本實用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，特別涉及用于處理工藝尾氣的尾氣處理裝置。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體器件制造過程中，需要用到各種氣體參與化學(xué)反應(yīng)。由于通入反應(yīng)腔的氣體不可能被完全消耗掉，經(jīng)常還殘留有尾氣，因此必須通過尾氣處理裝置(Local Scrubber)對尾氣進(jìn)行處理，以避免污染環(huán)境或產(chǎn)生其他危害。
就半導(dǎo)體尾氣的處理方法而言，目前大致分為濕式法、吸附法、加熱分解法及燃燒法等4種方法；其中，燃燒法即將助燃?xì)怏w(如壓縮空氣、H2)通入燃燒室內(nèi)燃燒，將尾氣燃燒去除，最終達(dá)到符合規(guī)定的排放指標(biāo)后再排出。但是，目前，上述尾氣處理裝置中由于助燃?xì)怏w的混合不均勻、氣體流量不穩(wěn)定的情況，而且助燃?xì)怏w以柱狀式的形式通入燃燒室，這樣，就會出現(xiàn)燃燒室內(nèi)部的助燃?xì)怏w分布不均勻、燃燒溫度不穩(wěn)定現(xiàn)象，導(dǎo)致尾氣處理裝置的實際功效偏低，會縮短尾氣裝置的維護(hù)周期，浪費大量的時間、人力和材料，甚至?xí)斐刹槐匾耐C(jī)和在制品的損失。
因此，如何提供一種可以有效提高尾氣處理效能的尾氣處理裝置是本領(lǐng)域亟待解決的一個技術(shù)問題。
技術(shù)實現(xiàn)要素：
本實用新型所要解決的技術(shù)問題是提高尾氣處理裝置的處理效率，延長尾氣處理裝置的維護(hù)周期，減少不必要的損失，節(jié)約成本。
為解決上述技術(shù)問題，本實用新型采用如下技術(shù)方案：
一種尾氣處理裝置，包括：一用于燃燒尾氣的燃燒室；一氣路管道，所述氣路管道的一端與所述燃燒室相連；一送風(fēng)機(jī)，所述送風(fēng)機(jī)與所述氣路管道的另一端相連，所述送風(fēng)機(jī)向所述氣路管道送風(fēng)；以及一偵測和控制系統(tǒng)，所述 偵測和控制系統(tǒng)分別連接所述燃燒室和所述送風(fēng)機(jī)，所述偵測和控制系統(tǒng)偵測所述燃燒室的溫度，同時根據(jù)偵測到的溫度，控制所述送風(fēng)機(jī)的送風(fēng)速度。
作為本實用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述氣路管道的一端連接所述燃燒室的頂壁。
作為本實用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述氣路管道與所述燃燒室的相連處設(shè)置一噴淋頭，所述噴淋頭控制所述氣路管道向所述燃燒室的內(nèi)部各個方向噴氣。
作為本實用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述氣路管道上設(shè)置有調(diào)壓閥。
可選的，所述調(diào)壓閥與所述氣路管道的連接采用VCR接頭連接。
作為本實用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述氣路管道上還設(shè)置有安全閥。
可選的，所述安全閥與所述氣路管道的連接采用VCR接頭連接。
可選的，所述VCR接頭的密封墊片使用鎳墊片。
可選的，所述氣路管道使用全自動軌道氬弧焊機(jī)高純氬氣保護(hù)焊接或者VCR連接。
進(jìn)一步的，所述送風(fēng)機(jī)向所述氣路管道送入助燃?xì)怏w，所述助燃?xì)怏w的速率隨所述偵測和控制系統(tǒng)偵測到的溫度而改變；當(dāng)所述偵測和控制系統(tǒng)偵測到的溫度高于所述燃燒室的最佳燃燒溫度時，所述助燃?xì)怏w的速率減??；當(dāng)所述偵測和控制系統(tǒng)偵測到的溫度低于所述燃燒室的最佳燃燒溫度時，所述助燃?xì)怏w的速率增大。。
可選的，所述送風(fēng)機(jī)向所述氣路管道送入壓縮空氣。
進(jìn)一步的，所述尾氣處理裝置還包括一尾氣進(jìn)入管和一尾氣排出管，所述尾氣進(jìn)入管和尾氣排出管分別于所述燃燒室連通。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型具有以下有益效果：
本實用新型提供的尾氣處理裝置中所述送風(fēng)機(jī)向所述氣路管道送入氣體，氣體進(jìn)入所述燃燒室的內(nèi)部，所述偵測和控制系統(tǒng)通過實時探測所述燃燒室的溫度來控制所述送風(fēng)機(jī)的送風(fēng)速度，使所述燃燒室的燃燒溫度趨于穩(wěn)定，提高尾氣處理裝置的處理效率，延長尾氣處理裝置的維護(hù)周期，減少不必要的損失，節(jié)約成本。
另外，所述氣路管道的一端連接所述燃燒室的頂壁，并且在其相連處設(shè)置 一噴淋頭，所述噴淋頭控制所述氣路管道向所述燃燒室的內(nèi)部各個方向噴氣，使所述燃燒室的氣體分布更加均勻，有利于所述燃燒室的燃燒溫度的穩(wěn)定。
另外，在所述氣路管道上設(shè)置有調(diào)壓閥，所述調(diào)壓閥能精準(zhǔn)的控制所述氣路管道的氣體壓力，在一定程度上有利于所述燃燒室的燃燒溫度的穩(wěn)定。
最后，在所述氣路管道上設(shè)置有安全閥，可以防止產(chǎn)生倒灌現(xiàn)象，防止所述氣路管道污染。
附圖說明
圖1為本實用新型的尾氣處理裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
下面將結(jié)合示意圖對本實用新型尾氣處理裝置進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本實用新型的優(yōu)選實施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本實用新型，而仍然實現(xiàn)本實用新型的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對本實用新型的限制。
在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本實用新型。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本實用新型的優(yōu)點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。
本實用新型的核心思想在于，本實用新型提供的尾氣處理裝置，如圖1所示，包括：一用于燃燒尾氣的燃燒室10；
一氣路管道13，所述氣路管道13的一端與所述燃燒室10相連；
一送風(fēng)機(jī)14，所述送風(fēng)機(jī)14與所述氣路管道13的另一端相連，所述送風(fēng)機(jī)14向所述氣路管道13送風(fēng)；以及
一偵測和控制系統(tǒng)15，所述偵測和控制系統(tǒng)15分別連接所述燃燒室10和所述送風(fēng)機(jī)14，所述偵測和控制系統(tǒng)15偵測所述燃燒室10的溫度，同時根據(jù)偵測到的溫度，控制所述送風(fēng)機(jī)14的送風(fēng)速度。
本實用新型在尾氣處理裝置中所述送風(fēng)機(jī)14向所述氣路管道13送入氣體，氣體進(jìn)入所述燃燒室10的內(nèi)部，所述偵測和控制系統(tǒng)15通過實時探測所述燃 燒室10的溫度來控制所述送風(fēng)機(jī)14的送風(fēng)速度，使所述燃燒室10的燃燒溫度趨于穩(wěn)定，提高尾氣處理裝置的處理效率，延長尾氣處理裝置的維護(hù)周期，減少不必要的損失，節(jié)約成本。
以下列舉所述尾氣處理裝置的實施例，以清楚說明本實用新型的內(nèi)容，應(yīng)當(dāng)明確的是，本實用新型的內(nèi)容并不限制于以下實施例，其他通過本領(lǐng)域普通技術(shù)人員的常規(guī)技術(shù)手段的改進(jìn)亦在本實用新型的思想范圍之內(nèi)。
如圖1所示，本實用新型提供一種尾氣處理裝置包括一用于燃燒尾氣的燃燒室10，所述燃燒室10采用防腐蝕、耐高溫材料制作而成；一尾氣進(jìn)入管11與所述燃燒室10連通，為所述燃燒室10提供需要處理的尾氣，在半導(dǎo)體器件制造過程中，主要的處理尾氣包括刻蝕與化學(xué)氣相沉積制程中常見的氣體，如SiH4、TEOS、NF3、NH3、N2O等；相應(yīng)的，該尾氣處理裝置有一尾氣排出管12與所述燃燒室10連通，將需要處理的尾氣在所述燃燒室10通過燃燒氧化去除后，最終將達(dá)到符合規(guī)定的排放指標(biāo)的氣體通過所述尾氣排出管12排出。因為該尾氣裝置是通過將助燃?xì)怏w通入所述燃燒室10內(nèi)燃燒，將需要處理的尾氣燃燒去除，所以，所述尾氣處理裝置還包括一助燃?xì)怏w管路(圖中示意圖已省略)。以上是現(xiàn)有的尾氣處理裝置的大致結(jié)構(gòu)情況，也是本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可以理解的，在此不做贅述。
本實用新型在上述尾氣處理裝置中，為了解決所述燃燒室10內(nèi)的燃燒溫度不穩(wěn)定而導(dǎo)致尾氣處理裝置的實際功率偏低的問題，增加了一氣路管道13，所述氣路管道13的一端與所述燃燒室10相連，所述氣路管道13的另一端與一送風(fēng)機(jī)14相連，具體的，所述氣路管道13使用全自動軌道氬弧焊機(jī)高純氬氣保護(hù)焊接或者CVR連接；所述送風(fēng)機(jī)14內(nèi)設(shè)有多個扇葉，所述送風(fēng)機(jī)14向所述氣路管道13送入氣體，該氣體為另一助燃?xì)怏w，優(yōu)選壓縮空氣，因為在實際處理過程中，提供壓縮空氣相對便捷，而且壓縮空氣的成本也很經(jīng)濟(jì)實惠，壓縮空氣使所述燃燒室10內(nèi)尾氣燃燒更加充分。較佳的，為了使所述燃燒室10內(nèi)部的氣體分布更加均勻，氣體壓力更加穩(wěn)定，本實用新型優(yōu)選所述氣路管道13的一端連接所述燃燒室10的頂壁，并且，在其相連處設(shè)置一噴淋頭16，所述噴 淋頭16控制所述氣路管道13向所述燃燒室10的內(nèi)部各個方向噴氣；同時，在所述氣路管道13上設(shè)置一調(diào)壓閥131，為了管道的密封性，所述調(diào)壓閥131與所述氣路管道13采用VCR接頭連接，所述VCR接頭的密封墊片使用鎳墊片。
本實用新型提供的尾氣處理裝置還包括一偵測和控制系統(tǒng)15，所述偵測和控制系統(tǒng)15分別連接所述燃燒室10和所述送風(fēng)機(jī)14，所述偵測和控制系統(tǒng)15實時偵測所述燃燒室10的溫度，同時，根據(jù)偵測到的溫度，控制所述送風(fēng)機(jī)14的送風(fēng)速度。
另外，為了防止尾氣處理裝置出現(xiàn)倒灌現(xiàn)象，防止所述氣路管道13污染，具體的，在所述氣路管道13上還設(shè)置一安全閥132，為了管道的密封性，所述安全132與所述氣路管道13采用VCR接頭連接，所述VCR接頭的密封墊片使用鎳墊片。
以下對本實用新型的尾氣處理裝置中所述燃燒室的燃燒溫度的偵測和控制過程進(jìn)一步說明，以便更加清楚說明本實用新型的內(nèi)容。
具體的，所述尾氣處理裝置中所述燃燒室10的最佳燃燒溫度為450℃-600℃。當(dāng)所述偵測和控制系統(tǒng)15檢測到所述燃燒室10的溫度低于為450℃時，所述偵測和控制系統(tǒng)15就會給所述送風(fēng)機(jī)14反饋一個加大送風(fēng)速度的信號，所述送風(fēng)機(jī)14就會加快轉(zhuǎn)速，于是，將更多的壓縮空氣送入所述氣路管道13，更多的壓縮空氣通過所述氣路管道13經(jīng)由所述噴淋頭16，均勻的撒入所述燃燒室10中，使得所述燃燒室10的尾氣充分燃燒，最終使所述燃燒室10內(nèi)部的燃燒溫度隨著所述送風(fēng)機(jī)14的送風(fēng)速度增大而增高；當(dāng)所述偵測和控制系統(tǒng)15偵測到所述燃燒室10的燃燒溫度高于600℃時，所述偵測和控制系統(tǒng)15就會給所述送風(fēng)機(jī)14反饋一個減小送風(fēng)速度的信號，所述送風(fēng)機(jī)14就會減慢轉(zhuǎn)速，這樣，吹進(jìn)所述燃燒室10的壓縮空氣就會相應(yīng)的減少，對應(yīng)的燃燒溫度也會隨著壓縮空氣的減少而慢慢的降下來。這樣，通過所述偵測和控制系統(tǒng)15、所述氣路管道13和所述送風(fēng)機(jī)14就能實現(xiàn)尾氣處理裝置中所述燃燒室10的燃燒溫度穩(wěn)定在最佳溫度。
綜上，本實用新型在尾氣處理裝置中所述送風(fēng)機(jī)14向所述氣路管道13送 入氣體，氣體進(jìn)入所述燃燒室10的內(nèi)部，所述偵測和控制系統(tǒng)15通過實時探測所述燃燒室10的溫度來控制所述送風(fēng)機(jī)14的送風(fēng)速度，使所述燃燒室10的燃燒溫度趨于穩(wěn)定，提高尾氣處理裝置的處理效率，延長尾氣處理裝置的維護(hù)周期，減少不必要的損失，節(jié)約成本。
另外，所述氣路管道13的一端連接所述燃燒室10的頂壁，并且在其相連處設(shè)置一噴淋頭16，所述噴淋頭16控制所述氣路管道13向所述燃燒室10的內(nèi)部各個方向噴氣，使所述燃燒室10的氣體分布更加均勻，有利于所述燃燒室10的燃燒溫度的穩(wěn)定。
另外，在所述氣路管道上設(shè)置有調(diào)壓閥131，所述調(diào)壓閥131能精準(zhǔn)的控制所述氣路管道13的氣體壓力，在一定程度上有利于所述燃燒室10的燃燒溫度的穩(wěn)定。
最后，在所述氣路管道上設(shè)置有安全閥132，可以防止產(chǎn)生倒灌現(xiàn)象，防止所述氣路管道13污染。
顯然，以上僅為本實用新型的較佳實施例而已，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本實用新型進(jìn)行各種改動和變型而不脫離本實用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬于本實用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實用新型也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。