一種單晶爐的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開一種單晶爐，包括爐體，所述爐體設(shè)置有爐腔，所述爐腔內(nèi)設(shè)置有石英鉗鍋，所述石英鉗鍋的外部設(shè)置有石墨鉗鍋，所述石墨鉗鍋的外部設(shè)置有加熱器，所述爐腔內(nèi)位于石英鉗鍋的上部設(shè)置有導(dǎo)流筒，所述導(dǎo)流筒的下端延伸至石英鉗鍋內(nèi)部，所述導(dǎo)流筒的上部設(shè)置有水冷套，所述水冷套的下端延伸至導(dǎo)流筒內(nèi)，水冷套的外部設(shè)置有保溫隔熱裝置。所述一種單晶爐通過在水冷套外部增設(shè)保溫隔熱裝置，進而隔斷了水冷套與外部的熱交換，與此同時，水冷套內(nèi)部可與硅單晶進行換熱，對硅單晶進行冷卻，從而可大大提高硅單晶的提拉速度，提高生產(chǎn)效率，結(jié)構(gòu)簡單、易于實現(xiàn)。
【專利說明】
一種單晶爐
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實用新型涉及單晶硅生產(chǎn)領(lǐng)域，尤其涉及一種單晶爐。
【背景技術(shù)】
[0002]單晶爐是一種在惰性氣體環(huán)境中，用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生長無錯位單晶的設(shè)備。
[0003]單晶爐在生產(chǎn)過程中，硅單晶從熔體中不斷凝固并向上提拉，如果凝固體的溫度越低，通過固體導(dǎo)出的熱量越多，硅單晶向上提拉的速度就可以越大，從而可大大提高生產(chǎn)效率。目前，為了提高生產(chǎn)效率，通常會增設(shè)水冷套來冷卻硅單晶，然而，水冷套內(nèi)部與硅單晶換熱，與此同時，其外部與導(dǎo)流筒、石英鉗鍋內(nèi)的熔體換熱，使得導(dǎo)流筒和石英鉗鍋內(nèi)的熔體降溫，進而為了滿足生產(chǎn)溫度要求，需加大加熱功率，從而使得水冷套提高晶體拉速的作用有限，由此，急需解決。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]本實用新型的目的在于針對上述問題，提供一種單晶爐，以解決現(xiàn)有水冷套對提高晶體拉速作用有限的問題。
[0005]本實用新型的目的是通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn):
[0006]一種單晶爐，包括爐體，所述爐體設(shè)置有爐腔，所述爐腔內(nèi)設(shè)置有石英鉗鍋，所述石英鉗鍋的外部設(shè)置有石墨鉗鍋，所述石墨鉗鍋的外部設(shè)置有加熱器，所述爐腔內(nèi)位于石英鉗鍋的上部設(shè)置有導(dǎo)流筒，所述導(dǎo)流筒的下端延伸至石英鉗鍋內(nèi)部，所述導(dǎo)流筒的上部設(shè)置有水冷套，所述水冷套的下端延伸至導(dǎo)流筒內(nèi)，水冷套的外部設(shè)置有保溫隔熱裝置。
[0007]作為本實用新型的一種優(yōu)選方案，所述水冷套上焊接有螺母，所述保溫隔熱裝置通過螺釘與水冷套固定連接。
[0008]作為本實用新型的一種優(yōu)選方案，所述保溫隔熱裝置為隔熱筒，所述隔熱筒由保溫隔熱材料制成。
[0009]作為本實用新型的一種優(yōu)選方案，所述保溫隔熱材料為不銹鋼材料或鉬材料或石墨材料或石墨氈材料。
[0010]作為本實用新型的一種優(yōu)選方案，所述隔熱筒包括內(nèi)筒、外筒，所述外筒套接在內(nèi)筒上。
[0011]作為本實用新型的一種優(yōu)選方案，所述隔熱筒的下端設(shè)置有錐度。
[0012]本實用新型的有益效果為，所述一種單晶爐通過在水冷套外部增設(shè)保溫隔熱裝置，進而隔斷了水冷套與外部的熱交換，與此同時，水冷套內(nèi)部可與硅單晶進行換熱，對硅單晶進彳丁冷卻，從而可大大提尚娃單晶的提拉速度，提尚生廣效率，結(jié)構(gòu)簡單、易于實現(xiàn)。
【附圖說明】

[0013]圖1為本實用新型一種單晶爐的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0014]圖中:
[0015]1、石英鉗鍋;2、石墨鉗鍋;3、加熱器;4、導(dǎo)流筒;5、水冷套;6、隔熱筒。
【具體實施方式】
[0016]下面結(jié)合附圖并通過【具體實施方式】來進一步說明本實用新型的技術(shù)方案?？梢岳斫獾氖牵颂幩枋龅膶嵤├齼H僅用于解釋本實用新型，而非對本實用新型的限定。
[0017]請參照圖1所示，圖1為本實用新型一種單晶爐的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0018]于本實施例中，一種單晶爐，包括爐體，所述爐體設(shè)置有爐腔，所述爐腔內(nèi)設(shè)置有石英鉗鍋I，所述石英鉗鍋I的外部設(shè)置有石墨鉗鍋2，所述石墨鉗鍋2的外部設(shè)置有加熱器3，所述爐腔內(nèi)位于石英鉗鍋I的上部設(shè)置有導(dǎo)流筒4，所述導(dǎo)流筒4的下端延伸至石英鉗鍋I內(nèi)部，所述導(dǎo)流筒4的上部設(shè)置有水冷套5，所述水冷套5的下端延伸至導(dǎo)流筒4內(nèi)，水冷套5的外部焊接有螺母，并通過螺釘固定連接有隔熱筒6，所述隔熱筒6的下端設(shè)置有錐度，且隔熱筒6包括內(nèi)筒、外筒，所述外筒套接在內(nèi)筒上，所述內(nèi)筒由不銹鋼板制成，所述外筒由鉬板制成。
[0019]雖然上述實施例中，內(nèi)筒由不銹鋼板制成，外筒由鉬板制成，但是本實用新型不限于此，內(nèi)筒、外筒亦可采用石墨、石墨氈或其他保溫隔熱材料制成，只要能夠起到保溫隔熱作用即可。
[0020]雖然上述實施例中，隔熱筒6由內(nèi)筒、外筒兩個構(gòu)成，但是本實用新型不限于此，可根據(jù)保溫隔熱要求相應(yīng)的增多或減少個數(shù)。
[0021]上述一種單晶爐，導(dǎo)流筒4的下端延伸至石英鉗鍋I內(nèi)部，進而可將石英坩禍I側(cè)面的熱量與硅單晶隔離開來，也可將加熱器3的熱量與硅單晶隔離開來，并通過在水冷套5外部增設(shè)隔熱筒6，進而隔斷了水冷套5與外部的熱交換，與此同時，水冷套5內(nèi)部可與硅單晶進行換熱，對娃單晶進彳丁冷卻，從而可大大提尚娃單晶的提拉速度，提尚生廣效率。
[0022]以上實施例只是闡述了本實用新型的基本原理和特性，本實用新型不受上述實施例限制，在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下，本實用新型還有各種變化和改變，這些變化和改變都落入要求保護的本實用新型范圍內(nèi)。本實用新型要求保護范圍由所附的權(quán)利要求書界定。
【主權(quán)項】
1.一種單晶爐，其特征在于:包括爐體，所述爐體設(shè)置有爐腔，所述爐腔內(nèi)設(shè)置有石英鉗鍋，所述石英鉗鍋的外部設(shè)置有石墨鉗鍋，所述石墨鉗鍋的外部設(shè)置有加熱器，所述爐腔內(nèi)位于石英鉗鍋的上部設(shè)置有導(dǎo)流筒，所述導(dǎo)流筒的下端延伸至石英鉗鍋內(nèi)部，所述導(dǎo)流筒的上部設(shè)置有水冷套，所述水冷套的下端延伸至導(dǎo)流筒內(nèi)，水冷套的外部設(shè)置有保溫隔熱裝置。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶爐，其特征在于:所述水冷套上焊接有螺母，所述保溫隔熱裝置通過螺釘與水冷套固定連接。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶爐，其特征在于:所述保溫隔熱裝置為隔熱筒，所述隔熱筒由保溫隔熱材料制成。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種單晶爐，其特征在于:所述保溫隔熱材料為不銹鋼材料或鉬材料或石墨材料或石墨氈材料。5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種單晶爐，其特征在于:所述隔熱筒包括內(nèi)筒、外筒，所述外筒套接在內(nèi)筒上。6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種單晶爐，其特征在于:所述隔熱筒的下端設(shè)置有錐度。
【文檔編號】C30B29/06GK205711031SQ201620606405
【公開日】2016年11月23日
【申請日】2016年6月20日
【發(fā)明人】惠夢君
【申請人】無錫市藍德光電科技有限公司