技術特征：

技術總結
本發(fā)明公開一種具有中央固定座的微機電裝置。該微機電裝置包括基板、兩第一固定座、環(huán)形質量塊以及兩彈性元件。環(huán)形質量塊圍繞兩第一固定座，各彈性元件連接相對應的第一固定座與環(huán)形質量塊。各第一固定座設置于微機電裝置的中心附近，以使微機電裝置能降低受基板翹曲造成的影響。前述微機電裝置可應用于具有可旋轉質量塊的微機電感測器，例如三軸加速度計、磁力計等，以提升制作工藝良率、可靠度與測量準確度。

技術研發(fā)人員：許郁文;蘇中源;黃肇達
受保護的技術使用者：財團法人工業(yè)技術研究院
技術研發(fā)日：2016.02.06
技術公布日：2017.07.04