包括基座20，多個(gè)剛性傳動(dòng)構(gòu)件MJ6和28，坐標(biāo)獲取構(gòu)件30以及將所述剛性傳動(dòng)構(gòu)件M、26、28彼此連接的多個(gè)關(guān)節(jié)構(gòu)件40、42、44、46、48和50。每個(gè)關(guān)節(jié)構(gòu)件配置成具有自由的一個(gè)或多個(gè)旋轉(zhuǎn)和/或角度。通過各個(gè)關(guān)節(jié)構(gòu)件40、42、44、46、48和50，PCMM10可以對準(zhǔn)不同的空間定向，由此允許坐標(biāo)獲取構(gòu)件30在三維空間上的精確定位。可以使用手動(dòng)、機(jī)器人、半機(jī)器人和/或任何其它調(diào)整方法調(diào)整剛性傳動(dòng)構(gòu)件對、26、觀和坐標(biāo)獲取構(gòu)件30的位置。在一個(gè)實(shí)施例中，PCMM10通過各種關(guān)節(jié)構(gòu)件設(shè)置有七個(gè)旋轉(zhuǎn)的移動(dòng)軸。但是，應(yīng)理解，可以使用的移動(dòng)軸的數(shù)量不受限制，并且更少或更多的移動(dòng)軸可以包含在該P(yáng)CMM設(shè)計(jì)中。在各種實(shí)施例中，坐標(biāo)獲取構(gòu)件30包括接觸傳感構(gòu)件或接觸探針32，用于接合所選目標(biāo)的表面并且基于探針接觸產(chǎn)生坐標(biāo)數(shù)據(jù)。在一些實(shí)施例中，接觸探針32可以是基本上剛性且固態(tài)的硬探針。用于檢測和/或表示接觸的裝置或模塊可以設(shè)置在硬探針的外側(cè)，下文進(jìn)一步討論。如下文還進(jìn)一步討論的，探針接觸可以由在探針上、附近或內(nèi)部的檢測到的振動(dòng)來表示。在其他實(shí)施例中，坐標(biāo)獲取構(gòu)件30還可以包括諸如遠(yuǎn)程掃描和檢測部件的用于檢測位置的其他方法和裝置，該遠(yuǎn)程掃描和檢測部件不一定需要與所選目標(biāo)直接接觸以獲取幾何數(shù)據(jù)。在一個(gè)實(shí)施例中，可以使用激光坐標(biāo)檢測裝置(例如，激光照相機(jī))，不直接與目標(biāo)接觸而獲得幾何數(shù)據(jù)。應(yīng)理解，為了坐標(biāo)獲取的目的，用于檢測位置和/或接觸的各種坐標(biāo)獲取構(gòu)件方法和裝置還可以與振動(dòng)檢測探針(如下文描述)相結(jié)合，所述各種坐標(biāo)獲取構(gòu)件方法和裝置包括接觸傳感探針、遠(yuǎn)程掃描探針、激光掃描探針、使用應(yīng)變儀用于接觸檢測的探針、使用壓力傳感器用于接觸檢測的探針、使用紅外光束用于定位的探針以及用于靜電響應(yīng)的探針。在其他實(shí)施例中，剛性傳動(dòng)構(gòu)件對、26、觀的一個(gè)或多個(gè)包括包含內(nèi)部分和外骨架部分的復(fù)合結(jié)構(gòu)。在這種布置中，剛性傳動(dòng)構(gòu)件對、26、觀的內(nèi)部分通過關(guān)節(jié)構(gòu)件彼此互連，這些關(guān)節(jié)構(gòu)件使得坐標(biāo)獲取構(gòu)件30能夠在三維空間內(nèi)以各種不同的定向定位。在剛性傳動(dòng)構(gòu)件對、26、觀的各個(gè)內(nèi)部分周圍的外部分形成至少部分包圍這些內(nèi)部分的多個(gè)段的環(huán)境壁壘。在一個(gè)方面，所述內(nèi)部分配置成在相應(yīng)外部分內(nèi)“漂浮”。如本領(lǐng)域所知，通過知道每個(gè)構(gòu)件的長度以及關(guān)節(jié)構(gòu)件40、42、44、46、48、50的每一個(gè)的特定位置可以計(jì)算探針32在特定時(shí)刻的空間位置。關(guān)節(jié)構(gòu)件40、42、44、46、48、50的每一個(gè)可以分解成單獨(dú)的動(dòng)作旋轉(zhuǎn)度，每個(gè)動(dòng)作旋轉(zhuǎn)度使用專用旋轉(zhuǎn)變換器測量。每個(gè)變換器輸出信號(例如，電信號)，該信號隨著關(guān)節(jié)構(gòu)件40、42、44、46、48、50在其動(dòng)作度的移動(dòng)而變化。該信號可以通過電線傳播或其它方式發(fā)送至基座20。在基座20中，該信號被處理和/或傳送至計(jì)算機(jī)用于確定和記錄探針32的空間位置。在一個(gè)實(shí)例中，變換器可以包括光學(xué)編碼器。通常，每個(gè)編碼器通過將其移動(dòng)耦接到一對內(nèi)部滾輪來測量其輪軸的旋轉(zhuǎn)位置，所述內(nèi)部滾輪具有連續(xù)的透明和不透明帶。在這樣的實(shí)施例中，光能夠穿過所述滾輪照射在饋送一對電輸出的光學(xué)傳感器上。由于輪軸掃過一個(gè)圓弧，因此模擬編碼器的輸出能夠基本上是兩個(gè)相位相差90度的正弦信號。通過監(jiān)控這兩個(gè)信號的極性變化可以進(jìn)行粗定位。通過測量在待測時(shí)刻兩個(gè)信號的實(shí)際值可以確定精確定位。在某些實(shí)施例中，通過在被電子噪聲破壞之前精確地測量輸出，從而能夠獲得最大的精確度。CMM10的所示實(shí)施例的其它細(xì)節(jié)和實(shí)施例可以在美國專利No.5，829，148和(2007年7月9日提交的)美國專利公開No.2009-0013547以及(2007年12月21日提交的)美國專利公開No.2009-0013548中獲得，在此通過援引的方式并入其全部內(nèi)容。在一個(gè)實(shí)施例中，PCMM10的基座20可以位于支撐表面上，例如位于桌子、地板、墻壁或任何其它穩(wěn)定的表面上。在另一實(shí)施例中，如圖2中所示，基座20A可以放置在移動(dòng)單元14上，以允許PCMMIOA從一個(gè)位置方便地移動(dòng)到另一個(gè)位置。在這種布置中，基座20A可以固定的方式(例如，栓接、緊扣或其它方式連接在一個(gè)或多個(gè)位置)固定到移動(dòng)單元14上。此外，移動(dòng)單元14可以配置有便于移動(dòng)PCMMIOA的可伸縮的或者下拉式滾輪16。當(dāng)適當(dāng)?shù)囟ㄎ辉谒栉恢脮r(shí)，滾輪16可以縮回，并且剛性支撐腿(未示出)可用于將PCMMIOA固定在固定且穩(wěn)定的位置以備獲取坐標(biāo)數(shù)據(jù)。PCMM10的此實(shí)施例的其他細(xì)節(jié)可以在(2006年12月沈日公布的)美國專利No.7，152,456中獲得，在此通過援引的方式并入其全部內(nèi)容。繼續(xù)參照圖1和圖2，在PCMM10的各個(gè)實(shí)施例中，諸如探針32的可以用于坐標(biāo)獲取的各種裝置可以配置成與PCMM10手動(dòng)斷開以及重新連接，以便用戶無需專用工具就能夠更換探針。因此，用戶能夠迅速且容易地移走一個(gè)探針，并且替換為另外一個(gè)探針。這種連接可以包括任何快速斷開或手動(dòng)斷開裝置。探針的快速連接能力對于在相對短的時(shí)間內(nèi)用于眾多種類測量技術(shù)(例如，在需要探針與表面的物理接觸的測量之后進(jìn)行僅需有探針光接觸的測量)的PCMM特別有利。有關(guān)探針和快速連接能力的進(jìn)一步細(xì)節(jié)可以在O008年3月觀日提交的)美國專利申請No.12/057,918中獲得，在此通過援引的方式并入其全部內(nèi)容。在圖1和圖2的實(shí)施例中，探針30還包括按鈕66，其配置成用戶可以接近。通過逐一、多個(gè)或以預(yù)設(shè)順序按壓一個(gè)或多個(gè)按鈕66，用戶可以向PCMM10輸入各種命令。在一些實(shí)施例中，按鈕66可以用于指示一個(gè)或多個(gè)坐標(biāo)讀取準(zhǔn)備被記錄。在其他實(shí)施例中，按鈕66可以用于指示正被測量的位置是原始位置以及相對于原始位置的其他應(yīng)測量位置。在又一些實(shí)施例中，按鈕66可以用于啟動(dòng)或關(guān)閉PCMM10。在另外的一些實(shí)施例中，按鈕66是可編程的以滿足用戶的特殊需求。按鈕66位于探針30上是有利的，因?yàn)橛脩舢?dāng)使用探針32或更普遍地使用坐標(biāo)獲取構(gòu)件30時(shí)，不需要接近基座20或計(jì)算機(jī)便可啟動(dòng)PCMM10的各種功能。這種定位特別有利于在PCMM具有特別長的傳動(dòng)構(gòu)件MJ6或觀的實(shí)施例中將基座20設(shè)置在坐標(biāo)獲取構(gòu)件30的用戶達(dá)不到地方。在PCMM10的一些實(shí)施例中，可以提供任何數(shù)量的用戶輸入按鈕(例如，具有比圖1中所示的三個(gè)更多或更少的數(shù)量)，這些用戶輸入按鈕可以設(shè)置在坐標(biāo)獲取構(gòu)件30上的各種其他位置或PCMM10上的任何地方。代替用戶輸入按鈕或除了用戶輸入按鈕之外，PCMM的其他實(shí)施例可以包括位于PCMM10或坐標(biāo)獲取構(gòu)件30上的其他用戶輸入裝置，例如，開關(guān)、旋轉(zhuǎn)式撥號盤或觸摸板。圖3至圖5示出探針32的幾個(gè)實(shí)施例，所述探針32包括用于提供與檢測接觸相關(guān)的信息以及其他能力的模塊或裝置。這里所使用的術(shù)語“模塊”或“裝置”是指用硬件或軟件(包括固件)實(shí)現(xiàn)的邏輯、或硬件和軟件的結(jié)合、或者軟件指令的集合。軟件指令可以嵌入在固件中，例如EPR0M，并由處理器執(zhí)行。還應(yīng)理解，硬件模塊可以包括連接的邏輯單元，例如門和觸發(fā)器，和/或可以包括可編程單元，例如可編程門陣列或處理器。這里所描述的模塊可實(shí)施為軟件模塊，或者可以用硬件或固件體現(xiàn)。通常，這里所描述的模塊是指不管其物理組織或存儲(chǔ)而可與其他模塊相結(jié)合或分成多個(gè)子模塊的邏輯模塊。圖3示意性地示出改進(jìn)探針32的一個(gè)實(shí)施例。探針32包括探針支架100、探針底座101、探針頸部105、以及探針頂端108。探針支架100可以是PCMMlO的末端管，并且可配置成容納例如感測振動(dòng)、獲得實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)、和/或提供有關(guān)將探針與PCMM相校準(zhǔn)的信息等的各個(gè)模塊。探針底座101用于將探針32連接到PCMM10，或者這里描述的PCMM或CMM的其它實(shí)施例或本領(lǐng)域公知的其它PCMM或CMM。類似地，這里描述的其它探針也可應(yīng)用于各種PCMM或CMM。探針底座101提供的連接可以是永久連接、可逆連接、快速連接、或類似形式的連接。探針頸部105用于連接探針頂端108與探針支架100。在下文將討論的一些實(shí)施例中，探針頸部105可以配置成包括例如獲得探針32的溫度的一些模塊。在其他實(shí)施例中，探針頸部105可以基本上是固體的，可以僅提供細(xì)孔，用于一條或多條電線的通道。探針頂端108可以形成探針32的端部，并且可以用于接合所選目標(biāo)的表面和/或基于本領(lǐng)域所公知的探針接觸產(chǎn)生坐標(biāo)數(shù)據(jù)。探針頂端108典型地形成圓形球狀或球面，也可以是其他形狀。繼續(xù)參照圖3，探針支架100還包括振動(dòng)檢測裝置200。盡管這里描述的振動(dòng)檢測裝置200是加速度計(jì)，但也可以使用本領(lǐng)域公知的其他振動(dòng)檢測的方法，例如電容式觸摸傳感器或MEMS擴(kuò)音器的各種構(gòu)造。在一個(gè)實(shí)施例中，加速度計(jì)200能夠使用掛接具有差動(dòng)電容器的彈簧的結(jié)構(gòu)來檢測振動(dòng)，所述差動(dòng)電容器提供表示該結(jié)構(gòu)的位置以及彈簧的相應(yīng)偏移的信號。在另一實(shí)施例中，加速度計(jì)200包括微機(jī)電系統(tǒng)(MicroElectro-MechanicalSystem,MEMS)，該微機(jī)電系統(tǒng)包括具有位于氣封環(huán)境內(nèi)提供阻尼的測試質(zhì)量塊(或測振質(zhì)量塊)的懸臂梁。在外部加速度的影響下，測試質(zhì)量塊偏移其振中位置。該偏移能夠用模擬或數(shù)字方式測量。在一種布置中，測量在一組固定梁與測試質(zhì)量塊所連接的一組梁之間的電容。在另一布置中，壓電電阻器可以結(jié)合到彈簧中以檢測彈簧的形變。如本領(lǐng)域已知的，大多數(shù)加速度計(jì)在平面內(nèi)起作用，也就是，它們設(shè)計(jì)成僅對裝置的平面內(nèi)的方向敏感。通過垂直地將兩個(gè)裝置結(jié)合在一個(gè)平面上，可以制成二軸加速度計(jì)。通過添加平面外的另一裝置，可以測量三軸。本領(lǐng)域技術(shù)人員會(huì)了解根據(jù)這里的公開可以使用的加速度計(jì)200的其他實(shí)施例。如圖3中所示，加速度計(jì)200可以通過總線109與探針底座101連接，允許將來自加速度計(jì)的信息從探針32發(fā)送至PCMM10以及任何其他所需單元或子部件。因此，加速度計(jì)200可以操作性地連接到PCMM10的其他元件，如上述用于測量旋轉(zhuǎn)位置的裝置。在一些實(shí)施例中，操作性連接可以是直接的，使信號從所述加速度計(jì)200傳送至子部件且保持不變。在其他實(shí)施例中，操作性連接可以是間接的，可以穿過(下文描述的)處理器，該處理器可以改變信號或者產(chǎn)生新的信號以傳送到至少部分依賴來自加速度計(jì)200的信號的子部件。在另一些實(shí)施例中，操作性連接可以是間接的，穿過一系列中間部件。在該實(shí)施例中，加速度計(jì)200接近探針頂端108，因此能夠有利于檢測探針頂端108上的或來自探針頂端108的振動(dòng)。例如，在一些實(shí)施例中，加速度計(jì)可以直接或間接地剛性連接到探針頂端108。這種剛性連接能夠最小化從探針頂端108傳播到加速度計(jì)200的振動(dòng)的阻尼。此外，可以以探針頂端108的初始加速進(jìn)行最小化之后的連續(xù)振動(dòng)方式連接加速度計(jì)200。例如，在一些實(shí)施例中，加速度計(jì)200可被直接支撐，而不是懸臂式或者掛接。加速度計(jì)200可以用于測量包括三個(gè)平移方向和三個(gè)旋轉(zhuǎn)方向的多個(gè)方向上的振動(dòng)。但是，在一些實(shí)施例中，較少的振動(dòng)方向能被檢測。例如，由于在操作中旋轉(zhuǎn)振動(dòng)較不顯著，因此在一些實(shí)施例中，僅能測量三個(gè)平移振動(dòng)。此外，在一些實(shí)施例中，需要簡化的加速度計(jì)200，在這種情況下，僅能測量與探針頸部105平行的平移振動(dòng)。更一般地，所測量的振動(dòng)可以根據(jù)PCMM10的預(yù)期用途而變化。一旦檢測到振動(dòng)，加速度計(jì)200可以向PCMM10指示該活動(dòng)，由此觸發(fā)測量探針頂端108的位置。如上所述，響應(yīng)觸發(fā)，關(guān)節(jié)構(gòu)件40、42、44、46、48、50的旋轉(zhuǎn)度可被記錄和/或獲取。在一些實(shí)施例中，加速度計(jì)可以直接將該指示提供到例如與關(guān)節(jié)構(gòu)件相關(guān)聯(lián)的編碼器。在其他實(shí)施例中，該指示可以例如經(jīng)由探針32上的處理器(下文進(jìn)一步討論)或PCMM10上的某個(gè)其他裝置間接提供。在另一些實(shí)施例中，編碼器可以將旋轉(zhuǎn)位置連續(xù)輸出到分離的處理器，該分離的處理器也與加速度計(jì)200操作性地連接。在這種情況下，加速度計(jì)可以觸發(fā)記錄期望數(shù)據(jù)，如旋轉(zhuǎn)位置。由于探針32即使沒有接觸待測目標(biāo)也要經(jīng)歷振動(dòng)和加速，所以加速度計(jì)200(以及可能的相關(guān)裝置)可以僅在特定環(huán)境下指示接觸。例如，在一些實(shí)施例中，探針32可以用于當(dāng)加速度計(jì)200測量至少特定閾值振幅的加速度時(shí)指示接觸。在其他實(shí)施例中，探針32可以當(dāng)加速度在特定時(shí)間段內(nèi)變化特定量(例如閾值覺克(jerk))時(shí)指示接觸。此外，在一些實(shí)施例中，可以要求探針32的加速度或覺克的閾值持續(xù)時(shí)間以指示接觸。例如，在一些實(shí)施例中，只有那些具有足夠長持續(xù)時(shí)間(最小持續(xù)時(shí)間)的加速度或覺克才指示接觸。類似地，在一些實(shí)施例中，加速度或覺克在一定持續(xù)時(shí)間(最大持續(xù)時(shí)間)之后必須結(jié)束(或衰弱)。更進(jìn)一步地，在一些實(shí)施例中，僅在自最后一次指示的接觸經(jīng)過一定的平靜時(shí)間(平靜持續(xù)時(shí)間)之后才指示第二個(gè)接觸。指示接觸的特殊要求可以依照PCMM10的預(yù)期用途而變化。例如，如果PCMM10為自動(dòng)操作，則探針32可配置成考慮PCMM10的實(shí)際或可能移動(dòng)，因此忽略單獨(dú)由該移動(dòng)導(dǎo)致的加速度和振動(dòng)。如果PCMM10為手動(dòng)操作，則根據(jù)不同的預(yù)期移動(dòng)進(jìn)行類似的配置。例如，探針32可以配置成忽略由按壓按鈕66導(dǎo)致的振動(dòng)。尤其，按壓所述按鈕66之一還可發(fā)信號通知探針32開始監(jiān)控來自接觸的振動(dòng)。在又一些實(shí)施例中，探針32可以配置成忽略在會(huì)減小精確度的基本連續(xù)的高振動(dòng)期間引起的振動(dòng)(由于PCMM可在準(zhǔn)靜態(tài)條件下被校準(zhǔn))。更一般地，在一些實(shí)施例中，指示接觸的標(biāo)準(zhǔn)可以配置成檢查不同于其他正在進(jìn)行的振動(dòng)的新振動(dòng)。在一個(gè)特定實(shí)例中，可以比較時(shí)間上接近的兩個(gè)加速度測量。如果兩個(gè)加速度測量的差值幅度超過特定閾值，則探針32可以指示接觸。在更具體的實(shí)例中，加速度的差值可以是被測量的加速度矢量的差值，并且差值幅度可以是差值的基準(zhǔn)。但是，在其他實(shí)施例中，可以不同地分析加速度的差值，例如通過對加速度在每個(gè)分量方向上的變化的絕對值求和。兩次測量之間的閾值水平和時(shí)間間隔可以隨PCMM10、探針32及其預(yù)期用途而不同。在一些實(shí)施例中，可以用硬件實(shí)施該比較，例如，一個(gè)加速度測量被延遲并且用比較電路比較兩個(gè)加速度。有利地，在一些實(shí)施例中，被這些振動(dòng)觸發(fā)的探針32可以不具有移動(dòng)部件。在其他實(shí)施例中，探針32可以具有較少的移動(dòng)部件。例如，在這里所描述的實(shí)施例中，探針32可以選擇性地缺省主動(dòng)啟動(dòng)探針32或PCMM10中的振動(dòng)(與接觸振動(dòng)無關(guān))的振動(dòng)器或某個(gè)其他裝置。減少移動(dòng)部件能夠使得探針32的制造成本降低，并且在探針32的整個(gè)使用壽命期間更加可靠。此外，在這里所描述的探針32的實(shí)施例中，當(dāng)探針32可能被探針32上的模塊或裝置或者CMM10上的其他裝置控制而以不同方式操作時(shí)，探針32可選地作為標(biāo)準(zhǔn)硬接觸探針工作，下文進(jìn)一步描述。圖3A示出了探針32的另一實(shí)施例，與圖3中所示的探針類似并且具有描述中所涉及的可選變化，除了下述不同。如圖中所示，支架100還可以包括幾個(gè)模塊，例如用于提供唯一識別探針32的數(shù)據(jù)、用于輔助校準(zhǔn)探針與PCMM10等。探針支架100包括處理器102、固態(tài)存儲(chǔ)裝置104、溫度傳感器106和加速度計(jì)200。固態(tài)存儲(chǔ)裝置104、溫度傳感器106和加速度計(jì)200分別使用總線103、111和110與處理器102連接。在一些實(shí)施例中，處理器102、存儲(chǔ)器104、溫度傳感器106和加速度計(jì)200均可集成在一個(gè)芯片上。在其他實(shí)施例中，它們可以是安裝在電路板上或者例如通過有線連接而電連接的分離部件。在其他實(shí)施例中，僅存在所述部件的一個(gè)、兩個(gè)或三個(gè)，而不需要其他部件?？偩€109可以將處理器102連接到探針底座101，以便將處理器102從固態(tài)存儲(chǔ)裝置104、溫度傳感器106和加速度計(jì)200獲得的任何信息從探針32發(fā)送到與探針32連接的PCMM10。在一個(gè)實(shí)施例中，PCMM10可以使用發(fā)送的信息校準(zhǔn)探針32與PCMM10。在另一實(shí)施例中，PCMM10可以轉(zhuǎn)發(fā)獲得的信息至用于校準(zhǔn)探針32與PCMM10的通用計(jì)算機(jī)(未示出)。在另一實(shí)施例中，PCMM10可以使用PCMM從處理器102獲得的信息來檢索存儲(chǔ)在不同介質(zhì)中的與探針32有關(guān)的校準(zhǔn)或標(biāo)定數(shù)據(jù)，所述介質(zhì)例如為存儲(chǔ)鑰匙、硬盤、或計(jì)算機(jī)，下文將進(jìn)一步描述。在又一些實(shí)施例中，如上所述，PCMM10使用該信息指示與待測目標(biāo)接觸，因此測量在此時(shí)探針頂端108的位置。如圖3A中所示，在一個(gè)實(shí)施例中的處理器102是通用中央處理單元(CPU)，用于控制探針32所包括的固態(tài)存儲(chǔ)裝置104、溫度傳感器106和加速度計(jì)200的各個(gè)模塊的操作。處理器的其他實(shí)例可以包括但不限于分離或單獨(dú)的處理核、分離或分布的處理邏輯、通用處理器、專用處理器、具有處理功能的專用集成電路(ApplicationSpecificIntegratedCircuit,ASIC)、存儲(chǔ)控制器、系統(tǒng)控制器等。如圖3A中所示，處理器102可通過總線103與固態(tài)存儲(chǔ)裝置104連接，通過總線111與溫度傳感器106連接，以及通過總線110與加速度計(jì)200連接。在一個(gè)實(shí)施例中，處理器102用于使用連接103、111和110控制固態(tài)存儲(chǔ)裝置104、溫度傳感器106、以及加速度計(jì)200的操作。在另一實(shí)施例中，處理器102例如通過發(fā)送指令以讀取固態(tài)存儲(chǔ)裝置104中的特定地址并且從固態(tài)存儲(chǔ)裝置104接收與處理器102所發(fā)送的地址相應(yīng)的數(shù)據(jù)信號來控制固態(tài)存儲(chǔ)裝置104。在一些實(shí)施例中，處理器102使用總線109將其從固態(tài)存儲(chǔ)裝置104接收的數(shù)據(jù)發(fā)送到PCMM10。在另一實(shí)施例中，處理器102使用總線103獲得從溫度傳感器106讀取的溫度，并使用總線109將讀取的溫度發(fā)送至PCMM10。在其他實(shí)施例中，可以使用無線數(shù)據(jù)傳輸協(xié)議向處理器102無線發(fā)送數(shù)據(jù)或從處理器102無線接收數(shù)據(jù)。固態(tài)存儲(chǔ)裝置104能夠接收數(shù)據(jù)、存儲(chǔ)數(shù)據(jù)以及隨后提供數(shù)據(jù)。如圖3A中所示的固態(tài)存儲(chǔ)裝置104顯示了非易失性電可擦除可編程只讀存儲(chǔ)器(Non-volatileElectricallyErasableProgrammableRead-OnlyMemory，EEPROM)裝置。處理器102或其它存儲(chǔ)控制器可以選擇性地寫入或擦除EEPROM的任何部分，無需寫入或擦除整個(gè)EEPR0M。盡管在這里所述的各個(gè)實(shí)施例中的探針32中優(yōu)選使用EEPR0M，但是探針32可以配置成包括任何適當(dāng)?shù)姆且资噪娮訑?shù)據(jù)存儲(chǔ)裝置，包括但不限于，磁帶、硬盤、光盤、閃存、可編程只讀存儲(chǔ)器(ProgrammableRead-OnlyMemory，I3ROM)、可擦除I3ROM(EI3ROM)等。在一個(gè)實(shí)施例中，固態(tài)存儲(chǔ)裝置104是包括48比特激光蝕刻序列號的EEPROM裝置。如上所述，處理器102可以用于通過控制線103發(fā)送控制信號來控制固態(tài)存儲(chǔ)裝置104的操作，例如，發(fā)送用于固態(tài)存儲(chǔ)裝置104的指令以向通過地址總線(未示出)發(fā)送的存儲(chǔ)器單元地址中寫入通過數(shù)據(jù)總線(未示出)發(fā)送的數(shù)據(jù)。在某些實(shí)施例中，處理器102使用分離的系統(tǒng)和存儲(chǔ)控制器(未示出)來控制固態(tài)存儲(chǔ)裝置104的操作。繼續(xù)參照圖3A，在一個(gè)實(shí)施例中的固態(tài)存儲(chǔ)裝置104可以配置成包括唯一的序列號或產(chǎn)品編號，即，唯一識別固態(tài)存儲(chǔ)裝置104所在的特定探針32的機(jī)器可讀數(shù)據(jù)。唯一的序列號允許所有的改進(jìn)探針單獨(dú)序列化，以有利于隨后識別每個(gè)探針32。在某些實(shí)施例中，唯一序列號還能識別屬于同一類型或類別的單獨(dú)探針32。例如，在一些實(shí)施例中，固態(tài)存儲(chǔ)裝置104可以包括用于標(biāo)識探針包含振動(dòng)檢測裝置200的信息。包括識別探針32的機(jī)器可讀的唯一序列號的固態(tài)存儲(chǔ)裝置104具有幾個(gè)優(yōu)勢。如上文所述，如果探針32首次安裝到PCMM10上，或者如果首次使用新的探針32，則必須校準(zhǔn)探針32與PCMM10。每個(gè)探針32具有與探針32的特征相關(guān)的標(biāo)定數(shù)據(jù)，例如，長度、類另|J、類型、偏移量、寬度、厚度等，通常包含在如存儲(chǔ)盤、存儲(chǔ)鑰匙等不同介質(zhì)中。此標(biāo)定數(shù)據(jù)用作校準(zhǔn)探針32與PCMM10的起始點(diǎn)。在一些實(shí)施例中，標(biāo)定數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在與PCMM10連接的計(jì)算機(jī)中。在其他實(shí)施例中，標(biāo)定數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在位于PCMM10上的存儲(chǔ)區(qū)域中。在另外一些實(shí)施例中，用于探針32的標(biāo)定數(shù)據(jù)連同用于該特定探針32的機(jī)器可讀唯一序列號存儲(chǔ)在不同的存儲(chǔ)介質(zhì)中。在校準(zhǔn)過程中，PCMM10通過先從探針32讀取機(jī)器可讀的唯一序列號并且獲得位于包含相同唯一序列號的不同介質(zhì)上的標(biāo)定數(shù)據(jù)，能夠獲得用于探針32的標(biāo)定數(shù)據(jù)。如此，與傳統(tǒng)系統(tǒng)相比，識別探針32的機(jī)器可讀唯一序列號可以用于更好地匹配探針32與存儲(chǔ)在不同介質(zhì)上的相應(yīng)的標(biāo)定數(shù)據(jù)，而一些傳統(tǒng)系統(tǒng)不能區(qū)別同一類型或類別的探針32。此外，在其他實(shí)施例中，唯一識別探針32的機(jī)器可讀序列號能夠用于匹配校準(zhǔn)數(shù)據(jù)與探針32。當(dāng)PCMM10校準(zhǔn)探針32時(shí)，結(jié)果可以是從PCMM10的端部到探針32的頂端提供轉(zhuǎn)移的數(shù)據(jù)。在又一些實(shí)施例中，校準(zhǔn)數(shù)據(jù)可以指示PCMM10與探針32之間的振動(dòng)特征以及其他特征，所述振動(dòng)特征例如為在PCMM10與探針32之間傳播的由PCMM10的非接觸式移動(dòng)產(chǎn)生的振動(dòng)傾向。因此校準(zhǔn)數(shù)據(jù)對于特定PCMM10和探針32組合能夠是唯一的。如同標(biāo)定數(shù)據(jù)那樣，校準(zhǔn)數(shù)據(jù)通常也存儲(chǔ)在與坐標(biāo)獲取裝置30不同的介質(zhì)中，例如存儲(chǔ)鑰匙、計(jì)算機(jī)上的硬盤、或位于PCMM10上的存儲(chǔ)區(qū)域，等等。在一些實(shí)施例中，PCMM10將用于探針32的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)連同特定探針32的機(jī)器可讀序列號存儲(chǔ)在不同的介質(zhì)上。當(dāng)探針32重新安裝到PCMM10上時(shí)，如同上述標(biāo)定數(shù)據(jù)那樣，PCMM10通過從探針32先讀取機(jī)器可讀唯一序列號并且獲得包含相同序列號的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)，可以從所述不同的介質(zhì)獲得探針32專用的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)。盡管在前面公開的實(shí)施例中機(jī)器可讀序列號存儲(chǔ)在固態(tài)存儲(chǔ)裝置104中，但是在其他實(shí)施例中機(jī)器可讀序列號可以位于探針32上的其他任何地方。在一些實(shí)施例中，序列號位于探針支架100中的另一模塊中，例如，處理器102。在其他實(shí)施例中，機(jī)器可讀序列號可由與在倉庫作業(yè)中使用的系統(tǒng)類似的軟件和/或硬件的集成包提供，例如條形碼和RFID標(biāo)簽。在有關(guān)圖3A的另外一些其他實(shí)施例中，固態(tài)存儲(chǔ)裝置104可以用于存儲(chǔ)標(biāo)定數(shù)據(jù)。在一個(gè)實(shí)施例中，處理器102例如使用控制線103將與探針32的物理特征相關(guān)的標(biāo)定數(shù)據(jù)存儲(chǔ)到固態(tài)存儲(chǔ)裝置104中。標(biāo)定數(shù)據(jù)可以在探針32的制造階段寫入固態(tài)裝置104中。在其他實(shí)施例中，在探針32組裝好之后將標(biāo)定數(shù)據(jù)寫入到固態(tài)存儲(chǔ)裝置104中，例如使用通用計(jì)算機(jī)將標(biāo)定數(shù)據(jù)寫入固態(tài)存儲(chǔ)裝置104中。在一些實(shí)施例中，探針32上的RFID標(biāo)簽可以存儲(chǔ)所述機(jī)器可讀序列號和/或標(biāo)定數(shù)據(jù)。PCMM10可以從RFID標(biāo)簽無線檢索序列號和/或標(biāo)定數(shù)據(jù)。在其他實(shí)施例中，可以通過其他無線協(xié)議，例如WiFi、藍(lán)牙或RF進(jìn)行CMM與探針間的通信。在又一些其他實(shí)施例中，PCMMlO先從固態(tài)裝置104讀取機(jī)器可讀唯一序列號，然后基于機(jī)器可讀唯一序列號從諸如存儲(chǔ)鑰匙或另一計(jì)算機(jī)等的不同介質(zhì)獲得標(biāo)定數(shù)據(jù)，并且將標(biāo)定數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在固態(tài)104中，使得探針32保留該標(biāo)定數(shù)據(jù)用于隨后的校準(zhǔn)。用于存儲(chǔ)標(biāo)定數(shù)據(jù)的固態(tài)存儲(chǔ)裝置104不需要維護(hù)用于存儲(chǔ)標(biāo)定數(shù)據(jù)的單獨(dú)介質(zhì)，因此減小了管理大量探針及其相關(guān)標(biāo)定數(shù)據(jù)的難度。繼續(xù)參照圖3A，探針32能夠使用溫度傳感器106測量探針32的溫度，并且提供該溫度信息至PCMM10。如圖1中所示，如果每個(gè)傳動(dòng)構(gòu)件MJ6和28的長度以及探針32的長度已知，則可以計(jì)算探針32在指定時(shí)刻的空間位置。探針32的長度和其他物理參數(shù)可以在校準(zhǔn)期間由PCMM10例如通過從固態(tài)存儲(chǔ)裝置104讀取標(biāo)定數(shù)據(jù)的方式獲得。但是，探針32的長度可以改變，例如響應(yīng)溫度的升高而膨脹。在一些實(shí)施例中，PCMM10的傳動(dòng)構(gòu)件MJ6和28與探針32由具有不同加熱系數(shù)的不同材料構(gòu)成，因此響應(yīng)溫度以不同的比例膨脹或收縮。在其他實(shí)施例中，傳動(dòng)構(gòu)件MJ6和觀與探針32由相同的材料構(gòu)成，但是由于例如PCMM10內(nèi)產(chǎn)生的熱量造成探針32的溫度可能與PCMM10的溫度不同，因此它們?nèi)砸圆煌谋壤蛎浕蚴湛s。PCMM10可以使用溫度傳感器106補(bǔ)償由于溫度的變化導(dǎo)致的探針32的膨脹或收縮。在一個(gè)實(shí)施例中，固態(tài)存儲(chǔ)裝置104包含與探針32的溫度特征相關(guān)的標(biāo)定數(shù)據(jù)，例如，加熱系數(shù)信息、在一定默認(rèn)溫度下的長度，等等。在任何指定時(shí)間，PCMM10可以從溫度傳感器106獲得探針32的溫度、從固態(tài)存儲(chǔ)裝置104獲得探針32的熱膨脹系數(shù)，并且使用獲得的溫度以及探針的熱膨脹系數(shù)計(jì)算探針32的物理特征的任何變化。在一些實(shí)施例中，例如通過處理器102將探針32的溫度以及探針32的熱膨脹系數(shù)發(fā)送到與PCMM10連接的通用計(jì)算機(jī)，從而計(jì)算探針32的物理特征的變化。在其他實(shí)施例中，PCMM10或通用計(jì)算機(jī)從例如存儲(chǔ)鑰匙、存儲(chǔ)盤、數(shù)據(jù)庫等不同的介質(zhì)獲得探針32的熱膨脹系數(shù)。在其他實(shí)施例中，PCMM10和/或通用計(jì)算機(jī)使用探針32的唯一機(jī)器可讀序列號，從該不同的介質(zhì)獲得探針32的適當(dāng)?shù)臒崤蛎浵禂?shù)。以上述方式，使用溫度傳感器106補(bǔ)償探針32由于溫度變化導(dǎo)致的膨脹或收縮，因此不需要PCMM10響應(yīng)溫度作用而重新校準(zhǔn)探針32。此外，可以根據(jù)溫度變化，例如，諸如振動(dòng)檢測裝置200的傳感器的行為來計(jì)算探針32的其他變化。此外，如上述有關(guān)檢測與待測量目標(biāo)的接觸所討論的，處理器102可以用于判斷是否應(yīng)當(dāng)考慮來自振動(dòng)檢測裝置200的指定信號以指示接觸。上述各種可能的規(guī)則可以作為軟件或硬件輸入到處理器102中。在一些實(shí)施例中，例如在振動(dòng)校準(zhǔn)過程中，處理器102通過不斷地檢查在PCMM10未接觸的移動(dòng)期間振動(dòng)檢測裝置200的輸出，可以進(jìn)一步校準(zhǔn)用于接觸檢測的規(guī)則。該振動(dòng)校準(zhǔn)過程可以涉及PCMM10以與實(shí)際未接觸任何目標(biāo)的正常操作期間類似的方式的移動(dòng)。這能夠用于適當(dāng)?shù)卦O(shè)定各種閾值和例如這里所描述的其他可能的接觸檢測參數(shù)。盡管圖2的探針32包括作為位于探針支架100上的作為分離模塊的處理器102、固態(tài)存儲(chǔ)裝置104、溫度傳感器106和加速度計(jì)200，但是也可以采用其他配置。例如，處理器102、固態(tài)存儲(chǔ)裝置104、溫度傳感器106和加速度計(jì)200中的一些或所有模塊可以位于探針32或PCMM10上的不同區(qū)域(下文將進(jìn)一步說明)。此外，探針32可以包括組合有處理器102、固態(tài)存儲(chǔ)裝置104、溫度傳感器106和加速度計(jì)200中的一個(gè)或多個(gè)的功能的模塊。上文或這里未明確提到的其他配置也是可能的。例如，在一些實(shí)施例中，可以在坐標(biāo)獲取構(gòu)件30上設(shè)置附加坐標(biāo)傳感器，并且該附加坐標(biāo)傳感器也可以與上述裝置和模塊相關(guān)聯(lián)。類似地，可以設(shè)置多個(gè)附加傳感器以監(jiān)控PCMMlO的各個(gè)位置的狀態(tài)。其他裝置和模塊及其布置和用途在2008年3月28日提交的美國專利申請No.12/057,918中描述，在此通過援引的方式并入其全部內(nèi)容。圖4示出改進(jìn)探針32的另一實(shí)施例。如圖所示，振動(dòng)檢測裝置200可以位于探針頂端108內(nèi)部。由于振動(dòng)檢測裝置200與探針底座101距離較遠(yuǎn)，因此他們可以經(jīng)由串聯(lián)的兩個(gè)總線109A、109B連接。圖4中所示的實(shí)施例可以具有與圖3和圖3A中所示實(shí)施例類似的特征，并且可以類似的方式操作以及具有描述中所涉及的可選變化，除了下述不同。尤其參照圖3A中的實(shí)施例的細(xì)節(jié)，在優(yōu)選實(shí)施例中，如圖中所示，振動(dòng)檢測裝置200位于探針頂端108內(nèi)，這種情況下振動(dòng)檢測裝置200與其他模塊和裝置分離。但是，在其他實(shí)施例中，每個(gè)裝置和模塊可以裝在探針頂端內(nèi)。圖5示出探針32的另一實(shí)施例，與圖3和圖3A中所示的實(shí)施例也類似并且具有描述中所涉及的可選變化，除了下述不同。如圖所示，振動(dòng)檢測裝置200可以位于探針底座101內(nèi)部。因此，振動(dòng)檢測裝置200通常可以與探針32分離，如在一些實(shí)施例中，探針32可以從探針底座101和PCMM10拆卸。因此，即使在使用不具有振動(dòng)檢測裝置的標(biāo)準(zhǔn)現(xiàn)有的探針(例如，硬探針)時(shí)，PCMM10能夠檢測振動(dòng)。類似地，在振動(dòng)檢測裝置200位于探針32上時(shí)，探針32能夠與現(xiàn)有的PCMM臂共同使用以檢測振動(dòng)。通常，移動(dòng)振動(dòng)檢測裝置200遠(yuǎn)離頂端108可以有利于減小傳輸信號過程中的誤差和延遲，由于信號沒有遠(yuǎn)距離傳送。但是，振動(dòng)檢測裝置200與探針頂端108之間的變大的距離會(huì)增加測量到的振動(dòng)與頂端上的實(shí)際振動(dòng)之間的誤差。盡管本教導(dǎo)的上述公開的實(shí)施例已示出、描述和指出應(yīng)用于上述實(shí)施例的本發(fā)明的基本新穎特征，但應(yīng)理解，本領(lǐng)域技術(shù)人員在不脫離本發(fā)明的范圍內(nèi)，可以對所述裝置、系統(tǒng)和/或方法的細(xì)節(jié)進(jìn)行各種省略、替換和改變。因此，本發(fā)明的范圍不應(yīng)限于上述說明，而應(yīng)由權(quán)利要求限定。本說明書中所提到的所有公開和專利申請表明了本發(fā)明相關(guān)的領(lǐng)域中技術(shù)人員的技術(shù)水平。在此通過援引的方式并入所有公開和專利申請，就如同每個(gè)單獨(dú)公開或?qū)＠暾埍幻鞔_地、分別地說明以通過援引的方式并入。上述各種裝置、方法、程序和技術(shù)提供了實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的許多方法。當(dāng)然，應(yīng)理解，根據(jù)這里描述的任何特定實(shí)施例并不一定可以實(shí)現(xiàn)所述所有目的或優(yōu)勢。此外，盡管用特定實(shí)施例和實(shí)例公開了本發(fā)明，但是，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)理解本發(fā)明不局限于具體公開的實(shí)施例，而是延伸到其他替換實(shí)施例、組合、子組合和/或用途及其各種修改和等效物。因此，本發(fā)明并不希望被這里的優(yōu)選實(shí)施例的特定公開所限定。權(quán)利要求1.一種關(guān)節(jié)臂系統(tǒng)包括關(guān)節(jié)測量臂，包括可以繞多個(gè)軸移動(dòng)的多個(gè)互連的支撐臂段；多個(gè)旋轉(zhuǎn)角傳感器，安裝在所述關(guān)節(jié)測量臂上，用于測量所述支撐臂段之間的旋轉(zhuǎn)位置；以及振動(dòng)檢測裝置，在接近所述關(guān)節(jié)測量臂的端部處與該關(guān)節(jié)測量臂連接，該振動(dòng)檢測裝置與所述傳感器操作性地連接，從而在檢測到超過閾值振幅的新振動(dòng)時(shí)由所述傳感器輸出旋轉(zhuǎn)位置。2.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，進(jìn)一步包括在所述關(guān)節(jié)測量臂的端部的坐標(biāo)獲取構(gòu)件。3.如權(quán)利要求2所述的系統(tǒng)，其中所述振動(dòng)檢測裝置設(shè)置在所述坐標(biāo)獲取構(gòu)件上。4.如權(quán)利要求2所述的系統(tǒng)，其中所述坐標(biāo)獲取構(gòu)件包括硬探針。5.如權(quán)利要求2至4中任一所述的系統(tǒng)，其中所述坐標(biāo)獲取構(gòu)件還包括用于檢測與所述振動(dòng)檢測裝置不同的位置和/或接觸的裝置。6.如權(quán)利要求2至5中任一所述的系統(tǒng)，其中所述坐標(biāo)獲取構(gòu)件是可拆除的。7.如權(quán)利要求2和4中任一所述的系統(tǒng)，其中所述振動(dòng)檢測裝置設(shè)置在所述坐標(biāo)獲取構(gòu)件內(nèi)。8.如權(quán)利要求4至6中任一所述的系統(tǒng)，其中所述振動(dòng)檢測裝置設(shè)置在所述硬探針內(nèi)。9.如前述權(quán)利要求中任一所述的系統(tǒng)，其中至少一個(gè)所述傳感器是光學(xué)編碼器。10.如權(quán)利要求2至9中任一所述的系統(tǒng)，其中所述振動(dòng)檢測裝置與所述坐標(biāo)獲取構(gòu)件剛性連接。11.如權(quán)利要求2至10中任一所述的系統(tǒng)，其中所述坐標(biāo)獲取構(gòu)件包括探針頂端，并且所述振動(dòng)檢測裝置設(shè)置在所述探針頂端內(nèi)。12.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述振動(dòng)檢測裝置設(shè)置在所述關(guān)節(jié)測量臂上。13.如前述權(quán)利要求中任一所述的系統(tǒng)，其中所述振動(dòng)檢測裝置是加速度計(jì)。14.一種操作關(guān)節(jié)臂系統(tǒng)的方法包括用關(guān)節(jié)測量臂接觸待測物品，該關(guān)節(jié)測量臂包括可以繞多個(gè)軸移動(dòng)的多個(gè)互連的支撐臂段；剛剛接觸所述物品時(shí)，在所述測量臂的端部感測新振動(dòng)；響應(yīng)所述新振動(dòng)產(chǎn)生觸發(fā)信號；以及響應(yīng)所述觸發(fā)信號自動(dòng)測量所述測量臂的端部的位置。15.如權(quán)利要求14所述的方法，其中所述觸發(fā)信號指示接觸所述物品。16.如權(quán)利要求14或15所述的方法，還包括存儲(chǔ)測量到的位置的步驟。17.如權(quán)利要求14或15所述的方法，其中所述測量步驟進(jìn)一步包括存儲(chǔ)測量到的位置。18.如權(quán)利要求14至17中任一所述的方法，其中所述自動(dòng)測量步驟利用電子編碼器執(zhí)行。19.如權(quán)利要求14至18中任一所述的方法，還包括判斷感測到的新振動(dòng)是否指示接觸所述物品的步驟。20.如權(quán)利要求19所述的方法，其中所述判斷步驟進(jìn)一步包括檢查閾值振幅。21.如權(quán)利要求19或20所述的方法，其中所述判斷步驟進(jìn)一步包括檢查加速度的最小持續(xù)時(shí)間。22.如權(quán)利要求19至21中任一所述的方法，其中所述判斷步驟進(jìn)一步包括檢查加速度的最大持續(xù)時(shí)間。23.如權(quán)利要求19至22中任一所述的方法，其中所述判斷步驟進(jìn)一步包括忽略在基本上持續(xù)高振動(dòng)期間的振動(dòng)。24.如權(quán)利要求19至23中任一所述的方法，其中所述判斷步驟進(jìn)一步包括檢查平靜持續(xù)時(shí)間的消失。25.一種用于坐標(biāo)測量機(jī)的探針包括包括加速度計(jì)的探針頂端；將所述探針頂端連接到探針主體的探針頸部；以及將所述探針主體安裝到坐標(biāo)測量機(jī)的安裝部，該安裝部包括連接裝置和數(shù)據(jù)端口。26.如權(quán)利要求25所述的探針，其中所述加速度計(jì)和數(shù)據(jù)端口用于在檢測到超過閾值振幅的新振動(dòng)時(shí)輸出觸發(fā)信號。27.如權(quán)利要求25或沈所述的探針，還包括用于檢測與所述加速度計(jì)不同的位置和/或接觸的裝置。28.如權(quán)利要求25至27中任一所述的探針，其中所述探針頂端是硬探針頂端。全文摘要一種關(guān)節(jié)臂系統(tǒng)可以包括具有多個(gè)互連的支撐臂段的關(guān)節(jié)測量臂。所述臂段可以繞多個(gè)軸移動(dòng)。多個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)角傳感器可以安裝在該臂上，用于測量這些支撐臂段之間的旋轉(zhuǎn)位置。此外，在接近該臂的端部處，振動(dòng)檢測裝置可以與該臂連接。該振動(dòng)檢測裝置可以與這些傳感器操作性連接，從而在檢測到超過閾值振幅的新振動(dòng)時(shí)由這些傳感器輸出旋轉(zhuǎn)位置。文檔編號G01H17/00GK102472662SQ201080029447公開日2012年5月23日申請日期2010年6月28日優(yōu)先權(quán)日2009年6月30日發(fā)明者霍加爾·泰特申請人:六邊形度量衡股份公司