專利名稱：一種氣動(dòng)真空室傳送裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及氣動(dòng)元件與設(shè)備領(lǐng)域，尤其是涉及到一種氣動(dòng)真空室傳送裝置。
背景技術(shù)：
真空室的傳送一般使用機(jī)械手，但機(jī)械手往往通過手動(dòng)或電路控制，與真空室的連接復(fù)雜，容易損壞，而且也不易實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)距離的器件的傳送。

發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型提供一種氣動(dòng)真空室傳送裝置，包括真空室、傳動(dòng)軸、氣動(dòng)軸承、驅(qū)動(dòng)磁性體、磁性架，其特征是真空室外面安裝有氣動(dòng)軸承和驅(qū)動(dòng)磁性體。其中，磁性架安裝于傳動(dòng)軸上，驅(qū)動(dòng)磁性體與氣動(dòng)軸承相連接。本實(shí)用新型提供一種氣動(dòng)真空室傳送裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、傳動(dòng)效率高、傳動(dòng)距離長(zhǎng)。傳動(dòng)器件時(shí)，器件安防于磁性架上，氣動(dòng)軸承推動(dòng)驅(qū)動(dòng)磁性體前進(jìn)；驅(qū)動(dòng)磁性體通過磁力耦合帶動(dòng)磁性架前進(jìn)。

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1、真空室、2、傳動(dòng)軸、3、氣動(dòng)軸承、4、驅(qū)動(dòng)磁性體、5、磁性架
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)描述。圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖，包括真空室1、傳動(dòng)軸2、氣動(dòng)軸承3、驅(qū)動(dòng)磁性體 4、磁性架5。真空室1外面安裝有氣動(dòng)軸承3和驅(qū)動(dòng)磁性體4。其中，磁性架5安裝于傳動(dòng)軸2上，驅(qū)動(dòng)磁性體4與氣動(dòng)軸承3相連接。本實(shí)用新型提供一種氣動(dòng)真空室傳送裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、傳動(dòng)效率高、傳動(dòng)距離長(zhǎng)。傳動(dòng)器件時(shí)，器件安防于磁性架5上，氣動(dòng)軸承3推動(dòng)驅(qū)動(dòng)磁性體4前進(jìn)；驅(qū)動(dòng)磁性體4通過磁力耦合帶動(dòng)磁性架5前進(jìn)。以上顯示和描述了本實(shí)用新型的基本原理和主要特征和本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本實(shí)用新型不受上述實(shí)施例的限制，上述實(shí)施例和說(shuō)明書中描述的只是說(shuō)明本發(fā)明的原理，在不脫離本發(fā)明精神和范圍的前提下，本發(fā)明還會(huì)有各種變化和改進(jìn)，這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本發(fā)明范圍內(nèi)。本實(shí)用新型要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。
權(quán)利要求1.一種氣動(dòng)真空室傳送裝置，包括真空室、傳動(dòng)軸、氣動(dòng)軸承、驅(qū)動(dòng)磁性體、磁性架，其特征在于所述的真空室外面安裝有氣動(dòng)軸承和驅(qū)動(dòng)磁性體。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣動(dòng)真空室傳送裝置，其特征在于 所述的磁性架安裝于傳動(dòng)軸上；所述的驅(qū)動(dòng)磁性體與氣動(dòng)軸承相連接。
專利摘要真空室的傳送一般使用機(jī)械手，但機(jī)械手往往通過手動(dòng)或電路控制，與真空室的連接復(fù)雜，容易損壞，而且也不易實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)距離的器件的傳送。本實(shí)用新型提供一種氣動(dòng)真空室傳送裝置，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、傳動(dòng)效率高、傳動(dòng)距離長(zhǎng)的優(yōu)點(diǎn)。傳動(dòng)器件時(shí)，器件安防于磁性架上，氣動(dòng)軸承推動(dòng)驅(qū)動(dòng)磁性體前進(jìn)；驅(qū)動(dòng)磁性體通過磁力耦合帶動(dòng)磁性架前進(jìn)。
文檔編號(hào)B65G54/02GK202265211SQ201120405239
公開日2012年6月6日 申請(qǐng)日期2011年10月14日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月14日
發(fā)明者林志娟 申請(qǐng)人:林志娟