技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型提出一種單晶爐底部加熱器，通過(guò)采用橫截面相等的筋條作為底部加熱器的基本組成結(jié)構(gòu)單元，并對(duì)底部加熱器的形狀和結(jié)構(gòu)進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì)，從而達(dá)到發(fā)熱均勻的目的。本實(shí)用新型技術(shù)方案保證了整個(gè)單晶爐內(nèi)熱場(chǎng)的底部溫度均衡，提高了晶體生長(zhǎng)的質(zhì)量。

技術(shù)研發(fā)人員：黃建明;方海明;詹國(guó)彬
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海東洋炭素有限公司
文檔號(hào)碼：201621268057
技術(shù)研發(fā)日：2016.11.23
技術(shù)公布日：2017.06.20