專利名稱：管道止漏裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體制造設(shè)備，特別涉及一種修補(bǔ)管道的管道止漏 裝置。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體制造工藝中很多都需要采用高溫、高壓機(jī)組，隨著使用時(shí)間的延 長(zhǎng)，機(jī)組設(shè)備出現(xiàn)老化，其中的管道滲漏難以避免。管道滲漏嚴(yán)重時(shí)，甚至需 要停機(jī)檢修。如果停機(jī)處理管道滲漏，必須先通過冷機(jī)組減壓，才可以維修。 維修是在滲漏處的管道上直接進(jìn)行焊接，或是將原來滲漏點(diǎn)所在部分的管道切 割掉，再用新的管道焊接替換，然后重新開機(jī)進(jìn)行生產(chǎn)，而一般半導(dǎo)體生產(chǎn)過 程中，機(jī)組需要一直保持運(yùn)轉(zhuǎn)，才能保證半導(dǎo)體的順利生產(chǎn)，如重啟機(jī)組則會(huì) 造成生產(chǎn)線上半導(dǎo)體生產(chǎn)進(jìn)度的中斷，導(dǎo)致處理中的半導(dǎo)體凈艮廢，產(chǎn)生大量的 費(fèi)用，這樣將會(huì)給半導(dǎo)體生產(chǎn)造成嚴(yán)重的損失。

實(shí)用新型內(nèi)容
有鑒于此，本實(shí)用新型提供一種管道止漏裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)中，在半 導(dǎo)體生產(chǎn)過程中因管道滲漏，需要停機(jī)維修所造成的嚴(yán)重?fù)p失等技術(shù)問題。
本實(shí)用新型提供一種管道止漏裝置，包括保護(hù)套管，用于套接在滲漏的 管道上；法蘭，套接固定在上述保護(hù)套管兩端的上述管道上；螺紋鋼，焊接在 上述保護(hù)套管上；其中，上述保護(hù)套管通過上述螺紋鋼和螺母與上述法蘭固接。
可選的，上述保護(hù)套管是沿軸向?qū)﹂_的兩半圓卡管扣合在上述滲漏的管道 上，上述保護(hù)套管的內(nèi)徑大于上述管道的外徑。
可選的，上述保護(hù)套管的材料為碳鋼。
可選的，上述保護(hù)套管上具有一排水閥。
可選的，上述保護(hù)套管上具有一排氣閥。可選的，上述保護(hù)套管與上述管道套接處設(shè)置有第一密封圈。 可選的，上述第一密封圈是所述法蘭經(jīng)加工后為環(huán)狀，焊接固定在上述保 護(hù)套管內(nèi)壁上。
可選的，上述保護(hù)套管與上述法蘭固接處設(shè)置第二密封圏。 可選的，在上述第一密封圈與上述第二密封圈之間填充密封材料。 可選的，上述密封材料為石墨或石棉條。
綜上所述，采用本實(shí)用新型所提供的這種結(jié)構(gòu)的止漏裝置，可以快速解決 壓力管道漏液的問題，降低維修固定連接難度，止漏成功率高，使得在半導(dǎo)體 生產(chǎn)過程中不用停機(jī)即可進(jìn)行壓力管道維修，避免了因停機(jī)維修所造成的損失， 并具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、維^務(wù)方便、省時(shí)省力、成本低等優(yōu)點(diǎn)。


圖1A所示為本實(shí)用新型一實(shí)施例所提供的止漏裝置的側(cè)視圖； 圖1B所示為本實(shí)用新型一實(shí)施例所提供的止漏裝置的俯視圖； 圖1C所示為本實(shí)用新型一實(shí)施例所提供的止漏裝置的剖視圖。
具體實(shí)施方式
為使本實(shí)用新型的目的、特征更明顯易懂，給出較佳實(shí)施例并結(jié)合附圖， 對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。
請(qǐng)結(jié)合參見圖1A、圖1B和圖1C,其所示為本實(shí)用新型一實(shí)施例所提供的 止漏裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。該管道止漏裝置100,包括保護(hù)套管110，用于套接 在滲漏的管道200上；法蘭120，套接固定在上述保護(hù)套管110兩端的上述管道 200上；螺紋鋼130,焊接在上述保護(hù)套管IIO上；其中，上述保護(hù)套管110通 過上述螺紋鋼130和螺母140與上述法蘭120固接。
首先，用保護(hù)套管110套接在滲漏的管道200上，其中保護(hù)套管110的管 徑大于滲漏的管道200的管徑；然后，在保護(hù)套管110兩端的管道200上分別 套接固定法蘭120;將螺紋鋼130焊接在保護(hù)套管IIO上，為了更加穩(wěn)固，在保 護(hù)套管110的兩端各焊接4根螺紋鋼130，且用滿焊焊接；最后，將螺紋鋼130 插入到法蘭120的固定孔，利用螺母140擰緊，使保護(hù)套管110與法蘭120固
4接。
用保護(hù)套管110對(duì)滲漏的管道200進(jìn)行密封包覆，就不需要直接在滲漏的 管道200上進(jìn)行維修，而且保證了原來管路中液體的通暢，這就使得壓力管道 泄漏時(shí)不用停機(jī)即可進(jìn)行維修，避免了因停機(jī)維修所造成的損失，并具有結(jié)構(gòu) 簡(jiǎn)單、維修方便、省時(shí)省力、成本低等優(yōu)點(diǎn)。此外，也避免了在開機(jī)時(shí)直接焊 接管道時(shí)，由于高溫高壓可能導(dǎo)致焊接不密封，并有效防止了因焊接可能造成 滲漏點(diǎn)進(jìn)一步擴(kuò)大的問題。
在本實(shí)用新型一實(shí)施例中，為了在不切斷滲漏的管道200時(shí)，把保護(hù)套管 110套接到管道200上，先將保護(hù)套管IIO沿軸向?qū)﹂_成兩個(gè)半圓卡管，再扣合 在滲漏的管道200上。
在半導(dǎo)體制造中， 一般所需的都是高溫高壓液體，比如90°C，每平方厘 米4公斤的壓力，這就需要管道為能耐高溫高壓的材料制成，所以在本實(shí)用新 型一實(shí)施例中，保護(hù)套管110所采用的材料為碳鋼。
在本實(shí)用新型一實(shí)施例中，保護(hù)套管上具有一排水閥150?？梢员ＷC保護(hù)套 管內(nèi)的干燥，并可使泄漏介質(zhì)從排水閥流出，不但壓力降4氐，而且排放流量大， 降低固定連接難度，止漏成功率高。當(dāng)維修完畢后，將排水閥150關(guān)閉，此時(shí) 保護(hù)套管110便可替代原來滲漏的管道200進(jìn)行工作。
在本實(shí)用新型一實(shí)施例中，保護(hù)套管110上具有一排氣閥160?？梢钥刂凭S 修滲漏的管道200時(shí)，高溫高壓液體介質(zhì)在保護(hù)套管110中的壓力，降低固定 連接難度，保證維修質(zhì)量。
在本實(shí)用新型一實(shí)施例中，請(qǐng)參見圖1C,因?yàn)楸Ｗo(hù)套管110的管徑大于滲 漏的管道200的管徑，為了達(dá)到密封的效果，保護(hù)套管110與滲漏的管道200 管道套接處設(shè)置有第一密封圈170。第一密封圈170可以用法蘭120的內(nèi)環(huán)經(jīng)過 特殊加工制成，并點(diǎn)焊在保護(hù)套管110的管道上。這樣可以使保護(hù)套管110更 加密封的包覆在滲漏的管道200上，不需要直接在滲漏的管道200上進(jìn)行維修， 而且保證了管路中液體的通暢，這就使得在維修滲漏的壓力管道時(shí)不用停機(jī)。
在本實(shí)用新型一實(shí)施例中，保護(hù)套管110與兩端法蘭120固接處設(shè)置第二 密封圏180。這樣可以更穩(wěn)固地把保護(hù)套管110固定在滲漏的管道200上。其中 第二密封圏180可以用法蘭120的內(nèi)環(huán)加工制成。在本實(shí)用新型一實(shí)施例中，請(qǐng)參見圖1C,為了保證保護(hù)套管110與滲漏的 管道200之間更好的密封性，在第一密封圈170與第二密封圈180之間填充密 封材料190。在實(shí)際應(yīng)用中，密封材料190可為石墨或石棉條。
綜上所述，采用本實(shí)用新型所提供的這種結(jié)構(gòu)的止漏裝置，可以快速解決 壓力管道漏液的問題，降低維修固定連接難度，止漏成功率高，使得在半導(dǎo)體 生產(chǎn)過程中不用停機(jī)即可進(jìn)行壓力管道維修，避免了因停機(jī)維修所造成的損失， 并具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、維修方便、省時(shí)省力、成本低等優(yōu)點(diǎn)。
雖然本實(shí)用新型已以較佳實(shí)施例揭露如上，然其并非用以限定本實(shí)用新型， 任何熟習(xí)此技術(shù)者，在不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作些許的更動(dòng) 與潤(rùn)飾，因此本實(shí)用新型的保護(hù)范圍當(dāng)視權(quán)利要求書所界定者為準(zhǔn)。
權(quán)利要求1.一種管道止漏裝置，其特征在于，包括保護(hù)套管，用于套接在滲漏的管道上；法蘭，套接固定在上述保護(hù)套管兩端的上述管道上；以及螺紋鋼，焊接在上述保護(hù)套管上；其中，上述保護(hù)套管通過上述螺紋鋼和螺母與上述法蘭固接。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的管道止漏裝置，其特征在于，其中上述保護(hù)套管 是沿軸向?qū)﹂_的兩半圓卡管扣合在上述滲漏的管道上，上迷保護(hù)套管的內(nèi)徑大 于上述管道的外徑。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的管道止漏裝置，其特征在于，其中上述保護(hù)套管 的材料為碳鋼。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的管道止漏裝置，其特征在于，其中上述保護(hù)套管 上具有一排水閥。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的管道止漏裝置，其特征在于，其中上述保護(hù)套管 上具有一排氣閥。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所迷的管道止漏裝置，其特征在于，其中上述保護(hù)套管 與上述管道套接處設(shè)置有第 一密封圈。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的管道止漏裝置，其特征在于，其中上述第一密封 圈由所述法蘭經(jīng)加工后為環(huán)狀，焊接固定在上述保護(hù)套管內(nèi)壁上。
8. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的管道止漏裝置，其特征在于，其中上述保護(hù)套管 與上述法蘭固接處設(shè)置第二密封圈。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的管道止漏裝置，其特征在于，在上述第一密封圏 與上述第二密封圈之間填充密封材料。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的管道止漏裝置，其特征在于，其中上述密封材料 為石墨或石棉條。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種管道止漏裝置，包括保護(hù)套管，用于套接在滲漏的管道上；法蘭，套接固定在上述保護(hù)套管兩端的管道上；螺紋鋼，焊接在上述保護(hù)套管上；其中，上述保護(hù)套管通過螺紋鋼和螺母與法蘭固接。采用本實(shí)用新型所提供的這種結(jié)構(gòu)的止漏裝置，可以快速解決壓力管道漏液的問題，降低維修固定連接難度，止漏成功率高，使得在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，不用停機(jī)即可進(jìn)行壓力管道維修，避免了因停機(jī)維修所造成的損失，并具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、維修方便、省時(shí)省力、成本低等優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)F16L55/17GK201322165SQ200820158339
公開日2009年10月7日 申請(qǐng)日期2008年12月30日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月30日
發(fā)明者勇 丁, 劉衛(wèi)兵, 周金鋒, 徐雪峰 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司