本發(fā)明涉及一種氣液分離裝置，特別是涉及一種用于濕法工藝設(shè)備的氣液分離裝置。

背景技術(shù)：

濕法工藝設(shè)備廣泛用在半導(dǎo)體元件的制造。在濕法工藝中濕法工藝設(shè)備須采用大量的化學(xué)藥液，其大多為具有酸性或堿性等腐蝕性的物質(zhì)。因此，從濕法工藝設(shè)備內(nèi)流出的化學(xué)性氣液混合物中往往帶有具有腐蝕性的化學(xué)液體?；诃h(huán)境保護與安全的考量，必須將濕法工藝設(shè)備內(nèi)的化學(xué)性氣液混合物加以處理將化學(xué)性氣液混合物中的化學(xué)液體分離后才可排放。

請參照圖1，其顯示一種現(xiàn)有的氣液分離裝置10的示意圖。所述氣液分離裝置10包含一輸入通道p1、一位在底部的排液通道p2和一位在上方的排氣通道p3，其中所述氣液分離裝置10的所述輸入通道p1與一濕法工藝設(shè)備20連接、所述排液通道p2與一液體回收裝置30連接、以及所述排氣通道p3與一氣體處理裝置40連接。在使用時，所述濕法工藝設(shè)備20內(nèi)的化學(xué)性氣液混合物50通過所述輸入通道p1進入所述氣液分離裝置10內(nèi)。所述化學(xué)性氣液混合物50進入所述氣液分離裝置10后，所述化學(xué)性氣液混合物50中的化學(xué)液體51會自然地向下方滴落，并且通過在所述氣液分離裝置10底部的所述排液通道p2收集到所述液體回收裝置30內(nèi)。另一方面，剩余的廢氣52則會通過位在所述氣液分離裝置10上方的所述排氣通道p3收集至所述氣體處理裝置40內(nèi)。

然而，由于所述氣液分離裝置10內(nèi)的空間有限，容易發(fā)生化學(xué)性氣液混合物50還沒有被氣液分離完全時就已經(jīng)被送入所述排氣通道p3中，使得進入所述氣體處理裝置40的廢氣52中依然帶有大量的化學(xué)液體，進而導(dǎo)致所述氣體處理裝置40內(nèi)的元件受到腐蝕而損壞。另一方面，當(dāng)化學(xué)性氣液混合物50中的化學(xué)液體51被分離且被收集至所述液體回收裝置30后，可將所述液體回收裝置30內(nèi)回收的化學(xué)液體51經(jīng)處理后再次使用。也就是說，若是能增加所述氣液分離裝置10的氣液分離的效能即可有效地減少生產(chǎn)成本。因此，為了增強所述氣液分離裝置10的氣液分離的效能，現(xiàn)有的做法是通過在所述氣液分離裝置10內(nèi)設(shè)置拉西環(huán)或者是菜瓜布…等元件，以增加化學(xué)性氣液混合物50在所述氣液分離裝置10內(nèi)的行經(jīng)路徑。然而，上述方法對于增加氣液分離的效果有限，有鑒于此有必要提供一種氣液分離裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)所存在的問題。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的目的在于提供一種氣液分離裝置，其內(nèi)部設(shè)置有螺旋桿，位在所述氣液分離裝置的輸入通道和排氣通道之間。因此，當(dāng)化學(xué)性氣液混合物通過所述螺旋桿時，所述化學(xué)性氣液混合物中的所述化學(xué)液體會凝結(jié)且附著在所述螺旋桿上，使得所述螺旋桿能有效地增加化學(xué)性氣液混合物在所述氣液分離裝置內(nèi)的行經(jīng)路徑，進而增強氣液分離的功效。

為達成上述目的，本發(fā)明提供一種用于濕法工藝設(shè)備的氣液分離裝置，包含：一輸入通道，與一濕法工藝設(shè)備連接，用于將所述濕法工藝設(shè)備的一化學(xué)性氣液混合物輸入所述氣液分離裝置內(nèi)；一螺旋桿，設(shè)置在所述氣液分離裝置的內(nèi)部，用于將所述化學(xué)性氣液混合物分離為一廢氣和一化學(xué)液體；一排液通 道，位于所述濕法工藝設(shè)備的底部，與一用于收集所述化學(xué)液體的液體回收裝置連接；以及一排氣通道，用于將所述廢氣排出。

于本發(fā)明其中之一優(yōu)選實施例當(dāng)中，所述螺旋桿設(shè)置在所述化學(xué)性氣液混合物從所述輸入通道前往所述排氣通道的行經(jīng)路徑之間。

于本發(fā)明其中之一優(yōu)選實施例當(dāng)中，所述螺旋桿包含一軸桿和多個形成在所述軸桿上的葉片。

于本發(fā)明其中之一優(yōu)選實施例當(dāng)中，所述螺旋桿的所述軸桿與一馬達連接以接收所述馬達的驅(qū)動，使得所述多個葉片與所述軸桿一同旋轉(zhuǎn)。

于本發(fā)明其中之一優(yōu)選實施例當(dāng)中，所述螺旋桿的所述軸桿包含一中心空穴和多個從所述中心空穴連通至所述軸桿外部的開孔，并且所述軸桿與一外部氣體供應(yīng)設(shè)備連接，用于將一氣體輸入所述軸桿的所述中心空穴內(nèi)。

于本發(fā)明其中之一優(yōu)選實施例當(dāng)中，所述螺旋桿的所述軸桿與所述氣液分離裝置的側(cè)壁平行。

于本發(fā)明其中之一優(yōu)選實施例當(dāng)中，所述氣液分離裝置還包含一多孔元件，設(shè)置在所述氣液分離裝置的側(cè)壁上。

于本發(fā)明其中之一優(yōu)選實施例當(dāng)中，所述多孔元件為金屬網(wǎng)。

于本發(fā)明其中之一優(yōu)選實施例當(dāng)中，所述多孔元件為鐵絲網(wǎng)。

本發(fā)明還提供一種用于濕法工藝設(shè)備的氣液分離裝置，包含：一輸入通道設(shè)于所述氣液分離裝置的一側(cè)壁，與一濕法工藝設(shè)備連接，用于將所述濕法工藝設(shè)備的一化學(xué)性氣液混合物輸入所述氣液分離裝置內(nèi)；一排氣通道設(shè)于所述氣液分離裝置的另一側(cè)壁并和一氣體處理裝置連接；一螺旋桿具有葉片，設(shè)置在所述氣液分離裝置的內(nèi)部，和所述二側(cè)壁平行設(shè)置并位于所述輸入通道和所述排氣通道之間，用于將所述化學(xué)性氣液混合物分離為一廢氣和一化學(xué)液體， 所述廢氣通過所述排氣通道來排入所述氣體處理裝置中；一排液通道，位于所述濕法工藝設(shè)備的底部，與一用于收集所述化學(xué)液體的液體回收裝置連接。

于本發(fā)明其中之一優(yōu)選實施例當(dāng)中，所述氣液分離裝置更包含一馬達用以驅(qū)動所述螺旋桿的轉(zhuǎn)動。

于本發(fā)明其中之一優(yōu)選實施例當(dāng)中，所述氣液分離裝置更包含一外部氣體供應(yīng)設(shè)備可提供氣體至所述氣液分離裝置中，用以吹動附著在所述葉片上的所述化學(xué)液體使其朝向所述氣液分離裝置的所述側(cè)壁移動。

于本發(fā)明其中之一優(yōu)選實施例當(dāng)中，所述螺旋桿包含一軸桿，所述軸桿包含一中心空穴和多個從所述中心空穴連通至所述軸桿外部的開孔，并且所述軸桿與所述外部氣體供應(yīng)設(shè)備連接，用于將所述氣體輸入所述軸桿的所述中心空穴內(nèi)并通過所述開孔來吹動附著在所述葉片上的所述化學(xué)液體。

附圖說明

圖1顯示一種現(xiàn)有的氣液分離裝置的示意圖；

圖2顯示一種本發(fā)明第一優(yōu)選實施例的氣液分離裝置的示意圖；以及

圖3顯示一種本發(fā)明第二優(yōu)選實施例的氣液分離裝置的示意圖。

具體實施方式

為了讓本發(fā)明的上述及其他目的、特征、優(yōu)點能更明顯易懂，下文將特舉本發(fā)明優(yōu)選實施例，并配合附圖，作詳細說明如下。

請參照圖2，其顯示一種本發(fā)明第一優(yōu)選實施例的氣液分離裝置100的示意圖。所述氣液分離裝置100包含一設(shè)置在一側(cè)邊的輸入通道p1、設(shè)置在底部的一排液通道p2、和設(shè)置在相對所述輸入通道p1的另一側(cè)邊的排氣通道p3。所述 氣液分離裝置100的所述輸入通道p1與一濕法工藝設(shè)備20連接，并且所述濕法工藝設(shè)備20內(nèi)的化學(xué)性氣液混合物50通過所述輸入通道p1進入所述氣液分離裝置100內(nèi)。所述氣液分離裝置100的所述排液通道p2與一液體回收裝置30連接，以及所述排氣通道p3與一氣體處理裝置40連接。在運作時，當(dāng)所述化學(xué)性氣液混合物50進入所述氣液分離裝置100后，所述氣液分離裝置100是用于將所述化學(xué)性氣液混合物50氣液分離為化學(xué)液體51和廢氣52，并且通過所述排液通道p2將所述化學(xué)液體51收集到所述液體回收裝置30內(nèi)，以及通過所述排氣通道p3將所述廢氣52排入所述氣體處理裝置40內(nèi)。

如圖2所示，所述氣液分離裝置100還包含一螺旋桿110，設(shè)置在所述氣液分離裝置100的內(nèi)部，并且是位于所述化學(xué)性氣液混合物50從所述輸入通道p1前往所述排氣通道p3的行經(jīng)路徑之間。當(dāng)所述化學(xué)性氣液混合物50通過所述螺旋桿110時，所述化學(xué)性氣液混合物50中的所述化學(xué)液體51會凝結(jié)且附著在所述螺旋桿110上，使得所述螺旋桿110達到將所述化學(xué)性氣液混合物50氣液分離為所述化學(xué)液體51和所述廢氣52的功效。所述螺旋桿110包含一中央的軸桿111和多個形成在所述軸桿111上的葉片112，其中所述軸桿111與所述氣液分離裝置100的側(cè)壁102平行，及和所述氣液分離裝置100的上壁和下壁相互垂直。優(yōu)選地，所述多個葉片112是與所述軸桿111一體成型，并且設(shè)計為延伸至靠近所述氣液分離裝置100的所述側(cè)壁102和所述上壁和下壁，使得所述螺旋桿110在所述氣液分離裝置100內(nèi)的有限空間中形成足夠大的總表面積。因此，在所述化學(xué)性氣液混合物50從所述輸入通道p1前往所述排氣通道p3的行經(jīng)過程中發(fā)生與所述螺旋桿110可有充分的接觸，進而有效地達到所述氣液分離裝置100有增強氣液分離的效能。

另一方面，當(dāng)所述化學(xué)性氣液混合物50中的所述化學(xué)液體51被分離且被收 集至所述液體回收裝置30后，可將所述液體回收裝置30內(nèi)回收的所述化學(xué)液體51經(jīng)處理后再次使用。因此，由于所述氣液分離裝置100的所述螺旋桿110的設(shè)置，有效地增強氣液分離的效能，進而增加可回收再利用的所述化學(xué)液體51的量，如此使得生產(chǎn)成本有效地降低。

請參照圖3，其顯示一種本發(fā)明第二優(yōu)選實施例的氣液分離裝置200的示意圖。所述氣液分離裝置200包含一設(shè)置在一側(cè)邊的輸入通道p1、設(shè)置在底部的一排液通道p2、和設(shè)置在相對所述輸入通道p1的另一側(cè)邊的排氣通道p3。所述氣液分離裝置200的所述輸入通道p1與一濕法工藝設(shè)備20連接，并且所述濕法工藝設(shè)備20內(nèi)的化學(xué)性氣液混合物50通過所述輸入通道p1進入所述氣液分離裝置200內(nèi)。所述氣液分離裝置200的所述排液通道p2與一液體回收裝置30連接，以及所述排氣通道p3與一氣體處理裝置40連接。在運作時，當(dāng)所述化學(xué)性氣液混合物50進入所述氣液分離裝置200后，所述氣液分離裝置200是用于將所述化學(xué)性氣液混合物50氣液分離為化學(xué)液體51和廢氣52，并且通過所述排液通道p2將所述化學(xué)液體51收集到所述液體回收裝置30內(nèi)，以及通過所述排氣通道p3將所述廢氣52排入所述氣體處理裝置40內(nèi)。

如圖3所示，所述氣液分離裝置200還包含一螺旋桿210，設(shè)置在所述氣液分離裝置200的內(nèi)部，并且是位于所述化學(xué)性氣液混合物50從所述輸入通道p1前往所述排氣通道p3的行經(jīng)路徑之間。當(dāng)所述化學(xué)性氣液混合物50通過所述螺旋桿210時，所述化學(xué)性氣液混合物50中的所述化學(xué)液體51會凝結(jié)且附著在所述螺旋桿210上，使得所述螺旋桿210達到將所述化學(xué)性氣液混合物50氣液分離為所述化學(xué)液體51和所述廢氣52的功效。再者，所述螺旋桿210包含一中央的軸桿211和多個形成在所述軸桿211上的葉片212，其中所述軸桿211與所述氣液分離裝置200的側(cè)壁202平行，及和所述氣液分離裝置200的上壁和下壁相互垂 直。優(yōu)選地，所述多個葉片212是與所述軸桿211一體成型，并且設(shè)計為延伸至靠近所述氣液分離裝置200的所述側(cè)壁202和所述上壁和下壁，使得所述螺旋桿210在所述氣液分離裝置200內(nèi)的有限空間中形成足夠大的總表面積。因此，在所述化學(xué)性氣液混合物50從所述輸入通道p1前往所述排氣通道p3的行經(jīng)過程中可與所述螺旋桿210有充分的接觸，進而有效地達到所述氣液分離裝置200有增強氣液分離的效能。

如圖3所示，所述氣液分離裝置200還包含一馬達60，與所述螺旋桿210的所述軸桿211連接用于驅(qū)動所述軸桿211轉(zhuǎn)動，進而帶動所述多個葉片212與所述軸桿211一同旋轉(zhuǎn)。通過所述馬達60驅(qū)使所述螺旋桿210轉(zhuǎn)動，使得凝結(jié)于所述螺旋桿210上的所述化學(xué)液體51產(chǎn)生一離心力，使所述化學(xué)液體51甩向所述氣液分離裝置200的側(cè)壁202的方向，接著所述化學(xué)液體51會沿著垂直的側(cè)壁202向下流動，進而增加所述化學(xué)液體51被收集至所述液體回收裝置30內(nèi)的效率。

如圖3所示，所述氣液分離裝置200的所述側(cè)壁202設(shè)置有一多孔元件220，其中所述多孔元件220優(yōu)選為金屬網(wǎng)，例如是鐵絲網(wǎng)。通過所述多孔元件220的設(shè)置一方面能有效地捕捉住到達所述側(cè)壁202的所述化學(xué)液體51，另一方面還可增長所述化學(xué)性氣液混合物50沿著所述側(cè)壁202移動時的行經(jīng)路徑，進而增強氣液分離的效果。此外，所述螺旋桿210的所述軸桿211包含一中心空穴213和多個從所述中心空穴213連通至所述軸桿211外部的開孔214。所述軸桿211的所述中心空穴213連通至一外部氣體供應(yīng)設(shè)備70。在運作時，所述外部氣體供應(yīng)設(shè)備70會提供一氣體至所述軸桿211的所述中心空穴213內(nèi)，并且所述氣體通過所述多個開孔214噴發(fā)至所述軸桿211的外部。因此，原先附著在所述軸桿211和所述葉片212上的所述化學(xué)液體51會因所述氣體噴發(fā)時產(chǎn)生的作用力而將所 述化學(xué)液體51被吹向所述氣液分離裝置200的側(cè)壁202，進而有效地增加所述化學(xué)液體51被收集至所述液體回收裝置30內(nèi)的效率。再者，通過所述氣體的作用可使所述氣液分離裝置200內(nèi)的所述化學(xué)性氣液混合物50朝向位于所述側(cè)壁202的所述多孔元件220流動，進而使得所述化學(xué)液體51凝結(jié)于所述多孔元件220上，故能進一步的增加氣液分離的效率。

雖然本發(fā)明已用優(yōu)選實施例揭露如上，然其并非用以限定本發(fā)明，本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識者，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作各種的更動與潤飾，因此本發(fā)明的保護范圍當(dāng)視后附的權(quán)利要求所界定者為準。