本發(fā)明涉及一種微機(jī)電裝置，且特別是涉及一種具有中央固定座的微機(jī)電裝置。

背景技術(shù)：

近年來(lái)由于智能型手機(jī)、平板電腦、互動(dòng)游戲機(jī)等電子商品開始采用微機(jī)電慣性感測(cè)元件(如加速度計(jì)與陀螺儀)，微機(jī)電慣性感測(cè)元件的市場(chǎng)需求呈現(xiàn)快速地成長(zhǎng)。在加速度計(jì)的制作工藝技術(shù)與相關(guān)產(chǎn)品已相對(duì)成熟的情況下，量產(chǎn)時(shí)的良率已成為微機(jī)電慣性感測(cè)元件市場(chǎng)中，下一個(gè)重要的競(jìng)爭(zhēng)因素。

在微機(jī)電裝置的制作上，目前遭遇的問題之一是在利用晶片至晶片(wafer-to-wafer)制作工藝來(lái)制作微機(jī)電裝置，或是后續(xù)微機(jī)電裝置運(yùn)作時(shí)，基板會(huì)因熱應(yīng)力而產(chǎn)生翹曲的現(xiàn)象。如圖1所示的一種已知的微機(jī)電裝置100，基板110上設(shè)有感測(cè)質(zhì)量塊120以及位于感測(cè)質(zhì)量塊120之外，并通過扭轉(zhuǎn)梁140支撐感測(cè)質(zhì)量塊120的固定座(anchor)130。當(dāng)基板110因熱應(yīng)力而產(chǎn)生翹曲或變形時(shí)，固定座130會(huì)隨著基板110變形而位移或變形，如此造成微機(jī)電裝置在通過感測(cè)質(zhì)量塊120測(cè)量物理量(如加速度)時(shí)，產(chǎn)生嚴(yán)重誤差。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明提供一種微機(jī)電裝置，其能降低基板翹曲造成的影響，提升制作工藝良率與產(chǎn)品可靠度，并能提供優(yōu)異的測(cè)量準(zhǔn)確度。

本發(fā)明提供一種微機(jī)電裝置，其能減少固定座的數(shù)量，縮小微機(jī)電裝置的體積。

依據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例，微機(jī)電裝置包括一基板、兩第一固定座、一參考點(diǎn)、一環(huán)形質(zhì)量塊以及兩彈性元件。所述兩第一固定座設(shè)置于所述基板上，而參考點(diǎn)設(shè)置于各第一固定座的中心點(diǎn)的連線上，且各第一固定座至所述參 考點(diǎn)的距離相等。此外，所述環(huán)形質(zhì)量塊圍繞所述兩第一固定座，而各彈性元件連接相對(duì)應(yīng)的第一固定座與所述環(huán)形質(zhì)量塊，以使所述環(huán)形質(zhì)量塊懸吊于所述基板上方，其中各第一固定座至所述參考點(diǎn)的距離小于各第一固定座至所述環(huán)形質(zhì)量塊的距離。

在一實(shí)施例中，在所述兩第一固定座的連線方向上，定義所述環(huán)形質(zhì)量塊的內(nèi)側(cè)至所述環(huán)形質(zhì)量塊的另一內(nèi)側(cè)的距離為l，且所述兩第一固定座之間的距離小于l/4。

在一實(shí)施例中，各彈性元件包括一固定端、一可動(dòng)端以及一連接部。所述固定端連接相對(duì)應(yīng)的第一固定座，所述可動(dòng)端連接所述環(huán)形質(zhì)量塊，而所述連接部連接所述固定端與所述可動(dòng)端，且所述固定端的寬度大于所述連接部的寬度。

在一實(shí)施例中，所述可動(dòng)端的寬度大于所述連接部的寬度。

在一實(shí)施例中，所述微機(jī)電裝置還包括至少一第二固定座，其設(shè)置于所述基板上，且所述至少一第二固定座至所述參考點(diǎn)的距離小于所述至少一第二固定座至所述環(huán)形質(zhì)量塊的距離。

在一實(shí)施例中，所述微機(jī)電裝置還包括至少一固定電極。所述至少一固定電極連接所述至少一第二固定座，且懸吊于所述基板上方。

在一實(shí)施例中，所述微機(jī)電裝置還包括至少一中央質(zhì)量塊，其包括一中央部及至少一側(cè)部(sideportion)。所述中央部設(shè)置于所述兩第一固定座之間，且所述中央部連接所述至少一側(cè)部。

在一實(shí)施例中，所述至少一側(cè)部的寬度大于所述中央部的寬度。

在一實(shí)施例中，所述至少一側(cè)部包括至少一開口，所述至少一第二固定座設(shè)置于所述至少一開口中。

依據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例，另一種微機(jī)電裝置包括一基板、兩第一固定座、一參考點(diǎn)、一環(huán)形質(zhì)量塊、至少一中央質(zhì)量塊以及兩彈性元件。所述兩第一固定座設(shè)置于所述基板上，所述參考點(diǎn)設(shè)置于各第一固定座的中心點(diǎn)的連線上，且各第一固定座至所述參考點(diǎn)的距離相等。所述環(huán)形質(zhì)量塊圍繞所述兩第一固定座。所述至少一中央質(zhì)量塊包括一中央部及至少一側(cè)部。各彈性元件連接相對(duì)應(yīng)的第一固定座與所述環(huán)形質(zhì)量塊，以使所述環(huán)形質(zhì)量塊懸吊于所述基板上方，且各第一固定座至所述參考點(diǎn)的距離小于各第一固定座至所述環(huán)形質(zhì)量塊的距離。

在一實(shí)施例中，在兩第一固定座的連線方向上，定義所述環(huán)形質(zhì)量塊的內(nèi)側(cè)至所述環(huán)形質(zhì)量塊的另一內(nèi)側(cè)的距離為l，且所述兩第一固定座之間的距離小于l/4。

在一實(shí)施例中，各彈性元件包括一固定端、一可動(dòng)端以及一連接部。所述固定端連接相對(duì)應(yīng)的第一固定座，所述可動(dòng)端連接所述環(huán)形質(zhì)量塊，所述連接部連接所述固定端與所述可動(dòng)端，且所述固定端的寬度大于所述連接部的寬度。

在一實(shí)施例中，所述可動(dòng)端的寬度大于所述連接部的寬度。

在一實(shí)施例中，所述至少一側(cè)部的寬度大于所述中央部的寬度。

在一實(shí)施例中，所述微機(jī)電裝置還包括至少一第二固定座，所述至少一側(cè)部包括至少一開口，且所述至少一第二固定座設(shè)置于所述至少一開口中。

依據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例，又一種用以測(cè)量三軸加速度的微機(jī)電裝置被提出。所述微機(jī)電裝置包括一基板、兩第一固定座、一參考點(diǎn)、至少一第二固定座、一環(huán)形質(zhì)量塊、至少一中央質(zhì)量塊以及兩彈性元件。所述兩第一固定座設(shè)置于所述基板上，所述參考點(diǎn)設(shè)置于各第一固定座的中心點(diǎn)的連線上，且各第一固定座至所述參考點(diǎn)的距離相等。所述至少一第二固定座設(shè)置于基板上。所述至少一中央質(zhì)量塊包括一中央部及至少一側(cè)部。所述環(huán)形質(zhì)量塊圍繞所述兩第一固定座以及所述至少一中央質(zhì)量塊。各彈性元件連接相對(duì)應(yīng)的第一固定座與所述環(huán)形質(zhì)量塊，以使所述環(huán)形質(zhì)量塊懸吊于所述基板上方，其中各第一固定座至所述參考點(diǎn)的距離小于各第一固定座至所述環(huán)形質(zhì)量塊的距離。此外，所述至少一第二固定座至所述參考點(diǎn)的距離小于所述至少一第二固定座至所述環(huán)形質(zhì)量塊的距離。

在一實(shí)施例中，在所述兩第一固定座的連線方向上，定義所述環(huán)形質(zhì)量塊的內(nèi)側(cè)至所述環(huán)形質(zhì)量塊的另一內(nèi)側(cè)的距離為l，且所述兩第一固定座之間的距離小于l/4。

在一實(shí)施例中，各彈性元件包括一固定端、一可動(dòng)端以及一連接部。所述固定端連接相對(duì)應(yīng)的第一固定座，所述可動(dòng)端連接所述環(huán)形質(zhì)量塊，所述連接部連接所述固定端與所述可動(dòng)端，且所述固定端的寬度大于所述連接部的寬度。

在一實(shí)施例中，所述可動(dòng)端的寬度大于所述連接部的寬度。

在一實(shí)施例中，所述微機(jī)電裝置還包括至少一固定電極，其中所述至少 一固定電極連接所述至少一第二固定座，且懸吊于所述基板上方。

在一實(shí)施例中，所述至少一側(cè)部的寬度大于所述中央部的寬度。

在一實(shí)施例中，所述至少一側(cè)部包括至少一開口，且所述至少一第二固定座設(shè)置于所述至少一開口中。

在一實(shí)施例中，所述微機(jī)電裝置還包括多個(gè)彈簧。所述多個(gè)彈簧連接所述中央質(zhì)量塊及所述環(huán)形質(zhì)量塊，以使所述中央質(zhì)量塊能感測(cè)x軸加速度及感測(cè)y軸加速度。

在一實(shí)施例中，所述兩彈性元件為二個(gè)扭轉(zhuǎn)梁(torsionalbeam)，以使所述環(huán)形質(zhì)量塊能感測(cè)z軸加速度。

在一實(shí)施例中，所述環(huán)形質(zhì)量塊為一非平衡型質(zhì)量塊(unbalancedmass)。

為讓本發(fā)明的上述特征和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特舉實(shí)施例，并配合所附的附圖作詳細(xì)說(shuō)明如下。

附圖說(shuō)明

圖1為現(xiàn)有的一種微機(jī)電裝置的剖面示意圖；

圖2為本發(fā)明的一實(shí)施例的微機(jī)電裝置的示意圖；

圖3為本發(fā)明的另一實(shí)施例的微機(jī)電裝置的示意圖；

圖4為本發(fā)明的另一實(shí)施例的微機(jī)電裝置的示意圖；

圖5為本發(fā)明的另一實(shí)施例的微機(jī)電裝置的示意圖；

圖6為本發(fā)明的另一實(shí)施例的微機(jī)電裝置的示意圖。

符號(hào)說(shuō)明

100：微機(jī)電裝置

110：基板

120：感測(cè)質(zhì)量塊

130：固定座

140：扭轉(zhuǎn)梁

200：微機(jī)電裝置

210：基板

220：環(huán)形質(zhì)量塊

230：第一固定座

240：彈性元件

250：中央質(zhì)量塊

252：中央部

254：側(cè)部

300：微機(jī)電裝置

310：基板

320：環(huán)形質(zhì)量塊

330：第一固定座

340：彈性元件

350：中央質(zhì)量塊

352：中央部

354：側(cè)部

354a、354b：開口

359：指狀結(jié)構(gòu)

360：彈簧

370：第二固定座

380：固定電極

389：指狀結(jié)構(gòu)

400：微機(jī)電裝置

420：環(huán)形質(zhì)量塊

430：第一固定座

440：彈性元件

442：固定端

444：可動(dòng)端

446：連接部

500：微機(jī)電裝置

520：環(huán)形質(zhì)量塊

530：第一固定座

540：彈性元件

542：固定端

544：可動(dòng)端

546：連接部

600：微機(jī)電裝置

620：環(huán)形質(zhì)量塊

622、624：邊

640：彈性元件

p：參考點(diǎn)

l、l1～l4、l51、l52：距離

w0～w4：寬度

具體實(shí)施方式

本發(fā)明的微機(jī)電裝置適于測(cè)量慣性物理量，亦即利用質(zhì)量塊的慣性所測(cè)量出來(lái)的物理量，例如是加速度、角速度、地磁磁力、共振頻率等。雖然下列實(shí)施例繪示了幾種可能的態(tài)樣，但微機(jī)電裝置的質(zhì)量塊或其他元件的實(shí)際數(shù)量、形狀、位置等當(dāng)可隨著應(yīng)用的場(chǎng)合以及需求有所變化，而不限于下列實(shí)施例所示的內(nèi)容。所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)者在參酌本發(fā)明的內(nèi)容后，當(dāng)可依申請(qǐng)當(dāng)時(shí)的技術(shù)水平，以本發(fā)明的技術(shù)特征為基礎(chǔ)進(jìn)行可能的更動(dòng)與調(diào)整。

圖2繪示依照本發(fā)明的一實(shí)施例的一種微機(jī)電裝置200，其包括基板210、環(huán)形質(zhì)量塊220、參考點(diǎn)p、兩第一固定座230以及兩彈性元件240。本實(shí)施例將第一固定座230配置于環(huán)形質(zhì)量塊220內(nèi)，并且靠近微機(jī)電裝置200中心的位置，用于降低基板210因熱應(yīng)力翹曲造成的影響。更具體而言，參考點(diǎn)p位于各第一固定座230的中心點(diǎn)的連線上，且各第一固定座230至參考點(diǎn)p有相同的距離l1。在此，若定義基板210的表面為x-y平面，可將一x-y平面坐標(biāo)系統(tǒng)的原點(diǎn)設(shè)置于參考點(diǎn)p且將y軸定義為通過各第一固定座230的中心點(diǎn)且通過參考點(diǎn)p的軸線。

所述兩彈性元件240分別連接相對(duì)應(yīng)的第一固定座230與環(huán)形質(zhì)量塊220，以使環(huán)形質(zhì)量塊220懸吊于基板210上方。此外，各第一固定座230至參考點(diǎn)p的距離l1小于各第一固定座230至環(huán)形質(zhì)量塊220的距離l2。換言之，相對(duì)于環(huán)形質(zhì)量塊220，第一固定座230較接近參考點(diǎn)p。

在本實(shí)施例中，所述兩彈性元件240可為兩個(gè)扭轉(zhuǎn)梁(torsionalbeam)，使環(huán)形質(zhì)量塊220能沿著彈性元件240扭轉(zhuǎn)。如此，環(huán)形質(zhì)量塊220例如可 被應(yīng)用于感測(cè)垂直于基板210平面的z軸加速度。在本發(fā)明的其他實(shí)施例中，彈性元件240還可以是連接桿或彈簧(如折迭彈簧)等適用的彈性元件。

本實(shí)施例通過前述設(shè)計(jì)將第一固定座230設(shè)置于靠近微機(jī)電裝置200中心的位置，用于降低在晶片對(duì)晶片接合制作工藝(wafertowaferbonding)時(shí)基板210翹曲造成的影響，因此有助于提升制作工藝良率與產(chǎn)品可靠度。更進(jìn)一步說(shuō)，當(dāng)各第一固定座230至參考點(diǎn)p的距離小于各第一固定座230至環(huán)形質(zhì)量塊220的距離時(shí)，微機(jī)電裝置200的兩個(gè)彈性元件(例如扭轉(zhuǎn)梁)240比較不會(huì)受到基板210翹曲的影響而產(chǎn)生彎曲變形的現(xiàn)象。如此，當(dāng)微機(jī)電裝置200用于量測(cè)z軸加速度時(shí)，會(huì)有較佳的準(zhǔn)確度。為凸顯前述效果，本實(shí)施例還可進(jìn)一步定義第一固定座230與環(huán)形質(zhì)量塊220的相對(duì)位置。例如，在所述兩第一固定座230的連線方向(例如本實(shí)施例的y軸向)上，定義所述環(huán)形質(zhì)量塊220內(nèi)側(cè)至另一內(nèi)側(cè)的距離為l，且所述兩第一固定座230之間的距離l3小于l/4。換言之，所述兩第一固定座230之間更為接近時(shí)，更能降低基板210翹曲造成的影響。

舉例來(lái)說(shuō)，所述兩彈性元件240可為如附圖2所示的兩個(gè)扭轉(zhuǎn)梁(torsionalbeam)。微機(jī)電裝置200整體的面積縮小時(shí)，彈性元件240的寬度也必須隨著縮小。但彈性元件240的寬度若因?yàn)橐档蛣傂?，而要持續(xù)縮小時(shí)，則會(huì)影響制作此微機(jī)電裝置200的制作工藝良率。本揭露使兩個(gè)第一固定座230之間的距離l3小于l/4，彈性元件240會(huì)有足夠的長(zhǎng)度，而使彈性元件240剛性變小。如此一來(lái)，當(dāng)微機(jī)電裝置200用于量測(cè)z軸加速度時(shí)，環(huán)形質(zhì)量塊220會(huì)有比較大的轉(zhuǎn)動(dòng)量(rotation)。換句話說(shuō)，兩個(gè)第一固定座230之間的距離l3小于l/4時(shí)，在不必使彈性元件240的寬度變窄的情況下，就可以使微機(jī)電裝置200用于量測(cè)z軸加速度時(shí)，會(huì)有較佳的靈敏度(sensitivity)。因此，當(dāng)兩個(gè)第一固定座230之間的距離l3小于l/4時(shí)，可使微機(jī)電裝置200用于量測(cè)z軸加速度時(shí)，在不犧牲可靠度的情況下，即能同時(shí)有較佳的準(zhǔn)確度以及較佳的靈敏度。

另一方面，本實(shí)施例還可選擇性地在環(huán)形質(zhì)量塊220內(nèi)設(shè)置一或多個(gè)其他質(zhì)量塊，以實(shí)現(xiàn)不同軸向或不同功能的測(cè)量。如圖2所示，中央質(zhì)量塊250配置于環(huán)形質(zhì)量塊220內(nèi)。由于支撐環(huán)形質(zhì)量塊220的兩個(gè)第一固定座230之間的空間可供設(shè)置中央質(zhì)量塊250，因此縮小了微機(jī)電裝置200整體的面積。更具體而言，中央質(zhì)量塊250可包括中央部252以及連接于中央部252 相對(duì)兩側(cè)的兩個(gè)側(cè)部254，且中央部252設(shè)置于兩第一固定座230之間。通過中央部252連接兩個(gè)側(cè)部254，可使設(shè)置在環(huán)形質(zhì)量塊220內(nèi)的中央質(zhì)量塊250能有較大的面積。當(dāng)此中央質(zhì)量塊250例如可被應(yīng)用于同時(shí)感測(cè)x軸加速度與y軸加速度時(shí)，可同時(shí)提升x軸加速度的感測(cè)靈敏度及y軸加速度的感測(cè)靈敏度。在本實(shí)施例中，側(cè)部254的寬度w3例如大于中央部252的寬度w4。此處所指的側(cè)部254的寬度w3即為在平行兩第一固定座230的連線方向上的側(cè)部254的尺寸。此外，此處所指的中央部252的寬度w4即為在平行兩第一固定座230的連線方向上的中央部252的尺寸。

換言之，本實(shí)施例通過相互分離且對(duì)稱設(shè)置的兩個(gè)第一固定座230，可在環(huán)形質(zhì)量塊220內(nèi)形成一可供設(shè)置中央質(zhì)量塊250的空間，因此使得微機(jī)電裝置200在空間布局的設(shè)計(jì)上更具彈性。

圖3進(jìn)一步繪示將前述微機(jī)電裝置200應(yīng)用于三軸加速度測(cè)量的具體實(shí)施例。由于本實(shí)施例的微機(jī)電裝置300為前述實(shí)施例的微機(jī)電裝置200的具體實(shí)施例態(tài)樣，因此不再重復(fù)贅述已經(jīng)在前述實(shí)施例提及的特征與功效。以下僅說(shuō)明本實(shí)施例通過圖3進(jìn)一步凸顯的細(xì)節(jié)。

在本實(shí)施例中，環(huán)形質(zhì)量塊320通過作為扭轉(zhuǎn)梁的兩彈性元件340懸吊于相對(duì)應(yīng)的兩第一固定座330上，用以測(cè)量垂直于基板310平面(即x-y平面)的z軸加速度。另一方面，中央質(zhì)量塊350配置于環(huán)形質(zhì)量塊320內(nèi)，并且通過多個(gè)彈簧360(如折迭彈簧)連接至環(huán)形質(zhì)量塊320，用以同時(shí)測(cè)量x軸加速度及y軸加速度。在本實(shí)施例中，都采用與前述圖2的實(shí)施例相同的尺寸關(guān)系、寬度關(guān)系及位置關(guān)系(例如第一固定座330、環(huán)形質(zhì)量塊320與參考點(diǎn)p的相對(duì)位置關(guān)系、兩第一固定座330之間的距離與環(huán)形質(zhì)量塊320的尺寸關(guān)系、中央質(zhì)量塊350的中央部352與側(cè)部354的寬度關(guān)系等)。

除此之外，本實(shí)施例還包括一或多個(gè)第二固定座370以及一或多個(gè)固定電極380，用以搭配中央質(zhì)量塊350實(shí)現(xiàn)測(cè)量x軸加速度與y軸加速度的功能。更具體而言，如圖3所示，中央質(zhì)量塊350的兩側(cè)的兩個(gè)側(cè)部354分別具有兩開口354a、354b，且各開口354a或354b容置一個(gè)固定電極380以及一個(gè)第二固定座370，其中固定電極380連接第二固定座370并懸吊于基板310上。

在本實(shí)施例中，各第二固定座370至參考點(diǎn)p的距離l4小于第二固定座370至環(huán)形質(zhì)量塊320的距離。更具體而言，第二固定座370至環(huán)形質(zhì)量 塊320的距離可被定義為下列距離l51與距離l52中較小者，其中第二固定座370沿x軸至環(huán)形質(zhì)量塊320內(nèi)側(cè)的距離被定義為l51，而第二固定座370沿y軸至環(huán)形質(zhì)量塊320內(nèi)側(cè)的距離被定義為l52。換言之，本實(shí)施例將第二固定座330設(shè)置于靠近微機(jī)電裝置300中心的位置，用于降低基板310翹曲造成的影響。此外，中央質(zhì)量塊350具有面向各固定電極380的多個(gè)指狀結(jié)構(gòu)359，且各固定電極380具有與所述多個(gè)指狀結(jié)構(gòu)359相耦合的多個(gè)指狀結(jié)構(gòu)389，以因應(yīng)固定電極380與中央質(zhì)量塊350之間的相對(duì)位移產(chǎn)生電容的變化。并且，同一側(cè)部354的一個(gè)開口354a所對(duì)應(yīng)的指狀結(jié)構(gòu)359以及指狀結(jié)構(gòu)389與另一個(gè)開口354b所對(duì)應(yīng)的指狀結(jié)構(gòu)359以及指狀結(jié)構(gòu)389具有不同的延伸方向，藉此，可以測(cè)量不同軸向的加速度。

圖4是本發(fā)明的另一實(shí)施例的微機(jī)電裝置的示意圖。如圖4所示，本實(shí)施例的微機(jī)電裝置400與前述實(shí)施例的微機(jī)電裝置200類似，主要差異在于兩者的彈性元件不同。

更具體而言，本實(shí)施例提出在結(jié)構(gòu)上具有寬度變化的彈性元件440，用以防止環(huán)形質(zhì)量塊420產(chǎn)生以z軸為旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而影響測(cè)量準(zhǔn)確度。本實(shí)施例的彈性元件440包括固定端442、可動(dòng)端444以及連接部446。固定端442連接相對(duì)應(yīng)的第一固定座430，可動(dòng)端444連接環(huán)形質(zhì)量塊420，而連接部446連接固定端442與可動(dòng)端444。固定端442的寬度w1(即固定端442的最大寬度)大于連接部的寬度w0。本實(shí)施例考慮到固定端442與第一固定座430連接處的結(jié)構(gòu)強(qiáng)度較為脆弱，因此將固定端442的寬度加大(例如使固定端442的寬度由第一固定座430朝向連接部446逐漸遞減)，用于防止環(huán)形質(zhì)量塊420產(chǎn)生以z軸為旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)并防止固定端442產(chǎn)生破裂。因此，具有寬度變化的彈性元件440不僅可使固定端442承受較低的應(yīng)力且同時(shí)不會(huì)大幅增加彈性元件440的旋轉(zhuǎn)剛性，進(jìn)而維持了環(huán)形質(zhì)量塊420在測(cè)量z軸加速度時(shí)的靈敏度。

圖5是本發(fā)明的另一實(shí)施例的微機(jī)電裝置的示意圖。如圖5所示，本實(shí)施例的微機(jī)電裝置500與前述實(shí)施例的微機(jī)電裝置400類似，主要差異在于兩者的彈性元件不同。

本實(shí)施例的彈性元件540包括固定端542、可動(dòng)端544以及連接部546。固定端542連接相對(duì)應(yīng)的第一固定座530，可動(dòng)端544連接環(huán)形質(zhì)量塊520，而連接部546連接固定端542與可動(dòng)端544。本實(shí)施例除了增加固定端542 的寬度之外，更增加了可動(dòng)端544的寬度?？蓜?dòng)端544的寬度w2即為可動(dòng)端544的最大寬度且可動(dòng)端544的寬度w2大于連接部546的寬度w0。換言之，本實(shí)施例考慮到可動(dòng)端544與環(huán)形質(zhì)量塊520連接處的結(jié)構(gòu)也較為脆弱，因此將可動(dòng)端544的寬度加大。例如，可使可動(dòng)端544的寬度由連接部546朝向環(huán)形質(zhì)量塊520逐漸遞增，以防止可動(dòng)端544與環(huán)形質(zhì)量塊520的連接處產(chǎn)生斷裂。

圖6是本發(fā)明的另一實(shí)施例的微機(jī)電裝置的示意圖。如圖6所示，本實(shí)施例的微機(jī)電裝置600與前述實(shí)施例的微機(jī)電裝置500類似，主要差異在于兩者的環(huán)形質(zhì)量塊的結(jié)構(gòu)不同。

更具體而言，彈性元件640作為扭轉(zhuǎn)梁且其中心連線沒有通過環(huán)形質(zhì)量塊620的重心，因此本實(shí)施例的環(huán)形質(zhì)量塊620可定義為一非平衡型質(zhì)量塊(unbalancedmass)。舉例而言，如圖6所示，雖然彈性元件640至環(huán)形質(zhì)量塊620兩內(nèi)側(cè)的距離相同，但環(huán)形質(zhì)量塊620一邊622較寬而另一邊624較窄，彈性元件640的中心連線沒有通過環(huán)形質(zhì)量塊620的重心，因此環(huán)形質(zhì)量塊620可為一非平衡型質(zhì)量塊。在其它未繪示的實(shí)施例中，環(huán)形質(zhì)量塊620一邊622可較厚且另一邊624可較薄。如此，便能使彈性元件640的中心連線沒有通過環(huán)形質(zhì)量塊620的重心，而使環(huán)形質(zhì)量塊620成為一非平衡型環(huán)形質(zhì)量塊。通過非平衡型環(huán)形質(zhì)量塊620，微機(jī)電裝置600在測(cè)量z軸加速度時(shí)，會(huì)有較好的靈敏度。

綜上所述，本發(fā)明將第一固定座及第二固定座設(shè)置于靠近微機(jī)電裝置中心的位置，用于降低基板翹曲造成的影響，有助于提升制作工藝良率與產(chǎn)品可靠度，并能改善微機(jī)電裝置的測(cè)量準(zhǔn)確度。此外，本發(fā)明可對(duì)彈性元件的寬度進(jìn)行設(shè)計(jì)，用以防止環(huán)形質(zhì)量塊產(chǎn)生以z軸為旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，影響測(cè)量準(zhǔn)確度。另一方面，本發(fā)明的微機(jī)電裝置可應(yīng)用于具有可旋轉(zhuǎn)質(zhì)量塊的微機(jī)電感測(cè)器，例如三軸加速度計(jì)及磁力計(jì)等。此外，用于感測(cè)x軸及y軸加速度的中央質(zhì)量塊不需固定座而可通過彈簧懸吊于環(huán)形質(zhì)量塊上，因此有助于減少固定座的數(shù)量，縮小微機(jī)電裝置的面積，并避免基板翹曲造成的影響。

雖然結(jié)合以上實(shí)施例公開了本發(fā)明，然而其并非用以限定本發(fā)明，任何所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)者，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，可作些許的更動(dòng)與潤(rùn)飾，故本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)當(dāng)以附上的權(quán)利要求所界定的為 準(zhǔn)。